晶体生长方法

晶体生长方法
晶体生长方法

晶体生长方法

一、提拉法

晶体提拉法的创始人是J. Czochralski,他的论文发表于1918年。提拉法是熔体生长中最常用的一种方法,许多重要的实用晶体就是用这种方法制备的。近年来,这种方法又得到了几项重大改进,如采用液封的方式(液封提拉法,LEC),能够顺利地生长某些易挥发的化合物(GaP等);采用导模的方式(导模提拉法)生长特定形状的晶体(如管状宝石和带状硅单晶等)。所谓提拉法,是指在合理的温场下,将装在籽晶杆上的籽晶下端,下到熔体的原料中,籽晶杆在旋转马达及提升机构的作用下,一边旋转一边缓慢地向上提拉,经过缩颈、扩肩、转肩、等径、收尾、拉脱等几个工艺阶段,生长出几何形状及内在质量都合格单晶的过程。这种方法的主要优点是:(a)在生长过程中,可以方便地观察晶体的生长情况;(b)晶体在熔体的自由表面处生长,而不与坩埚相接触,这样能显著减小晶体的应力并防止坩埚壁上的寄生成核;(c)可以方便地使用定向籽晶与“缩颈”工艺,得到完整的籽晶和所需取向的晶体。提拉法的最大优点在于能够以较快的速率生长较高质量的晶体。提拉法中通常采用高温难熔氧化物,如氧化锆、氧化铝等作保温材料,使炉体内呈弱氧化气氛,对坩埚有氧化作用,并容易对熔体造成污杂,在晶体中形成包裹物等缺陷;对于那些反应性较强或熔点极高的材料,难以找到合适的坩埚来盛装它们,就不得不改用其它生长方法。

二、热交换法

热交换法是由D. Viechnicki和F. Schmid于1974年发明的一种长晶方法。其原理是:定向凝固结晶法,晶体生长驱动力来自固液界面上的温度梯度。特点:(1) 热交换法晶体生长中,采用钼坩埚,石墨加热体,氩气为保护气体,熔体中的温度梯度和晶体中的温度梯度分别由发热体和热交换器(靠He作为热交换介质)来控制,因此可独立地控制固体和熔体中的温度梯度;(2) 固液界面浸没于熔体表面,整个晶体生长过程中,坩埚、晶体、热交换器都处于静止状态,处于稳定温度场中,而且熔体中的温度梯度与重力场方向相反,熔体既不产生自然对流也没有强迫对流;(3) HEM法最大优点是在晶体生长结束后,通过调节氦气流量与炉子加热功率,实现原位退火,避免了因冷却速度而产生的热应力;(4) HEM可用于生长具有特定形状要求的晶体。由于这种方法在生长晶体过程中需要不停的通以流动氦气进行热交换,所以氦气的消耗量相当大,如Φ30 mm的圆柱状坩埚就需要每分钟38升的氦气流量,而且晶体生长周期长,He气体价格昂贵,所以长晶成本很高。

三、坩埚下降法

坩埚下降法又称为布里奇曼-斯托克巴格法,是从熔体中生长晶体的一种方法。通常坩埚在结晶炉中下降,通过温度梯度较大的区域时,熔体在坩埚中,自下而上结晶为整块晶体。这个过程也可用结晶炉沿着坩埚上升方式完成。与提拉法比较该方法可采用全封闭或半封闭的坩埚,成分容易控制;由于该法生长的晶体留在坩埚中,因而适于生长大块晶体,也可以一炉同时生长几块晶体。另外由于工艺条件

容易掌握,易于实现程序化、自动化。典型的晶体生长炉的结构。该方法的缺点是不适于生长在结晶时体积增大的晶体,生长的晶体通常有较大的内应力。同时在晶体生长过程中也难于直接观察,生长周期比较长。

四、温梯法

导向温度梯度法(TGT) 是中国科学院上海光学精密机械研究所的专利技术。其结晶原理与上述热交换法相似,也是采用石墨发热体、Mo保温屏、Mo坩埚,氩气保护气氛。温梯法和热交换法的主要不同在于前者采用水冷却技术而后者采用He气冷却;而且TGT 的温场主要靠调整石墨发热体、Mo保温屏、Mo坩埚的形状和位置,发热体的功率以及循环冷却水的流量来调节,使之自下向上形成一个合适的温度梯度。温梯法整个生长装置处于相对稳定的状态,坩埚和籽晶都不转动,这样坩埚中既没有因熔体密度引起的自然对流,又没有因机械搅拌引起的强迫对流,固液界面不受干扰,具有更稳定的热场。

五、水平布里奇曼法

水平布里奇曼法是由BarIIacapob研制成功的一种制备大面积定型薄片状晶体的方法。将原料置于舟型坩埚中,使坩埚水平通过加热区,原料熔化并结晶。为了能够生长有严格取向的晶体,可以在坩埚顶部的籽晶槽中放入籽晶来诱导生长。该方法具有以下一些特点:(1)开放式的坩埚便于观察晶体的生长情况;(2)由于熔体的高度远小于其表面尺寸,有利于去除挥发性杂质,另外还有利于降低对流强度,

提高结晶过程的稳定性;(3) 开放式的熔体表面使在结晶的任意阶段向熔体中添加激活离子成为可能;(4)通过多次结晶的方法,可以对原料进行化学提纯。

现代分析测试技术作业

姓名:矦贵海

学号:2013220313 专业:化学工程

班级:研1309

晶体生长方法

晶体生长方法 一、提拉法 晶体提拉法的创始人是J. Czochralski,他的论文发表于1918年。提拉法是熔体生长中最常用的一种方法,许多重要的实用晶体就是用这种方法制备的。近年来,这种方法又得到了几项重大改进,如采用液封的方式(液封提拉法,LEC),能够顺利地生长某些易挥发的化合物(GaP等);采用导模的方式(导模提拉法)生长特定形状的晶体(如管状宝石和带状硅单晶等)。所谓提拉法,是指在合理的温场下,将装在籽晶杆上的籽晶下端,下到熔体的原料中,籽晶杆在旋转马达及提升机构的作用下,一边旋转一边缓慢地向上提拉,经过缩颈、扩肩、转肩、等径、收尾、拉脱等几个工艺阶段,生长出几何形状及内在质量都合格单晶的过程。这种方法的主要优点是:(a)在生长过程中,可以方便地观察晶体的生长情况;(b)晶体在熔体的自由表面处生长,而不与坩埚相接触,这样能显著减小晶体的应力并防止坩埚壁上的寄生成核;(c)可以方便地使用定向籽晶与“缩颈”工艺,得到完整的籽晶和所需取向的晶体。提拉法的最大优点在于能够以较快的速率生长较高质量的晶体。提拉法中通常采用高温难熔氧化物,如氧化锆、氧化铝等作保温材料,使炉体内呈弱氧化气氛,对坩埚有氧化作用,并容易对熔体造成污杂,在晶体中形成包裹物等缺陷;对于那些反应性较强或熔点极高的材料,难以找到合适的坩埚来盛装它们,就不得不改用其它生长方法。 二、热交换法

