EBARA 维护操作手册

EBARA 维护操作手册
EBARA 维护操作手册

一、目的

当需要进行对EBARA pump进行维护时,提供的标准操作流程。

二、适用范围

对VEECO K465i机台的EBARA pump适用。

三、操作流程步骤

1.将机台进行shut down状态,并在NEXUS界面,将chamber的气压调至760tor左右,然后关闭AV 184,碟阀和EBARA上方的球阀。如图1

充气至760

AV 184

碟阀

图1

2.关闭EBARA 进气阀门,如图2。注意:关掉进气手动阀后让pump 继续运行30分钟,以防止pump 内的副产物造成腐蚀或发生反应。

图2

3、在LCD 控制面板上按下STOP 键,停止pump 运转。如图3。注意: 为了从pump 中去除残余的工艺气体,在pump 停止工作后用 N2 气体进行至少 1 小时的清洗,至少要让冷却水循环一小时以冷却pump 。在pump 关闭后,pump 温度仍然很高,请务必小心操作。

图3

4.按下红色的紧急停止按钮,关闭pump的电源开关(机台后方的电源开关)。并停止冷却水和N2气体的供应,如图4。

图4

5.拆除冷却水进出管,N2气管,电源接头,控制接头、EBARA 的进气管道和排出的管道。如图5

图5

6.将pump 移出机台,送至维护区进行拆开清理维护。

7.维护完将EBARA 移回机台,进行冷却水进出管,N2气管,电源接头,控制接头、EBARA 的进气管道和排出的管道的连接,如图5 8.开启冷却水,打开水冷系统的进水阀和出水阀。注意:每分钟必

须达到3.5L

9.打开氮气进气管路的 N2 气流。打开 N2 清洗阀。注意:要求

N2流量达到20L/min

10.缓慢地顺时针旋开 N2 调节器,将调节器压力设置为0.1Mpa。然后按下调节器旋钮上的红色限位器锁定,如图6。

0.1Mp

a

图6

11.打开泵的外部电源和漏电保护,此时LCD 控制器将显示 10 秒的倒计时

12. 按下LCD 控制器上的Start 按钮 启动泵,主泵启动,MP RUN LED 亮起。如图7

图7

13.pump 必须运行至少 30 分钟,pump 温度至少达到90℃后方可打开EBARA 的进气阀。如图8

图8

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