喷涂工艺过程

喷涂工艺过程
喷涂工艺过程

喷涂工艺过程

1、表面预处理

为了使涂层与基体材料很好地结合,基材表面必须清洁及粗糙,净化和粗化表面的方法很多,方法的选择要根据涂层的设计要求及基材的材质、形状、厚薄、表面原始状况以及施工条件等因素而定、净化处理的目的是除去工件表面的所有污垢,如氧化皮、油渍、油漆及其他污物,关键是除去工件表面和渗入其中的油脂、净化处理的方法有,溶剂清洗法、蒸汽清洗法、碱洗法及加热脱脂法等、粗化处理的目的是增加涂层与基材间的接触面,增大涂层与基材的机械咬合力,使净化处理过的表面更加活化,以提高涂层与基材的结合强度、同时基材表面粗化还改变涂层中的残余应力分布,对提高涂层的结合强度也是有利的、粗化处理的方法有喷砂、机械加工法(如车螺纹、滚花)、电拉毛等。其中喷砂处理是最常用的粗化处理方法,常用的喷砂介质有氧化铝、碳化硅和冷硬铸铁等。喷砂时,喷砂介质的种类和粒度、喷砂时风压的大小等条件必须根据工件材质的硬度、工件的形状和尺寸等进行合理的选择。对于各种金属基体,推荐采用的砂粒粒度约为16-60号砂,粗砂用于坚固件和重型件的喷砂,喷砂压力为0、5-0、7Mpa,薄工件易于变形,喷砂压力为0、3-0、4Mpa。

特别值得注意的一点是,用于喷砂的压缩空气一定要是无水无油的,否则会严重影响涂层的质量。喷涂前工件表面的粗化程度对大多数金属材料来说2、5-13mmRa就够了。随着表面粗糙度的增加涂层与基体材料的结合增强,但是当表面粗糙度超过10mmRa后,涂层结合强度的提高程度便会减低。对于一些与基材粘结不好的涂层材料,还应选择一种与基体材料粘结好的材料喷涂一层过渡层,称为粘结底层,常用作粘结底层的材料有Mo、NiAl、NiCr及铝青铜等、粘结底层的厚度一般为0、08-0、18mm。

2、预热

预热的目的是为了消除工件表面的水分和湿气,提高喷涂粒子与工件接触时的界面温度,以提高涂层与基体的结合强度;减少因基材与涂层材料的热膨胀差异造成的应力而导致的涂层开裂、预热温度取决于工件的大小、形状和材质,以及基材和涂层材料的热膨胀系数等因素,一般情况下预热温度控制在60-120℃之间、

3、喷涂

采用何种喷涂方法进行喷涂主要取决于选用的喷涂材料、工件的工况及对涂层质量的要求。例如,如果是陶瓷涂层,则最好选用等离子喷涂;如果是碳化物金属陶瓷涂层则最好采用高速火焰喷涂;若是喷涂塑料则只能采用火焰喷涂;而若要在户外进行大面积防腐工程的喷涂的话,那就非灵活高效的电弧喷涂或丝材火焰喷涂莫属了。总

之,喷涂方法的选择一般来说是多样的,但对某种应用来说总有一种方

法是最好的。预处理好的工件要在尽可能短的时间内进行喷涂,喷涂参数要根据涂层材料、喷枪性能和工件的具体情况而定,优化的喷涂条件可以提高喷涂效率、并获得致密度高、结合强度高的高质量涂层、

4、涂层后处理

喷涂所得涂层有时不能直接使用,必须进行一系列的后处理、用于防腐蚀的涂层,为了防止腐蚀介质透过涂层的孔隙到达基材引起基材的腐蚀,必须对涂层进行封孔处理、用作封孔剂的材料很多,有石腊、环氧树脂、硅树脂等有机材料及氧化物等无机材料,如何选择合适的封孔剂,要根据工件的工作介质、环境、温度及成本等多种因素进行考虑、对于承受高应力载荷或冲击磨损的工件,为了提高涂层的结合强度,要对喷涂层进行重熔处理(如火焰重熔、感应重熔、激光重熔以及热等静压等),使多孔的且与基体仅以机械结合的涂层变为与基材呈冶金结合的致密涂层、有尺寸精度要求的,要对涂层进行机械加工、由于喷涂涂层具有与一般的金属及陶瓷材料不同的特点,如涂层有微孔,不利于散热;涂层本身的强度较低,不能承受很大的切削力;涂层中有很多硬的质点,对刀具的磨损很快等,因而形成了喷涂涂层不同于一般材料的难于加工的特点、所以必须选用合理的加工方法和相应的工艺参数才能保证喷涂层机械加工的顺利进行和保证达到所要求的尺寸精度、

从热喷涂技术的原理及工艺过程分析,热喷涂技术具有以下一些特点、

1、由于热源的温度范围很宽,因而可喷涂的涂层材料几乎包括所有固态工程材料,如金属、合金、陶瓷、金属陶瓷、塑料以及由它们组成的复合物等、因而能赋予基体以各种功能(如耐磨、耐蚀、耐高温、抗氧化、绝缘、隔热、生物相容、红外吸收等)的表面、

2、喷涂过程中基体表面受热的程度较小而且可以控制,因此可以在各种材料上进行喷涂(如金属、陶瓷、玻璃、布疋、纸张、塑料等),并且对基材的组织和性能几乎没有影响,工件变形也小、

3、设备简单、操作灵活,既可对大型构件进行大面积喷涂,也可在指定的局部进行喷涂;

既可在工厂室内进行喷涂也可在室外现场进行施工、

4、喷涂操作的程序较少,施工时间较短,效率高,比较经济、

随着热喷涂应用要求的提高和领域的扩大,特别是喷涂技术本身的进步,如喷涂设备的日益高能和精良,涂层材料品种的逐渐增多、性能逐渐提高,热喷涂技术近十年来获得了飞速的发展,不但应用领域大为扩展,而且该技术已由

早期的制备一般的防护涂层发展到制备各种功能涂层;由单个工件的维修发展到大批的产品制造;由单一的涂层制备发展到包括产品失效分析、表面预处理、涂层材料和设备的研制、选择,涂层系统设计和涂层后加工在内的喷涂系统工程;成为材料表面科学领域中一个十分活跃的学科。并且在现代工业中逐渐形成象铸、锻、焊和热处理那样的独立的材料加工技术。成为工业部门节约贵重材料、节约能源、提高产品质量、延长产品使用寿命、降低成本、

提高工效的重要的工艺手段,在国民经济的各个领域内得到越来越广泛的应用。

1、氧乙炔火焰喷涂(焊)

是最早的一种喷涂方法。它是利用氧和乙炔的燃烧火焰将粉末状或丝状、棒状的涂层材料加热到熔融或半熔融状态后喷向基体表面而形成涂层的一种方法。它具有设备简单、工艺成熟、操作灵活、投资少、见效快的特点。它可制备各种金属、合金、陶瓷及塑料涂层,是目前国内最常用的喷涂方法之一。但是,由该方法制备的涂层孔隙度较大,与基体材料的结合强度也较低。但是,对于自熔合金而言,如若采用燃烧火焰将其一次喷融或将喷涂层进行二次重熔(有火焰重熔、感应重熔和炉熔等)的方法则称为喷焊,喷焊涂层由于与基体材料呈冶金结合状态,因而与基体材料的结合强度大大提高,可以应用于冲击大、负荷重的工况下,如连续铸造拉矫辊、热轧矫直辊表面采用镍基自熔合金喷焊涂层进行强化,均获得了十分良好的耐蚀、耐磨和抗热疲劳的强化效果、

2、爆炸喷涂(D-GUN)

本方法是利用氧和可燃性气体的混合气,经点火后在喷枪中爆炸,利用脉冲式气体爆炸的能量,

将被喷涂的粉末材料加热、加速轰击到工件表面而形成涂层。气体燃烧和爆炸的结果可产生超音速高能气流,爆炸波的传播速度高达3000m/s,其中心温度可达3450℃,粉末粒子的飞行速度可达1200m/s。因而爆炸喷涂层涂层致密,与基体的结合强度高,最高可达24kg/mm2、该法的缺点是噪音大,而且爆炸是不连续的,因而效率较低。爆炸喷涂是20世纪50年代由美国联合碳化物公司发明,但问世后许多年都由该公司所垄断,不对外出售技术和设备,只在其服务公司内为用户进行喷涂加工,主要喷涂陶瓷和金属陶瓷,进行航空发动机的维修、

