精密加工和超精密加工技术综述

精密加工和超精密加工技术综述

作者：王先逵;吴丹;刘成颖

作者机构：清华大学;清华大学

来源：中国机械工程

ISSN：1004-132X

年：1999

卷：000

期：005

页码：570

页数：1

中图分类：TH16－39

正文语种：chi

关键词：精密加工;超精密加工;先进制造技术;机械制造

摘要：论述了精密加工和超精密加工技术的范畴，加工方法，系统结构及其在先进制造技术中的作用和地位；分析了２１世纪初期对它的需求和技术发展趋势，并提出了相应的技术发展前沿，归总了技术发展特点。