哈斯-雷尼绍测头探针系统使用指南20110214

哈斯-雷尼绍测头探针系统使用指南20110214
哈斯-雷尼绍测头探针系统使用指南20110214

哈斯、雷尼绍

测头探针系统使用指南

VQC雷尼绍测头模板

使用HAAS/雷尼绍测头可以简化测头程序,并且可以定制,包括5部分:主轴探头1-9,主轴探头10-18,刀具偏置,测头校验,帮助。

这包括最近发放哈斯机床探针(由雷尼绍制造)设置模板。

因为没有人知道如何使用,很多测头使用率低,并且说明书非常复杂。

哈斯VQC探针系统包括一个主轴探头,工具设置探头,探头接收和Renishaw软件(约49k ,9000宏)。

它大大简化了编程和设置和使用的探针。

创建的程序调出所需的宏子程序。

样板被分成4个种类显示。因为15个类别的限制,在VQC模板中这是一个单独的程序(O09910)。

程序文件“vqcpsmei.pgm”包括42个子程序。

附带的雷尼绍软件给有编程/探头的经验的人提供了完整的探测能力。

注:帮助是一个新的类别,显示在软件更改。

如果您已经加载规则的铣床VQC模板(VQC进入方法:MDI模式下按程序键两次,选择VQC),你可以按到程序清单。然后,您可以选择探头模板(O09996)。

注:通常有一组数目的宏用来探针。这些都是9000系列程序。

通过选择方案9996你会得到探针模板所示。

Here you can see the five categories of the Probe Templates.

If we select the first category (by pressing WRITE/ENTER) we get these templates (next slide):

在测头模板中可以看到5个分类。

如果我们选择第一类(按写入/回车),我们得到这些模板(下图):

This shows the templates for the first category as they appear on the LCD Monitor. Theses are Work Offset templates.

They include Probe Bore, X Plus Surface, X Minus Surface, Y Plus and Minus Surface, and Z Surface, Vise (or part) Corner, Center of Block.

显示器显示第一类的模板。这些是工件偏置模板。

包括Probe Bore——孔,

X Plus Surface——X正方向表面,

X Minus Surface——X负方向表面,

Y Plus and Minus Surface——Y表面,

and Z Surface——Z表面,

Vise (or part) Corner——夹具或工件的角落,

Center of Block——方的中心.

这是孔赵正的详细画面。这个程序经测量孔的直径位置并将孔的中心位置设置为工件坐标系。操作者只用输入孔的坐标系和直径。需要注意的是仍然要提醒在哪放置测头。该指令将不会重复所以你必须记住,你做什么,然后运行程序。

这一类别中,除了X,Y或Z表面的其他模板的工作只需要输入偏移。

最后三个模板,提供X,Y和Z偏移和需要增加的偏移量的X,Y和Z值。

输入数据后,会出现一个菜单框。

你可以选择:1选择或创建一个新的程序,

2将代码添加到当前的程序,

3进入到MDI模式,

或取消

下一个类是主轴探针10-18。它包括模板:Probe Boss ——测量圆柱,

Probe X Pocket——在X方向找正槽,

Probe Y Pocket——在Y方向找正槽,

Probe X Web——在X方向找正方(凸台), and Probe Y Web,

External Corner外角,

Internal Corner内角.

这些也生成零件偏置。

你可以第二次使用其中一个。

确定哪一个VQC模型有一些不同。第二类中,这显示了模板另一个不同的描述,。

注:角落找正时沿着X和Y轴上的两个点需要反映在从每个角落的1 / 2“处。例如,如果你X尺寸是4“,你的第一点是.5“,第二个是3”(角没有要成直角。)

这是圆柱找正模板。它类似于找正孔,但增加了Z深度输入(一个负值)用于使探头低于零件表面。

Probe Web凸台找正模板也有Z深度,而Probe Pocket槽找正模板只有一个X或Y

的宽度。

当您运行槽找正pocket,您需要手摇测头低于表面的位置,。(BOSS是一个圆形,而Web是凸台直边。)

下一个类别的刀具设置。用来刀具的偏移。它包括:

Auto Length Only——自动长度测量,

Manual Length Only——手动长度测量,

Auto Length Rotating——自动长度测量,

Automatic Length and Diameter——自动长度和直径测量,

Sequential and Random——顺序和随机,

and T ool Breakage——刀具磨损.

当使用自动长度测量(Auto Length Only),程序会自动选择和定位刀具。

对于手动长度测量(Manual Length Only),您必须定位刀具在探头如模板中显示的

位置。对于自动的长度和直径测量(Auto Length and Diameter),被选中刀具将定位,主轴逆时针旋转(约500转)在触碰探头。For you enter each tool number that you want touched off and press for the entries you don’t use (the number 0 will be entered).

对于随机的(Random,),输入每个你才需要的刀具号码,并按输入,所有不使用的刀具(数字0将被输入)。

下面是连续刀具自动长度测量详细模板。意味着它应该只用于其长度可以精确地在1 / 2英寸面积测量的刀具,。(因此这并不适用于2英寸槽铣刀)。使用此工具在随机工具和连续刀具。

下面是自动长度工具的详细模板请注意,您必须填写每一行。该线不等同于刀具号码。例如,如果我们想要测量的工具是3,5,6,8,11,我们要输入的将看起来像下一张幻灯片。