3、高速火焰喷涂(HVOF)

高速火焰喷涂(或称超音速火焰喷涂)是20世纪80年代出现的一种高能喷涂方法,它的开发是继等离子喷涂之后热喷涂工业最具创造性的进展。虽然高速火焰喷涂方法可喷涂的材料很多,但由于其火焰含氧少温度适中,焰流速度很高,能有

效地防止粉末涂层材料的氧化和分解,故特别适合碳化物类涂层的喷涂。该设备发展到第三代,性能有了大幅度的提高,例如JP-5000、DJ-2700等设备其室压达到8-12bar,功率达到100-120kw,喷涂效率可达10kg/h(WC-Co),涂层厚度可达数mm,涂层性能已能达到爆炸喷涂的水平。在许多工业部门获得广泛的应用、如航空发动中的耐磨涂层、造纸机械用的镜面涂层等、近年来,由于电镀铬工艺的环境污染问题,电镀铬工业在一些工业发达国家受到严格的限制,并逐渐被淘汰,采用高速火焰喷涂涂层代替镀铬层的应用越来越受到工业界的关注和重视、

4、电弧喷涂

电弧喷涂是在两根丝状的金属材料之间产生电弧,电弧产生的热使金属丝熔化,熔化部分由压缩

空气气流雾化并喷向基体表面而形成涂层。该工艺也具有设备一次投资少,使用方便、效率高等特点,但喷涂材料必须是导电的金属及合金丝,因而其应用受到了一定的限制,但它的高效率使得它在喷涂Al、Zn及不锈钢等大面积防腐应用方面成为首选工艺。

5、等离子喷涂(APS)

当某种气体如氮、氩、氢及氦等通过一压缩电弧时产生电离而形成电中性的等离子体(是物质除气、液、固态外的第四态)、等离子弧的能量集中温度很高,其焰流的温度在万度以上,可以将所有固态工程材料熔化、以这种高温等离子体作热源将涂层材料熔化制备涂层的工艺就是等离子喷涂。国内外已有数百种材料用于等离子喷涂,是应用较普遍的喷涂方法。等离子喷涂涂层的致密度及与基体材料的结合强度均比火焰喷涂涂层和电弧喷涂涂层的高,而且也是制备陶瓷涂层的最佳工艺、等离子技术中引人注目之处是设备的大容量化和高输出功率化,目前气体等离子喷涂设备已有200kw的设备出售,不但大大提高了喷涂效率,也使涂层质量更为改善,因而可以实现大面积高质量涂层的连续生产,如柔性印刷用网纹辊镜面陶瓷层以及高分子薄膜电晕处理用陶瓷绝缘涂层的制备等、

6、低压等离子喷涂(LPPS)

等离子喷涂可以在不同气氛和不同压力下实现,当喷涂作业在气氛可控的负压密封容器内进行时就成为低压等离子喷涂。低压等离子喷涂的优点是:焰流速度高、粒子动能大,形成的涂层致密、结合强度高;低压环境下可对基体进行预热和进行反向转移弧电清理,进一步提高涂层与基体的结合强度;由于没有大气污染,涂层材料不氧化成分变化小,因而可以进行活性金属如Ti、Ta、Nb等的喷涂;还可使形成等离子体的气体在喷涂过程中与涂层材料进行反应,形成特殊化合物涂层。由于具有以上特点,低

压等离子喷涂主要用于制备航空工业等高科技领域的涂层,如飞机涡轮发动机叶片抗高温氧化和热腐蚀的MCrAlY(M= Co、Ni、Fe)涂层,以及制备人体人工植入体用生物功能涂层、

7、水稳等离子喷涂

水稳等离子喷涂是一种高功率和高速等离子喷涂方法,它是在由高速旋转的水形成的隧道里产生的弧中,水蒸气分解形成O2和H2的等离子工作气的喷涂方法。与气体等离子喷涂方法相比,其焰流温度更高体积更大更长,特别是能量更高,因而特别适合于高熔点氧化物陶瓷的大量喷涂。其主要优点是:输出功率大(150-200kw),涂层结合强度是气体等离子喷涂涂层的2 -3倍,并且涂层致密,其硬度、耐磨性和耐热冲击性能也有很大提高;喷涂效率高,喷涂能力最大为50kg/h,涂层厚度可达20mm,而且可以喷涂分散性较大的粉末,因而特别适合陶瓷部件的喷涂成形;只需水和空气,运行成本低,比其他喷涂方法经济。本方法的缺点是焰流为氧化焰,不适喷涂容易氧化的材料。此外,喷涂枪体积较大,比较笨重、

热喷涂原理

1、热喷涂涂层的形成

热喷涂时,涂层材料的粒子被热源加热到熔融态或高塑性状态,在外加气体或焰流本身的推力下,雾化并高速喷射向基体表面,涂层材料的粒子与基体发生猛烈碰撞而变形、展平沉积于基体表面,同时急冷而快速凝固,颗粒这样遂层沉积而堆积成涂层。

2、热喷涂涂层的结构特点

热喷涂涂层形成过程决定了涂层的结构特点,喷涂层是由无数变形粒子相互交错呈波浪式堆叠在一起的层状组织结构,涂层中颗粒与颗粒之间不可避免地存在一些孔隙和空洞,并伴有氧化物夹杂。涂层剖面典型的结构如下图,其特点为:

*呈层状

*含有氧化物夹杂

*含有孔隙或气孔

3、热喷涂涂层的结合机理

涂层的结合包括涂层与基体的结合和涂层内部的结合。涂层与基体表面的粘结力称为结合力,涂层内部的粘结力称为内聚力。涂层中颗粒与基体之间的结合以及颗粒之间的结合机理,目前尚无定论,通常认为有以下几种方式。

(1)机械结合

碰撞成扁平状并随基体表面起伏的颗粒和凹凸不平的表面相互嵌合,贝以颗粒的机械联锁而形成的结合(抛锚效应),一般来说,涂层与基体的结合以机械结合为主。

(2)冶金-化学结合

这是当涂层和基体表面产主冶金反应,如出现扩散和合金化时的一种结合类型。当喷涂后进行重熔即喷焊时,喷焊层与基体的结合主要是冶金结合。

(3)物理结合

颗粒与基体表面间由范德华力或次价键形成的

结合。

4。涂层的残余应力

当熔融颗粒碰撞基体表面时,在产生变形的同时受到激冷而凝固,从而产生收缩应力。涂层的外层受拉应力,基体有时也包括涂层的内层则产生压应力。涂层中的这种残余应力是由热喷涂条件及喷涂材料与基体材料的物理性质的差异所造成的。它影响涂层的质量、限制涂层的厚度。工艺上要采取措施以消除和减少涂层的残余应力。

¨热喷涂涂层的性能

1、化学成分

由于涂层材料在熔化和喷射过程中,在高温下会与周围介质发生作用生成氧化物、氮化物,以及在高温下会发生分解,因而涂层的成分与涂层材料的成分是有一定的差异的,并在一定程度上影响涂层的性能。如MCrAlY氧化后会影响其耐蚀性,而WC-Co经氧化和高温分解后其耐磨性会降低。通过喷涂方法的选择可以避免和减轻这一现象的发生。如采用低压等离子喷涂可大大减少涂层材料的氧化,而高速火焰喷涂则可以防止碳化物的高温分解。

2、孔隙度

热喷涂涂层中不可避免地存在着孔隙,孔隙度的大小与颗粒的温度和速度以及喷涂距离和喷涂角度等喷涂参数有关。一般来说,温度及速度都低的火焰喷涂和电弧喷涂涂层的孔隙度都比较高,一般达到百分之几,甚至可达百分之十几。而高温的等离子喷涂涂层及高速的超音速火焰喷涂涂层则孔隙度较低。最低可达0、5%以下。

3、硬度

由于热喷涂涂层在形成时的激冷和高速撞击,涂层晶粒细化以及晶格产生畸变使涂层得到强化,因而热喷涂涂层的硬度比一般材料的硬度要高一些,其大小也会因喷涂方法的不同而有所差异。

4、结合强度

热喷涂涂层与基体的结合主要依靠与基体粗糙表面的机械咬合(抛描效应)。基材表面的清洁程度、涂层材料的颗粒温度和颗粒撞击基体的速度以及涂层中残余应力的大小均会影响涂层与基体的结合强度,因而涂层的结合强度也与所采用的喷涂方法有关。

