基于6轴加速度传感器的步态分析研究

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目录基于 6 轴加速度传感器的步态分析 ........................................................

1 1. 绪论 ........................................................ ................................................ 1 1.1 课题研究背景和意义 ........................................................ .......... 1 1.2 国内外研究现状 ........................................................ (1)

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2.MPU6050 ................................................. ................................................ 3 2.1 MPU6050 简介 ........................................................ ..................... 3 2.2 MPU6050 引脚图、轴向及其说明............................................. 3 2.3 MPU6050 外围电路及其内部结构............................................. 5 2.4 MPU6050 时钟及其中断机制 ..................................................... 6

3.方案设计及原理说明 ........................................................ ..................... 8 3.1 系统的总体设计 ........................................................ .................. 8 3.2 系统的硬件设计 ........................................................ .................. 9 3.2.1 主控制电路 ........................................................ ............... 9 3.2.2 电源模块 ........................................................ ................. 10 3.2.3 传感器模块 ........................................................

---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ ............. 10 3.2.4 开关模块 ........................................................ ................. 11 3.3 系统的软件设计 ........................................................ ................ 12 4. 数据传输与上位机简介 ........................................................ ............. 14 4.1 主从机交互及数据输出 ........................................................ .... 14 4.2 上位机界面及其使用简介.......................................................

17 5.软件系统原理与测试 ........................................................ ................... 20 5.1 卡尔曼滤波 ........................................................ ........................ 20 5.2 离散数据的绘制 ........................................................ ............... 22 5.3 步态分析 ........................................................ ........................... 25 6.总结 ........................................................ ................................................ 27 致

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谢 ........................................................ ................................................... 28 参考文

献 ........................................................ ........................................... 29 第 1 页1. 绪论随着社会的发展,人的健康问题受到的重视越来越多。

通过对人步态的研究,并且对其步态情况做出评价,可以为患有异常步态病的人的康复提供可靠的资料,具有对人体健康状况的监测作用和警示作用,以防止慢性病的发展。

1.1 课题研究背景和意义步态,即人走路的姿势。

作为一种生物特征,它具有不受距离影响、非侵犯性、难以伪装、受环境影响小等独特的优点,因而近年来备受关注。

步态分析是对人类运动功能的综合研究,包括对人类运动特征的测量、描述和数量的评估。

国内外的许多知名大学和研究机构,如美国麻省理工学院、中国科学院自动化研究所等,都广泛展开了步态识别研究工作。

步态的独特性对医疗的异步病态、偏瘫等疾病的预防、诊断和康复可以起到很显著的辅助作用。

而且,在现代化的体育训练中,也可以通过步态特征来监测运动员的体能消耗情况、动作准确程度等,制定科学的训练方案。

此外,步态在机器人的行走、人的行为理解等科学研究上也占有举足轻重的地位。

---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ 1.2 国内外研究现状在国内,许多大学和机构正在进行步态识别技术的研究,其中于领军地位的是由归国博士谭铁牛领导的中科院自动化研究所,其研究取得了令人鼓舞的成果,如王亮和胡卫明提出的基于统计主元分析的第 2 页方法,使用 14 个相互连接的圆台对人体建模,通过一定的运动约束,将人体用一个 12 维的动态特征向量表示,通过姿态评价函数对视频中的人体姿势进行恢复,提取模型参数进行步态识别。

在国外,同样也有很多的学校和研究机构对步态的识别进行研究。

最早识别行人的方法是由 Niyogi 与 Adelson 提出的;Cunado 等不仅考虑人行走过程中双腿的运动情况,用链接的钟摆模拟腿部的运动变化,而且从其倾斜角度信号的频率分量中获取步态特征;Lee 采用 7 个椭圆表达人的侧面二值化图像的身体的不同部分,每个椭圆用质心等 4 个特征表示,加上整个身体图像的质心的高度一共 29 个特征表示整个人体侧面图像,通过模板匹配的方法进行步态识别;Yoo 等人根据解剖学的知识提取除头、脖颈、肩、胸、膝盖和脚踝的位置。

然后计算各个位置的运动学特征进行步态的分类识别。

对不同运动方式的加速度信号进行分类,属于步态识别的范畴。

步态识别,根据获取人体生理信息的方式不同,可以分为基于图像的步态识别和基于加速度信号的步态识别。

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基于图像的步态识别,是通过对视频/图像序列进行一系列处理,实现自身动作的识别。

