沉铜工序常见问题及解决方案

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降低温度，加水稀释

浓度降低时间微蚀含量高或温度高，

时间长微蚀过度

开拉时仪验各成分，保证在控制范围

沉绩速率低沉铜液活性不够

减少打气，600A与600B，按1：0.9补加，单独氢氧化钠和甲醛

孔内无铜

1、氨气滞留孔内，使孔壁与溶液隔离，孔内有

脏物

2、存放时间太长，孔内氧化

提高药水含量及温

度，提高沉铜缸活性

1、保证震动装置正常，提高温度，甲醛氢氧化钠含量

2、沉铜后的板不能超过四小时要及时送下工序

制定：沉铜液的付产物过多

升高温度到35℃，补

加EC-6M 5-15ML/L增加钯吸附量

保证温度，减少铜缸付产物

沉绩速率高控制好浓度温度及时间在目标

范围内

背光不良

产生原因

纠正方法

问题点

预防措施

控制钯水的液美度到8，升高钯

水的酸度到0.8N，采用拖缸板

提高沉铜液活性（升

温、生氨氧化钠、甲

醛含量），开小打气

孔内钯吸附不良或沉铜液活性不够

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