年产1200吨多晶硅还原车间项目可行性研究报告

年产1200吨多晶硅还原车间项目可行性研究报告

目录

第一章总论 (1)

1.1 概述 (1)

1.2 项目的建设条件 (3)

1.3 本项目设计方案 (5)

1.4 项目的综合经济效果 (6)

第二章多晶硅市场分析 (8)

2.1 多晶硅的产品市场 (8)

2.2 原料、辅助材料及动力. (11)

2.3 企业竞争能力分析 (12)

第三章多晶硅项目的基本方案 (13)

3.1 概述 (13)

3.2 设计产能及生产配臵 (13)

3.3 生产工艺 (17)

第四章土建工程及辅助设施 (21)

4.1 主要土建工程有(合同签定之后再行设计)： (21)

第五章环境保护、消防、节能、劳动安全及卫生防护. 22

5.1 污染物排放及治理措施 (22)

5.2 消防 (23)

5.3 节能 (23)

5.4 劳动安全及卫生防护 (23)

第六章投资概算 (24)

6.1 概述 (24)

6.2 编制依据 (24)

6.3 投资分析 (24)

6.4 结合概算与总概算 (25)

第七章技术经济 (26)

7.1 概述 (26)

7.2 综合经济评估 (27)

第一章总论

1.1 概述

1.1.1 本项目制作依据

受内蒙古硅业科技有限公司之委托制作。

1.1.2 项目提出的前景

1.1.

2.1 多晶硅市场的需求

●多晶硅的用途

多晶硅通称为高纯硅，是制备半导体单晶硅的原料。工业上通常把多晶硅及单晶硅统称为高纯或超纯硅，以别于单质硅。其主要用途如下：

一、用于整流器件：目前有各种容量的硅整流器，已取代了或部分取代以前的直流电源，如直流发电机、铅蓄电池、汞整流器与硒整流器等；

二、用于二极管：其它晶体管及集成电路，基本上取代了过去各种类型的电子管；

三、用于可控硅整流元件：已广泛用于电子技术部门；

四、用于各种无线电器材：计算机及自动化元件上的检波器和高频振荡转化器；

五、用于太阳能电池：将太阳能转换电能；估计太阳能电池的用硅量约占整个硅用量的5%；

六、用于原子能电池：将放射性废物的辐射能转变为电能；

七、用于探测元件：放射性强度测定仪中采用；

八、用于红外线测试设备：用作红外透镜或滤色片；

九、用于光电池：以硅为基底的P－N型光电池效率高；

十、硅及其它半导体材料：还广泛用作热敏电阻、光敏电阻、温差电偶、半导体铁磁体以及半导体致冷器等方面。

●国内外市场对多晶硅的需求

随着光伏产业的迅猛发展和欧洲太阳能市场的迅速扩大，太阳能电池对多晶硅需求量增长迅速。从2006年开始太阳能级和半导体级多晶硅需求均有缺口，其中太阳能级产能缺口更大。从长远来看，考虑到未来石化能源的短缺和各国对太阳能产业的大力支持，多晶硅的需求仍将持续增长。预计到2010年，全球多晶硅的缺口量将高达26200吨。由于多晶硅供给严重不足，导致全球多晶硅价格不断上涨，目前国内已达275万元/吨。

●多晶硅市场的质量要求

由于杂质的存在大大影响多晶硅的物理及化学性能，因此目前多晶硅市场对多晶硅纯度的要求较高：太阳能级的一般要求5～8个9，即99.999%以上，电子级的一般要求9～11个9，即99.9999999%以上。这不仅给制备工艺提出了难题，也给制造环境提出了更高的要求。也正因为如此，现在在国内能生产多晶硅的厂家寥寥无几。

1.1.

2.2 项目进行的优势

内蒙古煤业集团公司、内蒙古能源集团公司和浙江电子有限

公司有着一般企业无法比拟的优势，有内蒙古能源集团公司配臵科学合理的煤、电、硅产业，以及浙江湖州新元泰微电子有限公司良好的技术条件和管理经验，人员素质高，资源优势等客观条件好。多晶硅项目完成后还可以进一步加工成各种电子元器件以及单晶硅，在单晶硅的基础上还可以进行IC的刻制成各种IC芯片，产业链不仅长，而且产业分支多，这样可以使企业保持旺盛的发展势头，获得更好的经济效益。

