8英寸集成电路芯片项目的环境评估报告书

第1章总论

1.1 评价目的与指导思想

1.1.1 评价目的

摸清工程所在地的环境质量现状，通过对拟建项目进行工程分析，找出工程的排污环节、确定污染物产生量、治理后排放量，分析治理措施的可行性，预测项目投产后对周围环境的影响范围和程度；论证项目建设是否符合国家产业政策和区域发展规划；论证厂址选择和工程建设的环境可行性，为工程的环保设施设计、环境管理及领导部门决策提供依据。

1.1.2 指导思想

本次评价的指导思想是根据项目特点，抓住影响环境的主要因子，有重点的进行评价；评价方法力求科学严谨，实事求是；分析论证客观公正；贯彻达标排放、总量控制和清洁生产等环境保护政策的基本原则；提环保措施和建议时注意可行性和合理性；充分利用现有资料，在保证报告书质量的前提下，尽量缩短评价周期。

1.2 编制依据

1.2.1 国家法规依据

⑴《中华人民共和国环境保护法》（1989）；

⑵《中华人民共和国环境影响评价法》（2003）；

⑶《中华人民共和国大气污染防治法》（2000）；

⑷《中华人民共和国水污染防治法》（1996）；

⑸《中华人民共和国噪声污染防治法》（1996）；

⑹《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》（2005）；

⑺《中华人民共和国水土保持法》（1991）；

⑻《中华人民共和国清洁生产促进法》（2002）；

⑼国务院第253号令《建设项目环境保护管理条例》（1999）；

⑽国家经贸委国资源（2000）1015号文《关于加强节约工业用水的规定》；

⑾国家发展和改革委员会令第40号《产业结构调整指导目录(2005年本)》（2005）；

⑿国家发展和改革委员会、商务部联合发布第24号令《外商投资产业指导目录》（2004）；

⒀中华人民共和国国家发展计划委员会、科学技术部、商务部令第26号《当前优先发展的高技术产业化重点领域指南》（2004.4.30）；

⒁山东省人大第99号公告《山东省环境保护条例》（2001）；

⒂《山东省地面水环境功能区划方案》（山东省政府2000年3月以鲁政字[2000]86号文批准）；

⒃《危险化学品安全管理条例》（2002年）；

⒄《国家危险废物名录》（国家环保总局、国家经贸委、对外贸易经济合作部、公安部）（1998）；

⒅《关于加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》（环发[2005]152号）。

1.2.2 技术规范依据

⑴HJ/T2.1～2.3-93《环境影响评价技术导则》；

⑵HJ/T2.4-1995《环境影响评价技术导则——声环境》；

⑶HJ/T19-1997《环境影响评价技术导则——非污染生态影响》；

⑷HJ/T169-2004《建设项目环境风险评价技术导则》。

1.2.3 项目依据

⑴国家环保总局《建设项目环境保护分类管理名录》（环发[2001]17号）；

⑵国家计委、国家环保局《关于规范环境影响咨询收费有关问题的通知》（计价格[2002]125号文）；

⑶《烟台市城市总体规划》；

⑷《烟台市福山区城市规划》；

⑸《烟台市“十五”环境保护计划》；

⑹《烟台市海洋功能区划》；

⑺《烟台市环境功能区划》；

⑻《烟台市福山区地下水资源开发利用规划》；

⑼《烟台市福山区水资源保护规划》；

⑽泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8 英寸集成电路芯片项目申请报告；

⑾泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司环境影响评价委托书。

1.3 评价标准

根据地方功能区划和山东省环保局对该项目评价标准的批复，本次评价执行标准如下。

1.3.1 环境质量标准

环境质量标准具体见表1-1。

表1-1 环境质量标准

1.3.2 污染物排放标准

污染物排放标准具体见表1-2。

表1-2 污染物排放标准

(1)废水：《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准。

(2)废气：《大气污染物综合排放标准》（GB16279-1996）二级标准，《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）（氨），《锅炉大气污染物排放标准》（GB 13271-2001）二类区域标准。

对于目前我国尚无排放标准的本项目排放的特殊污染物，参照执行国外的有关标准。通过调研，收集国外有关标准参照执行如下：

①我国台湾地区《半导体制造业空气污染管制及排放标准》对特征污染物----挥发性有机物VOC的控制标准主要为排放削减率，要求大于90%。本项目有机废气VOC的排放拟参照执行《半导体制造业空气污染管制及排放标准》及上海拟颁布的半岛体行业标准。

②对于目前我国尚无排放标准的特殊污染物，如砷烷、磷烷、硅烷等，参照执行《荷兰排放导则》（NER，Nederlandse Emissie Richtlijnen = Dutch Emission Guidelines）。关于该导则需要说明的是：NER不是类同于中国排放标准的强制性规章，而是政府和行业用来为每个工厂设备设置环境许可所用的指导方针。