你可以在未使用的字段输入零,然后按

通过探头校准,我们校准TS27R,探头Z校准,及X,Y校正。这些都被覆盖在设置中。

雷尼绍CNC探头编程步骤 V01

雷尼绍探头使用介绍 第一章探头程序编程 第一节编探点程序 1.定原点,找各探点坐标值 先在UG软件里定好工件坐标系原点,然后用UG软件将需要探点的位置的点(X Y Z)找出来,记录下来,以编探点程序用。 2.编探点程序(探点程序的名字自己定如:O6666) 探点程序里面控制探头的移动需要调用两个重要的探头运算程序O9810 和O9811。探点程序格式案例:(以下是编探Z点的案例) % O6666(PROBE) G91G28Z0 G90 G0 G17 G40 G49 G69 G80 M6 T11 (探头装在 T11刀座上,换 T11 号探头到主轴上) G90 G00 G54 X-18. Y50. (快速定位到到G54坐标系中的要探点的第一个点上方) M19 (S_ ) (主轴定位,S是让主轴转一个角度,如果是探Z轴方向的点, S就不需要,如果是探侧面,就需要S,即转角度,使探头 在探各侧面时都是使用探针红宝石球的一个面测量,减小 误差) M05 M17 (open probe) (打开探头,这个指令是由接线时接到相应端口决定的) G43 Z50.H11 (建立刀长,即读取探头的长度) G90G00Z50. (探头快速下到Z50.的位置) N1(Z+ POINT1) (测第一个点的Z值) G65P9810 X-18. Y50. F3000. (安全快速定位到第一个点的X Y位置,速度为F3000.) G65P9810 Z19. (安全快速定位到第一个点上方的安全的Z位置,速度同 上,此处高度一般离下面要测的点3MM) G65P9811 Z16.08 (安全慢速到达第一个探点的Z位置,另外,此步探完点后, 会自动的返回到上一步Z19.0的位置)

四探针操作手册

南开大学 硅光电子学与储能实验室 Four-Point Probe Operation | 2011 四探针操作手册

四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1) 1. 目的 (1) 2. 应用范围 (1) 3. 测试设备 (1) 四探针 (1) 数字电压源表 (2) 第2章原理简述 (3) 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率: (3) 2. 薄膜方块电阻 (3) 第3章操作方法 (5) 1. 引言 (5) 2. 测试线连接方式 (5) 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6) 4. 探针接触方式 (8) 5. 数据测试指南 (8) 第4章注意事项 (10) 附表 ................................................................................................................................................... I

第1章引言 1.目的 本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。 2.应用范围 测量参数:方块电阻,电阻率 测量样品:均匀薄膜,均匀薄片 方块电阻测试范围:0.01?~500M? 电阻率测试范围:10-5??cm~103??cm 样品大小:直径>1cm 精度:<±5% 3.测试设备 四探针 生产厂商: 广州四探针有限公司RTS-2型 基本指标: 间距:1±0.01mm; 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ; 机械游移率: ≤0.3%; 探针:碳化钨或高速钢材质,探针直径Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力); 使用环境: 温度::23±2℃; 相对湿度:≤65%; 无高频干扰; 无强光直射; 基本参数: Fsp=0.1 探针间距:1.0mm

雷尼绍CNC探头编程步骤 V

雷尼绍探头使用介绍 1.定原点,找各探点坐标值 先在UG软件里定好工件坐标系原点,然后用UG软件将需要探点的位置的点(X Y Z)找出来,记录下来,以编探点程序用。 2.编探点程序(探点程序的名字自己定如:O6666) 探点程序里面控制探头的移动需要调用两个重要的探头运算程序O9810 和O9811。探点程序格式案例:(以下是编探Z点的案例) % O6666(PROBE) G91G28Z0 G90 G0 G17 G40 G49 G69 G80 M6 T11 (探头装在 T11刀座上,换 T11 号探头到主轴上) G90 G00 G54 X-18. Y50. (快速定位到到G54坐标系中的要探点的第一个点上方) M19 (S_ ) (主轴定位,S是让主轴转一个角度,如果是探Z轴方向的点, S就不需要,如果是探侧面,就需要S,即转角度,使探头 在探各侧面时都是使用探针红宝石球的一个面测量,减小 误差) M05 M17 (open probe) (打开探头,这个指令是由接线时接到相应端口决定的) G43 (建立刀长,即读取探头的长度) G90G00Z50. (探头快速下到Z50.的位置) N1(Z+ POINT1) (测第一个点的Z值) G65P9810 X-18. Y50. F3000. (安全快速定位到第一个点的X Y位置,速度为F3000.) G65P9810 Z19. (安全快速定位到第一个点上方的安全的Z位置,速度同 上,此处高度一般离下面要测的点3MM) G65P9811 (安全慢速到达第一个探点的Z位置,另外,此步探完点后, 会自动的返回到上一步的位置)

#601=#142 (#142为第一个探点的理论与实际探得的“Z实”的差值, 它是在O9811里面自动计算,然后传递给#142,#142 再将所得的值传递给#601,#601为第一个点Z向要补尝的值) G65P9810 Z20. (安全快速移到安全高度Z20.的位置) N2(Z+ POINT1)(测第二个点的Z值) G65P9810 F3000. (安全快速定位到第二个点的X Y位置,速度为F3000.) G65P9810 Z17. (安全快速定位到第二个点上方的安全的Z位置,速度同 上,此处高度一般离下面要测的点3MM) G65P9811 (安全慢速到达第二个探点的Z位置,另外,此步探完点后, 会自动的返回到上一步的位置) #602=#142 #142为第二个探点的理论与实际探得的“Z实”的差值, 它是在O9811里面自动计算,然后传递给#142,#142 再将所得的值传递给#601,#601为第二个点Z向要补尝的值)G65P9810 Z35. 安全快速移到安全高度Z20.的位置) N3(Z+ POINT1) (测第三个点的Z值) G65P9810 F3000. G65P9810 Z19. G65P9811 #603=#142 G65P9810 Z20. N4(Z+ POINT1) (测第四个点的Z值) G65P9810 F3000. G65P9810 Z16. G65P9811 #604=#142 G65P9810 Z35. ..... ..... ..... N16(Z+ POINT1) (测第十六个点的Z值) G65P9810 F3000. G65P9810 Z16. G65P9811 #616=#142 G65P9810 Z35. (下面是对各探测的点的差值Z设定公差范围,超过了公差即跳转到N20 处执行) #620= (设定公差为,赋值给#620)