5、冷热疲劳性能

对于一些在冷热循环状态下使用的工件,其涂层的抗冷热疲劳(或称热震)性能至关重要,如若该涂层的抗热震性能不好,则工件在使用过程中便会很快开裂甚至剥落。涂层抗热震性能的好坏主要取决于涂层材料与基体材料的热膨胀系数差异的大小和涂层与基体材料结合的强弱。

生产工艺流程图及说明

(1)电解 本项目电解铝生产采用熔盐电解法:其主要生产设备为预焙阳极电解槽,项目设计采用大面六点进电SY350型预焙阳极电解槽。铝电解生产所需的主要原材料为氧化铝、氟化铝和冰晶石,原料按工艺配料比例加入350KA 预焙阳极电解槽中,通入强大的直流电,在945-955℃温度下,将一定量砂状氧化铝及吸附了电解烟气中氟化物的载氟氧化铝原料溶解于电解质中,通过炭素材料电极导入直流电,使熔融状态的电解质中呈离子状态的冰晶石和氧化铝在两极上发生电化学反应,氧化铝不断分解还原出金属铝——在阴极(电解槽的底部)析出液态的金属铝。 电解槽中发生的电化学反应式如下: 2323497094032CO Al C O Al +?-+℃ ℃直流电 在阴极(电解槽的底部)析出液态的金属铝定期用真空抬包抽出送往铸造车间经混合炉除渣后由铸造机浇铸成铝锭。电解过程中析出的O 2同阳极炭素发生反应生成以CO 2为主的阳极气体,这些阳极气体与氟化盐水解产生的含氟废气、粉尘等含氟烟气经电解槽顶部的密闭集气罩收集后送到以Al 2O 3为吸附剂的干法净化系统处理,净化后烟气排入大气。被消耗的阳极定期进行更换,并将残极运回生产厂家进行回收处置。吸附了含氟气体的截氟氧化铝返回电解槽进行电解。 电解槽是在高温、强磁场条件下连续生产作业,项目设计采用大面六点进电SY350型预焙阳极电解槽,是目前我国较先进的生产设备。电解槽为6点下料,交叉工作,整个工艺过程均自动控制。电解槽阳极作业均由电解多功能机组完成。多功能机组的主要功能为更换阳极、吊运出铝抬包出铝、定期提升阳极母线、打壳加覆盖料等其它作业。 (2)氧化铝及氟化盐贮运供料系统 氧化铝及氟化盐贮运系统的主要任务是贮存由外购到厂的氧化铝和氟化盐 ,并按需要及时将其送到电解车间的电解槽上料箱内。

电视机生产工艺流程设计

第1章工艺文件 一、工艺工作: 1、工艺工作的重要性 一个工业企业如果没有工艺工作,没有一个合理的工艺工作程序,就很难想像会搞出高质量、高水平的产品来,企业的管理必然混乱。工艺工作在电子工业中占有重要位置。 工艺文件在电子企业部门必备的一种技术资料。他是加工、装配检验的技术依据,是生产路线、计划、调度、原材料准备、劳动力组织、定额管理、工模具管理、、质量管理等的主要依据和前提。只有建立一套完整的、合理而行之有效的工艺工作程序和工艺文件体系,才能保证实现企业的优质、高效、低消耗的安全生产,才能使企业获得最佳的经济效益。 2、工艺工作的程序 在工业企业中,最基础的工作是产品的生产和生产技术管理工作。在一个企业中,把原材料制成零件,把零件组装成部件、整件,是一项很复杂的工作,必须通过一种计划的形式来组织和指导。为了使生产活动有秩序按计划进行,各企业应有一个符合本企业客观规律的工作程序。 典型的工艺工作程序框图如附录: 3、工艺工作程序的说明: a.工艺性调研和访问用户由主管工艺人员参加新产品的设计调研和老用户访问工作,了解国内外同类产品的性能指标一用户对该产品的意见和要求. b.参加新产品设计方案的讨论和老产品改进设计方案的讨论针对产品的结构、性能、精度的特点和企业的计算水平、设备条件等进行工艺分析,提出改进产品的意见. c.审查产品设计的工艺性由有关工艺人员对产品设计图样进行工艺性审查,提出工艺性审查意见书. d.编织工艺方案工艺方案是工艺计算准备工作的重要指导性文件,由主管工艺人员负责编写. 编制工艺方案的一句是:1产品图纸(技术条件)和产品标准及其他有关技术文件. 2 有关领导和科室的意见 3产品的生产批量和周期 4有关工艺资料,如企业的设备条件、工人计算等级和技术水平等. 5企业现有工艺技术水平和国内外同类产品的新工艺新技术成就. 工艺方案的一般内容是:1.根据产品的生产特性、生产类型,规定工艺文件的种类,并规定工装系数 2专用设备、工装的量刃刀的购置、改进和意见. 3提出关键工艺实验项目的新工艺、新材料在本产品上的实施意见,进行必要的技术经济分析. 4提出外购件和外协件项目 5根据产品的企业具体情况,提出生产组织和设备的调

喷漆工艺流程

喷漆工艺流程 喷漆工艺标准流程 1.检查钣金修复的平整度: 首先对要喷漆的部位进行检查是否平整,擦干净没有钣金的喷漆部份,检查是否有凹陷。 2.打磨处理需要补土的部份: 用砂轮机将钣金边缘进行处理,用砂纸将钣金周围磨出羽状边,再用砂纸打磨旧漆面,扩大补土的范围。 3.清洁涂油 打磨完成后,清洗干净打磨位置及喷漆位置。 4,中涂 尽量控制中涂底漆在较小的范围,并注意边缘位置要渐进,不要成台阶状。 5,打磨中涂 待中涂底漆干燥固化后,用砂纸打磨中涂底漆,并准备补土。 6.补土 将低凹处的汽车表面用原子灰将其补平,待干打磨。 7.研磨 根据不同的表面形状选择不同的打磨方式后将原子灰的边缘与原车旧漆平稳过渡至原车的流水线要求。 8.喷底漆或刮填眼灰 对补土处进行喷涂底漆或刮填眼灰并平整原子灰的一些小孔和涂物损坏处。 9.底漆打磨 对底漆或填眼灰进行打磨,平整后用砂纸扩大打磨范围,增强新漆面在旧漆膜上的附着力,完成打磨后便可进入喷漆前的准备。 10.吹水遮蔽 对要喷漆的范围内所有的边缘接口,用压缩空气的方式将边缝内的水吹干,对不喷漆的部位进行遮蔽。 11.涂油,涂尘 用除油剂清洁整个需要喷涂的工作,用粘尘布进行喷涂前涂尘工作。 12.喷漆面漆 喷漆面漆可分三个工序:A,单工序——单工序针对纯色漆。B,双工序——双工序针对金属漆。C,三工序——三工序针对白珍珠,变色龙。(注:针对不同色漆~所喷涂面漆的施工工艺流程不同。) 13.打磨抛光 用水磨砂纸,打磨漆面上面的尘点及橘皮纹后用腊抛光 漆面抛光是汽车美容技术中最重要的组成部分。抛光技术水平的高低直接关系到汽车美容的最终效果。因此,抛光技术是汽车美容服务的基础。车身漆面彻底清洁后,就可根据漆面损伤的程度进行抛光处理。 一、材料选用及抛光方法 以英国特使系列产品为例,特使系列C3全能抛光剂含有研磨剂、去污剂、还原剂、光亮剂等多种成分,专为车身镜面抛光而设计,已被越来越多的欧美汽车厂指定使用。这种产品抛光速度快,可快速去除交通膜及中度划痕,不伤漆面,不留光环,节省工时,1小时可抛光、翻新一辆旧车漆面。抛光后残留物少,容易擦净,克服了其他同类产品抛光后残窖物到处飞溅,不易清除的缺点。可有效解决漆面划痕、哑光、褪色、氧化、粗糙等漆面缺陷,尤其适用于旧车漆面、划痕较深的漆面和桔皮、流挂等,若配合镜面釉使用,瞬间即可达到超亮镜面效果,是护车“三宝”中的重点用品。 抛光方法:将抛光机调整好转速,海绵轮用水充分润湿后,甩去多余水分。先取少量C3抛光剂涂于漆面(每一小块作一次处理,不可大范围涂抹),从车顶篷开始抛光。抛光机的海绵轮应保持与漆面相切,力度适中,速度保持一定。抛光时按一定的顺序抛光,不可随意进行。用过C3抛光剂后,再换用增艳剂按以上步骤操作一次。 二、镜面釉处理 当整车漆面处理完毕后,漆面会很平滑、光亮,但有时也还会有一些极其细小的划痕和花痕或光环,为了保持漆面的光滑和光亮,则需上特使系列镜面釉。这种镜面釉以高分子釉剂等聚合物为主要原材料,不含蜡、硅及硝基合成氨,可在任何车型的漆面上做出釉质镜面效果,在汽车漆面上形成具有光滑、明亮、密封的釉质镜面保护膜,专车身时刻保持光亮如镜。同时具有防酸雨、抗氧化、防紫外线、防褪色等多项显著功能,还可抵御硬物轻度刮伤,不怕火和油污等,并具有一年以上的保持功效。 使用方法:使用时先用干净软布将抛光残留物清除干净,摇匀镜面釉,用软布或海绵将其涂在漆面上,停留60s后用手工或机器抛光。机器抛光保持转速在1000r/min以下,最后用干净软布擦去残留物。手工处理时,直线抛光、抛亮即可。注意事项: 控制抛光机的转速,不可超过选定的速度范围; 保持抛光方向的一致性,应有一定的次序; 更换抛光剂的同时更换海绵轮,不可混用海绵轮; 严禁使用羊毛轮进行镜面釉处理。 三、漆面护理 抛光后并做过镜面釉处理的漆面,必须再上蜡层才能完成最后的保护,这样才会更加充分地达到保护汽车的目的。因为