1.1.3本项目的主要内容

新建一座年产1200吨多晶硅的还原车间，其中包括：

●采用改良西门子法生产多晶硅的还原车间

●三氯氢硅净化除杂车间

●氢气净化车间

●化验室

●变电所

●办公楼及附属配臵

1.1.4 项目的基本原则

充分利用某能源集团公司低成本的煤及电力资源和未来铝工业园区内危险品站台，在工业园内建厂，以节约投资，提高工作效率。

1.2 项目的建设条件

1.2.1 生产工艺条件

由某能源集团公司供应成本低廉的电力，由浙江湖州新元泰微电子有限公司负责多晶硅厂的建设及专有的生产技术，以及聘用多晶硅生产工艺师和熟悉多晶硅生产的相关技术和操作人员及管理人员，以保证先进的技术经济指标和优良的产品质量。1.2.2 电力供应条件

在某能源集团公司经过一次变压(66KV)后，传输到铝工业园区的霍煤源源硅业科技有限公司后经二次变压(380V)，直接进行生产多晶硅。

1.2.3 主要原材料供应条件

1200吨多晶硅所需的17820吨三氯氢硅、780万立方米氢气、20公斤钼丝以及500公斤硅初棒等全部外购

1.2.4 其它建设条件

新增42m×300m多晶硅还原厂房及12对多晶硅还原炉，即可生产24个硅棒，以及扩散炉一套。

新增35m×1.5m原料库。

新增18m×145m三氯氢硅除杂净化、精制车间及净化、精制设备一套。

新增18m×110m氢气净化车间及净化设备一套。

新增42m×65m酸洗车间及酸洗设备两套。

新增35m×100m废气、废物回收车间及回收设备一套。

新增42m×65m烘干车间及烘干设备三套。

新增42m×65m切断车间及裁切机两套。

新增42m×65m铸造车间及铸锭炉一套。

新增35m×45m来料化验室及成品化验室各一间，来料及成品检测设备若干。

新增55m×90m成品库。

1.3 本项目设计方案

1.3.1 生产规模和产品

●设计生产规模为多晶硅1200吨/年

●产品质量：全部产品硅含量纯度均≥99.9999999%

●硅铸锭及硅片

1.3.2 项目工程布局

●多晶硅还原车间(包括扩散设备)：设臵于厂区中西部，与上下游车间紧凑建设，便于中间品与产品的运输；

●三氯氢硅精制车间与氢气净化车间并列建设，通过管道将三氯氢硅及氢气输送到还原车间的化学蒸发沉积反应器(即还原炉)内进行还原；

●沉积出的多晶硅棒，要运抵酸洗车间进行酸洗，然后到烘干设备里进行烘干，在裁切机上裁切成所需长度尺寸，然后进行铸造，铸造成所需尺寸的硅棒，进实验室进行检测，然后合格品包装、入库、待出货；

●将还原阶段产生的废物输送到废物回收车间进行回收再利用，以提高原材料的利用率。

1.3.3 生产工艺流程

采用改良西门子法生产多晶硅。

设计建12对还原炉生产多晶硅，以提高电能利用率。

其工艺流程详见第三章。

1.3.4 环境保护

本项目工程高度重视环境保护，生产过程中几乎不产生废渣，废液通过回收、氢化等手段可以回收利用，因此几乎也不产生废液，废气主要是氢气，可以回收利用，以提高氢的利用率。少许废气通过烟气净化系统粉尘净化率可达99%以上，经过净化后的各种污染物均可达到或低于GB16279-1996《大气污染综合排放标准》要求。

1.3.5 项目实施方案

本项目从批准并签定合同之日起6个月内投产。设备、物料、结构制作，土建同时进行以提高速度，争取尽早投产。

1.4 项目的综合经济效果

1.4.1 项目总投资

12亿元人民币(产能1200吨/年)

1.4.2 项目的经济效益

年效益：13.7948亿元人民币(按现行价格计算1200吨/年产量)，10个月即可收回全部投资。

1.4.3 主要技术经济指标

●电流效率： 98%

●交流电耗： 300000KWH/t.Si

●化学蒸发沉积反应器内温度： 1050～1150℃

●每对还原炉日生产能力： 330kg/台.d

1.4.4 综合评价

本项目多晶硅产品市场巨大，工艺技术先进、成熟、可靠。投产后可以根据市场需求逐步扩大产能及上下游产品(如三氯氢硅、单晶硅以及太阳能电池等)，形成优良的产业链，发挥规模效益的优势，并在生产中不断创新进一步提高经济指标和经济效益，增强企业市场的竞争力。

本项目最大限度的利用某能源集团公司成本低廉的煤和电，和浙江湖州新元泰微电子有限公司的先进技术和管理经验，投资预算合理，见效快，回报期短，利税高，具有较强的抗风险能力。

综上所述，由于该项目具有较高的经济效益和社会效益，具有相当好的市场和极为有利的资源，具有较强的竞争优势和抗风险能力，因此是可行的，应尽快投入建设，抓住发展机遇，早日投产。