四探针测电阻率实验指导书及SZT-2A四探针测试仪使用说明书

实验七四探针法测量材料的电阻率 一、实验目的 (1)熟悉四探针法测量半导体或金属材料电阻率的原理 (2)掌握四探针法测量半导体或金属材料电阻率的方法 二、实验原理 半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一,已在微电子器件和光电子器件中得到了广泛应用。半导体材料的电阻率是半导体材料的的一个重要特性,是研究开发与实际生产应用中经常需要测量的物理参数之一,对半导体或金属材料电阻率的测量具有重要的实际意义。 直流四探针法主要用于半导体材料或金属材料等低电阻率的测量。所用的仪器示意图以及与样品的接线图如图1所示。由图1(a)可见,测试过程中四根金属探针与样品表面接触,外侧1和4两根为通电流探针,内侧2和3两根是测电压探针。由恒流源经1和4两根探针输入小电流使样品内部产生压降,同时用高阻抗的静电计、电子毫伏计或数字电压表测出其它两根探针(探针2和探针3)之间的电压V23。 a b 图1 四探针法电阻率测量原理示意图 若一块电阻率为 的均匀半导体样品,其几何尺寸相对探针间距来说可以看

作半无限大。当探针引入的点电流源的电流为I ,由于均匀导体内恒定电场的等位面为球面,则在半径为r 处等位面的面积为22r π,电流密度为 2/2j I r π= (1) 根据电流密度与电导率的关系j E σ=可得 22 22j I I E r r ρ σ πσπ= = = (2) 距离点电荷r 处的电势为 2I V r ρ π= (3) 半导体内各点的电势应为四个探针在该点所形成电势的矢量和。通过数学推导,四探针法测量电阻率的公式可表示为 123 231224133411112( )V V C r r r r I I ρπ-=--+?=? (4) 式中,1 12241334 11112( )C r r r r π-=--+为探针系数,与探针间距有关,单位为cm 。 若四探针在同一直线上,如图1(a)所示,当其探针间距均为S 时,则被测样品的电阻率为 123 2311112()222V V S S S S S I I ρππ-=- -+?=? (5) 此即常见的直流等间距四探针法测电阻率的公式。 有时为了缩小测量区域,以观察不同区域电阻率的变化,即电阻率的不均匀性,四根探针不一定都排成一直线,而可排成正方形或矩形,如图1(b)所示,此时只需改变电阻率计算公式中的探针系数C 即可。 四探针法的优点是探针与半导体样品之间不要求制备接触电极,极大地方便了对样品电阻率的测量。四探针法可测量样品沿径向分布的断面电阻率,从而可以观察电阻率的不均匀性。由于这种方法允许快速、方便、无损地测试任意形状样品的电阻率,适合于实际生产中的大批量样品测试。但由于该方法受到探针间距的限制,很难区别间距小于0.5mm 两点间电阻率的变化。 根据样品在不同电流(I )下的电压值(V 23),还可以计算出所测样品的电阻率。

KEITHLEY四探针操作手册

南开大学硅光电子学与储能实验室四探针操作手册 Four-Point Probe Operation | 2011

四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言................................................错误!未定义书签。 1. 目的..................................................错误!未定义书签。 2. 应用范围..............................................错误!未定义书签。 3. 测试设备..............................................错误!未定义书签。 四探针............................................错误!未定义书签。 数字电压源表......................................错误!未定义书签。第2章原理简述............................................错误!未定义书签。 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率:...............................错误!未定义书签。 2. 薄膜方块电阻..........................................错误!未定义书签。第3章操作方法............................................错误!未定义书签。 1. 引言..................................................错误!未定义书签。 2. 测试线连接方式........................................错误!未定义书签。 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南........................错误!未定义书签。 4. 探针接触方式..........................................错误!未定义书签。 5. 数据测试指南..........................................错误!未定义书签。第4章注意事项............................................错误!未定义书签。附表 .........................................................错误!未定义书签。

雷尼绍侧头的简单安装

雷尼绍侧头的简单安装 Ⅰ.连接 西门子840D数控系统提供了两个独立的测头输入接口,不需要开关或者参数去转换。测头的信号连接到NCU的X121插头上,X121是一个37芯的D型插头,功能接线如下: 注:一般第一测头接工件测头,第二测头接刀具测头。 说明:除连接手轮外的另一根手轮短接线: X1/3黄兰紫绿插到X121的X5 中 X2/4黑棕灰桔插到X121的X10中 跳线设置:S1 S2 S3 S4 全部跳开?? 1.1关于雷尼绍测头的接线: 刀具侧头:MI 8-4 A10—P242 A11----M028 A12---N24 B1---P242 B2----N24 B3---PE A1---屏蔽A2---M002 蓝色线A3----M003 红色线(查看实际说明书) 电源连接:绿紫接工件测头,绿接正,紫接零。黄兰接刀具测头,黄接正,兰接零。 接收器侧:P242---红色N24---- 棕色和黑色M009----橘黄色2614 测头使能白色 1.2检验连接是否正确 当所有接线完毕后,需要检验刀具测头和工件测头是否完好才可使用。进入MENU SELECT → Diagnosis → PLC Status→ Series startup菜单下: * DB10.DBX107.0 (刀具测头):默认状态=0,当用手触摸测头,值变为1。表明刀具 测头接线正确。 * DB10.DBX107.1 (工件测头):默认状态=0,当执行M59指令后,用手触摸测头, 值变为1。表明工件测头接线正确。 Ⅱ配对 1.将电池插入到探头中,并按住探针。显示红绿蓝闪烁>紫紫黄-->红红红--> 红红红闪2.按住探针直到紫紫黄--(无线电开启方式)。 3.按住探针大于4S,出现红红红--(无线电关闭方式或旋转关闭方式)松开探针。 4.按住探针大于4S,直到出现蓝蓝蓝—松开探针(配对模式关闭) 5.出现蓝蓝蓝--后触发探针同时开启RMI即接上24V 接收器出现绿绿绿绿绿 6.灯灭后,断开RMI,再启动,探针同时松开,触发,松开,出现黄红黄红黄 7.不接触探针,使之处于待机状态大于20S,配对结束。