热交换法是由D. Viechnicki和F. Schmid于1974年发明的一种长晶方法。其原理是:定向凝固结晶法,晶体生长驱动力来自固液界面上的温度梯度。特点:(1) 热交换法晶体生长中,采用钼坩埚,石墨加热体,氩气为保护气体,熔体中的温度梯度和晶体中的温度梯度分别由发热体和热交换器(靠He作为热交换介质)来控制,因此可独立地控制固体和熔体中的温度梯度;(2) 固液界面浸没于熔体表面,整个晶体生长过程中,坩埚、晶体、热交换器都处于静止状态,处于稳定温度场中,而且熔体中的温度梯度与重力场方向相反,熔体既不产生自然对流也没有强迫对流;(3) HEM法最大优点是在晶体生长结束后,通过调节氦气流量与炉子加热功率,实现原位退火,避免了因冷却速度而产生的热应力;(4) HEM可用于生长具有特定形状要求的晶体。由于这种方法在生长晶体过程中需要不停的通以流动氦气进行热交换,所以氦气的消耗量相当大,如Φ30 mm的圆柱状坩埚就需要每分钟38升的氦气流量,而且晶体生长周期长,He气体价格昂贵,所以长晶成本很高。 三、坩埚下降法 坩埚下降法又称为布里奇曼-斯托克巴格法,是从熔体中生长晶体的一种方法。通常坩埚在结晶炉中下降,通过温度梯度较大的区域时,熔体在坩埚中,自下而上结晶为整块晶体。这个过程也可用结晶炉沿着坩埚上升方式完成。与提拉法比较该方法可采用全封闭或半封闭的坩埚,成分容易控制;由于该法生长的晶体留在坩埚中,因而适于生长大块晶体,也可以一炉同时生长几块晶体。另外由于工艺条件

晶体的常识教学反思

《晶体的常识》教学反思 晶体的常识安排在原子结构、分子结构以及结构决定性质的内容之后来学习,对于学生的学习有一定的理论基础。本章比较全面而系统地介绍了晶体结构和性质,不管是哪种类型的晶体,它们都具有一些共性,这些共性的内容作为第一节《晶体常识》。本节内容主要是通过介绍各种各样的固体为出发点来过渡到本堂课的主题——晶体和非晶体,晶体与非晶体的本质差异是本节课的重难点。由于这一节内容比较抽象,其间出现了诸多抽象名词,如:“自范性、各向异性、无隙并置、晶胞”,以及研究原子对晶胞的贡献等,如何将这些抽象的内容具体化、形象化,并深入浅出地介绍给学生,成为本节课的难点。作为执教者运用身边事物,直观录象、图片、亲自动手操作实验等方法,利用多种教学手段,比较巧妙地使科学知识与学生的认识、学生的情感产生共鸣,通过主观感悟使学生轻松地学习本节内容。 利用具体的实物和图片进行教学,让学生展示课前收集的各种固体,教师展示一些实验室常见的晶体实物:食盐、蓝矾、明矾、硝酸钾等和非晶体实物:玻璃、松香,一些塑料以及部分它们的图片,以物激趣,引出晶体的学习。然后提出疑问:如何对这些固体进行分类?提出晶体与非晶体的概念。这样从学生身边的固体入手,直观、简洁地引入课题,潜移默化地使学生融入课堂。合理地创设情境,培养学生把所学的化学知识与生活实际联系起来,从化学视角观察、分析周围的事物与现象,寻找其中的规律和联系,引导学生进行自主合作活动,提高学生学习化学的兴趣和学习效率。 展示玛瑙和水晶饰品学生描述外观,播放玛瑙和水晶形成过程的录像,提出问题:二者材质有何关系?水晶的天然规则几何外形是如何形成的?为何玛瑙不象水晶一样形成规则的几何外形?通过视频材料,给学生以直观的视觉感知,紧扣视频设计问题,层层推进,让学生对晶体形成过程中的“自范性”和“自范性条件”这两个难以理解的概念轻松地了解。展示晶体二氧化硅和非晶体二氧化硅的微观结构示意图,引导学生自主讨论为什么晶体呈现多面体外形?晶体有什么性质?怎样鉴别晶体与非晶体?分析晶体与非晶体的本质差异,通过对晶体内部微观结构的分析,培养学生实事求是、务实严谨的学习作风和学习化学的兴趣,通过“内部有序造就了外部有序”的事实,培养学生的探究精神。 通过和学生一起回忆水晶、玛瑙的形成过程,学生分组进行碘升华的实验,

SiC晶体生长工艺装备

SiC晶体生长工艺装备 一、SiC晶体生长工艺装备发展现状 由于SiC具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和浓度、化学性能稳定、高硬度、抗磨损等特点,使得它在军用和航天领域的高温、高频、大功率光电器件方面具有优越的应用价值。具体来看,其导热性能是Si材料的3倍以上;在相同反压下,SiC材料的击穿电场强度比Si高10倍,而内阻仅是Si片的百分之一。SiC器件的工作温度可以达到600℃,而一般的Si器件最多能坚持到150℃。因为这些特性,SiC可以用来制造各种耐高温的高频大功率器件,应用于Si器件难以胜任的场合。 目前SIC半导体材料发展十分迅速,总的发展趋势是晶体大直径、大尺寸化,向高纯无缺陷发展。6H和4H单晶片实现了商品化,3英寸(直径≥76.2mm)是主流产品,4英寸也有少量供应。4H-SiC 上的微管缺陷密度显著减小,n型4H-SiC的极低微管缺陷晶片上微管密度可接近0cm-2。 SiC材料的生长需要特殊的工艺装备。目前这些工艺装备的技术主要掌握在美日欧三方手中。这些发达国家和地区已对SiC 生长设备进行了持续的研究,积累了宝贵的经验。特别是美国,技术最成熟,凭借着先进的技术,不断研制基于SiC基的新军事电子产品,目前在航空、航天、军舰、卫星、深海等方面都得到了实际的应用,得以使其继续在全球军事电子领域保持领先地位。欧盟和日本也紧随其后,投入大量的人力和财力进行追赶。

