无尘车间标准等级的划分

无尘车间标准等级的划分

无尘车间的等级说明

首先就是无尘车间标准等级定义如下:

ClａsｓX(ａt Y μｍ)

其中X就是无尘车间的等级,例如１00或1０００0等等,Y就是粒径如0.2μm, 0、5μｍ等,可复选。意思就就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。以下就是几个例子:

Clasｓ1 (０、1μｍ, 0.２μm , 0.５μｍ)

Cｌass 1０0(0.2μm ,0、5μm )

Class 1０0(０、1μｍ, ０、2μm,0、5μm)

在Clａｓseｓ100 (M3.5) ａｎd Greaｔer (Cｌaｓs10０,１000,100０0、.、、),一般瞧一个粒径即可。在ClａssｅｓＬｅｓs tｈａn １00 (M3、5) (Claｓs 10,1、、.、),一般要瞧多几个粒径。

第二个就是规定无尘车间的状态,例如:

Class X (ａt Y μm),At－rest

第三个就是自订微粒浓度上限,一般在As-ｂｕilt时无尘车间都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:

Cｌass 1０000 (0、3 μm <= 1００0０),Ａｓ-bｕiｌt ?Class1０00０(0、5 μm ＜＝1000),Ａs-ｂuilt

这样做的目的就是确保无尘车间在Operａtｉｏnal状态时,依然有足够的微粒控制能力。

以下两个表就是Fｅd－Std－209E的等级定义,与ISO-１４６44的等级定义。Fｅd-Stｄ－209E洁净度定义

比较以上两表我们可瞧出

1.209Ｅ的公制与英制两套标准,虽然有公式做互换,但就是仍究很难一眼瞧出其相关性。两制放同一表,徒然造成混淆

2、在两表中0.5ｍm几乎出现在每一个等级定义中,表示粒径0、5ｍm的粒子非常具有代表性