国产螺杆真空泵

国产螺杆真空泵
国产螺杆真空泵

国产螺杆真空泵

一、简介:

威海智德真空科技有限公司主要供应设备:

※ DP系列干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、水环真空泵、大型复杂真空机组。

二、原理:

干式螺杆真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。

三、参数

DP系列干式螺杆真空泵

性能特点:

1、工作腔内无任何介质,可获得清洁真空。

2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,可适应恶劣工况。

3、气体在泵内无压缩,适宜抽取可凝性气体。

4、单台泵可从大气抽至1Pa,真空系统可大大简化。

5、水温对真空影响小,节水达90%以上,甚至可以不耗水。

6、不耗油,无滴漏。

7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小。

9、被抽气体直接排出泵体,不污染水,无环保压力,气体回收更便捷。

10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。

抽速曲线:

JZJD系列干式真空机组

结构及特点:

JZJD系列干式真空机组是由常规罗茨真空、干式螺杆真空泵以及阀门、机架、电器控制箱组成的,其中干式螺杆真空泵作为前级真空泵,在达到罗茨真空泵启动压力时,由真空规头及压力变送器控制罗茨真空泵的启停。由于罗茨真空泵及干式螺杆真空泵运转部件均不接触,因此整机具备运转平稳,噪音低,结构紧凑占地面积小等优点。

性能特点:

1:JZJD系列干式真空机组抽气范围广(280-4320m3/h),真空度高(极限压力可达0.01Pa)

2:即使在高真空下依然能保持较大的抽速,满足客户对高真空、大抽速的要求。3:罗茨真空泵与干式螺杆真空泵可根据抽速比,搭配各种组合方案,有效降低能源消耗,达到最佳性价比。

机组型号意义:

双罗茨螺杆真空机组单罗茨螺杆真空机组

例1:JZJD1200-4.2 (ZJ1200/ ZJ300/DP430) 例2:JZJD600-5(ZJ600/DP430)J—机组(汉字拼音ji 的第一个字母)J—机组(汉字拼音ji 的第一个字母)

ZJ—罗茨真空泵ZJ—罗茨真空泵

D—干式螺杆真空泵(前级泵)D—干式螺杆真空泵(前级泵)1200—主泵抽速(抽速L/S)600—主泵抽速(抽速L/S)4—中间泵与主泵抽速比5—主泵与前级泵抽速比

2—中间泵与前级泵抽速比

注:DP430为干式螺杆真空泵,抽速为120L/S

典型应用/案例

石油、化工、生物制药领域油气、溶剂回收

电子、真空镀膜、航空、核工业领域纺织、冶金等行业

石油、化工、生物制药领域

比传统加工工艺的真空度更高,能够在正常工作运转情况下不间断排除从泵进气口进入的液体,完全解决了容积脱除和工作液的排除问题,可获得最干净的真空,实现中间容剂的回收。

具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、工厂普通真空。

油气、溶剂回收

由于泵腔内无油无水,对所抽气体介质无污染,因此在油气、溶剂回收等方面拥有无可比拟的优势

具体应用:油气回收、溶剂回收。

电子、真空镀膜、航空、核工业领域

能够抽除普通空气,易燃易爆气体、腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。

具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。

纺织、冶金等行业

在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵,比其他类型真空泵效率更高、无污染、更节能。

具体应用:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。

售后服务:

从部件采购---部件加工---整体组装,我们对产品进行全过程、全性能检查。为了保证产品的高可靠性和先进性,传动系统的选材均选用国际优质品牌产品。

产品一年的免费上门维修,严格按照客户的要求高质量的完成服务任务。提供各种解决方案供客户选择,做到客户满意。全天候无节假日服务。接到客户故障电话和书面通知后,我们的服务人员将以最快的速度到达现场进行故障排除。

我们将竭尽全力为你您提供最专业最可靠的真空解决方案。

罗茨真空泵技术规范书

罗茨真空泵技术规范书-标准化文件发布号:(9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII

皖能合肥发电有限公司 #5机组凝汽真空系统高效节能改造 技术规范书 编写 审核 批准 皖能合肥发电有限公司 2015年9月

目录 一、总则 (3) 二、改造范围及供货周期 (4) 三、技术要求与性能保证 (5) 四、供货界限及接口规则 (13) 五、供货清单及设备规范 (14) 六、清洁,油漆,包装,装卸,运输与储存 (15) 七、性能验收试验 (15) 八、技术服务 (16) 九、质量保证 (17) 十、设备交货进度 (18) 十一、施工组织管理 (18) 技术规范书 一、总则 1、本规范书适用于皖能合肥发电有限公司#5机组真空系统优化工程。它提出了提出了对采购罗茨真空泵及配套设备的功能设计、结构、性能、安装和试验等方面的技术要求。