美国Cree公司是世界上能够商业化提供SiC 产品最大的公司,占全球市场90%以上,其在工艺装备方面的技术先进、成熟稳定,领先世界水平,但受政策影响,技术处于绝对保密之中。 欧洲SiC晶体生长工艺装备的设备制造商集中在德国、瑞典和英国,目前主要生产以3“直径为主的工艺装备,但为了追赶世界先进水平,已开始进行4” SiC晶圆工艺装备的研发。 无论是美国、欧洲还是日本,其晶体生长工艺装备都是军方在三代半导体方面要重点发展的方向之一,长期得到国家的支持和投入,如美国海军、陆军、空军、美国国家航空航天局(NASA )、弹道导弹防卫局和国防预研局、几乎美国国防部所有部门都将SiC技术研究列入了各自军事系统发展规划。其中SiC晶体生长工艺装备是重要的组成部分,美军正是凭借其在碳化硅装备方面的强大实力,在军事电子方面继续拉大与其他国家的距离。 国内碳化硅研究始于2000年前后,基本都是在Si晶圆研究的基础上进行一些理论性的研究,工艺装备也是在原有的Si晶圆的工艺装备基础上进行了部分改造,研究进展缓慢,装备的缺乏已成为国内SiC项目研究的瓶径。近些年有些研究机构通过各种渠道引进了部分国外发达国家的工艺装备,但价格高昂,所引进设备的技术也不属于前沿技术,并且在引进过程中,对引进单位也有条款上的种种制约,限制了SiC项目在国内的研究。尽管起步早,但目前研究水平还处于初级阶段。 总之,国内SIC项目的研究以进口晶片为主,昂贵的晶片价格,

晶体相关基础知识

石英晶体基本常识 一、基础概念 1、石英晶体谐振器:利用石英晶体的逆电压效应制造具有选择频率和稳定频率的无线电元件。 电介质由于外界的机械作用,(如压缩?伸拉)而在其內部产生变化,产生表面电荷的现象,叫压电效应,如果将具有压电效应的介质至于外电场中,由于电场的作用,会引起介质內部正负电荷中心位移,而这一位移产生效应为逆压电效应 2、晶片的主要成分SiO2(二氧化硅)密度:2.65g/cm3分子量:60.06 3、振动模式晶体分为以下两类: AT 基频:BT 在振动模式最低阶次的振动频率 CT DT 3次 泛音:5次晶体振动的机械谐波,泛音频率与基频频率之比, 7次接近整倍数,又不是整倍数。 9次 AT与BT如何区分 1)通过测量晶片厚度 AT厚度t=1670/F0 F0-晶体标称频率 BT厚度t=2560/F0 2)通过温选根据晶片的拟合曲线来确定 3)通过测量晶体的C0、C1、TS、L、T来确定 4、按规格分为:HC-49S,HC-49U,HC-49S/SMD,表晶(3*8、2*6),UM系列等 HC-49S HC-49U HC-49S/SMD 表晶 陶瓷SMD 钟振UM系列 5、标称频率:晶体技术条件中所给定的频率,如4.000MHz,12.000MHz,25.000MHz等 6、调整频差:在规定条件下,基准温度时,工作频率相对于标称频率所允许的偏离值(如: ±30ppm、±25ppm)

7、串联谐振频率(FR):晶体本身固有的频率 8、负载谐振频率(FL):在规定条件下,晶体与一负载电容相并联或相串联,其组合阻抗呈现 出来的谐振频率。 9、负载电容:在振荡电路中晶体两脚之间所有的等效电容量之和.在通常情况下IC厂家在规格书中都会给出推荐的晶体匹配电容. 说明:负载电容CL是组成振荡电路时的必备条件。在通常的振荡电路中,石英晶体谐振器作为感抗,而振荡电路作为一个容抗被使用。也就是说,当晶体两端均接入谐振回路中,振荡电路的负阻抗-R和电容CL即被测出,这时,这一电容称为负载电容。负载电容和谐振频率之间的关系不是线性的,负载电容小时,频率偏差量大,当负载电容提高时,频率偏差量减小。当振荡电路中的负载电容减少时,谐振频率发生较大的偏差,甚至当电路中发生一个小变化时,频率的稳定性就受到巨大影响。负载电容可以是任意值,但10-30PF会更佳。 10、温度频差(F/T):在规定条件下,工作温度范围内,相对于基准温度时工作频率允许的偏离 值 11、基准温度:25±2℃,湿度:50%±10% 12、谐振电阻(RR):在规定条件下,晶振在谐振频率时的等效电阻 13石英晶体谐振器等效电路 石英晶体谐振器的振动实质上是一种机械振动。实际上,石英晶体谐振器可以被一个具有电子转换性能的两端网络测出。这个回路包括L1、C1,同时C0作为一个石英晶体的绝缘体的电容被并入回路,与弹性振动有关的阻抗R1是在谐振频率时石英晶体谐振器的谐振阻抗。(见图1)

晶体生长计算与模拟软件之FEMAG

晶体生长计算软件FEMAG 20世纪80年代中期,鲁汶大学Fran?ois Dupret教授带领其团队,开始晶体生长的研究,经过10多年的行业研发及应用,Fran?ois Dupret教授于2003年成立了FEMAGSoft公司(总部设在比利时Louvain-la-Neuve市),正式推出晶体生长数值仿真软件FEMAG。如今,FEMAG软件已成为全球行业用户高度认可的数值仿真工具,在晶体生长数值模拟领域处于国际领先地位。 FEMAG Soft擅长所有类型晶体材料生长方面的工艺模拟专业技术,比如:?直拉法(Czochralski) ?区熔法(Floating Zone) ?适用于铸锭定向凝固过程工艺(DS),Bridgman法 ?物理气相传输法(PVT) 产品模块 1.FEMAG/CZ-Czochralski (CZ) Process 适用于Czochralski直拉法生长工艺和Kyropoulos生长工艺 2.FEMAG/DS-Directional Solidification (DS) Process 适用于铸锭定向凝固过程工艺 3.FEMAG/FZ-Float Zone Process (FZ) 适用于区熔法生长工艺