(3) 噪声：营运期执行《工业企业厂界噪声标准》（GB 12348-90）Ⅲ类标准，施工期执行《建筑施工场界噪声限值》（GB12523-90）。

1.4 环境影响因素识别及评价因子筛选

1.4.1 环境影响因素识别

拟建项目施工建设期土建施工作业、人工作业和设备安装作业等将会破坏厂区范围内的原有植被、改变土地使用功能，产生施工扬尘、废水、施工垃圾和噪声等。

项目生产运营期间将产生废气、废水、固废和设备噪声等污染，对周围环境产生一定污染。根据工程分析拟建项目生产运营期间产生主要大气污染物是酸性气体、碱性气体、有机废气、有机污染物燃烧废气，将对厂址附近的环境

空气产生一定影响。厂区生产废水中有机污染物浓度相对较高，经污水处理设施处理后排入城市污水管网。生产过程中产生的固体废物全部安全处置或回收综合利用，无外排。厂区周围较空旷，声环境敏感目标较少，对厂内高噪声设备采取相应消声、减噪措施后对声环境的影响较小。

根据以上项目特点及厂址周围环境情况，确定拟建项目的环境影响要素详见表1-3。

表1-3 拟建项目环境影响要素识别表

工程阶段

环境

空气

水环

境

声环

境

生态

环境

社会

环境

施工

期

???□□运营

期

■■???注：表中■表示影响显著，?表示影响一般，□表示影响轻微，?表示基本无影响。

1.4.2 环境影响因子识别

1.4.

2.1 施工期

项目施工期间对环境的影响很大程度上取决于工程特点、施工季节以及工程所处的地形、地貌等环境因素。经分析，施工期主要环境影响因素见表1-4。

表1-4 施工期主要环境影响因素

1.4.

2.2 施工期

拟建项目运营期将产生废气、废水、噪声以及固废等污染因素，将相应对厂址周围的环境空气、地表水、地下水环境及声环境等产生不同程度的影响。综上所述，拟建项目运营期环境影响因子识别情况详见表1-5。

表1-5 拟建项目运营期环境影响因素识别表

1.4.3 评价因子的确定

根据工程分析及环境影响要素、影响因子识别，确定本次评价的评价因子详见表1-6。

表1-6 拟建项目环境影响评价因子一览表

1.5 评价等级及评价重点

1.5.1 大气环境影响评价等级

根据拟建项目主要大气污染物的排放量，依据《环境影响评价技术导则·大气环境》的评价级别计算方法：

()()()

6

3

10/1/?=

m mg C h kg Q P oi i i 小时浓度环境空气标准单位时间排放量等标排放量

结合评价区范围内的地形特点，确定的评价等级详见表1-7。

表1-7 拟建项目大气环境影响评价等级确定表

序号

大气

污染物

Qi

（kg/h）

Coi

（mg/m3）

Pi

地

形

评价等

级确定

1

氟化

物

0.07 0.02

3.5

×106

山

丘陵区

三级

2

氯化

氢

0.03

3

0.05

0.6

6×106

三级

3

硫酸

雾

0.14 0.30

0.4

7×106

三级

4 NO

x 4.93 0.15

0.3

2×108

三级

5 SO

2

0.01

6

0.50

0.0

32×106

三级

6

异丙

醇

0.14 0.60

0.2

3×106

三级

7 NH3

0.08

6

0.20

0.4

3×106

三级

8 烟尘0.67 0.30

2.2

3×106

三级

由上表可见，Pi＜2.5×108，根据项目性质评价等级提高一级，因此，拟建项目环境空气影响评价应执行二级评价。

1.5.2 水环境影响评价等级

拟建项目日外排废水约114.416万t/a，经厂内污水处理站处理达标后经市政污水管网排入烟台市套子湾污水处理厂，因此本次环评重点对本项目废水经厂内污水处理站处理达标后再通过市政管网进入烟台市套子湾污水处理厂处理的可行性和可靠性进行分析。

项目厂区地面硬化、雨污分流，废水收集系统和污水处理设施进行防渗处理，外排废水经过管道排入烟台市城市套子湾污水处理厂，因此地下水环境影响仅作简要分析。

1.5.3 声环境影响评价等级

根据地方环境功能区划，项目厂址所在区域适用于《城市区域环境噪声标准》（GB3096-93）中规定的3类功能区，拟建项目属大型建设项目，项目建设前后噪声的增量较小，受影响人口变化不大，因此根据《环境影响评价技术导