2、本规范书提出的是最低限度的技术要求,并未对一切技术要求作出详细规定,也未充分引述有关标准及规范的条文。投标方应保证提供符合本规范书和相关的国际、国内工业标准的优质产品。 3、如投标方没有对本规范书提出书面异议,招标方则可认为投标方提供的产品完全满足本规范书的要求。 4、如招标方有除本规范书以外的其他要求,应以书面形式提出,经招、投标双方讨论、确认后,载于本规范书。 5、本规范书所引用的标准若与投标方所执行的标准发生矛盾时,按较严格的标准执行。 6、本规范书经招、投标双方共同确认和签字后作为订货合同的技术附件,与订货合同正文具有同等效力。 7、在合同签定后,招标方有权因规范、标准、规程发生变化而提出一些补充要求。 二、改造范围及供货周期 1 、皖能合肥发电有限公司#5机组为东方汽轮机有限公司制造的超临界、一次中间再热、单轴、三缸四排汽、双背压、凝汽式汽轮机,额定功率为1× 630MW,#5机配置三台真空泵,型号:2BW4 353-OEK4,生产厂家为广东佛山水泵厂,正常运行电流198A ,为保证机组抽真空系统设备的安全、可靠、节能运行,通过调研拟在#5机组增加二套维持真空泵。 2 、本次真空系统优化拟增加真空泵不改变原抽真空系统的设备及功能,在抽真空母管上并接一套高效真空泵组,蒸汽和不凝结气体进入罗茨泵,加压后经冷却器冷凝进入下级水环泵,由于提高了水环泵的入口压力,可保证水环泵高效稳 定运行。系统采用DCS控制,可实现远程和就地操作。在机组启动建立真空期间,使用原抽真空设备快速启动真空,在正常运行期间,使用罗茨-水环高效真空机组维持真空。 1)水环泵工作水来自除盐水,经自动补水阀进入分离罐,分离罐起汽水分离的作用;

干式真空泵介绍及发展现状

干式真空泵介绍及发展现状 干式真空泵式指泵能从大气压下开始抽气,又能将气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。 目前,大多数机械真空泵都是用油、水或其他流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科技发展及真空应用领域的扩大,原有的真空泵出现了两个急需解决的问题:一是泵的工作解释返流污染被抽容器,在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本;其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,是泵不能正常工作。这时就要用到干式真空泵。 干式真空泵的应用主要有以下几个方面: 1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺 2.半导体刻蚀工艺,在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。 3.除半导体工艺外某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。 4.在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵。 5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。 随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。 为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来,伴随着我国经济持续高速发展,真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头,同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下,我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。 水环式真空泵/液环真空泵的工作原理: 水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2

2X型真空泵说明书

目录 一、概述 (5) 二、结构原理 (6) 三、性能参数 (12) 四、安装尺寸表 (15) 五、拆箱安装 (16) 六、使用说明 (18) 七、维护保养 (19) 八、故障排除 (20) 九、维修 (22)

一、2X型旋片式真空泵的产品用途及使用范围: 1、2X型旋片式真空泵是用以抽除特定密封容器内的气体,使该容器获得一定真空的基本设备,由于现代科学技术的高度发展,真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位,可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。 2、由于旋片式真空泵是用黑色金属制造,而且比较精密,整个泵的工作都是联系在一起的,所以旋片式真空泵不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体,也不可做为压缩机和输送泵使用。如有气镇装置的泵,可抽除一定地的可凝汽体。, 3、旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10~3托以下的真空作业,以及配合其它真空作业之用。 4、旋片式真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。二、2X型旋片式真空泵的结构及原理: 5、图1是旋片式真空泵泵原理图,转子3及7与高真空室外1及低真空室6相切,转子3及7沿箭头方向旋转,带动转子槽内滑动的转片旋转,由于弹簧9及离心力的作用, 转片外端紧贴高低真空室的内表面滑动,把转子与高低真空室所形成的月洼形空间从进气嘴2到排气阀门5和从过气管4到排气阀门10之间分隔开来,形成二或三个容积,并且周期性的大小变化,当在图示旋片式真空泵位置继续旋转时A及C容积逐渐增大,被抽容积气体没进气嘴进入泵内,同时B及D容积逐渐减少,压力升高,随后冲开排气阀门5及10,将气体排出真空室外,气体经过油面而排于大气之中,因为油是淹 住排气门的,故能防止气体返回真空室。当抽气压强较高时,高低真空室的阀门都排气,相当于单级泵,当真空度较高时,全部气体进入真空室,再由排气阀门10排出,此时二级串联即进入双级泵工作。 如被抽除的气体中含有较高的蒸汽气体时,在气体受到压缩而其蒸汽的分压强超过此蒸汽在泵内温度

ZJ-ZJP型罗茨真空泵说明书

JIANG YIN TIANTIAN V ACUUM EQUIPMENT.CO.,LTD. ZJ型 ZJP 型罗茨真空泵 安装 使用 维护 手册 中华人民共和国 江阴天田真空设备制造有限公司 地址:中国江阴云亭工业区B区松文头路19号邮编:214422 电话: 86-0510-******* 销售直线:86-0510-******* 传真: 86-0510-*******

目录 A.安全警告-------------------------------------------------------------------------3 B.概述----------------------------------------------------------------------------4 C.主要技术参数------------------------------------------------------------------ 6 D.安装说明-------------------------------------------------------------------------7 E.使用说明-------------------------------------------------------------------------8 F.维护检查及产品维修--------------------------------------------------------- 9 G.故障原因与消除方法----------------------------------------------------------17 H.易损件表-------------------------------------------------------------------------15 -------------------------------------------------------- 16

干式螺杆真空泵质量及工作原理

干式螺杆真空泵质量及工作原理 干式螺杆泵属于新型的真空泵型,其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。因其独特的设计原理,可做到无油无水,可做耐腐蚀涂层,优良的密封设计,除了价格稍贵一点外,无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。 如何判断干式螺杆真空泵是否合格,可以从以下几个方面判断: 1、极限真空度:当然极限真空度越低越好,目前国产一般在5Pa左右,进口的在1Pa 左右。 2、震动及噪音:震动一定要小,噪音一定要小80分贝内为好。 3、若是有易腐蚀性环境中使用,最好能向厂家要一点同样涂层的样片,拿到厂里放介质溶济里做下试验,每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样,它的性能当然也会有较大差异。 4、密封性:这个也很重要,但也只能从厂家推介说明上了解,最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。 基本上就是以上几点来判断,第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何,这个也将真接影响泵的使用寿命,第三和第四点也会影响其寿命,但也需要实验证明。 总的来说目前螺杆泵因为成本较高,建议还是选用进口的,欧美日韩的相对较贵,台系的其实也是不错的选择。 干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品,主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高,可适应恶劣工况,具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力,特别适宜于洁净环境,且易做防腐处理,特别适用于电子,化工,生物医药,金属加工,食品加工等领域。