主要功能 1.全局热传递分析 “全局性”即包涵所有拉晶要素在内,并考虑传热模式的耦合。全局热传递模拟分析,主要考虑:炉内的辐射和传导、熔体对流和炉内气体流量分析。 2.热应力分析 按照经验,一般情况下,晶体位错的产生与晶体生长过程中热应力的变化有着密切的关系。该软件可以进行三维的非轴对称和非各向同性温度场热应力分析计算,可以提出对晶体总的剪切力预估。 “位错”的产生是由于在晶体生长过程中,热剪应力超越临界水平,被称为CRSS(临界分剪应力),而导致的塑性变形。 3.点缺陷预报 该软件可以预知在晶体生长过程中的点缺陷(自裂缝和空缺),该仿真可以很好的预测在晶体生长过程中点缺陷的分布。 4.动态仿真 动态仿真提供了对复杂几何形状对于时间演变的预测。该预测把发生在晶体生长和冷却过程中所有瞬时的影响因素都考虑在内。为了准确地预报晶体点缺陷和氧分,布动态仿真尤其是不可或缺的。 5.固液界面跟踪 在拉晶的过程中准确预测固液界面同样是一个关键问题。对于不同的柑祸旋转速度和不同的提拉高度,其固液界面是不同的。 6.加热器功率预测 利用软件动态仿真反算加热功率对于生长合格晶体也是非常必要的。

晶体生长方法(新)

晶体生长方法 1) 提拉法(Czochralski,Cz ) 晶体提拉法的创始人是J. Czochralski ,他的 论文发表于1918年。提拉法是熔体生长中最常 用的一种方法,许多重要的实用晶体就是用这 种方法制备的。近年来,这种方法又得到了几 项重大改进,如采用液封的方式(液封提拉法, LEC ),如图1,能够顺利地生长某些易挥发的化 合物(GaP 等);采用导模的方式(导模提拉法) 生长特定形状的晶体(如管状宝石和带状硅单 晶等)。 所谓提拉法,是指在合理的温场下,将装 在籽晶杆上的籽晶下端,下到熔体的原料中, 籽晶杆在旋转马达及提升机构的作用下,一边 旋转一边缓慢地向上提拉,经过缩颈、扩肩、 转肩、等径、收尾、拉脱等几个工艺阶段,生长出几何形状及内在质量都合格单晶的过程。这种方法的主要优点是:(a) 在生长过程中,可以方便地观察晶体的生长情况;(b) 晶体在熔体的自由表面处生长,而不与坩埚相接触,这样能显著减小晶体的应力并防止坩埚壁上的寄生成核;(c) 可以方便地使用定向籽晶与“缩颈”工艺,得到完整的籽晶和所需取向的晶体。提拉法的最大优点在于能够以较快的速率生长较高质量的晶体。 提拉法中通常采用高温难熔氧化物,如氧化锆、氧化铝等作保温材料,使炉体内呈弱氧化气氛,对坩埚有氧化作用,并容易对熔体造成污杂,在晶体中形成包裹物等缺陷;对于那些反应性较强或熔点极高的材料,难以找到合适的坩埚来盛装它们,就不得不改用其它生长方法。 图1 提拉法晶体生长装置结构示意图

2)热交换法(Heat Exchange Method, HEM) 热交换法是由D. Viechnicki和 F. Schmid于1974年发明的一种长晶方法。 其原理是:定向凝固结晶法,晶体生长 驱动力来自固液界面上的温度梯度。特 点:(1) 热交换法晶体生长中,采用钼 坩埚,石墨加热体,氩气为保护气体, 熔体中的温度梯度和晶体中的温度梯 度分别由发热体和热交换器(靠He作 为热交换介质)来控制,因此可独立地 控制固体和熔体中的温度梯度;(2) 固 液界面浸没于熔体表面,整个晶体生长 过程中,坩埚、晶体、热交换器都处于 静止状态,处于稳定温度场中,而且熔 体中的温度梯度与重力场方向相反,熔 体既不产生自然对流也没有强迫对流; (3) HEM法最大优点是在晶体生长结束 后,通过调节氦气流量与炉子加热功率, 实现原位退火,避免了因冷却速度而产 生的热应力;(4) HEM可用于生长具有 图2HEM晶体生长装置结构示意图 特定形状要求的晶体。 由于这种方法在生长晶体过程中需要不停的通以流动氦气进行热交换,所以氦气的消耗量相当大,如Φ30mm的圆柱状坩埚就需要每分钟38升的氦气流量,而且晶体生长周期长,He气体价格昂贵,所以长晶成本很高。

晶体的常识

【教学目标】 1、了解晶体的初步知识,知道晶体与非晶体的本质差异,学会识别晶体与非晶体的结构示意图。 2、知道晶胞的概念,了解晶胞与晶体的关系,学会通过分析晶胞得出晶体的组成。 3、培养空间想象能力和进一步认识“物质结构觉得物质性质”的客观规律。 【教学重点】晶体、晶胞的概念。 【教学难点】计算晶胞的化学式。 【教学过程】 你是否知道固体有晶体和非晶体之分?绝大多数常见的固体是晶体,只有如玻璃之类的物质属于非晶体(又称玻璃体)。晶体与非晶体有什么本质的差异呢?今天我们开始学习…。 [板书] 第三章晶体的结构与性质 第一节晶体的常识 [投影]常见的晶体(或展示实物): [思考]晶体规则的几何外型与组成晶体的微粒在空间的存在什么关系? [投影]表3-1晶体与非晶体的本质差异 自范性微观结构 晶体有(能自发呈现多面体外型)原子在三维空间里呈周期性的有序排列 非晶体没有(不能自发呈现多面体外型)原子排列相对无序 [讲解] 晶体的自范性即晶体能白发地呈现多面体外形的性质。所谓自发过程,即自动发生的过程。不过,“自发”过程的实现,仍需要一定的条件。例如,水能白发地从高处流向低处,但不打开拦截水流的闸门,水库里的水就不能下泻。晶体呈现自范性的条件之一是晶体生长的速率适当。熔融态物质冷却凝固,有时得到晶体,但凝固速率过快,常常只得到看不到多面体外形的粉末或没有规则外形的块状物。 [板书]1、晶体的自范性即晶体能白发地呈现多面体外形的性质。 [投影]图3-1天然水晶球里的玛瑙和水晶。 [讲述]最有趣的例子是天然的水晶球。水晶球是岩浆里熔融态的si02侵入地壳内的空洞冷却形成的。剖开水晶球,常见它的外层是看不到晶体外形的玛瑙,内层才是呈现晶体外形的水晶。其实,玛瑙和水晶都是二氧化硅晶体,不同的是,玛瑙是熔融态si02快速冷却形成的,而水晶则是热液缓慢冷却形成的。 [讨论]除以上水晶和玛瑙是熔融态冷却得到的,根据所学知识还有那些方法得到晶体? [汇报并板书] 2、得到晶体一般有三条途径:(1)熔融态物质凝固;(2)气态物质冷却不经液态直接凝固(凝华); (3)溶质从溶液中析出。 [投影]硫晶体、碘晶体、硫酸铜晶体的获得 [分组实验1] 在一个小烧杯里加入少量碘,用一个表面皿盖在小烧杯上,并在表面皿上加少量冷水。把小烧杯放在石棉网上加热,观察实验现象。 [板书]3、晶体的自范性是晶体中粒子在微观空间里呈现周期性的有序排列的宏观表象。[投影]晶体二氧化硅与非晶体二氧化硅微粒排列情况: [自学]晶体特点自然段。 [提问]什么是晶体的各向异性? [板书]4、晶体的特点①外形和内部质点排列的高度有序性;②各向异性;③晶体的熔点较固定。 [讲述]各向异性:像人们在观察大幅图案画时的视觉感受,对不同的图案画的感受当然是不同的,而对于同一幅图案画来说,由不同的方向审视时,也会产生不同的感受。所以,晶体