基于加速度信号的步态分类,是将加速度传感器放在身体的某些部位,如腰部、大腿、手臂、脖子、手腕等,提取人体的运动加速度信号,并对加速度信号进行算法处理,以实现对不同运动方式的分类。

第 3 页 2.MPU6050 2.1 MPU6050 简介 MPU6050 模块是 InvenSense 公司推出的一款低成本的 6 轴传感器模块,包括三轴加速度,三轴角速度,以及三轴角度,其体积小巧,用途非常广。

做平衡小车,四轴飞行器,飞行鼠标等等,都是必不可少而且是最优的传感器解决方案。

MPU-6050 对陀螺仪和加速度计分别用了三个 16 位的 ADC,将其测量的模拟量转化为可输出的数字量。

为了精确跟踪快速和慢速的运动,传感器的测量范围都是用户可控的。

一个片上 1024 字节的FIFO,有助于降低系统功耗。

和所有设备寄存器之间的通信采用400kHz 的 I 2 C 接口或 1MHz 的 SPI 接口。

对于需要高速传输的应用,对寄存器的读取和中断可用 20MHz 的SPI。

另外,片上还内嵌了一个温度传感器和在工作环境下仅有1%变动的振荡器。

关于电源,MPU-6050 可支持 VDD 范围 2.5V5%,3.0V5%,或

---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ 3.3V5%。

另外 MPU-6050 还有一个 VLOGIC 引脚,用来为 I 2 C 输出提供逻辑电平。

VLOGIC 电压可取 1.85%或者 VDD。

2.2 MPU6050 引脚图、轴向及其说明 MPU6050 能分别检测 x 、y、z 三个轴向的加速度,角度,角加速度,其轴向和贴片封装如下图 2-1 所示。

第 4 页图 2-1 MPU6050 管脚图及其轴向总的来说,MPU6050 算是现在比较便宜好用的加速度陀螺仪芯片,但是其直接读取时噪声大,需要进行滤波。

因此采用卡尔曼动态滤波算法,将其输出改成串口,这种方法非常好,有些参数可以根据实际应用进行调整,改进效果。

第 5 页 2.3 MPU6050 外围电路及其内部结构图2-2MPU6050 常用外围电路接法图 2-3 MPU6050 内部构造图第 6 页 2.4 MPU6050 时钟及其中断机制 MPU-6050 它有着比较灵活的时钟机制,内部的同步电路不仅可使用内部的时钟源还可以使用外部的时钟源。

内部的同步电路包括信号调整、ADC、DMP 以及各样的控制电路与寄存器,它的时钟可由一个片上的 PLL 产生。

时钟源的选择不光考虑的是外部时钟的有效性,还有功率损耗,时钟精确性等因素。

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例如,如果功率损耗是主要考虑因素,当用 DMP 处理加速度计数据时,使陀螺仪关闭,此时最好选择内部振荡器作时钟;然而陀螺仪工作的时候,使用其自带时钟可以保证更好的时钟精确性。

当 MPU-6050 初次启动时,要先使用其内部时钟,直到系统设置准备好使其他时钟源,比方说要使用 MEMS 振荡器,就必须等到它可以稳定工作。

1)运动中断:

与自由落体中断相似。

为了排除重力所产生的误差,加速度计所测值都要通过一个可配置数字高通滤波器(DHPF)。

通过高通滤波器后的值如果大于事先规定的阈值,那么就会被认为是有效的。

对于每一个有效的采样值,计数器加 1,而对无效值则计数器减1。

一旦计数器累加值达到用户设定的计数阈值,则触发运动中断。

产生运动中断的坐标轴及其方向可在寄存器MOT_DETECT_STATUS 中读出。

类似于自由落体中断,运动中断也有一个可设置的加速阈值寄存器 MOT_THR,精确到 1mg,以及一个计数阈值寄存器 MOT_DUR,精确到 1ms。

同样也有一个寄存器来设置刷新率,MOT_DETECT_CTRL。

第 7 页2)自由落体中断:

---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ 通过检测 3 个轴上的加速度测量值是否在所规定的阈值内来判断自由落体运动是否发生。

对每一次的采样值,如果没达到阈值将会被忽略。

一旦达到阈值,就会触发自由落体中断,而且会产生标志位。

直到计数器降到 0,标志才会被清楚。

计数器的取值范围在 0 和规定的阈值之间。

可用 FF_THR 寄存器设置阈值,精确到 1ms。

使用 MOT_DETECT_CTRL 寄存器,可以设置是否用一个无效的采样值使计数器清零,或者以 1、2 或 4 的量衰减。

3)静止中断:

静止中断也采用数字高通滤波器(DHPF)以及同样的阈值、计数机制。

每根轴上的测量值通过 DHFT 后必须小于事先规定的阈值,可在ZRMOT_THR 寄存器设置。

这会使计数器值加1,当达到在 ZRMOT_DUR 中设置的计数器阈值时,则产生静止中断。

和自由落体中断及运动中断不同的是,当第一次检测到静止以及不再检测到时,静止中断都会被触发。

另外,自由落体中断和运动中断的标志位在读取后就会被清零,而从寄存器MOT_DETECT_STATUS 读取静止标志位后不会清零。

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4)可编程中断:

MPU-6050 有一个可编程的中断系统,可在 INT 脚上产生中断信号。

状态标志可以表明中断的来源。

第 8 页3. 方案设计及原理说明为了方便提取步态信息,并减少提取的干扰,本文设计了一种基于六轴加速度传感器的步态分析系统,将 6 轴运动传感器 MPU6050提取的信号传达给电脑的上位机,再经由 MATLAB 处理其离散数据,绘制特征曲线,继而提取步态特征来进行步态的分析。

3.1 系统的总体设计本文设计出一种可以采集人运动数据的无线采集装置,无线接收终端可以通过 Zig Bee 无线网络接收无线节点传来的数据,然后通过RS232 与电脑终端进行串口通信。

所以,系统的总体结构设计可以分为 2 个部分:

一个是数据采集节点,一个是数据接收终端。

主要功能是首先通过 MPU6050 六轴数据传感器采集三轴的加速度和角速度信息,也就是人体下肢的运动信息;其次是实现数据的Zig Bee 无线传输,通过 CC2530 无线 Zig Bee 传输芯片,将采集到的运动数据传输到 Zig Bee 无线接收终端中;然后利用上位机软件,将采集到的数据进行处理,实现存储和实时显示功能,如图 3-1 所示。

第 9 页图 3-1 系统设计框图 3.2 系统的硬件设计 3.2.1 主控制电路本文采用 TI 的 CC2530 作为数据采集节点的主控核

---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ 心,控制传感器模块的数据采集和数据的无线传输,CC2530 是一种真正的 IEEE 802.15.4 的片上系统解决方案,用于 Zig Bee 和RF4CE 的应用,它可以以非常低的材料消耗建立一个非常稳定的网络节点系统。

CC2530 具有性能优良的 RF 收发器,整合了增强型 8051 MCU,系统可编程闪存,8kB 的 RAM,主控电路如图 3-2 所示。

第 10 页图 3-2 主控电路电路图 3.2.2 电源模块电源模块采用了 300mA 的锂电池对系统进行供电,供电电压为 3.7~4.2V 而 CC2530 的工作电压为 1.8~3.8V,MPU6050 的工作电压为3.3V。

所以选取 TPS71733 降压和稳压芯片,为 MPU6050 提供稳定的3.3V 工作电压,如图 3-3 所示。

图 3-3 电源模块电路图 3.2.3 传感器模块传感器模块选用MPU6050 作为六轴数据传感器,该传感器为全球首例整合性六轴运动处理组件,相较于多组件方案,免除了组合陀螺仪与第 11 页加速器时之轴间差的问题,减少了大量的包装空间。

MPU6050 整合了三轴陀螺仪、三轴加速器,并含可藉由第二个I2C 端口连接其他厂牌的加速器、磁力传感器,或其他传感器的数字运动处理器硬件加速引擎,由主要 I2C 端口以单一数据流的形式,向应用端输出完整的九轴融合演算技术,如图 3-4 所示。

图 3-4 传感器模块电路图 3.2.4 开关模块开关模块的作用

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是控制整个节点系统的上电和掉电,实现的功能是短按开关 S1 时,系统上电,长按开关 5s 以上,系统掉电。

实现方法是通过硬件电路和下位机程序配合共同完成。

当短按开关 S1 时,整个开关电路导通;当要关闭系统时,长按开关,这时 CC2530 主控芯片会检测与 CC2530 相连接的端口 P11,如果检测到低电平,则认为开关已被按下,此时 CC2530 会给 P10 发送一个低电平,使 Q3 不再导通,所以系统断电,如图 3-5 所示。