1、工作腔内无任何介质,可获得清洁真空 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,可适应恶劣工况 3、气体在泵内无压缩,适宜抽取可凝性气体 4、单台泵可从大气抽至1Pa,真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小,节水达90%以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小 8、结构简单,维护方便。 9、被抽气体直接排出泵体,不污染水,无环保压力,气体回收更便捷。

罗茨真空泵操作规程

罗茨真空泵操作规程 涟水永安化工有限公司生技部 罗茨真空泵操作规程 一开机前检查 1 检查固定螺栓是否有松动,用手转动连轴器数转,应无卡住现象,否则要检查原因。 2 检查油位是否达到要求刻度线,不要过量也不要不足,如不足,要即时添加。 3 检查冷却水管、水环泵进水管是否有水,且是否通畅。 二启动 1 关闭进气阀、水环泵进口的掺气嘴、大气喷射泵掺气嘴。 2 打开冷却水和水环泵进水阀门,在阀门开启前后,断水报警器是否起作用,否则检修。 3首次启动要点动水环泵电机,查看转向是否与标示的方向一致,如果方向相反要从新进行接线。等调试正确后才可以合上电源开关,启动电机。再 打开水环泵工作进水水阀(35升/分),调节至适当水量。 4 打开蝶阀及真空机组的进气阀,对整个系统工作,等系统真空大于等于 -0.094MPa时,再点动罗茨泵电机,查看转向是否与标示的方向一致及运 转有无卡住现象,如果方向相反要从新进行接线。等调试正确后才可以合 上电源开关,启动罗茨泵。 5 机组运行一段时间后,打开大气喷射泵的掺气嘴阀门,让大气喷射泵工作。 三停机 1 关罗茨泵电源;

2 关闭蝶阀; 3 关闭水环泵进水阀门(包括冷却水和工作水进水管阀门),打开泵进口法兰出的掺气阀; 4 关水环泵电源。 5如果停泵时间较长或在温度较低的冬天,必须把冷却水和工作用水排尽。涟水永安化工有限公司生技部 注意: 1 启动罗茨泵前,水环泵应运转正常,延时一段时间再开电源; 2 本机组不允许在缺水的状态下运转,水环泵工作水量要适当控制,水 量过少,将使水环泵真空度下降,水量过多,则使抽速下降,功率增 加。 3 密切注意各泵的油量及油质,在油质恶化时及时更换油并做好记录, 油量不足时及时添加,新泵启用初期,运行250小时换油一次,以后 根据使用情况,确定根换周期。 4 应经常清洁大气喷射泵口掺气嘴阀门处的进气口防尘罩滤网,确保通畅; 5在温度较低的冬天,必须将残留在水套中的冷水排尽; 6 应保持泵房清洁卫生。

干式真空泵装置

(自主)研究开发项目计划书 项目名称VD炉上的干式真空泵组装置 企业名称无锡东雄重型电炉有限公司 企业法人(签名) 项目负责人高建华电话0510-8 项目联系人谢立民电话0510-8 项目起止时间2014 年3月至2014 年8 月填报日期2014年10月20日

一、立项依据 1.国内外现状、水平和发展趋势: 真空脱气处理工艺,作为炉外精炼的一种,在冶金工业得到广泛使用。其原理利用对真空室进行抽真空,在真空状态下 对钢水进行脱气,降低钢水中的[H]、[N],同时利用钢渣界面 反应进行脱硫处理。在大型现代化冶金生产中,VD钢包真空 精炼已成为现代二次冶金的基本手段。在世界钢铁冶炼技术 中,VD钢包真空精炼炉作为钢铁企业生产高洁净度钢水的必 备精炼装置,其应用可直接影响产品结构和钢材品质的优化提 升;而在全球VD精炼工艺100多年的发展应用中,尤其是国 内的近二十年,全部采用的是成熟的湿法(以蒸汽为动力的蒸 汽喷射泵)抽真空技术。 钢水真空脱气(VD)及真空氧脱碳(VOD)是两个主要二次炼钢法。处理时钢水中会逸出大量溶解杂质气体并产生金属细粉及氧化物粉尘,因而需采用坚固、抽力极大的真空抽吸设备。目前面世的最新干式机械真空抽吸设备之所以比先前所用同类用途设备优越,就在于新设备能更有效地排除粉尘、提高抽吸速度、降低生产成本及维护费用。干式(机械)真空泵与蒸汽喷射泵的最大区别在于驱动能源,前者采用电能,而后者则采用蒸汽。然而,炼钢生产本身就是钢铁流程中最为复杂的工序之一,其中精炼又是炼钢工序中技术最密集的环节,从工艺到技术结构上都有巨大的挑战。 2.项目开发的目的、意义 目前,无论是新建设备,还是已有设备的升级,对真空脱气处理的项目投资都在继续增加,其原因是厂家们看准了这种投资带来的机遇:提高产品质量,推出独具特色的钢就能使钢