光刻和晶圆级键合技术在3D互连中的研究

光刻和晶圆级键合技术在3D互连中的研究 作者:Margarete Zoberbier、Erwin Hell、Kathy Cook、Marc Hennemayer、Dr.-Ing. Barbara Neubert, SUSS MicroTec 日益增长的消费类电子产品市场正在推动当今半导体技术的不断创新发展。各种应用对增加集成度、降低功耗和减小外形因数的要求不断提高,促使众多结合了不同技术的新结构应运而生,从而又催生出诸多不同的封装方法,因此可在最小的空间封装最多的功能。正因如此,三维集成被认为是下一代的封装方案。 本文将探讨与三维互连技术相关的一些光刻挑战。还将讨论三维封装使用的晶圆键合技术、所面临的各种挑战、有效的解决方案及未来发展趋势。 多种多样的三维封装技术 为了适应更小引脚、更短互连和更高性能的要求,目前已开发出系统封装(SiP)、系统芯片(SoC)和封装系统(SoP)等许多不同的三维封装方案。SiP即“单封装系统”,它是在一个IC封装中装有多个引线键合或倒装芯片的多功能系统或子系统。无源元件、SAW/BA W滤波器、预封装IC、接头和微机械部件等其他元件都安装在母板上。这一技术造就了一种外形因数相对较小的堆叠式芯片封装方案。 SoC可以将所有不同的功能块,如处理器、嵌入式存储器、逻辑心和模拟电路等以单片集成的方式装在一起。在一块半导体芯片上集成系统设计需要这些功能块来实现。通常,SoC设计与之所取代的多芯片系统相比,它的功耗更小,成本更低,可靠性更高。而且由于系统中需要的封装更少,因而组装成本也会有所降低。 SoP采用穿透通孔和高密度布线以实现更高的小型化。它是一种将整个系统安装在一个芯片尺寸封装上的新兴的微电子技术。过去,“系统”往往是一些容纳了数百个元件的笨重的盒子,而SoP可以将系统的计算、通信和消费电子功能全部在一块芯片上完成,从而节约了互连时间,减少了热量的产生。 最近穿透硅通孔(TSV)得到迅速发展,已成为三维集成和晶圆级封装(WLP)的关键技术之一。三维TSV已显现出有朝一日取代引线键合技术的潜力,因此它可以使封装尺寸进一

工艺流程说明书

工艺说明书 工艺流程说明 由空气压缩工序、反应工序、蒸汽发生工序和甲醛吸收工序组成。 1)压缩工序 新鲜空气通过空气过滤器进入罗茨鼓风机升压,风机出口气与吸收二塔(碱洗水洗2塔)顶部循环尾气混合后送到反应工序。 2)反应工序 从罐区来的原料甲醇先送到甲醇贮罐,再通过甲醇泵进入甲醇蒸发器,在此与甲醛循环泵送来的吸收二塔的甲醛循环溶液进行热交换,甲醇吸热而汽化,同时与风机来的气体相混合形成原料气体。原料气体再经过甲醇过热器过热后,进入主反应器。 原料气在这个固定床反应器的铁钼催化剂上发生反应后,生成甲醛反应气。该气体首先经过甲醇蒸发器管间,通过与原料混合气换热而自身冷却,然后进入吸收工序。 3)蒸汽发生工序 当甲醇、空气和水蒸气的原料混合进入反应器,在银催化剂上发生催化剂作用而生成甲醛时,其主要反应是氧化,脱氢反应。 甲醇氧化反应在200℃左右开始进行,因此经预热进入反应器的原料混合器,必须用电热器点火燃烧,当催化床温度升至200℃左右,反应开始缓慢进行,它是一个放热反应,放出的热量使催化床随着温度的升高至使氧化反应不断加快,所以,点火后催化床的温度升高非常迅速。甲醇脱氢反应在低温时几乎不进行,当催化床温度达600℃左右,反应成为生成醛的主要反应之一。脱氢反应是一个强吸热反应,故有反应的发生。对控制催化床的温度升高是有利的。脱氢反应是一个可逆反应,所谓可逆反应就是甲醇脱氢生成醛的同时,甲醛与氢也可向生成甲醇的方向进行,这类反应在化学反应中可用可逆符号来代替的。当原料混合气中的氧与脱氢反应生成的氢化合为水时,可使脱氢反应不断向生成甲醛的方向移动,从而提高了甲醇的转化率。

反应放出的热量,除抵消脱氢所需的热量,反应气体升温和反应器向周围环境的散去热量外,还有剩余。因此生产上不仅不需要外界供热,而且还必须在原料混合气中引进水蒸汽,利用水蒸汽的升温带热作用,将多余的热量从反应系统中移去,使反应能正常进行下去。此外,在反应器中还发生下列副反应。 4)甲醛吸收工序 来自甲醛蒸发器被冷凝的气进入吸收一塔,吸收一塔顶部出来的未被吸收气体进入吸收二塔。工艺水由管网供入,从吸收二塔顶部进入,与气相逆流接触进行甲醛吸收。吸收二塔底部出来的液体由甲醛循环泵经甲醛预热器和甲醛循环冷却器冷却后进入吸收一塔上段及中段,该甲醛液与甲醇蒸发器换热冷却后的甲醛反应气逆流接触得到甲醛溶液,并用甲醛循环泵在该塔下段循环,同时从甲醛循环泵采出一股甲醛溶液经冷却后作为产品送至甲醛装置的中间罐区甲醛溶液贮槽。 吸收二塔顶出来的尾气,一股返回风机入口,另一股进入尾气锅系统处理,处理过的尾气,完全能达到环境保护的要求,由烟囱在高处排放。

1热处理工艺过程确认[2015]

文件编号:DCH-WI-7.1-2013典型产品1Cr18Ni9Ti和022Cr19Ni10钢管 热处理工艺确认方案 一.目的 验证热处理能力及过程的可靠性是否满足标准及客户要求。 二.依据 GJB509B:2008《热处理工艺质量控制》 DCH-ZD-2010《钢管热处理技术作业指导》 GJB9001B-2009《质量管理体系要求》 GB/T14976《流体输送用不锈钢无缝钢管》 H2510/H2519《不锈钢无缝钢管技术协议》 三.热处理再评价准则 1.热处理工艺再评定要求 1.1评定的提出 A.新材料投入生产时,由热处理责任工程师根据工艺路线提出评价方案; B.新工艺应用于生产时,由热处理责任工程师提出评定方案; C.以前未涉及材料首次生产时,由热处理责任工程师提出评定方案; D.产品质量理化性能出现较大波动时,由热处理工艺员提出评定方案; E.其它原因(如炉子大修后)认为应该进行热处理工艺评定时,由相关人员提出评定方案;F.客户对工艺要求进行确认或评审时,由生产部门提出要求,技术部组织进行工艺评审。 2、评定准备 A.在接到评定通知后,热处理责任工程师准备评定的具体实施,并提出具体方案交工艺负责人及技术副总会签。 B.评定方案由公司生产技术副总(总工)审批。评定的实施由热处理工序负责实施,相关单位配合。 C.在评定前,必须进行热处理过程确认,确保过程质量。 3、评定程序 A.评定应达到的要求 ⑴新材料应用,应达到相应材料标准检测项目的最低要求; ⑵新工艺应用,要达到相应工艺方案的最低要求; ⑶要达到图纸或技术规范提最低要求,产品质量出现较大波动,要达到质量稳定可靠; B.热处理工序按批准的工艺评定方案进行产品的热处理。