CZ法单晶生长原理及工艺流程

CZ生长原理及工艺流程 CZ法的基本原理,多晶体硅料经加热熔化,待温度合适后,经过将籽晶浸入、熔接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤,完成一根单晶锭的拉制。炉内的传热、传质、流体力学、化学反应等过程都直接影响到单晶的生长与生长成的单晶的质量,拉晶过程中可直接控制的参数有温度场、籽晶的晶向、坩埚和生长成的单晶的旋转与升降速率,炉内保护气体的种类、流向、流速、压力等。 CZ法生长的具体工艺过程包括装料与熔料、熔接、细颈、放肩、转肩、等径生长和收尾这样几个阶段。 1.装料、熔料 装料、熔料阶段是CZ生长过程的第一个阶段,这一阶段看起来似乎很简单,但是这一阶段操作正确与否往往关系到生长过程的成败。大多数造成重大损失的事故(如坩埚破裂)都发生在或起源于这一·阶段。 2.籽晶与熔硅的熔接 当硅料全部熔化后,调整加热功率以控制熔体的温度。一般情况下,有两个传感器分别监测熔体表面和加热器保温罩石墨圆筒的温度,在热场和拉晶工艺改变不大的情况下,上一炉的温度读数可作为参考来设定引晶温度。按工艺要求调整气体的流量、压力、坩埚位置、晶转、埚转。硅料全部熔化后熔体必须有一定的稳定时间达到熔体温度和熔体的流动的稳定。装料量越大,则所需时间越长。待熔体稳定后,降下籽晶至离液面3~5mm距离,使粒晶预热,以减少籽经与熔硅的温度差,从而减少籽晶与熔硅接触时在籽晶中产生的热应力。预热后,下降籽晶至熔体的表面,让它们充分接触,这一过程称为熔接。在熔接过程中要注意观察所发生的现象来判断熔硅表面的温度是否合适,在合适的温度下,熔接后在界面处会逐渐产生由固液气三相交接处的弯月面所导致的光环(通常称为“光圈”),并逐渐由光环的一部分变成完整的圆形光环,温度过高会使籽晶熔断,温度过低,将不会出现弯月面光环,甚至长出多晶。熟练的操作人员,能根据弯月面光环的宽度及明亮程度来判断熔体的温度是否合适。 3.引细颈 虽然籽晶都是采用无位错硅单晶制备的[16~19],但是当籽晶插入熔体时,由于受到籽晶与熔硅的温度差所造成的热应力和表面张力的作用会产生位错。因此,在熔接之后应用引细颈工艺,即Dash技术,可以使位错消失,建立起无位错生长状态。 Dash的无位错生长技术的原理见7.2节。金刚石结构的硅单晶中位错的滑移面为{111}面。当以[l00]、[lll]和[ll0]晶向生长时,滑移面与生长轴的最小夹角分别为36.16°、l9.28°和0°。位错沿滑移面延伸和产生滑移,因此位错要延伸、滑移至晶体表面而消失,以[100]晶向生长最容易,以[111]晶向生长次之, 以[ll0]晶向生长情形若只存在延伸效应则位错会贯穿整根晶体。细颈工艺通

晶体的常识(全套教案)

晶体的常识 第一课时 教学目标 知识与技能 1、了解晶体与非晶体的本质差异 2、掌握晶体的基本性质 过程与方法 通过生活常识、情感经验从宏观特征逐步过渡到微观特征,认真把握内部有序造就了外部有序 情感、态度与价值观 1、通过对晶体内部微观结构的分析,培养学生实事求是、务实严谨的学习作风和学习化学的兴趣 2、通过“内部有序造就了外部有序”的事实,培养学生的探究精神 教学重点 晶体与非晶体的本质差异 教学难点 晶体与非晶体的本质差异,晶体的物理性质 教学过程 【引言】通过以前对原子结构、分子结构和化学键的学习,我们知道组成物质的质点可以是原子、分子或离子。根据物质在不同温度和压力下,质点间作用力大小的不同和质点排列的有序或无序,物质主要可分为三种聚集状态;固态、液态和气态。固态物质又可分为晶体和非晶体(无定形体)。从这节课开始,我们来学习有关晶体的知识。 【板书】第三章晶体和结构与性质 【师】我们先来了解一下晶体的有关常识 【板书】第一节晶体的常识 一、晶体与非晶体 【师】我们先来看一下它们的定义。 【板书】1、晶体:具有规则几何外形的固体。 【师】 如:NaCl、I2、金刚石等。 【板书】2、非晶体:不具规则几何外形的固体。 【师】如:松香、蜡烛、玻璃等等。 【板书】3、晶体与非晶体的本质差异

4、晶体具有自范性的条件 晶体的生长速率适当 【师】熔融态物质凝固,但如果凝固速率过快,常常只得到看不到规则多面体外形的粉末或没有规则外形的击块状物。如: 快速冷却 玛瑙 缓慢冷却 水晶 【过渡】下面,我们来看一下晶体的特点。 【板书】二、晶体的特点 1、晶体内部质点和外形质点排列的高度有序性。 【师】 晶体二氧化硅 非晶体二氧化硅 晶体的外形具有一定的、整齐的、规则的几何外形。如教材中所给出的几种晶体的外观。虽然由于生成晶体的条件不同,所得到的晶体在外形上可能有些外曲,但晶体表面的夹角(晶角)总是不变的。 【板书】2、有固定的熔点。 【师】加热晶体,温度达到晶体熔点时即开始熔化,在完全没有熔化之前,继续加热,温度不现升高。这时所供给的热都用来使晶体熔化,完全熔化后,温度才开始升高。 加热非晶体,温度升高到某一程度后开始软化,流动性增强,最后变为液体。从软化到完全熔化,中间经一定的较长的温度范围。也就是说,非晶体没有固定的熔点。 【板书】3、有各向异性。 【师】由于晶格各个方向上的排列的质点的距离不同,而导致晶体各个方向上的性质也不一定相同,这就是晶体的各向异性。 如:云母的离解性(晶体容易沿着某一平面剥离的现象)就不同。如沿两层平面的平行方向剥离就容易,沿着垂直于平面的方向剥离就困难得多。 石墨在与层垂直的方向上的导电率为与层平行方向上导电率的1/10000。 这种各向异性还表现在晶体的光学性质、热学性质及其他电学性质上。 【板书】4、当单一波长的X —射线通过晶体时,会在记录仪上看到分立的斑点或谱线。 【师】这就是X -衍射。晶体能使X —射线产生衍射,而非晶体却X —射线只能使产生散射。 X —射线衍射法是用来研究晶体的主要方法。一般是从衍射方向和衍射强度两个方面去研究。前者主要研究点阵结构的周期性,后者主要研究点阵中原子分布的情况。两者结合就熔融态SiO 2