SK水环真空泵说明书

SK水环真空泵说明书 一、用途及使用范围 SK系列水环工真空泵及压缩机是用来抽吸或压送气体和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体,以便在密闭容器中形成真空或压力,从而满足具体工艺流程要求的设备。吸入或压送的气体中允许含有少量液体。 SK系列水环式真空泵及压缩机广泛应用于机械、石油、化工、制药、食品、陶瓷、制糖、印染、冶金、环保及电子等行业。 由于在工作过程中,该类泵对气体的压缩是在等温状态下进行的,因此在压送或抽吸易燃、易爆的气体时,不易发生危险,所以其应用更加广泛。 泵型号说明。例如:SK-12 SK表示为水环真空泵;12表示该泵的最大抽气量为12m3/min(立方米/分钟) 二、工作原理 如图(1)所示,叶轮3偏心地安装在泵体2内,起动时向泵内注入一定高度的水作为工作液,当叶轮3按图示方向旋转时,水受离心力的作用在泵体内壁形成一旋转的封闭水环5,水环上部内表面与轮毂相切,水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端盖上的吸气口相通,其空间内的气体压力降低,此时气体被吸入,当吸气终也时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮在180°到360°的旋转过程中,水环内表面渐渐与轮毂靠近,小腔由大变小,其空间内气体压力升高,高于排气口压力时,当小腔与排气口相通时,气体被排出。 叶轮每旋转一周,叶片间空间(小腔)吸、排气一次,若干小腔不停地工作,如此往复,泵就连续不断地抽吸或压送气体。 由于在工作过程中,做功产生热量,会使工作水环发热,同时一部分水和气体一起被排走,因此,在工作过程中,必须不断地给泵供水,以冷却和补充泵内消耗的水,满足泵的工作要求。当泵排出的气体不再利用时,在泵排气口一端接有汽水分离器(可自己制作一水箱代替),废气和所带的部分水排入汽水分离器后,气体由排气管排出,水由于重力作用留在分离器内并经

各种真空泵原理及使用说明

罗茨式真空机组的工作原理说明 JZJS罗茨水环真空机组是以罗茨泵为主泵,以水环泵为前级泵串联而成的。罗茨水环真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利,它克服了单台水环泵使用时极限压力差(机组的极限压力比水环泵有很大的提高),在一定压力下抽气速率低的缺点,同时保留了罗茨泵能迅速工作,有较大抽气速率的优点。尤其能够适应抽除大量的可凝性蒸汽,特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够,或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能,或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。当配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下,还可抽除易燃易爆的气体。因此罗茨泵-水环泵机组广泛地用于化工行业中的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶;食品行业中的冷冻干燥;医药工业的真空干燥;轻纺工业的涤纶切片;高空模拟试验等的抽真空系统中。 罗茨水环真空机组,大致有如下几种类型: (1)罗茨泵-水环泵:机组中水环泵的作用是造成罗茨泵所需的预备真空,一般情况,单级水环泵极限真空度不高,而目前我国生产的罗茨泵要求的预真空又较高,故实际上一般不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵,而用极限压力较低的双级水环泵作为前级泵使用,还可以降低机组的极限压力。 (2)一台罗茨泵与一台水环泵的极限压力是400P a,可满足一般的真空需求,但使用范围受到一定限制,若用两台罗茨泵串联再与水环泵组合,就能大大提高机组的极限压力(可达25P a)。故在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵(图1)组成机组。如果需要更高的极限压力,可用三台罗茨泵与水环泵组合,它的极限压力可达1Pa。 (3)如果三级罗茨水环机组还不能满足极限压力时,可采用罗茨泵-水环泵并联机械真空泵;此机组主要用于需要处理大量水蒸汽,时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统,例如在真空干燥方面。

WLW系列立式真空泵使用说明书

目录 一、概述 (1) 二、用途 (1) 三、附属设备 (1) 四、型号、规格、参数 (2) 五、结构与工作原理 (2) 六、外形与地基尺寸 (4) 七、安装 (15) 八、操作 (15) 九、维护和保养 (16) 十、常用配件拆卸与装配 (18) 十一、故障排除 (19) 十二、易损件 (20)

一、概述 WLW系列为无油(耐腐)立式往复真空泵,是我厂与科研单位联合开发并经十余年不断改进的成熟产品,其主要优点是(与W型卧式往复泵比较): 1、极限真空度高(4.5-15mmHg) 2、无油润滑,可获得洁净真空,并利于尾气的洁净回收。 3、节能(33%),节水(50%),节省占地面积(66%)。 4、气阀轴向布置,使用寿命长(4-10倍)。 5、振动小,噪音低。 6、外形简洁美观,操作、维修方便。 7、WLW-B系列采用全无油结构及四氟类密封材料、能耐各类有机溶剂。 8、WLW-F、T系列采用不锈钢、钛材料、能耐各类、酸、碱、有机溶剂腐蚀。 二、用途 本厂生产的WLW系列立式往复真空泵广泛应用于制药、化工、食品等行业的真空输送提料、提炼、蒸馏、浓缩、真空包装、干燥、气体解析、尾气回收等场合,是取代W型卧式往复泵、水环式真空泵的理想产品。 三、附属设备 1、过滤器: (1)当被抽气体含粉尘或固体物料时。 (2)新安装管道系统(法兰式过滤器,用户根据现场情况向我厂订购) 2、冷凝器: (1)当被抽气体含大量可凝性气体时; (2)当被抽气体温度超过65℃时。 3、阻液器:当被抽气体中有大量液体时。 4、中和罐:当被抽气体具有腐蚀性时(WLW-F/T除外)。 5、膨胀节:为避免振动、温差引起管道法兰泄漏,避免管道安装应 力。WLW300及以上型号必须安装。 6、缓冲罐:为避免泵的启动冲击。