四探针一体机使用说明书

SZT-2A四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置,配上专用的四探针测试架,即可以测量片状,块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。四探针测试架有电动,手动,手持三种可以选配,另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中,低阻阻值。 仪器由主机,测试架等部份组成,测试结果由液晶显示器显示,同时,液晶显示器还显示测量类型(电阻率,方块电阻和电阻)以及探头修正系数, 主机由开关电源,DC/DC变换器,高灵敏度电压测量部份,高稳定度恒流源,和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路,所以仪器可靠性高,测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针,定位准确,游移率小,使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂,半导体器件厂,科研单位,高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为: 温度:23℃±3℃ 相对湿度:50%~70%

工作室内应无强磁场干扰,不与高频设备共用电源。 二,技术参数 1,测量范围 电阻率: 10??-105?-cm 方块电阻 10??- 105?/□ 电阻 10-?- 105? 2,可测半导体材尺寸 直径:Ф15-100mm 长(或高)度:≤400mm 3,测量方位 轴向,径向均可 4,数字电压表: (1)量程:20mV,200mV,2V (2)误差:±0.5%读数±2字 (3)输入阻抗:>10?? (4)最大分辨率:10μV (5)点阵液晶显示,过载显示。 5,恒流源: (1)电流输出:共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择,各挡均为定值不可调节,电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后,直接显示修正后的结果。

最新四探针法测电阻率

四探针法测电阻率

实验四探针法测电阻率 1.实验目的: 学习用四探针法测量半导体材料的体电阻率和扩散薄层的电阻率及方块电阻。 2.实验内容 ①硅单晶片电阻率的测量:选不同电阻率及不同厚度的大单晶圆片,改变 条件(光照与否),对测量结果进行比较。 ②薄层电阻率的测量:对不同尺寸的单面扩散片和双面扩散片的薄层电阻 率进行测量。改变条件进行测量(与①相同),对结果进行比较。 3.实验原理:

在半导体器件的研制和生产过程中常常要对半导体单晶材料的原始电阻率和经过扩散、外延等工艺处理后的薄层电阻进行测量。测量电阻率的方法很多,有两探针法,四探针法,单探针扩展电阻法,范德堡法等,我们这里介绍的是四探针法。因为这种方法简便可行,适于批量生产,所以目前得到了广泛应用。 所谓四探针法,就是用针间距约1毫米的四根金属探针同时压在被测样品的平整表面上如图1a 所示。利用恒流源给1、4两个探针通以小电流,然后在2、3两个探针上用高输入阻抗的静电计、电位差计、电子毫伏计或数字电压表测量电压,最后根 据理论公式计算出样品的电阻率[1] I V C 23 =ρ 式中,C 为四探针的修正系数,单位为厘米,C 的大小取决于四探针的排列方法和针距,探针的位置和间距确定以后,探针系数C 就是一个常数;V 23为2、3两探针之间的电压,单位为伏特;I 为通过样品的电流,单位为安培。 半导体材料的体电阻率和薄层电阻率的测量结果往往与式样的形状和尺寸密切相关,下面我们分两种情况来进行讨论。 ⑴ 半无限大样品情形 图1给出了四探针法测半无穷大样品电阻率的原理图,图中(a)为四探针测量电阻率的装置;(b)为半无穷大样品上探针电流的分布及等势面图形;(c)和(d)分别为正方形排列及直线排列的四探针图形。因为四探针对半导体表面的接触均为点接触,所以,对图1(b )所示的半无穷大样品,电流I 是以探针尖为圆心呈径向放射状流入体内的。因而电流在体内所形成的等位面为图中虚线所示的半球面。于是,样品电阻率为ρ,半径为r ,间距为dr 的两个半球等位面间的电阻为 dr r dR 2 2πρ = , 它们之间的电位差为 dr r I IdR dV 2 2πρ= =。

四探针说明书

SZT-2C 四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2C 型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置,配上专用的四探针测试架,即可以测量片状,块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。四探针测试架有电动,手动,手持三种可以选配,另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中,低阻阻值。 仪器由主机,测试架等部份组成,测试结果由液晶显示器显示,同时,液晶显示器还显示测量类型(电阻率,方块电阻和电阻); 探头修正系数和温度值,用来监测仪器使用时的环境温度。 主机由开关电源,DC/DC变换器,高灵敏度电压测量部份,高稳定度恒流源,和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路,所以仪器可靠性高,测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针,定位准确,游移率小,使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂,半导体器件厂,科研单位,高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为: 使用温度:23C 士3C 相对湿度:50%~70% 工作室内应无强磁场干扰,不与高频设备共用电源,二,技术参数 1,测量范围