原材料使用及生产工艺流程说明

原材料使用及生产工艺 流程说明 Company Document number:WTUT-WT88Y-W8BBGB-BWYTT-19998

原材料使用及生产工艺流程说明 第一章:原材料明细 婴儿纸尿裤、纸尿片的组成材料主要为:非织造布、进口原生纯木浆、高分子吸水树脂(SAP)、湿强纸、仿布防漏流延膜、热熔胶、左右腰贴、前腰贴、弹性PU等。 一.原材料使用要求:所有原材料外观应洁净,无油污、脏污、蚊虫、异物;并且符合环保要求;无毒、无污染、材料可降解;卫生指标符合GB15979 《一次性使用卫生用品卫生标准》规定要求。 二.原材料使用明细: 非织造布:主要用于产品的面层、直接与婴儿皮肤接触、可选的材料有无纺布或竹炭纤维; 进口原生木浆:主要作用是快速吸收尿液;可选材料主要为原生针叶木浆。已经考察的品牌有美国的石头、白玉、惠好、IP、瑞典的女神、俄罗斯的布阔等; 高分子吸水树脂:主要作用是吸收、锁住水分;主要选择日本住友和德国巴斯夫; 湿强纸:卫生包装用纸,含有湿强剂;主要用于包覆绒毛浆和SAP的混合物,便于后续工艺以及防止吸收体分解; 仿布防漏流延膜:主要用作产品的底层;防止尿液渗漏污染衣物或床上用品;主要参考的材料是台湾的复合透气流延膜; 热熔胶:用于任意两种材料的复合;主要选用德国汉高的产品或国民淀粉;

左右腰贴和前腰贴:主要用于婴儿纸尿裤上、让产品具备一定的形状;主要采用美国3M公司产品; 弹性PU:主要作用是让产品更贴身、防止尿液后漏;首选产品为美国3M 弹性PU 。 第二章:工艺流程 一.工艺流程 木浆拉毛——SAP添加——湿强纸包覆——吸收体内切——面层复合——前腰贴复合——底膜复合——左右贴压合——主体折合——产品外切——三折——成品输送——包装——装箱——检验入库——结束 二.流程说明 木浆拉毛:原生木浆经过专用设备拉毛成为绒毛浆;才具备快速吸水的能力; SAP添加:准确控制SAP的施加量,使其均匀混合在绒毛浆里,增加吸收体的吸水速度;利用SAP的锁水特性使混合物吸水后不会反渗; 湿强纸包覆:为了工艺的流畅性以及吸收体的整体性,利用湿强纸的特性对绒毛浆和SAP的混合物进行包覆; 吸收体内切:对经过湿强纸包覆的混合装物体进行分切;使其具备吸收体的形状; 面层复合:将面层材料(无纺布或竹炭纤维)用热熔胶复合在吸收体上,是吸收体不直接与皮肤接触; 前腰贴复合:在底膜和吸收体符合前,为了工艺的流畅性首先把前腰贴复合在底膜上;

塑胶喷涂的工艺流程

塑胶喷涂的工艺流程

喷涂车间的工艺流程图 注:此流程不包括前期的打板作业流程 一、生产备料: 素材的领取、油漆领取与调配、治具的二次加工、各生产消耗品及劳保用品领取 二、喷涂前表面处理: 使用白电油(或酒精)清除素材表面的油污、灰尘等,油污与 灰尘主要来自于素材注塑时的脱模剂以及在转运和库存过程中沾上的灰尘。这些油污、灰尘如果没有 去除,将会直接影响到喷涂产品的品质。 三、治具安装:

治具包括二次治具(塑胶转盘)和一次治具(直接与工件相接触的那部分)。喷涂产品通常有两个面, 一面要求喷漆,另一面则不能沾上油漆,否则就判定为不良品。一次治具除了起到固定工件的作用外,还起到防止油漆喷到不能沾上油漆的那些部位,所以一次治具设计时要考虑具体产品的外形及要求,不同的产品要求有不同的一次治具。二次治具主要起到连接一次治具与流水线吊柱的作用,它的主体部分---中心转盘保持不变,而与一次治具的连接部分设计成可拆卸,具体的排布数量和间隔视喷涂产品的尺寸大小而定。由于在喷涂过程中漆膜的涂敷,治具都有一定的使用寿命,经过几个生产循环之后,都要求报废旧治具,更新治具。治具的安装是指将待喷工件顺着与治具相对应的方向固定于治具上。本工序采用流水线作业,治具安装时不可强力挤压,以防工件产生变形。 四、手动静电除尘: 待喷产品由于摩擦等作用,可能在其表面积聚一些静电荷。这 些静电荷是吸附一些微小尘埃的主要来 源。手动静电除尘就是工人利用静电风枪,在中和消除静电的同时依靠风力的作用除去尘埃,以达到净化产品表面的作用。此工序设有一个抽风柜,以使这些去除的尘埃及时排出车间。 五、转件: 此工序主要起到待上线产品的转存作用,即产品在不同的传送带上转存,以提高效率。此工序与治具 安装都用到传送带,其中传送带的控制操作面板可以启动、关闭传送

晶圆级键合技术的最新发展

晶圆级键合技术的最新发展 2011-11-24 19:37:28 来源:SUSS MicroTec 评论:0点击:179 晶圆片键合应用于MEMS工业已达数十年时间,业界有责任建立标准规范,设定气密性、键合强度、缺陷检测、批量生产设备。而高级CMP工艺、硅垂直深孔刻蚀、金属填充互联技术的发展将促使CMOS工业继续进步。MEMS 和CMOS生产制造技术的交叉彻底变革了整个市场。 Shari Farrens 博士 晶圆键合部-首席科学家 SUSS MicroTec 1. 引言 晶圆级MEMS(微电子机械系统)键合技术应用于生产加速度计、压力传感器和陀螺仪等领域已数十年。汽车工业一直以来都是这些MEMS器件的主要最终用户。但近期例如手机和游戏机产业的需求导致MEMS消费类产品市场爆发性增长,使得这一行业发生了巨大变化。最重大的变化可能就是更大的市场和更低的成本要求。同时,集成MEMS 器件和CMOS控制器或其它IC部件的需求,使得该技术研究开始转向关注怎样才能制造这些器件。 MEMS的晶圆级键合方式以往主要为阳极键合和玻璃浆料键合。这两种键合方式在产品使用寿命期间,都具有十分良好的气密性,并且对于上游制造方面的严苛要求如颗粒沾污和表层形貌,都具有相对良好的适应性。然而,这些方法并不能解决极限尺寸、集成度和垂直封装的问题。 2. 高级MEMS 键合要求 新型MEMS芯片需要满足更小产品尺寸的要求。实现这一目标最合适的方式应当是金属封装技术。相比其它材料,金属具有更低的透气性,因此可以提供更好的气密等级。金属密封材料在晶圆片上占用更小的面积,晶圆也就可以容纳更多的器件,所以在提高气密性的同时,微机械部件的实际尺寸也减小了。 金属密封技术的另一个特点是,它为芯片提供了电通路。所以在设计芯片时可以引入垂直互联金属层,实现晶圆堆叠和先进封装技术,从而进一步减小芯片尺寸,降低成本。 3. 金属键合技术 金属键合技术大体上可以分为两类:非熔化型扩散法以及自平坦化(熔化)共熔晶反应。在运用这两种技术时,可以根据所希望的技术参数和要求,分别选取适合的金属系。 金属扩散键合,是一种典型的热压力键合。首先,使金或铜沉积到需要连接的部件表面,然后将部件相互对准后置入精密晶圆键合机,如SUSS MicroTec公司的CB200中。键合机控制腔室内气氛,加热加压将部件键合到一起。扩散键合是物质界面间原子相互混合的结果,键合结果气密性极好。 对于表面粗糙度和形貌都符合一定要求的器件,扩散键合是一种很好的选择。键合中,金属层并不熔化,因此必须与需要键合的表面紧密接触,对于粗糙表面、表面有颗粒或其它表面缺陷的情况,这种键合方式就不合适了。 在共熔晶键合过程中,两种金属熔合为合金并固化。可用于共熔晶键合的金属材料有AuSi,、AuSn、AuGe、CuSn、AlGe,以及其它一些不常用的合金材料。共熔晶键合过程中,基片上的金属层在被称为共熔温度Te的特定温度下相互熔合。合金沉积当量或金属层厚度决定了合金的合金温度Te。金属共熔后发生了数个重要的工艺变化。 首先,金属材料熔化会导致金属层在结合面加速混合和消耗。这提供了一个良好的控制反应,可以形成均匀界面。其次,金属形成流体状态,这样在界面上,包括任何表面异形区域都可以自平坦化。 最后,共熔晶键合的重点是在重新凝固后使混合物形成晶体结构,从而获得很高的热稳定性。因此在任何时候T>Te 时,晶圆键合中的合金过程并不会由于一定的合金比例成分而结束,而是在界面处形成一个更稳定的熔融金相。