干式真空泵

干式真空 --个人整理、总结

目录 干式真空泵及现状 1.往复式干泵 (3) 2.爪式干泵 (4) 3.多级罗茨泵 (5) 4.干式螺杆真空泵 (5) 5.涡旋干泵 (7) 6.涡轮式干泵 (8) 7.分子泵 (9)

干式真空泵是清洁真空获得设备的代表,在各类真空泵的市场份额中占23%,年增长率超过15%。干式泵的主要应用领域有半导体、化工、薄膜、仪器、医药、食品等行业。 1.往复式干泵 往复式干泵是往复式真空泵(又称活塞式真空 泵)的一种,依靠气缸内的活塞作往复式运动来吸 入和排出气体。 往复式干泵的主要特点是①结构简单,易于操 作,价格便宜;②工作过程中不产生粉尘;③耐粉 尘,排水蒸气压力强;④流量跨度较大。但这种泵 又具有往复式真空泵易损件多,寿命短,可靠性 差,效率低等特点。往复式干泵最常见的就是活塞 干泵(Dry Piston Vacuum Pump)和无油隔膜泵(Oil-Free Diaphragm Pump)可抽除He,H2,Ar和N2等气体,可作为涡轮分子泵、低温泵的粗抽泵和前级泵使用。 活塞干泵(Dry Piston Vacuum Pump)的典型代表为莱宝(EcoDry系列)和普发(Pfeiffer XtraDry系列)。EcoDry系列泵,流量在11m3/hr至48m3/hr之间,极限真空度为5.5Pa。XtraDry系列泵,两级活塞泵流量为13m3/hr,极限真空度为103Pa(10mbar),四级活塞泵流量为7.5m3/hr,极限真空度为10Pa。主要作为气体分析泵及高真空泵的前级泵使用。 无油隔膜泵(Oil-Free Diaphragm Pump)主要有普发(Pfeiffer)的MVP系列,凯孚(KNF)的Laboport系列以及莱宝(Leybold)的DiVac系列。此类泵主要应用在实验室及作为分子泵的前级泵使用。实验室应用主要有旋转蒸发器(rotary evaporators)、真空干燥箱(drying chambers)、真空过滤设备(filtration units)、真空蒸馏设备(vacuum distillation configurations)、凝胶干燥(gel drying)、真空升华(sublimation)、疏散真空干燥(evacuating desiccators)、分析仪器(analysis preparation)、流体灭菌(stream sterilization)、小样本真空冷冻干燥(small sample freeze drying)及其他医疗应用。作前级泵主要有质谱分析仪(Mass Spectrum Analysis)、ICP_MS测试仪、清罐仪及电子加速器等。

无油隔膜真空泵使用手册.

无油隔膜真空泵使用说明书 目录 一、概述 二、工作原理 三、产品特点 四、规格指标 五、使用步骤 六、注意事项 七、故障分析与排除 八、皮膜的保养与更换 九、保险管的更换 十、客户回执 一、概述 我公司生产的无油真空泵系列包括:AP-01P 、AP-01D 、AP-02B 、AP- 9901S 、AP-9925、AP-9950。无油真空泵与我公司生产的FB 过滤瓶套件联合使用可用于液相色谱分析中的流动相过滤及除气。真空泵能够提高过滤效率、加强脱气效果。我公司生产的无油真空泵利用隔膜运动、挤压排除空气、能够保障过滤介质不受污染。 二、工作原理

电机带动隔膜一前一后往复运动。通过隔膜的运动,造成工作腔内的容积的改变,挤压排出空气, 产生真空. AP-02B 型可调无油真空压力泵是本公司的新产品。它的调压原理不同于以往的“泄压阀原理”,而是利用压力传感器感知系统的压力,再反馈给控制泵,通过泵的工作周期来调节、恒定压力。当流量发生变化时,压力不受影响。(当流量发生变化时,利用“泄压阀原理”设计的泵需通过手动调节方式保持压力恒定。)由于大多情况下,泵的工作状态处于“断续”状态,故泵的效率高、发热量少。适用于压力可调、稳定且需长时间工作的场合。同时可为生化实验的样品提取、纯化操作提供稳定的负压。 三、无油真空泵产品特点: ● 隔膜型真空泵无需泵油; ● 工作效率高、噪音低; ● 有固定压力和可调压力两种类型; ● 体积小、便于移动; ● 输送流体广泛; 无油真空泵广泛运用于制药、化学、化工、电子等行业。

五、使用步骤 5.1固定压力无油隔膜真空泵(AP-01P 、AP-9901S )的使用步骤: 1. 将真空泵平稳的放在操作台上。 2. 将过滤装置或所需抽真空的装置与真空泵紧密连接,保证系统具有良好的气密性。可在真空泵的进气口和过滤器的出气口表面涂上酒精等