6 电阻率:10 ??-10 6? -cm 方块电阻10 ??- 10 6?/ □ 电阻10 -? - 10 6 ? 2 ,可测半导体材尺寸 直径:①5-250mm 长(或高)度:< 400mm如配探笔可以测量任意长度) 3,测量方位 轴向,径向均可 4,数字电压表: (1)量程:20mV,200mV,2V (2)误差:±0.1%读数±2字 (3)输入阻抗:>10 ?? (4)最大分辨率:10卩V (5)点阵液晶显示,过载显示。 5,恒流源: (1)电流输出:共分10卩A,100uA,1mA,10mA,100m>六挡可通过按键选择,各挡均为定值不可调节,电阻率探头修正系和 扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后,直接显示修正后的结果。 (2)误差:士0.5%士2字,在使用1卩A恒流电流输 出时为± 0.5%± 5字 6, 四探针测试头; (1) 探针间距: 1mm

雷尼绍测头在SIEMENS系统上的测量循环

任选输入 R2 = b 表面的角度公差例如30度±1度输入 R1 =30. R2 = 1. 示例:R2 = 5设定公差为5度 R11 =h 彼测型面尺寸的公差值祇 示例:对于尺寸50.0 mm +0.4 mm -0 mm 中间尺寸杲50.2 min 公差0.2 mm R11=O2D (对于尺寸公称尺寸是1-968 in +0,016 in -0 in中间尺寸是1.976 in 公差是0.008 in R11 = 0.008) R19^s 更i殳定的零点保直号° 该号码的零点偏置将要被更新. R19 = 0(G500) R19= 1 to R19 =4(654 至G57) R19 = 5toR19 = 99 (G505 至G599) R19= 1000(Jt* 零点偏置} 示仙R19 = 3. R20 = t 要被更新数值的刀具偏置号 示例;R20 = 20更新20呂刀具刀沿D1 (默认情况)的刀偏值, R20 = 20.2更 新20号刀具 刀沿D2的偏 置数值" (L981Q)

保护定位(测头融发监控) 肯转开启测头L9832 炭转关I无测头L9833 清理全局"FT参数L9800

输出变量 输出变量-表1

输出变量-表2

该偿承用来获得测头装在刀柄上时的长度、. 该律环用来获得探针的偏心值、 该循环用来获得测球的半径值 测头标定 子程序L9801 子程序L9802 子程存L9803

例1:用内部型面的完整标定 G54X35.Y0 移动到离开中心位萱以便进行长度蘇定 Z100.D01 激活刀沿D1的偏萱定位到100 mm (3+94 in) L9832 旋转开启测头(包括SPOS=0进行主轴定向) L9800 清理全哥R:1参数 R26 = 30 R9 ==3000 保护定位到参考面上方 L9810 R26 = 20,006 R20 = 20.测头长度的标定? L9801 顶面坐标为20.006 mm (7.876 in) R24 = 0 R25 = =0保护定位到中心位置。 L9810 R26 = 5. 保护定位到孔内口 L9810

四探针说明书要点

SZT-2C四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2C型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置,配上专用的四探针测试架,即可以测量片状,块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。四探针测试架有电动,手动,手持三种可以选配,另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中,低阻阻值。 仪器由主机,测试架等部份组成,测试结果由液晶显示器显示,同时,液晶显示器还显示测量类型(电阻率,方块电阻和电阻);探头修正系数和温度值,用来监测仪器使用时的环境温度。 主机由开关电源,DC/DC变换器,高灵敏度电压测量部份,高稳定度恒流源,和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路,所以仪器可靠性高,测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针,定位准确,游移率小,使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂,半导体器件厂,科研单位,高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为: 使用温度:23℃±3℃ 相对湿度:50%~70%

工作室内应无强磁场干扰,不与高频设备共用电源, 二,技术参数 1,测量范围 电阻率: 10??-106?-cm 方块电阻 10??- 106?/□ 电阻 10-?- 106? 2,可测半导体材尺寸 直径:Ф5-250mm 长(或高)度:≤400mm(如配探笔可以测量任意长度)3,测量方位 轴向,径向均可 4,数字电压表: (1)量程:20mV,200mV,2V (2)误差:±0.1%读数±2字 (3)输入阻抗:>10?? (4)最大分辨率:10μV (5)点阵液晶显示,过载显示。 5,恒流源: (1)电流输出:共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA六挡可通过按键选择,各挡均为定值不可调节,电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后,直接显示修正后的结果。

外发 雷尼绍测头用凯恩帝宏程序调用顺序及说明

雷尼绍测头用宏程序调用顺序及说明 测头使用步骤: 第一步:梯图编写 (2)梯图编写(M78/M79提前在COD表已经定义好,直接调用即可,选手不做;输入点X12.2触发G11.7也是系统做的,选手无需做;选手要做的就是编写M代码触发和断开输出的编写) M78对应PLC地址:R82.5 M79对应PLC地址:R82.6 (3)接线 特别注意:雷尼绍测头打开需要高电平,但凯恩帝输出信号只能是低电平. 首先凯恩帝系统输入的端子定义是X12.0\X12.1\....X15.7,分线器上面没有直接标出输入的名称而是用数字代替,1代表X12.0,2代表X12.1,3代表X12.2,依次类推...... 其次凯恩帝系统输出的端子定义是Y12.0\Y12.1\....Y15.7,继电器板上面没有直接标

出输入的名称而是用数字代替,由于采用继电器板,一个输出口要对应三个端子,1代表输出Y12.0公共端,可以是0V 也可以是24V ,1NC 代表输出Y12.0常闭,1N 代表输出Y12.0常开;2代表输出Y12.1公共端,可以是0V 也可以是24V ,2NC 代表输出Y12.1常闭,2N 代表输出Y12.1常开,依次类推......,17代表输出Y14.0公共端,接24V ,17NC 代 表输出Y14.0常闭,17N 代表输出Y14.0常开,测头开信号直接接在17N 即可 最后了解雷尼绍接线,如下图: 特别说明:雷尼绍测头开启是要输入高电平的Y14.0,但是凯恩帝系统输出均为低电平,此时如果用的普通分线器,只能通过继电器转接;但是如果用的是继电器板,就不用转接了,实际比赛用的是继电器板,所以不涉及外加继电器转接的问题。 (4)诊断