生产工艺流程图和工艺说明

1 9 10 12 2 11 13 3 14 4 15 5 16 17 8 7 6 18 至提升机工艺流程设备编号及名称 编号名称 1 永磁筒 2 圆筒初清筛 3 电动三通 4 锤片粉碎机 5 吸尘罩 6 栅筛 7 下料斗 8 斗式提升机 9 风帽 10 组合脉冲除尘器 11 叶轮式闭风机 12 双轴桨叶混合机 13 自动闸门 14 料位器 15 手动闸门 16 螺旋喂料器 17 电子秤 18 刮板输送机 工艺流程图

19 23 20 24 21 25 22 26 工艺流程设备编号及名称编号名称 19 环模制粒机 20 空压机 21 双层冷却器 22 对辊破碎机 23 振动分级筛 24 离心通风机 25 离心集尘器 26 自动打包机 集尘袋

生产流程图工艺说明 一.原料粉碎 需粉碎原料经栅筛除去较大杂质后,投放到下料斗经吸尘罩吸,其目的是降低粉尘浓度。由提升机送到永磁筒除去磁性铁杂质,再经圆筒初清筛得到合格的原料经粉碎储备仓进入粉碎机粉碎至需要大小粒度的粉料 小学少先队组织机构 少先队组织由少先队大队部及各中队组成,其成员包括少先队辅导员、大队长、中队长、小队长、少先队员,为了健全完善我校少先队组织,特制定以下方案: 一、成员的确定 1、大队长由纪律部门、卫生部门、升旗手、鼓号队四个组织各推荐一名优秀学生担任(共四名),该部门就主要由大队长负责部门内的纪律。 2、中、小队长由各班中队公开、公平选举产生,中队长各班一名(共11名),一般由班长担任,也可以根据本班的实际情况另行选举。小队长各班各小组先选举出一名(共8个小组,就8名小队长)然后各班可以根据需要添加小队长几名。 3、在进行班级选举中、小队长时应注意,必须把卫生、纪律部门的检查学生先选举在中、小队长之内,剩余的中、小队长名额由班级其他优秀学生担任。 4、在班级公开、公平选举出中、小队长之后,由班主任老师授予中、小队长标志,大队长由少先队大队部授予大队长标志。 二、成员的职责及任免 1、大、中、小队长属于学校少先队组织,各队长不管是遇见该班的、外班的,不管是否在值勤,只要发现任何人在学校内出现说脏话、乱扔果皮纸屑、追逐打闹、攀爬栏杆、乱写乱画等等一些违纪现象,都可以站出来制止或者报告老师。 2、班主任在各中队要对中、小队长提出具体的责任,如设置管卫生的小队长,管纪律的小队长,管文明礼貌的、管服装整洁的等等,根据你班的需要自行定出若干相应职责,让各位队长清楚自己的职权,有具体可操作的事情去管理,让各位队长成为班主任真正的助手,让学生管理学生。各中队长可以负责全班的任何违纪现象,并负责每天早上检查红领巾与校牌及各小队长标志的佩戴情况。 3、大、中、小队长标志要求各队长必须每天佩戴,以身作则,不得违纪,如有违纪现象,班主任可根据中、小队长的表现撤消该同学中、小队长的职务,另行选举,大队长由纪律、卫生部门及少先队大队部撤消,另行选举。 4、各班中、小队长在管理班级的过程中负责,表现优秀,期末评为少先队部门优秀干部。

特殊过程确认准则

文档特殊过程确认准则 编制: 审核: 会签 批准:

特殊过程确认准则 一、需确认过程的识别 过程的输出(产品)不能由后续的监视或测量加以验证,使问题在产品使用后或服务交付后才显现时,应对任何这样的过程进行识别,并实施确认。 二、确认过程的准备 为了证实过程具备满足实现所策划结果的能力,在实施确认前应做好相关准备工作,对设备和人员进行鉴定,包括对操作人员进行培训和考核,证明具备相应的技能;对设备的特性进行检查,如热处理炉的温度均匀性,电镀槽液的成分和含量,以及环境条件等。 三、确认的内容 确认是对过程的实现能力的证实和确认,在5M1E等因素相同或类似情况下,可以选择一个典型零部件对该过程进行确认。确认的内容一般包括:1)设备能力的认可 过程所使用的生产设备、工艺装备应具有满足工艺要求的能力,如温度、电流、电压等;在规定参数范围内的稳定性;测量设备的准确性;使用设备的配套完整性等。 2)人员资格的鉴定 操作人员的岗位资格鉴定:通过岗位培训、考核并持证上岗;工种级别符合工艺文件要求;技术能力鉴定:应熟悉工艺过程,清楚重要工艺的工艺参数,对过程能力实施有效的控制,以及实际经验的考核和鉴定。 3)特定方法和程序的使用

过程所使用特定工艺参数的规定:首先是参数设计,通过试验或计算得到最佳的工艺参数,其次是对原材料、加工程序、操作环境、工艺装备等要求进行确认;工艺方法的规定:对按照策划的工艺方法和工艺参数所加工样件的全部特性进行检验验证合格后,包括必要时进行的破坏性性能试验,形成最终的工艺方法和工艺参数,检验试验所使用的文件应为经审批的有效文件。 4)过程实施的记录 记录是指过程能力确认的记录,记录的内容包括:确认准则、人员资格鉴定、样件加工和验证的原始记录等。 四、再确认 当质量要求、工艺方法、工艺参数、生产设备等情况发生变化时,或当过程停工时间较长恢复生产时,需要对过程继续满足要求的能力进行再确认,以确保过程能力持续满足要求。其中,对过程输入发生变化的确认,主要是对变化输入要素按原来的策划要求进行确认,并对加工样件进行检验试验,根据检验试验结果进行评价;定期再确认,主要是依据规定的再确认周期,按规定的周期和方法进行样件加工、检验试验和评价批准。 五、确认结果的判定 当产品的检验试验结果满足规定要求时,可以认定该过程具备了实现策划结果的能力。当初次确认时,将确认的结果纳入正式工艺文件,并按规定程序审批后,用于指导正式批量生产;当再确认时,将确认记录发放到生产单位,用于指导开工再生产。如产品的检验试验结果不能满足规定要求时,即应说明该过程不具备实现策划结果的能力,应在采取相应的措施后,对该过程进行重新确认。