晶体的常识(晶胞)教学设计

教学设计]第三章第一节晶体的常识(晶胞) 江苏省如东高级中学张霞 教学设想 从教材看,本章首先从人们熟悉的固体出发,把固体分为晶体和非晶体两大类,引出了晶体的特征和晶胞的概念。晶胞是描述晶体结构的基本单元,是研究晶体结构的最基本概念,教科书利用图片、比喻等方式介绍了晶体与晶胞的关系,并通过例子介绍了如何计算晶胞中所含的原子数。 本教案选择《晶胞》作为学生自主学习的课题,试图利用多媒体课件和形象比喻等教学方式,使学生建构起晶胞的概念,通过动手制作晶胞模型并把自己制作的晶胞模型拼凑成晶体模型,体会晶胞与晶体之间的关系;再以课本上的问题设置矛盾,通过学生自学讨论,教师的适当点拨,总结归纳出一个晶胞中平均所含粒子个数的计算方法,在此过程中,提升学生的空间想象能力。 一、教学目标分析 知识与技能 1.了解晶体与晶胞的关系,体会由晶胞“无隙并置”构成晶体的过程。 2.通过自学讨论,掌握不同晶胞中平均所含粒子个数的计算方法。 过程与方法 1.运用多种教学媒体,借助形象的比喻,帮助学生建构抽象的空间结构。 2.知道研究晶体结构的一般方法。 情感态度和价值观 1、进一步形成求真务实、勤于思考的科学态度;形成敢于质疑、勇于创新的科学精神。 二、教学内容分析 对本节教学内容的处理方法:利用多媒体演示若干晶体和晶胞,组织学生讨论晶体与晶胞的关系,动手制作晶胞模型,引导学生建立以晶胞为基本结构研究晶体的思想,结合课本图3-7铜晶胞,展示实物模型,提出问题:为什么说一个晶胞里只含4个铜原子?学生自学、讨论并归纳出立方晶胞中平均所含粒子个数的计算方法,然后设置问题:如果为三棱柱晶胞或者六棱柱晶胞,又该如何计算?举一反三,巩固了学生对空间结构的理解和计算。最后利用课本学与问与课后习题3,进行训练反思。

蓝宝石各种生长方法

一、蓝宝石生长 1.1 蓝宝石生长方法 1.1.1 焰熔法Verneuil (flame fusion) 最早是1885年由弗雷米(E. Fremy)、弗尔(E. Feil) 和乌泽(Wyse)一起,利用氢氧火焰熔化天然的红宝石粉末 与重铬酸钾而制成了当时轰动一时的“ 日内瓦红宝石”。后 来于1902年弗雷米的助手法国的化学家维尔纳叶(Verneuil) 改进并发展这一技术使之能进行商业化生产。因此,这种方 法又被称为维尔纳叶法。 1)基本原理 焰熔法是从熔体中生长单晶体的方法。其原料的粉末在 通过高温的氢氧火焰后熔化,熔滴在下落过程中冷却并在种 晶上固结逐渐生长形成晶体。 2)合成装置与条件、过程 焰熔法的粗略的说是利用氢及氧气在燃烧过程中产生 高温,使一种疏松的原料粉末通过氢氧焰撒下焰融,并落在 一个冷却的结晶杆上结成单晶。下图是焰熔生长原料及设备 简图。这个方法可以简述如下。图中锤打机构的小锤7按一 定频率敲打料筒,产生振动,使料筒中疏松的粉料不断通过 筛网6,同时,由进气口送进的氧气,也帮助往下送粉料。 氢经入口流进,在喷口和氧气一起混合燃烧。粉料在经过高温火焰被熔融而落在一个温度较低的结晶杆2上结成晶体了。炉体4设有观察窗。可由望远镜8观看结晶状况。为保持晶体的结晶层在炉内先后维持同一水平,在生长较长晶体的结晶过程中,同时设置下降机构1,把结晶杆2缓缓下移。 焰熔法合成装置由供料系统、燃烧系统和生长系统组成,合成过程是在维尔纳叶炉中进行的。 A.供料系统 原料:成分因合成品的不同而变化。原料的粉末经过充分拌匀,放入料筒。如果合成红宝石,则需要Al2O 粉末和少量的 Cr2O3参杂,Cr2O3用作致色剂,添加量为 1-3%。三氧化 3 二铝可由铝铵矾加热获得。料筒:圆筒,用来装原料,底部有筛孔。料筒中部贯通有

《晶体的常识》教案最全版

第三章晶体结构与性质 第一节晶体常识 教学目标: 知识与技能:1、了解晶体与非晶体的本质差异 2、掌握晶体的基本性质 3、掌握晶体与晶胞的关系、会通过晶胞确定晶体的化学式 过程与方法:1、通过生活常识、感情经验从宏观特征逐步过渡到微观特征,认真把握内部有序造就了外部有序 2、学会判断晶体的化学式以及计算晶胞中所含的微粒数目的方法,提高逻辑思维能力和空间想象能力 情感态度与价值观:增强探究晶体结构的兴趣,强化结构决定性质的辨证思维 教学重难点: 1、晶体与非晶体的区别 2、通过晶胞确定晶体的化学式 教学过程 [新课引入]: 前面我们讨论了原子结构、分子结构,又知道原子、分子或离子之间可以通过化学键相互结合成丰富多彩的化学物质。在不同温度和压强下,物质主要分为三态:气态、液态和固态。自然界中的绝大多数物质都是固体。下面让我们一起来仔细观察一些固态物质的图片,看看它们在外形上有什么不同? [投影]:1、紫水晶、猫眼石、祖母绿、钻石 2、胆矾、冰糖、明矾、雪花 3、石蜡、泡沫塑料、玛瑙 [板书]一、晶体和非晶体 1、定义: 2、分类: [思考] 为什么晶体呈现规则的几何外形,而非晶体没有规则的几何外形?你认为可能和什么因素有关? [投影] 观察图片,思考:构成晶体与非晶体的微粒在空间的排列有何不同? [板书]:3、特点和性质 ① ② ③