干式真空泵发展现状

成都超迈机械有限公司—专业真空设备技术解决方案供应商 一、国外干式真空泵发展状况 目前国外干式真空泵市场不断增长,主要用于半导体行业、化工、制药和薄膜产业。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替油封式机械泵,目前干式真空泵的主要型式有爪型、罗茨型、涡旋型、螺杆型和往复活塞式、隔膜式等几种。 英国爱德华公司年产爪型和罗茨型干泵8000套,年销售额达1.5亿美元,主要用于半导体、制药和化工等行业;日本的安耐特 Anlet公司年产三叶型罗茨干泵8000套,主要用于化工、塑料、农药等行业,干式真空泵发展空间十分广阔。 德国普旭、莱宝,美国凯尼、日本Ebara荏原、Kashiama (日)、Alcatel (法)等国际真空行业巨头均花去大量资源研发制造干式真空泵。 人们预言:21世纪与高真空相联系的大多数真空泵将是干式真空泵。 二、国内干式真空泵发展状况 据预测,到2010年我国将成为世界第二大半导体集成电路市场,总需求量约1000 亿块,达到1000亿美元以上的市场规模,需建30多条大生产线才能满足需求。所需干式真空泵约15000台,随清洁真空的逐步普及,食品、化工、制药和薄膜行业也急需大量具有优良性价比的干式真空泵,而国内只有少数几家企业从事干式真空泵的研发和制造,如:朗禾-爪型干式真空泵、沈科仪- 涡旋泵、淄博-螺杆干式真空泵等。 三、干式真空泵主要应用领域 1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺,半导体刻蚀工艺。 2、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求; 3、化工、医药、食品中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,防止有机溶剂污染; 4、用作一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

罗茨真空泵使用方法及特点

罗茨真空泵使用方法及特点 一、罗茨真空泵工作原理 罗茨真空泵(以下简称罗茨泵)是通过一对相互作用同步反向旋转的“8”字形转子实现抽气功能的。当转子和泵体形成吸气腔时,两个转子相互之间始终保持密封,从而确保排气口的气体不返流到进气口,以此实现抽气的功能。 转子的反向同步旋转是通过一对安装在转子轴上的齿轮实现的。由于在泵腔里面没有摩擦,罗茨泵能以每秒1500~3000转的高速运转而无须在泵腔内进行润滑,另外,要保持罗茨泵在高转速下平稳运行,要对转子进行良好的动平衡。高速旋转的转子间、转子和泵体间没有任何直接的接触,各运动部件之间均保持一定的间隙。 罗茨泵在进排气口间设置了一内置溢流阀,其作用是:当进排气口的压差达到一定值时,溢流阀就自动打开,排气口的部分气体通过打开的溢流阀返流到进气口,这就大大降低了高压差下罗茨泵和前级真空泵(以下简称前级泵)的运行负荷。同时因为打开的溢流阀有强大的泄流作用,可以确保罗茨泵和前级泵可以同时启动而不会使罗茨泵和前级泵过载,并可以提高高入口压力下罗茨泵机组的抽速。 二、罗茨真空泵主要用途 罗茨泵被广泛地应用于真空获得的各个方面,它延伸了油封机械真空泵在较低入口压力下的工作范围,具有小体积大抽速的特点,在1~100pa入口压力范围内具有大抽速,特别适合于低入口压力下需要大抽速的真空系统中使用,例如电力变压器、电力电容器、电力互感器的真空干燥、真空浸渍处理、真空热处理、真空冶炼的排气、真空镀膜设备的预抽,大型试验风洞的抽气及照明灯具生产线的排气等等。

如果选用合适的前级泵,罗茨泵还可以在食品、化工、医药、轻纺等行业的真空蒸馏、浓缩、干燥等的工艺过程中得到广泛的应用。 三、罗茨真空泵主要技术性能指标(见下表)

真空机使用说明书

真空机使用操作说明书 (一)、真空机概述: DZ-400型真空机是可用于真空包装的小型真空包装机械之一。真空包装是将包装袋内抽成低真空后,当即自动封口,由于袋内真空度高,残留空气极少,抑制细菌等微生物的繁殖,避免了物品氧化。霉变和腐败,同时对某些松软的物品,经真空包装后,可缩小包装体积,便于运输和贮存。 (二)、真空机用途: 该真空机以塑料复合薄膜货塑料铝箔复合膜为包装材料,对固体、液体、粉状,糊状的食品粮食、果品、酱油、果脯、化学药品、电子元件、精密仪器表、稀有金属等进行真空包装。经包装后可有效的防止产品(商品)氧化、霉变、腐败受潮、达到保质、保鲜、保味、保色,延长商品储存期限。 (三)、真空机特点: (1)本机盖采用全透明有机玻璃,对包装过程一目了然。 (2)本机具有抽真空、封口,一次完成之功能,对不同的包装材料和不同的包装要求。该机没有真空度、热风温度、热风时间等调整装置,以达到最佳包装效果。本机可根据用户的要求,配备换方便、印字清晰的印字装置,即在封口的同时,在封口线上印上商品保质期、出厂日期或出厂编号等。以符合国家食品标签法的规定。 (3)本机具有设计先进、功能齐全、性能稳定可靠、理想的小型真空包装机械。 (四)、技术参数: a.极限真空度:100KP b.包装速度:15-60秒/次 c.电机功率:0.75KW运转 d.热封功率:0.8KW e.重量:120KG f.外形尺寸:520×490×500㎜ g.电源:三相380V50HZ或单相220V50HZ h.真空室体积(长×宽×高):440×440×130(㎜3) (五)、结构与原理: 整机由有机玻璃、真空室、机体电器控制系统、真空系统等部分组成,下工作室设有热压封口装置,加热元件是镍铬帝,装置在胶木热压体上与真空室之间绝对绝缘,胶木热压架紧贴在气囊上,热封前气囊处于真空状态,热封时,气囊通过电磁阀与大气相通而产生压差,使气囊变大,加热头(镍铬带)上抬,压紧封口袋,同时加热,而完成封口。 本机电源为三相四线制,采用相电亚380V,工频50HZ(或单相220V,工频50HZ),真空泵电机功率0.75KW,转速2800转/分。本机加热系统系调压式,即加热变压器初级为220V,次级有本档,通过面板上的转换开关来调节,可选电压有三档:29V(03)、36V(02)、43V(01),调节变压器,即可改变热封温度。 本机由抽气阀、充气阀、放气阀等组成真空系统,作执行机构,真空泵启动,即可从真空室抽气,当达到预定的真空度时,真空泵停止上转,且整个程序转向下一个热封程序,本机采用单级施片式真空泵(有关泵的技术性能详见泵的说明书),本机结构及面板操作电气原理,真空系统原理,详见后面图示说明。 (六)、操作程序: 1、根据需要拨动电源开关,接通电源,电源指示灯亮。