【CN110047911A】一种半导体晶圆、键合结构及其键合方法【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910324533.8 (22)申请日 2019.04.22 (71)申请人 武汉新芯集成电路制造有限公司 地址 430205 湖北省武汉市东湖开发区高 新四路18号 (72)发明人 周云鹏 郭万里 胡杏 黄宇恒  (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 代理人 党丽 王宝筠 (51)Int.Cl. H01L 29/06(2006.01) H01L 23/544(2006.01) H01L 21/18(2006.01) (54)发明名称 一种半导体晶圆、键合结构及其键合方法 (57)摘要 本发明提供一种半导体晶圆、键合结构及其 键合方法,该半导体晶圆将与其他晶圆进行晶圆 级键合,在该晶圆中,在顶层覆盖层中形成有与 互连结构电连接的键合垫,同时,在该顶层覆盖 层中形成有键合对准图形,该键合对准图形的图 案由设置于顶层覆盖层中的点阵组成。这样,由 于键合对准图形设置于顶层覆盖层中,顶层覆盖 层之上将不再覆盖其他的材料层,提升键合设备 对键合对准图形的识别能力,增大了键合制程工 艺对准窗口,同时,键合对准图形的图案由点阵 组成,更易于键合孔工艺集成,且避免制造工艺 中碟陷等缺陷的产生。权利要求书1页 说明书6页 附图2页CN 110047911 A 2019.07.23 C N 110047911 A

权 利 要 求 书1/1页CN 110047911 A 1.一种半导体晶圆,其特征在于,包括: 半导体衬底; 衬底上的器件结构,以及所述器件结构的互连结构; 覆盖所述互连结构的顶层覆盖层; 设置于所述顶层覆盖层中且与所述互连结构接触连接的键合垫; 设置于所述顶层覆盖层中的键合对准图形,所述键合对准图形的图案由设置于顶层覆盖层中的点阵组成。 2.根据权利要求1所述的晶圆,其特征在于,所述键合对准图形的图案由多个子图形组成,且所述键合对准图形为中心对称图形。 3.根据权利要求2所述的晶圆,其特征在于,多个所述子图形中的一部分构成环绕图案,另一部分构成内置图案,所述内置图案设置于环绕图案中。 4.根据权利要求3所述的晶圆,其特征在于,所述环绕图案为一个多边形的子图形。 5.根据权利要求3所述的晶圆,其特征在于,所述环绕图案为多个条形子图形构成的多边形图案。 6.根据权利要求2所述的晶圆,其特征在于,所述键合对准图形包括多个区域,相邻区域中的子图形具有不同的延伸方向。 7.根据权利要求1-6中任一项所述的晶圆,其特征在于,所述晶圆包括阵列排布的芯片区,所述器件结构形成于所述芯片区,所述键合对准图形形成于所述芯片区之间的切割道上。 8.根据权利要求1-6中任一项所述的晶圆,其特征在于,所述点阵中的各点为圆形柱、椭圆形柱或方形柱。 9.一种键合结构,其特征在于,包括多个晶圆,所述多个晶圆沿垂直于晶圆方向键合在一起,所述多个晶圆中的至少一个为权利要求1-8中任一项所述的晶圆。 10.一种晶圆的键合方法,其特征在于,包括: 提供待键合晶圆,所述待键合晶圆为如权利要求1-8中任一项所述的半导体晶圆; 利用所述待键合晶圆中的键合对准图形进行对准; 进行待键合晶圆与另一晶圆的键合。 2

机械加工工艺标准流程过程描述

机械加工工艺流程详解 1.机械加工工艺流程 机械加工工艺规程是规定零件机械加工工艺过程和操作方法等的工艺文件之一,它是在具体的生产条件下,把较为合理的工艺过程和操作方法,按照规定的形式书写成工艺文件,经审批后用来指导生产。机械加工工艺规程一般包括以下内容:工件加工的工艺路线、各工序的具体内容及所用的设备和工艺装备、工件的检验项目及检验方法、切削用量、时间定额等。 1.1 机械加工艺规程的作用 (1)是指导生产的重要技术文件 工艺规程是依据工艺学原理和工艺试验,经过生产验证而确定的,是科学技术和生产经验的结晶。所以,它是获得合格产品的技术保证,是指导企业生产活动的重要文件。正因为这样,在生产中必须遵守工艺规程,否则常常会引起产品质量的严重下降,生产率显著降低,甚至造成废品。但是,工艺规程也不是固定不变的,工艺人员应总结工人的革新创造,可以根据生产实际情况,及时地汲取国内外的先进工艺技术,对现行工艺不断地进行改进和完善,但必须要有严格的审批手续。 (2)是生产组织和生产准备工作的依据 生产计划的制订,产品投产前原材料和毛坯的供应、工艺装备的设计、制造与采购、机床负荷的调整、作业计划的编排、劳动力的组织、工时定额的制订以及成本的核算等,都是以工艺规程作为基本依据的。 (3)是新建和扩建工厂(车间)的技术依据 在新建和扩建工厂(车间)时,生产所需要的机床和其它设备的种类、数量和规格,车间的面积、机床的布置、生产工人的工种、技术等级及数量、辅助部门的安排等都是以工艺规程为基础,根据生产类型来确定。除此以外,先进的工艺规程也起着推广和交流先进经验的作用,典型工艺规程可指导同类产品的生产。 1.2 机械加工工艺规程制订的原则 工艺规程制订的原则是优质、高产和低成本,即在保证产品质量的前提下,争取最好的经济效益。在具体制定时,还应注意下列问题: 1)技术上的先进性在制订工艺规程时,要了解国内外本行业工艺技术的发展,通过必要的工艺试验,尽可能采用先进适用的工艺和工艺装备。 2)经济上的合理性在一定的生产条件下,可能会出现几种能够保证零件技术要求的工艺方案。此时应通过成本核算或相互对比,选择经济上最合理的方案,使产品生产成本最低。

第三章工艺流程设计

第三章工艺流程设计 ?3.1概述 ?3.2工艺流程技术设计 ?3.3工艺流程图 化工装置控制室 焦化厂中控室 扬子石化股份有限公司芳烃厂中央控制室?制药厂空调机组

天津开发区海光化学制药厂 制药厂废水处理全套设计图 广州白云山制药厂 制药厂反渗透装置 3.1 概述 3.1.1工艺流程设计的作用 ?工艺流程设计是在确定的原料路线和技术路线的基础上进行的,它是整个工艺设计的核心。其可靠性、合理性及先进性决定产品的高质量、低成本。 ?工程设计中最重要、最基础的设计步骤,车间工艺设计的其它项目受制于工艺流程。 ?其与车间布置设计一起决定车间或装置的基本面貌。 3.1.2工艺流程设计的任务 1.确定工艺流程的组成 2.确定载能介质的技术规格和流向 ?3.确定操作条件和控制方法 ?4.确定安全技术措施及“三废”治理方法 5.绘制不同深度的工艺流程图 ?初步设计

?施工图设计 工艺流程设计的原则 ?保证产品质量符合规定要求 ?尽量采用成熟、先进的的技术设备 ?满足GMP的要求 ?尽可能少的能耗 ?尽量减少“三废”排放量 ?具备开车、停车条件,易于控制 ?具有柔韧性,(在不同条件下正常操作的能力) ?具有良好的经济效益 ?确保安全生产,以保证人身和设备安全。 3.1.3工艺流程设计的基本程序 ?1、工艺路线的选择 ?2、确定工艺流程的组成和顺序 3、绘制工艺流程框图 ?可用方框、文字和箭头等形式定性表示出由原料变成产品的路线和顺序,绘制出工艺流程框图。 ?4、绘制工艺流程示意图 ?分析各过程的主要工艺设备,以图例、箭头和必要的文字说明定性表示出由原料变成产品的路线和顺序。 5、绘制物料流程图 ?进行物料衡算和能量衡算,绘制出物料流程图。此时,设计已由定性转入定量。 6、绘制初步设计阶段带控制点的工艺流程图 ?进行设备、管道的工艺计算以及仪表自控设计。绘制出初步