则—声环境》（HJ/T2.4-1995）的规定，确定本项目噪声影响评价等级为三级评价。

1.5.4 环境风险评价等级

根据《建设项目环境风险评价技术导则》，本次项目位于环境敏感区，原材料包含剧毒危险性物质，因此本次环评环境风险评价定为一级评价。

1.6 评价范围和重点保护目标

根据项目厂址所在地的气象、水文、地质条件，项目“三废”排放特点、排放量以及厂址周围敏感目标的分布情况，见表1-8、图1-1。

表1-8 拟建项目评价范围和重点保护目标一览表

第2章建设项目概况

2.1 项目建设内容

2.1.1 工程概况

项目名称：泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片项目

建设性质：新建

筹建方：森邦集团（美国）（SCHAUMBOND Group.Inc.）

建设地点：山东省烟台市福山区工业用地。详见图2-1A、2-1B。

总投资：12.6亿美元。

2.1.2 生产规模和产品方案

新购工艺生产设备组建8英寸芯片加工生产线，形成月生产8 英寸硅片3 万片的能力，生产工艺达到0.13～0.25μm 的CMOS 工艺技术水平，并将同时具备为客户代工的能力。公司生产方式主要采用CMOS和BiCMOS技术进行代工生产。

2.1.3 厂区布置和项目组成

2.1.

3.1 厂区布置

2.1.

3.2 项目组成

建筑物情况及主要数据指标见表2-1，项目组成情况详见表2-2。

表2-1 建筑物情况及主要数据指标一览表

序号项目建筑面积m2指标

1 办公研发楼19394

2 综合楼14288

3 八英寸芯片厂

房

59260

4 综合动力站15299

5 气站1110

6 化学品库1426

7 锅炉房707

8 活动室和餐厅3212

9 倒班宿舍15038

10 门卫180

11 总用地面积133293

12 总建筑占地面

积

42502

13 总建筑面积129914

14 容积率0.97

15 建筑密度32％

16 绿化率36％

2.1.4 项目主要技术经济指标

拟建项目的主要技术经济指标情况详见表2-3。

表2-3 拟建项目主要技术经济指标一览表

2.1.5 定员及年时基数

拟建项目劳动定员1500人，其中管理人员200 人，技术人员300 人，操作人员800 人，其他人员200 人。

年工作日360天，生产线工人实行四班二运转工作制，每天2班，每班12小时，2天上班2天休息；管理人员实行单班工作制。

2.1.6 工程投资及经济指标

项目总投资为126000 万美元，其中注册资本42000 万美元，由美国森邦集团公司全资投入，其余由境外资金、设备等中国法律允许的注资形式投入，属于外商独资项目，资金有保障；注册资本及项目投资分年投入，考虑了项目运作的客观规律。

第3章工程分析

3.1 主要原、辅材料用量及能源供应和消耗

3.1.1 主要原辅材料及用量

主要原辅材料消耗量见表3-1。

表3-1 主要原辅材料消耗量一览表

3.1.2原辅材料供应系统、产品运输及储存方案

本项目原材料基本上都由空运和海运进入烟台，工厂成品采用空运或海运方式。

该项目的原辅材料和成品对运输条件要求较高，市区内运输由专业运输公司承担，以专用货车运至厂区内。化学品及特殊气体，视需要送至厂内，置于专设的化学品库（参见总图）、fab厂房的特气间、化配间、物料入口室处、原材料暂存间、备品备件存放间等，并做好安全卫生防护措施。

在化学品库中大宗化学品存量为1-3天的用量，小瓶装存量为1-2星期的用量，特殊由外国进口的化学品存量为2-4星期的用量。

化学品储存量参照有关规范规定的限额进行储存。

特殊气体采用钢瓶储存，有气体监测器（电化学式、半导体式和色带式检测器等），在有气体泄露时报警。以1个月的用量为储存量。储存方式为钢瓶。需要气体监测器（电化学式、半导体式和色带式检测器等）。

3.1.3 能源动力供应和消耗

3.1.3.1 供电

经计算全厂用电负荷总装设容量72750 Kw。

本工程拟建设一座110kV总变电所，从市电不同的区域变电站引来两路独立的电源。变电所内安装两台31.5MVA 110/6.3kV有载调压变压器。另外设置六台6kV 、1650kW柴油发电机组作为应急电源。

3.1.3.2 供汽、供热

本项目工艺中所需热源为开发区提供的热水。另设热水锅炉房做为备用热源，锅炉房内安装全自动热水锅炉（油气两用，Q=5.6MW，供水温度80℃）5台，供应蒸汽40t/h。本项目仅用轻质柴油作为锅炉燃料，锅炉年运行5天。