[板书]:4、晶体自范性的条件 [投影]:同样是熔融态的二氧化硅,快速的冷却得到玛瑙,而缓慢冷却得到水晶过程。[设问]:得到晶体的途径,除了冷却的方法,还有没有其它途径呢?你能列举哪些? [投影图片]:1、从熔融态结晶出来的硫晶体; 2、凝华得到的碘晶体; 3、从硫酸铜饱和溶液中析出的硫酸铜晶体。 [板书]:5、晶体形成的条件: ① ②Array③ [学与问]: 1、某同学在网站上找到一张玻璃的结构示意图,如 右图,这张图说明玻璃是不是晶体?为什么? 2、根据晶体的物理性质的各向异性的特点,人们很容易识别用玻 璃仿造的假宝石。你能列举一些可能有效的方法鉴别假宝石吗? [板书]: 6、鉴别晶体和非晶体 小结:晶体与非晶体的差异 固体外观微观结构自范性各向异性熔点 晶体 非晶体 本质区别 [过渡]:为了描述晶体在微观空间里原子的排列,无须画出千千万万个原子,只需在晶体微观空间里取出一个基本单元即可。 [板书]:二、晶胞 1、定义: [投影]:几种常见的晶体的晶胞 [思考]: 1、上述铜晶体、金刚石、CO2晶体、NaCl晶体的晶胞的空间构型呈什么形状? 2、在上述晶体中,晶胞是如何排列的?晶胞之间是否有空隙? [板书]:2、特点:

晶体生长方法

1.1.5 热交换法Heat exchange method (HEM) 该方法的实质是熔体在坩埚内直径凝固。它 与坩埚移动法的区别是在这种方法中,坩埚不做 任何方向的移动。这是近年来生长大尺寸晶体的 又一发展。Schmid最初的生长是在一个梯度单 晶炉内进行,用以生长大尺寸白宝石单晶。右图 所示的是这种方法的示意图。该梯度炉就是在真 空墨电阻炉的底部装上一个钨铝制成的热交换 器,内有冷却氦气流过。把装有原料的坩埚放在 热交换器的顶端,两者中心互相重合,而籽晶置 于坩埚底部的中心处(注意,热交换器与坩埚底 面积之比应有一定的比例),当坩埚内的原料被 加热熔化以后,此时,由于氦气流经热交换器冷却,使籽晶并未熔化,当氦气流量逐渐加大后,则从熔体带走的热量亦相应增加,使籽晶逐渐长大。最后使整个坩埚内的熔体全部凝固。整个晶体生长过程分两个阶段进行,即成核阶段和生长阶段。在这个过程中晶体生长的去的驱动力来自固—液界面上的温度梯度。通过调节石墨加热器的功率,可达到调节熔体温度的目的。而晶体的热量可通过氦气的流量带走。因此,在生长过程中,晶体的生长界面上可以建立起所需要的温度梯度。 这种方法的主要优点如下: 1)晶体生长时,坩埚、晶体和加热区都不移动,这就消除了由于机械运动而产生的熔体涡流,控制热交换器的温度,是晶体生长在温度梯度场中进行,抑制了熔体的涡流和对流,可以消除固—液界面上温度和浓度的波动,以避免晶体造成过多的缺陷。 2)刚生长出来的晶体被熔体所包围,这样就可以控制它的冷却速率,以减少晶体的热应力及由此产生的开裂和位错等缺陷。同时,也可以长出与坩埚形状和尺寸相仿的单晶。 当然热交换法生长晶体的周期较长,例如,Schmid生长32cm直径的白宝石单晶约需一周左右的时间。 1.1.6水平结晶法Horizontal directional crystallization method(HDC) 其生长原理如右图所示,将原料放入船形坩埚之中,船形坩埚之船头部位主要是放置晶种,接着使坩埚经过一加热器,邻近加热器之部份原料最先熔化形成熔汤,形成熔汤之原料便与船头之晶种接触,即开始生长晶体,当坩埚完全经过加热器后,便可得一单晶体。为了晶体品质及晶体生张结束后,方便取出晶体,坩埚应采用不沾其熔汤之材料所製,如石英、

晶体的常识

第一节晶体的常识 1.认识晶体和非晶体的本质差异,知道晶体的特征和性质。 2.了解获得晶体的途径。 3.知道晶胞的概念,学会晶胞中微粒数的计算方法(均摊法),能根据晶胞的结构确定晶体的化学式。 晶体与非晶体[学生用书P35] 1.晶体与非晶体的本质差异 2. 3.晶体的特点 (1)自范性 ①定义:晶体能自发地呈现多面体外形的性质。 ②形成条件之一:晶体生长速率适当。 ③本质原因:晶体中粒子在微观空间里呈现周期性的有序排列。 (2)各向异性:许多物理性质(强度、导热性、光学性质等)常常会表现出各向异性。 (3)有序性:外形和内部质点排列的高度有序。 (4)熔点:有固定的熔点。 1.判断正误(正确的打“√”,错误的打“×”)。 (1)晶体有自范性但其微粒排列无序。() (2)晶体具有各向同性,非晶体具有各向异性。() (3)晶体有固定的熔点。() (4)熔融态物质快速冷却即可得到晶体。() (5)熔融的硝酸钾冷却可得晶体,故液态玻璃冷却也能得到晶体。() (6)粉末状的固体也有可能是晶体。() 答案:(1)×(2)×(3)√(4)×(5)×(6)√ 2.下列物质中属于晶体的是________。 A.橡胶B.玻璃 C.食盐D.水晶 E.塑料F.胆矾 解析:固体有晶体和非晶体之分,晶体是内部微粒(原子、离子或分子)在空间按一定规律呈周期性有序排列构成的具有规则几何外形的固体,如食盐、冰、金属、水晶、大部分矿