雷尼绍探针头程序文件

O8810 (WEB MEAS.) (TOOL CHOICE) M19 (SPINDLE ORIENTATION) G90 G80 G40 G0 (PREPARATORY CODE) G59 X0. Y0. G43 H20 Z50. (ACTIVATE OFFSET TO 100MM ABOVE) G65 P9014 Z-8. F1000 (PROTECTED MOVE) G65 P9010 X365. S1. (WEB MEAS.) G65 P9014 X-30. F3000 G65 P9010 Y255. S1. G65 P9014 Z100. F3000 (REFERENCE RETURN) (CANCEL OFFSET) M99 (PROGRAM END) O9010 (REN WEB PKT) G90 G80 G40 M98 P9724 #9=#109 #1=#5041 #2=#5042 #15=#5021 #16=#5022 #118=#0 IF[#24 EQ #0] GOTO3 IF[#25 NE #0] GOTO16 #7=#24 #4=#500 IF[#26 EQ #0] GOTO2 IF[#18 NE #0] GOTO1 #18=5.0*#9 N1 #118=#24/2+#4+#18 N2 G65 P9705 D[#24] Q[#17] Z[#26] F[#9] GOTO6 N3 IF[#25 EQ #0] GOTO16 #7=#25 #4=#502 IF[#26 EQ #0] GOTO5 IF[#18 NE #0] GOTO4 #18=5.0*#9 N4 #118=#25/2+#4+#18 N5 G65 P9704 D[#25] Q[#17] Z[#26] F[#9] N6 IF[#145 NE 0.0] GOTO17 IF[#26 EQ #0] GOTO7

雷尼绍测头系统在西门子840D系统中的应用

雷尼绍测头系统在西门子840D系统中的应用 摘要:本文详细阐述了雷尼绍OMP60测头系统与西门子840D系统加工中心配 合实现夹具与工件测量方法,包括参数设置、测头校正和测量循环的应用。 关键词:雷尼绍测头;OMP60;在线测量;数控机床 1、引言 在加工中使用的测量探头可进一步提高产品精度和质量的保证能力,现加工 设备上使用的测量探头主要有雷尼绍、寻边器、3D测量仪三种,其中雷尼绍具有自动测量、精度高的特点,对该测头及衍生出的在线测量系统的编程应用及其扩 展应用研究和使用经验均比较缺乏,目前应用范围也相对狭窄。本文主要对高精 度测量测头的应用进行进一步研究,扩展了其应用范围及形成规范的测量程序, 提高了产品质量保证能力。 2、测量系统及原理 2.1测头系统连接 OMP60测头系统主要由刀柄、测针、测头和光学接收器组成,光学接收器主 要用于传输和处理工件检测测头与数控系统之间的信号,其用于测量工件的测头 系统连接示意图(图1)。 图1系统连接示意图 2.2 测量原理 测头的工作原理:在测头内部有一个闭合的有源电路,该电路与一个特殊的 触发机构相连接,只要触发机构产生触发动作,就会引起电路状态变化并发出声 光信号,指示测头的工作状态;触发机构产生触发动作的唯一条件是测头的测针 产生微小的摆动或向测头内部移动,当测头连接在机床主轴上并随主轴移动时, 只要测针上的触头在任意方向与工件(任何固体材料)表面接触,使测针产生微 小的摆动或移动,都会立即导致测头产生声光信号,通过电缆向外输出一个经过 光电隔离的电压变化状态信号。 3、测头标定 3.1 标定目的 安装测头至主轴前,必须在加工系统中输入测头的参数,参数包含测球半径、刀具长度、刀具号,在进行标定之前需在机床上将测头探针的跳动调至0.005mm 范围内。 使用前测头必须进行标定测量,因为测头装配在刀柄上测头探针不可能准确 地位于主轴线上且刀具长度测量也存在误差,工件测头只是机床通讯测量系统的 一个组件,系统的每一个部分都能引入一个测针触发位置与报告给机床的位置之 间的常量。如果测头未进行标定,该常量值将在测量中产生误差。标定测头就是 允许测量软件对该常量进行补偿,常量自动存储在数据块GUD6内。 以下情况需对测头进行标定 第一次使用测头系统; 1) 测头上安装新的测针; 2) 怀疑测针变形或测头发生碰撞; 3) 定期补偿机床机械变化;

一种四探针法测量粉末电导率的介绍说明

一种四探针法测量粉末电导率的介绍说明 适用范围广泛用于:Applicable scope is widely used 锂离子电池用炭复合磷酸铁锂正极材料电阻率的测量;也应用于需要采用四探针法测量的导体或半导体粉末材料的分析与检测;也常用于石墨类粉状材料电阻率的测量;广泛应用于国内外企业品质检测;研发部门,大中专院校;科研院所;及质量检测机构. 功能概述:Functional overview 1.采用高精度集成电路模块;全自动化焊接电路. 2. 4.3吋液晶显示器,薄膜按键操作,自带温度. 3.高精恒直流恒流源系统. 4.四探针法测量模式--单电测量 5.中英两种语言版本选择. 6.手动液压加压 7. 超量程报警 8.上下限设定警报功能. 9.人体工学设计 10.选购:PC软件. 原理: Principle:

一定量的粉体,在液压动力下压缩体积至设定压力值或压强,无需取出,在线测量粉体电阻、电阻率、电导率,并记录数据. 解决粉体难压片成型或压片取出测量误差. 应用说明: 1.锂离子电池用炭复合磷酸铁锂正极材料粉末电导率的测定方法中用于仲裁方法的四探针法要求 2.四点探针法测试电导率的方法 满足标准: Meet Standard 1)四点探针测试仪满足GB/T 1551、GB/T1552-1995,ASTM F84美国A.S.T.M 标准。 2)四探针法粉末测试平台依据GBT 30835-2014《锂离子电池用炭复合磷酸铁锂正极材料》中关于粉末电导率的测定方法中用于仲裁方法的四探针法要求制作. 技术参数资料Technical Parameters

步骤及流程 1.运行高度清零

雷尼绍测头使用经验总结

//优先级别:红、绿、蓝、黑 1.测头刀长 有补偿路径时需要将测头刀长设为基准刀长,且测头刀长不能虚设必须为其实际刀长。由于测头不能在对刀仪上进行对刀,要想利用已知的刀具长度进行计算,只需要在同一个基准面上进行对刀,得到的Z向原点差值即为刀长之差。 1.在刀具设置中将“对刀基准与对刀仪原点间距”和“机外对刀刀长换算参数”清零; 2.使用测头在工件表面对刀,记下机床坐标Z1; 3.换刀,用一把加工刀具在工件表面同样位置对刀记下机床坐标Z2; 4.对刀设为当前刀具刀长,并在刀具设置中记下刀长Z3 5.测头刀长=Z3-(Z2-Z1); 一般测头比加工刀具长,所以算出的测头刀长的绝对值小于加工刀具刀长的绝对值。 在45系统T213版本的升级说明中给出了刀具参数的设置流程,有些同事只知其然,不知其所以然,其实只要理解了刀具长度的换算关系,不止一种方法可以得到测头刀长。 2.测头使用过程中常见的异常报警 1)b08-c:12位扩展输入信号暂停。可能是测头信号设置错误、接收器被遮挡、在移动过程中碰到障碍物或者电量不足。测头电量不足时,马波斯测头信号灯黄橙闪烁,雷尼绍测头蓝绿或蓝色闪烁。 2)310-0:碰触过程中没有发现任何信号。需要修正测量点位置或者增大探测距离,目前45系统中允许的最大探测距离为40mm。 3)313-100:碰触回退后信号未消除。说明回退距离太小或者搜索速度过大,两者之间的数值关系应为:回退距离=搜索速度/2+0.05。一般建议首次测量速度不小于0.4mm,45系统中默认的是两次触碰模式,即先以搜索速度碰触到工件后再回退一段距离,然后以准确测量速度进行探测,第二次触碰到的位置才会保存在测量结果中;使用单次触碰模式可以提高探测效率,但测量精度会下降,可在一些对测量精度要求不高的情况下使用。 4)311-0:测头信号异常。需要确认当前测头状态是否正确。 5)路径类型与刀具类型不符。探测路径使用的刀具必须与设备参数设置里接触式测头设置的占用刀位一致。 6)数据已经被更新,不能重复更新。检查测量点编号或者数值保存编号是否重复使用。 7)计算源数据无效,不可使用。测量计算中使用了还未探测的点或者未赋值的数值编号。 8)计算源数据不足。计算角度、中心等使用的测量点数不够。 9)尺寸超差。测量结果超出允许的误差范围,若相差数值比较异常需要仔细检查测量点的设置、属性等。 3.测头安全操作及保养 1)测头接线或拆线之前要先断掉电源,接完线后应先检查线路再给机床上电,拆掉测头模块后应在机床配置参数中退选“允许接触式测头”。 2)未经JD45Test调试的测头不能使用,调试正常后最好进加工界面确认一下测头能

雷尼绍CNC探头编程步骤V01

雷尼绍探头使用介绍 第一草探头程序编程 第一节编探点程序 1?定原点,找各探点坐标值 先在UG软件里定好工件坐标系原点,然后用UG软件将需要探点的位 置的点(X Y Z)找出来,记录下来,以编探点程序用。 2?编探点程序(探点程序的名字自己定如:06666) 探点程序里面控制探头的移动需要调用两个重要的探头运算程序09810 和09811。探点程序格式案例:(以下是编探Z点的案例) % O6666(PROBE) G91G28Z0 G90 GO G17 G40 G49 G69 G80 (快速定位到到G54坐标系中的要探点的第一个点上方) 主轴定位,S是让主轴转一个角度,如果是探Z轴方向的点, 就不需要,如 果是探侧面,就需要S,即转角度,使探头在探各侧面时都是使用探针红宝石球的一个面测量,减小 M05 M17 (open probe)(打开探头,这个指令是由接线时接到相应端口决定的) G43 Z50.H11 G90G00Z50.(建立刀长,即读取探头的长度)(探头快速下到Z50.的位置) M6 T11 (探头装在T11刀座上,换T11号探头到主轴上)G90 G00 G54 X-18. Y50. M19 (S_ ) (

N1(Z+ P0INT1) G65P9810 X-18. Y50. F3000. G65P9810 Z19.(测第一个点的Z值) (安全快速定位到第一个点的X Y位置,速度为F3000.)(安全快速定位到第一个点上方的安全的Z位置,速度同