3.1.3.3 天然气与柴油

天然气设计使用量为120 m3/h，由福山燃气公司经外网送至厂区调压站，经调压计量后用管道送给FAB VOC使用。

柴油由槽车运来后，储存于室外柴油储罐内，2个200m3立式地上柴油罐，室外地上摆放。经过滤器、油泵加压后由管网系统送锅炉房。柴油品质为0~10#柴油(GB252-64)。

3.1.3.4 空压、氮气

项目所需压缩空气及氮气由厂给。厂区所需压缩空气量详见表3-2。项目厂区内使用0.65 MPa高纯氮气，用量为 2500Nm3/h。

表3-2 拟建项目厂区压缩空气消耗量一览表

主要能源动力消耗量见表3-3。

表3-3 主要能源动力消耗一览表

3.1.3.5 其他动力

1、工艺真空系统

2、清扫真空系统

3、工艺设备冷却水系统：

3.1.3.6 工程给排水

供水：

拟建项目用水全部由烟台市福山区信息产业区供水工程管理中心提供。

具体描述：工业用水和生活用水系统

（1）自市政引入一条供水管线(目前按DN300考虑)，接入生产水池，生活水箱及消防水池。市政给水压力按0.3MPa考虑。

（2）本厂生产及生活日用水量约为4100 m3。

（3）厂区所有生活用水利用市政水压直接供给。

（4）生产水池设置在4号建筑（动力站），储水量约5000m3，其中包括576 m3的消防水量。

（5）设备备用：生产水泵及纯水原水泵均为N＋1备用方式。

排水：本项目厂区排水体制实行雨污分流制：

（1）雨水经厂区雨水管网汇集后排入市政雨水管网；

（2）生产废水经厂区内生产废水处理站处理，生活污水经化粪池、隔油池处理后，分别由拟建项目生产废水总排口、生活污水总排口排入市政污水管网，经市政污水管网排入套子湾污水处理厂，处理后深海排放。生活污水、生产废水在生产废水总排口和生活污水总排口按《污水综合排放标准》（GB8978-1996）的三级排放标准执行。

3.1.4 水量平衡

本项目用水主要分为生产用水和生活用水。

本项目用水量分布见图3-1。

图3-1 拟建项目全厂用水平衡图（m3/d）

注：热水锅炉为备用锅炉，括号内数字为锅炉运行时用水量（下同），热水锅炉年运行5天。

3.1.5 物料平衡

为了了解主要原辅材料中的有毒有害物质的情况，本次环评对其中具有代表性的物料（用量较大或者毒性较大的物料），如氟、氨、异丙醇进行物料平衡分

析。

3.1.5.1 氟平衡

本项目氟平衡见图3-2。

3.1.5.2氨平衡

氨的平衡图见图3-3。

3.1.5.3 异丙醇平衡IPA

异丙醇平衡图见图3-4。

图3-2 氟平衡图（单位：kg/a）

图3-3 氨 平 衡 图 （单位：kg/a ）

图

3-4 异丙醇平衡图 （单位：kg/a ）

3.2 工艺流程及产污环节

3.2.1 工艺流程

一般地，集成电路芯片制造生产工艺包括硅片清洗、热氧化、扩散、化学气相沉积(CVD)、光刻、去胶、离子注入、刻蚀、金属化、化学机械抛光(CMP)等，这些工序反复交叉，包括检测和测试在内实际达到300左右的工艺步数。并且生产过程中使用多种化学试剂、特殊气体和配套动力。集成电路芯片生产的工艺流程如图3-5所示。

图3-5 芯片生产工艺流程图(简化)

现将集成电路芯片加工的主要生产工艺的内容介绍如下：

3.2.1.1 清洗

集成电路芯片生产的清洗包括硅片的清洗和工器具的清洗。由于半导体生产污染要求非常严格，清洗工艺需要消耗大量的高纯水；且通过特殊过滤和纯化的半导体级化学试剂、有机溶剂等被广泛使用。

硅片清洗是完全清除半导体硅片表面的尘埃颗粒、有机物残留薄膜和吸附在表面的金属离子。在硅片的加工工艺中，硅片先按各自的要求放入各种药液槽进行表面化学处理，再送入清洗槽，将其表面粘附的药液清洗干净后进入下一道工序。最主要的清洗方式是将硅片沉浸在液体槽内或使用液体喷雾清洗，同时为有更好的清洗效果，通常使用超声波激励，在一些特定的情况下，高温蒸汽腐蚀和低温喷溅腐蚀也被采用。由于使用有机溶剂清洗带来的溶剂残留，一般在有机溶剂清洗后立即采用无机酸将其氧化去除，最后用纯水冲洗，如图3-6所示。