石等都是晶体;非晶体中内部粒子的排列则相对无序,如玻璃、橡胶等都是非晶体。 答案:CDF 1.晶体与非晶体的区别 (1)依据是否具有自范性 晶体具有自范性,能自发地呈现多面体的外形,而非晶体不具有自范性。 (2)依据是否具有各向异性 晶体具有各向异性,在不同方向上质点排列一般是不一样的,而非晶体不具有各向异性。 (3)依据是否具有固定的熔、沸点 晶体具有固定的熔、沸点,给晶体加热时,当温度升高到某温度时便立即熔化或汽化,在熔化过程中,温度始终保持不变,而非晶体没有固定的熔、沸点。 (4)依据能否发生 X-射线衍射(最科学的区分方法) 当入射光的波长与光栅隙缝大小相当时,能产生光的衍射现象。X-射线的波长与晶体结构的周期大小相近,所以晶体是个理想的光栅,它能使X-射线产生衍射。利用这种性质人们建立了测定晶体结构的重要实验方法。非晶体物质没有周期性结构,不能使X-射线产生衍射,只有散射效应。 非晶硅光电薄膜的发电成本仅为多晶硅的三分之一,将成为今后太阳能电池的市场主流。就晶体硅与非晶体硅探究如下问题。 (1)如图a 、b 是两种硅的部分结构,请指出哪种是晶体硅,哪种是非晶硅。 a :____________; b :____________。 (2)有关晶体常识的相关说法中正确的是________。 A .玻璃是非晶体 B .固体粉末都是非晶体 C .晶体内部质点具有有序性,有固定的熔、沸点和各向异性 D .区别晶体和非晶体最有效的方法是进行X-射线衍射实验

晶体生长原理与技术课程教学大纲

晶体生长原理与技术课程教学大纲 一、课程说明 (一)课程名称、所属专业、课程性质、学分; 课程名称:晶体生长原理及电化学基础 所属专业:金属材料物理学 课程性质:专业方向选修课,学位课,必修环节 学分: 4 学时: 72 (二)课程简介、目标与任务; 课程简介:本课程将在绪论中,对人工晶体生长的基本概念,研究范畴,研究历史和晶体生长 方法分类等基本概念进行简要介绍。然后分4篇进行论述。第一篇为晶体生长的基本原理,将分5 章,对晶体生长过程的热力学和动力学原理,结晶界面形貌与结构,形核与生长的动力学过程进行 描述。第二篇为晶体生长的技术基础,将分3章,对晶体生长过程的涉及的传热、传质及流体流动 原理,晶体生长过程的化学原理和晶体生长过程控制涉及的物理原理进行论述。第三篇为晶体生长 技术,将分4章对熔体生长、溶液生长、气相生长的主要方法及其控制原理进行论述。第四篇,晶 体的性能表征与缺陷,将分2章,分别对晶体的结构、性能的主要表征方法,晶体的结构缺陷形成 与控制原理进行论述。 目标与任务:掌握晶体生长的基本物理原理,学会将基本物理知识运用与晶体生长过程分析讨论。 (三)先修课程要求,与先修课与后续相关课程之间的逻辑关系和内容衔接; 修完普通物理学及四大力学课程、固体物理课程后才可学习该课程,该课程向前联系基本物理知识的运用,向后衔接研究生科学研究中遇到的实际结晶学问题。 (四)教材与主要参考书。 教材两本: 《晶体生长原理与技术》,介万奇,北京:科学出版社,2010 参考书: 《晶体生长科学与技术》[上、下册],张克从,凝聚态物理学丛书,北京:科学出版社,1997 《人工晶体:生长技术、性能与应用》,张玉龙,唐磊,化学工业出版社,2005 《晶体生长基础》,姚连增,中国科学技术大学出版社,1995

晶体生长方法(新)

晶体生长方法 1)提拉法(Czochralski,CZ 晶体提拉法的创始人是J. Czochralskj他的论文发表于 1918年。提拉法是熔体生长中最常用的一种方法,许多重要 的实用晶体就是用这种方法制备的。近年来,这种方法又得 到了几项重大改进,如采用液封的方式(液封提拉法, LEC,如图1,能够顺利地生长某些易挥发的化合物(GaP 等);采用导模的方式(导模提拉法)生长特定形状的晶体 (如管状宝石和带状硅单晶等)。 所谓提拉法,是指在合理的温场下,将装在籽晶杆上的 籽晶下端,下到熔体的原料中,籽晶杆在旋转马达及提升机 构的作用下,一边旋转一边缓慢地向上提拉,经过缩颈、扩 肩、转肩、等径、收尾、拉脱等几个工艺阶段,生 长出几何形状及内在质量都合格单晶的过程。这种方 法的主要优点是:(a)在生长过程中,可以 图1提拉法晶体生长装置结构示意图方便地观察晶体的生长情况;(b)晶体在熔体的自由表面处 生长, 而不与坩埚相接触,这样能显 著减小晶体的应力并防止坩埚壁上的寄生成核;(c) 可以方便地使用定向籽晶与缩颈” 工艺,得 到完整的籽晶和所需取向的晶体。提拉法的最大优点在于能够以 较快的速率生长较高质量的晶体。

提拉法中通常采用高温难熔氧化物,如氧化锆、氧化铝等作保温材料,使炉体内呈弱氧化气氛,对坩埚有氧化作用,并容易对熔体造成污杂,在晶体中形成包裹物等缺陷;对于那些反应性较强或熔点极高的材料,难以找到合适的坩埚来盛装它们,就不 得不改用其它生长方法。

2) 热交换法(Heat Exchange Method, HEM ) 热交换法是由D. Viechnicki和F. Schmid于1974年发明的一种长晶方法。其原理是:定向凝固结晶法,晶体生长驱动力来自固液界面上的温度梯度。特点:(1)热交换法晶体生长中,采用钼坩埚,石墨加热体,氩气为保护气体,熔体中的温度梯度和晶体中的温度梯度分别由发热体和热交换器(靠He作 为热交换介质)来控制,因此可独立地控制固体和熔体中的温度梯度;(2)固 液界面浸没于熔体表面,整个晶体生长过程中,坩埚、晶体、热交换器都处于静止状态,处于稳定温度场中,而且熔体中的温度梯度与重力场方向相反,熔体既不产生自然对流也没有强迫对流;(3) HEM法最大优点是在晶体生长结束后,通过调节氦气流量与炉子加热功率,实现原位退火,避免了因冷却速度而产生的热应力;(4) HEM 可用于生长具有特定形状要求的晶体。 由于这种方法在生长晶体过程中需要不停的通以流动氦气进行热交换,所以氦气的消耗量相当大,如①30 mm的圆柱状坩埚就需要每分钟38升的氦气流量,而且晶体生长周期长, 体价格昂贵,所以长晶成本很高。 悶Wliry; 图2 HEM晶体生长装置结构示意图 He气 In別加口 "—. / Power ! Crumble H i: jinl ? Heatrngi c hm衍 B pump Heat Hdum

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