喷涂工艺过程

喷涂工艺过程 1、表面预处理 为了使涂层与基体材料很好地结合,基材表面必须清洁及粗糙,净化和粗化表面的方法很多,方法的选择要根据涂层的设计要求及基材的材质、形状、厚薄、表面原始状况以及施工条件等因素而定、净化处理的目的是除去工件表面的所有污垢,如氧化皮、油渍、油漆及其他污物,关键是除去工件表面和渗入其中的油脂、净化处理的方法有,溶剂清洗法、蒸汽清洗法、碱洗法及加热脱脂法等、粗化处理的目的是增加涂层与基材间的接触面,增大涂层与基材的机械咬合力,使净化处理过的表面更加活化,以提高涂层与基材的结合强度、同时基材表面粗化还改变涂层中的残余应力分布,对提高涂层的结合强度也是有利的、粗化处理的方法有喷砂、机械加工法(如车螺纹、滚花)、电拉毛等。其中喷砂处理是最常用的粗化处理方法,常用的喷砂介质有氧化铝、碳化硅和冷硬铸铁等。喷砂时,喷砂介质的种类和粒度、喷砂时风压的大小等条件必须根据工件材质的硬度、工件的形状和尺寸等进行合理的选择。对于各种金属基体,推荐采用的砂粒粒度约为16-60 号砂,粗砂用于坚固件和重型件的喷砂,喷砂压力为 0、5-0、7Mpa,薄工件易于变形,喷砂压力为0、3-0、4Mpa。 特别值得注意的一点是,用于喷砂的压缩空气一定要是无水无油的,否则会严重影响涂层的质量。喷涂前工件表面的粗化程度对大多数金属材料来说2、5-13mmRa就够了。随着表面粗糙度的增加涂层与基体材料的结合增强,但是当表面粗糙度超过10mmRa后,涂层结合强度的提高程度便会减低。对于一些与基材粘结不好的涂层材料,还应选择一种与基体材料粘结好的材料喷涂一层过渡层,称为粘结底层,常用作粘结底层的材料有Mo、NiAl、NiCr 及铝青铜等、粘结底层的厚度一般为0、08-0、18mm。 2、预热 预热的目的是为了消除工件表面的水分和湿气,提高喷涂粒子与工件接触时的界面温度,以提高涂层与基体的结合强度;减少因基材与涂层材料的热膨胀差异造成的应力而导致的涂层开裂、预热温度取决于工件的大小、形状和材质,以及基材和涂层材料的热膨胀系数等因素,一般情

喷漆车间喷漆生产工艺流程

喷漆车间喷漆工艺流程 一、除油 1、去除黑色金属工件在生产过程中表面的油污,用槽浸法。碱液清洗配方:氢氧化钠4%、磷酸钠4%、磷酸三钠4%、OP-10乳化液0.3%、温度90~95℃,处理时间5~8分钟。处理后检查方法:水洗后用刷帚刷,目测油污是否去净。 2、去除有色金属工件表面的油污,用槽浸法。采用KL-13型除油除锈添加剂处理(该添加剂为白色粉末),使用浓度:兑水比例2%,温度大于5℃(如加温处理速度加快),时间5~10分钟,槽液PH值:7。 3、塑料制品的表面除油,用槽浸法。选用KL-16型脱腊除油粉,使用浓度:兑水比例5%,温度40~65℃,时间5~10分钟。 二、清洗(除油后用水清洗) 三、除锈 采用酸性除锈,去除钢铁表面的锈垢,用槽浸法。酸洗除锈液配方:浓度31%的工业盐酸、缓蚀剂3%,温度:常温。处理时间3~8分钟,处理后检查方法:水洗后目测是否有锈垢存在。 四、清洗(除锈后用水清洗) 五、表调 用于磷化前的表面处理,用槽浸法(表调剂为白色粉末)。配槽液时按每1~3公斤/吨的用量慢慢添加,搅拌使其溶解。表调剂的工作条件为PH值7.5~9.5,温度:常温,时间半分钟。 六、磷化 用锌系磷化液使钢铁表面磷化,用槽浸法。WF磷化剂分为:A剂——配槽剂,B剂——补加剂,C剂——促进剂。 1、槽液配制:槽内加水3/4体积,按每25~30公斤/吨的量加入A剂,然后再添加用热水溶解的氢氧化钠(按每0.7公斤/吨的用量),最后加水至工作液面确认酸度。在即将开始磷化时,按每0.5~0.7公斤/吨的量加入C剂,搅拌均匀待用。 2、使用工艺参数:总酸度18~35点,游离酸度0.5~1.5点,促进剂2~3点,温度35~45℃,浸磷时间5~10分钟,检查方法:水洗、干燥后目测磷化膜应呈瓦灰色、结晶细致、无斑点、以及未磷化到的部位无氧化物等固体沉积物残留于表面,磷化后水洗应彻底,清洗后应迅速干燥。

干燥机工艺流程及说明

三种干燥机的工作原理 1、冷冻式干燥机系统流程图及工作原理 工作原理 ※潮湿高温的压缩空气流入前置冷却器(高温型专用)散热后流入热交换器与从蒸发器排出来的冷空气进行热交换,使进入蒸发器的压缩空气的温度降低。 换热后的压缩空气流入蒸发器通过蒸发器的换热功能与制冷剂热交换,压缩空气中的热量被制冷剂带走,压缩空气迅速冷却,潮湿空气中的水份达到饱和温度迅速冷凝,冷凝后的水分经凝聚后形成水滴,经过独特气水分离器高速旋转,水分因离心力的作用与空气分离,分离后水从自动排水阀处排出。经降温后的空气压力露点最低可达2℃。 降温后的冷空气流经空气热交换与入口的高温潮湿热空气进行 ① 压缩机 ⑨ 压力表 ⑩ 气枪 ⑧ 前置冷却器 ⑥ 气水分离器 ⑤ 储液器 ④ 蒸发器 ② 冷凝器 ③ 节流阀 ⑦ 自动排水器 ⒁ 压缩空气进口 ⒀ 热气旁通阀 ⑿ 高低压保护开关 ⑾ 干燥过滤器 ⑿ ⑤ ④ ⑾ ③ ② ① ⑨ ⑥ ⑩ ⑦ ⑧ ⒂ 干燥空气出口 ⒂ ⒀ ⒁ ⒃ 预冷回热器 ⒃

热交换,经热交换的冷空气因吸收了入口空气的热量提升了温度,同时压缩空气还经过冷冻系统的二次冷凝器(同行独有的设计)与高温的冷媒再次热交换使出口的温度得到充分的加热,确保出口空气管路不结露。同时充分利用了出口空气的冷源,保证了机台冷冻系统的冷凝效果,确保了机台出口空气的质量。 2、无热式干燥机的产品流程图及工作原理 1、塔压力表(小型机组不安装);2逆止阀;3再生风量调节阀;4塔压力表;5逆止阀;6 再生风量调节阀; 工作原理 由空压机排出的大量空气,由压缩空气入口管流入,通过气阀进入两个塔中的运转塔,其中的湿气会被吸附剂所吸收而干燥。当空气流通到塔顶时,空气中的水份被全部吸收,露点温度可达-40℃,从而达到干燥目的。整个循环标准需10分钟,每塔各运行5分钟,一

工艺验证确认方案

工艺验证/确认方案工艺名称: 批准/日期: 审核/日期: 编制/日期:

目录 一、概述 二、目的范围 三、机构人员 四、职责分工 五、验证/确认准备 六、验证/确认内容 1.相关因素 2.因素水平 3.加工工艺 4.结果判定 七、偏差处理 八、变更控制 九、状态保持 十、附件

工艺验证/确认方案 一、概述 由于经特殊过程加工的过程产品,其质量无法在过程完成后进行检验,因此按质量体系要求,对特殊过程的生产工艺进行验证/确认。 二、目的范围 证明该工艺的适用性和可靠性,加工结果符合质量要求。 三、机构人员 四、职责分工 组长:负责起草方案及报告; 负责方案培训; 负责督促验证小组成员按照方案执行并做好记录。 组员:生产部的组员负责具体操作; 质量部的组员负责相关检验。 五、验证准备 验证实施之前,以下条件必须满足: 1.确认所需的相关文件已获得批准,且为有效版本。 2.各相关人员均已经过相关培训且考核合格。 3.相关的设备、仪器状态正常,计量器具在计量有效期内。 4.相关的材料符合方案要求。

5.实施的环境符合要求。 六、验证/确认内容 1、相关因素 1.1工序赋予产品的质量特性 1.2影响质量特性形成的因素 2、因素水平 3、拟采用的工艺 应考虑各极限情况 3、检验项目、检验方法和结果判定 七、偏差处理 方案实施过程中发生的任何偏差均应详细记录,并由验证/确认小组提出解决方案。 八、变更控制 方案实施过程中发生的任何关于本方案、人员、设备、材料、环境的变更,均应进行评估。方案发生变更时,应对方案进行修订并获得审批,方案修改后,应对修改前获取的数据的有效性进行评估。 九、状态保持 结合本次验证/确认的情况及结果,评估工艺再验证的条件及再验证的周期,确保工艺始终处于稳定的状态。 十、附件 1、人员资格确认记录 2、生产设备确认记录 3、相关材料确认记录 4、执行文件确认记录 5、工作环境确认记录

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