干式螺杆真空泵的优点和缺点上传百度文库

北京卓力新航代理爱德华真空包括(GXS系列、EOS系列、EH系列、E系列)、soluvac干式螺杆真空泵WIN系列。 干式螺杆真空泵俗称螺杆泵,主要是利用一对螺杆,其特点是两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间有一定的间隙,所以使得干式螺杆真空泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高。但是在我国使用的螺杆泵主要依靠进口,进口的主要泵是韩国的soluvac、英国的爱德华、美国的希赫,其中韩国性价比比较符合国内大多数医药化工企业,爱德华属于在全球属于最受欢迎的品牌,有适用于各种工况的成品和机组。 干式螺杆真空泵,它利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的优势弥补了油封式真空泵的不足,我们都称之为油封式真空泵的升级版。但是干式螺杆真空泵的造价也是它的不足之处。接下来主要介绍它的优点和缺点: 干式螺杆真空泵的优点: 1、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,可适应恶劣工况 2、气体在泵内无压缩,适宜抽取可凝性气体 3、不耗油,无滴漏 4、结构简单,维护方便。 5、被抽气体直接排出泵体,不污染水,无环保压力,气体回收更便捷。 干式螺杆真空泵的缺点:

1、由于螺杆泵加工难度大,我国使用的螺杆泵主要依靠进口,价格非常昂贵。 2、不适于抽除含有爆炸性的气体。 3、不适于抽除含氧过高的气体。 随着我国工业界的发展,在半导体工业、液晶显示器等工艺制造中,对清洁真空环境的要求越来越高,而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,得到越来越多制造和应用单位的重视,在干式真空泵市场中占有重要的地位。在欧美和日本等发达国家,螺杆型干式真空泵在很多领域已经越来越多的代替了传统的有油泵。

罗茨真空泵特点及使用说明

罗茨真空泵特点及使用说明 一、罗茨真空泵实际抽速计算 对应罗茨泵的入口压力P,测取罗茨泵出口(亦为前级泵入口)压力Pv,并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线,得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv,查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv,即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S,即S=S N K V/(K V+(S N/S V)-( S V/S N)3/2) 式中:S ——罗茨泵实际抽速,L/sS N——罗茨泵几何抽速,L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速,L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比 二、罗茨真空泵使用说明 1、润滑 1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油 1.2查看油位,齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜;电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜;用以润滑油封的油杯处不应断油,油位不应低于1/3油杯高度,不宜加油过多,避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。 2、冷却 冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高,使泵体发热,而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热,避免泵体温度过高烫伤人,使用温度≤80℃. 3、启动 当泵较长时间停用后再次使用时,应先点动1、2次,使润滑油进入轴承内,然后再正式起动,否则将缩短轴承及泵的使用寿命。 4、停泵

停泵时,应先停罗茨泵,待电机停转后,在停前级泵,否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大,而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。 三、罗茨真空泵维护和保养 1、保持泵的清洁,以利于通风散热。 2、每月至少检查一次油质情况,当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况,应立即换油。 3、换油时,罗茨泵最好先运转一小时,使油温变热变稀后,在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时,润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质,以免影响泵的极限压力。 4、拆洗泵及泵内零件时,应使用纱布擦拭;当必须清洗时,可用丙酮或者汽油清洗,但必须注意防火安全,洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。 5、当发现泵有异常声响时,应立即停泵检查或与供应商联系。

干式螺杆真空泵价格特点与使用条件

干式螺杆真空泵价格特点与使用条件 干式螺杆泵属于新型的真空泵型,其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。因其独特的设计原理,可做到无油无水,可做耐腐蚀涂层,优良的密封设计,除了价格稍贵一点外,无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。 如何判断干式螺杆真空泵是否合格,可以从以下几个方面判断: 1、极限真空度:当然极限真空度越低越好,目前国产一般在5Pa左右,进口的在1Pa左右。 2、震动及噪音:震动一定要小,噪音一定要小80分贝内为好。 3、若是有易腐蚀性环境中使用,最好能向厂家要一点同样涂层的样片,拿到厂里放介质溶济里做下试验,每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样,它的性能当然也会有较大差异。 4、密封性:这个也很重要,但也只能从厂家推介说明上了解,最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。 基本上就是以上几点来判断,第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何,这个也将真接影响泵的使用寿命,第三和第四点也会影响其寿命,但也需要实验证明。 总的来说目前螺杆泵因为成本较高,建议还是选用进口的,欧美日韩的相对较贵,台系的其实也是不错的选择。 干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品,主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高,可适应恶劣工况,具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力,特别适宜于洁净环境,且易做防腐处理,特别适用于电子,化工,生物医药,金属加工,食品加工等领域。 1、工作腔内无任何介质,可获得清洁真空 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,可适应恶劣工况 3、气体在泵内无压缩,适宜抽取可凝性气体 4、单台泵可从大气抽至1Pa,真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小,节水达90%以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小结构简单,维护方便。 9、被抽气体直接排出泵体,不污染水,无环保压力,气体回收更便捷。