上,此处高度一般离下面要测的点3MM) (安全慢速到达第一个探点的Z位置,另外,此步探完点后, 会自动的返回到上一步Z19.0 的位置) (#142为第一个探点的理论Z16.08与实际探得的“ Z实”的差值, 它是在0981俚面自动计算,然后传递给#142,#142 再将所得的值传递给#601,#601为第一个点Z向要补尝的值)安全快速移到安全高度Z20. 的位置) (测第二个点的Z值) (安全快速定位到第二个点的X Y位置,速度为F3000.) (安全快速定位到第二个点上方的安全的Z位置,速度同上,此处高度一般离下面要测的点3MM) (安全慢速到达第二个探点的Z位置,另外,此步探完点后,会自动的返回到上一步Z19.0的位置) 为第二个探点的理论Z16.08与实际探得的“ Z实”的差值, 它是在09811里面自动计算,然后传递给#142,#142 再将所得的值传递给#601,#601为第二个点Z向要补尝的值) 安全快速移到安全高度Z20. 的位置) N3(Z+ POINT1) G65P9810 X12.5 Y51.1 F3000. G65P9810 Z19. G65P9811 Z16.08 #603=#142 G65P9810 Z20. N4(Z+ POINT1) G65P9810 X12.2 Y49.2 F3000. G65P9810 Z16. G65P9811 Z13.73 #604=#142 G65P9810 Z35. (测第三个点的Z 值) (测第四个点的Z 值) N16(Z+ POINT1) G65P9810 X-16.5 Y-18.2 F3000. G65P9810 Z16. G65P9811 Z14.23 (测第十六个点的Z 值) G65P9811 Z16.08 #601=#142 G65P9810 Z20. N2(Z+ POINT1) G65P9810 X-16.5 Y48.3 F3000. G65P9810 Z17. G65P9811 Z14.23 #602=#142 #142 G65P9810 Z35.

SZT-2A四探针测试仪使用说明书[资料]

SZT-2A四探针测试仪使用说明书[资料] SZT-2A四探针测试仪 使用说明书一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置,配上专用的四探针测试架,即可以测量片状,块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。四探针测试架有电动,手动,手持三种可以选配,另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中,低阻阻值。 仪器由主机,测试架等部份组成,测试结果由液晶显示器显示,同时,液晶显示器还显示测量类型(电阻率,方块电阻和电阻)以及探头修正系数,主机由开关电源,DC/DC变换器,高灵敏度电压测量部份,高稳定度恒流源,和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路,所以仪器可靠性高,测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针,定位准确,游移率小,使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂,半导体器件厂,科研单位,高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为: 温度: 23? ?3? 相对湿度: 50%~70% 工作室内应无强磁场干扰,不与高频设备共用电源。 二,技术参数 1,测量范围

5 电阻率: 10??-10?-cm 5 方块电阻 10??- 10?/? -5电阻 10?- 10 ? 2,可测半导体材尺寸 直径: Ф15-100mm 长(或高)度: ?400mm 3,测量方位 轴向,径向均可 4,数字电压表: ,1, 量程:20mV,200mV,2V ,2, 误差:?0.5%读数?2字 ,3, 输入阻抗:>10?? ,4, 最大分辨率:10μV ,5, 点阵液晶显示,过载显示。 5,恒流源: ,1, 电流输出:共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择,各挡均为定值不可调节,电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后,直接显示修正后的结果。 ,2, 误差: ?0.5%?2字。 6,四探针测试头; (1) 探针间距: 1mm (2) 探针机械游移率: ?1.0% (3) 探针材料: 碳化钨,Ф0.5mm (4) 0-2Kg可调,最大压力约2Kg 7, 电源:

雷尼绍测头的应用

1 绪论 1.1 研究背景 随着科技、生产的快速发展,测量技术日益显著。而相当长的时间内,测量基本上是静态的,即测量对象在测量过程中不变化或没有明显变化,同时,测量大多是“离线”的,而不是“在线”的,即不是在生产制造过程中实现。比如,对于生产,离线的静态测量只能对零部件和成品分别进行检测;而对生产加工的过程则无能为力。如果能对生产制造过程加以检测,即进行所谓的“在线测量”,则不仅可以保证产品质量、增加产量,降低消耗、减少成本、提高效率,而且还可以随时监测甚至排除生产中的潜在问题,保证生产顺利进行。 国际上,上世纪60 年代后期开始,在机测量技术便引起了人们的关注。这一方面是由于科技、生产和社会发展的需要,尤其是质量和效益的挑战;另一方面则是由于传感器技术、微型计算机技术、自动控制技术和图像识别技术等的进展,为在机测量的实现提供了必要的条件。1974 年召开的第一次在机测量国际会议,进一步引起了全世界各国的普遍关注,对在机测量技术的开发与应用起了有力作用。 近年来,基于接触式、非接触式等各种测头的在机测量技术在现代工业领域被广泛应用。触发式测头在国外发展较早,技术也都相对成熟,测头的位置坐标主要通过加工设备的控制系统存储,其精度主要取决于加工设备的定位精度。因此,为了得到较高的测量精度,国内外的研究大多都是采用国外的数控系统和加工设备,比如:FANUC 数控系统等而随着国内加工设备的精度提升,此次采用北京精雕控制系统及其北京精雕高速雕刻中心来完成测头的在机测量研究。对于非接触式测量方式,激光扫描法相对成熟,比如国外大多采用FANUC 数控加工中心上配激光测头,使其附加了数控测量功能,实现了三轴机床上的在机测量。 随着加工技术的飞速发展,数控机床在生产中的应用越来越广泛。虽然机床按程序执行,但加工时间短,效率高,但工件对准、检查等辅助加工时间没有缩短,甚至占整个加工过程的1/3 以上。面对这些问题,使用Renishaw 探头不仅避免了重复编程,节省了编程和调试时间,还具有机器测量功能,保证了机床生产和操作的可靠性,保证了产品加工尺寸精度。 1.2 雷尼绍测头在机测量介绍 在数控加工过程中,有很多时间被工件的装夹找正及刀具尺寸的测量所占去。 采用工件测头系统,可在机床上快速、准确测量工件的位置,直接把测量结果反馈到数控系统中修正机床的工件坐标系。若机床具有数控转台,还可由测头自动找正工件基准面,自动

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