2BVX水环真空泵使用说明书

目录 一、概述 (2) 二、用途及使用范围 (2) 三、工作原理 (2) 四、结构说明 (3) 五、设备说明 (4) 六、主要技术数据 (6) 七、性能曲线 (7) 八、设备安装 (7) 九、启动和停车 (8) 十、维护 (8) 十一、泵的故障和消除方法 (9) 十二、外形与安装尺寸图 (10)

一、概述 2BVX系列水环真空泵,是我公司在总结多年科研成果和生产经验的基础上,结合国际同类产品的先进技术,经过市场调研分析研制开发的高效能产品,与SK,2SK 系列水环真空泵技术性能(抽吸相近者)相比,将以其出色的性能和众多的优点来满足您的要求。 二、用途及使用范围 2BVX 系列水环真空泵为整体结构—机泵同轴的单级泵。轴封采用机械密封,具有结构简单、安装便捷、无油、安全可靠等特点。 2BVX 系列水环真空泵适于抽除气体和湿润蒸汽,吸气压力可达33mbar绝压(97%真空度),当真空泵在低于80mbar的状态下长期工作时,应联结汽蚀保护管以对泵进行保护。如配大气喷射器吸气压力可达10mbar,喷射器可直接安装在真空泵的吸气口上,作为压缩机使用时,其压力最大至0.26Mpa(绝压)。 2BVX 水环真空泵及压缩机被广泛应用于石油、化工、制药、食品、制糖工业等领域。由于在工作过程中气体的压缩过程是等温的,不易发生危险,因此还广泛应用于抽吸易燃易爆气体的场合。 三、工作原理 1、工作原理 如图(1)所示,叶轮3偏心的安装在泵体之类,启动时向泵内注入一定高度的水,因此当叶轮3旋转时,水受离心力的作用在泵体内形成一旋转水环1,水环下部表面与轮毂相切,沿箭头方向旋转时,在前半转过程中,水环内表面逐渐与轮毂脱离,因此在叶轮叶片间与水环形成封闭空间,随着叶轮的旋转,该空间逐渐扩大,空气气体压力降低,气体自圆盘吸气口被吸入;在后半转过程中,水环内表面逐渐与轮毂靠近,叶片间的空间逐渐缩小,空间气体压力升高,高出排气口压力时,叶片间的气体自圆盘排气口被排出。如此叶轮每转动一周,叶片

罗茨真空泵的拆卸和安装步骤

罗茨真空泵的拆卸和安装步骤 罗茨真空泵使用一段时间后,会出现一些故障,我们在检修时要注意查看轴承、油封、机封、皮带等是否损坏,若损坏需及时更换,并做好罗茨泵的安装工作。 1、拆卸及清洗 第一步,拆卸三角皮带,拆卸泵进出口管道和伴热蒸汽管线、氮气管线;拆卸地脚螺栓,把真空泵移到检修平台; 第二步,打开泵顶部各级盖板,用塞尺从上盖板处插人测量转子和各级隔板的前后间隙,做好记录; 最后,在真空泵上部的整个平面位置用记号笔,做好明显标记以免恢复时出错;标记清楚主动转子和从动转子的前后方位;拆卸真空泵的泵体连接螺栓,逐级从尾端拆卸,同时测量和记录各级隔板之间的纸垫厚度,直到完全解体。用酒精清洗干净真空泵各部件,结垢的部分可用纱纸清理;转子墙板和隔板拉毛的部分用锉刀修理平整,抛光机打磨光洁。 2、安装步骤 准备好需要更换的新转子、滚动轴承、油封、机械密封、调整纸垫;把前后轴承箱墙板上的油封更换好备用。 (1)用长方形框架固定检修平台上,把一级转子的前端隔板放在上面,按照标记放入主动和从动转子,逐级安装泵壳、隔板、级间密封环、调整纸垫以及四角处的圆柱定位销,注意调整纸垫的厚度需要和拆卸时的记录一致,拧紧泵体紧固螺栓。 (2)泵体平放检修台,安装两端隔板处转子的节流环;安装轴承箱内墙板;安装轴承座及轴承。 (3)用塞尺检查各级转子和隔板的前后间隙,要求其符合真空泵的检修手册间隙数据,一般是保证转子和前后隔板的间隙大于所要求的最小值,调整范围在0~+0.10mm。 (4)预装同步齿轮:安装锁紧有键槽的同步齿轮,有圆锥的同步齿轮先用手轻轻压紧即可。 (5)肥两转子角度调整为交叉90°,用塞尺插人第二级两转子之间,固定长轴垂直的转子;用手轻轻盘车另一个转子,感觉松紧前后相当,再把锁紧螺母拧紧在圆锥同步齿轮上;再手动盘车应无卡死现象。 (6)用塞尺检查各级转子间的间隙,在两转子与水平线成±45°位置要作检查;D为两转子的总间隙,一般要求转子在-45°时为D/3,转子在+45°时间隙为2D/3。 (7)安装前后轴承箱后盖板及油封、机械密封,安装后端冷却水箱,安装皮带轮; (8)罗茨真空泵安装回原设备基础,紧固地脚螺栓,调整三角皮带松紧度,恢复进出口管道连接。 (9)加润滑油,检查密封情况,准备试车。

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