第 12 页图 3-5 开关模块电路图 3.3 系统的软件设计软件部分主要是对硬件部分采集的数据进行处理分析,以及采集过程中的的滤波所涉及到的计算方法。

其中 MCU 读取 MPU6050 数据时候,使用的是动态卡尔曼滤波的算法,保证了杂波的滤除和读取的准确性。

Matlab 方面,使用 PLOT 函数对离散数据进行曲线绘制,通过对波形规律的观察,进而对步态特征进行选择和读取。

第13 页图3-6 操作流程图检测帧头提取偏差量将偏差带入公式得出数据传到 PC 开始结束第 14 页4. 数据传输与上位机简介 4.1 主从机交互及数据输出主从机交互的电平为 TTL 电平,波特率为 115200/9600,停止位为 1,校验位为 0。

表 4-1 上位机与数据接收模块指令表数据接收模块发至上位机每帧数据分为三个数据包,分别为加速度数据包,角速度数据包,角度数据包,三个数据包顺序输出。

---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ 波特率为 115200 时每个 10ms 输出一帧数据,波特率为 9600 时每隔 50ms输出一帧数据。

1)加速度输出指令内容功能备注 0FF 0xAA 0x52 角度初始化使 z 轴的角度归零 0FF 0xAA 0x61 使用串口禁用 I2 C 掉电保存 0FF 0xAA 0x62 禁用串口使用 I2 C 掉电保存 0FF 0xAA 0x63 使用波特率 115200 采样频率 100HZ 掉电保存 0FF 0xAA 0x64 使用波特率 9600 采样频率 20HZ 掉电保存第 15 页表4-2加速度输出数据表 a x =((AxH8)|AxL)/32768*16g(g为重力加速度,可取9.8m/s 2 ) a y =((AyH8)|AyL)/32768*16g(g为重力加速度,可取9.8m/s 2 ) a z =((AzH8)|AzL)/32768*16g(g为重力加速度,可取9.8m/s 2 ) 温度计算公式:

T=((TH8)|TL) /340+36.53 ℃ 校验和:

Sum=0x55+0x51+AxH+AxL+AyH+AyL+AzH+AzL+TH+TL 数据编号数据内容含义 0 0x55 包头 1 0x51 说明这个包是加速度包 2 AxL x 轴加速度低字节 3 AxH x 轴加速度高字节 4 AyL y 轴加速度低字节5 AyH y 轴加速度高字节 6 AzL z 轴加速度低字节 7 AzH z 轴加速度高字节 8 TL 温度低字节 9 TH 温度高字节 10 Sum 校验和第16 页2)角速度输出表4-3角速度输出数据表数据编号数据内容含义 0 0x55 包头 1 0x52 识别这个包是加速度包 2 wxL x 轴角速度低字节 3 wxH x 轴角速度高字节 4 wyL y 轴角速度低字节 5 wyH y 轴角速度低高节 6 wzL z 轴角速度低字节 7 wzH z 轴角速度

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低高节角速度计算公式:

wx=((wxH8)|wxL)/32768*2019(/s)

wy=((wyH8)|wyL)/32768*2019(/s)

wz=((wzH8)|wzL)/32768*2019(/s) 滚转角的范围虽然是180度,但实际上由于坐标旋转顺序是Z-Y-X,在表示姿态的时候,俯仰角(Y轴)的范围只有90度,超过90度后会变换到小于90度,同时让X轴的角度大于180度。

第 17 页3)角度输出表4-4角度输出数据表数据编号数据内容含义 0 0x55 包头 1 0x53 说明这个包是角速度 2 RollL 轴角度低字节 3 RollH 轴角度低高节 4 PithL 轴角度低字节5 PithH 轴角度低高节 6 YawL 轴角度低字节 7 YawH 轴角度低高节角度计算公式:

滚转角(x轴)Roll=((RollH8)|RollL)/32768*180() 俯仰角(y 轴)Pitch=((PitchH8)|PitchL)/32768*180() 偏航角(z 轴)Yaw=((YawH8)|YawL)/32768*180() 由于三轴是耦合的,只有在小角度的时候会表现出独立变化,在大角度的时候姿态角度会耦合变化,比如当X轴接近90度时,即使姿态只绕X轴转动,Y轴的角度也会跟着发生较大变化,这是欧拉角表示姿态的固有问题。

4.2 上位机界面及其使用简介首先要选择合适的串口,本设计中默认选择 COM3 端口,正常情况下,当步态提取部分正常工作的时候,大约五秒左右,两者就能匹配到,随后就能观察各个方向的各种信息曲线。

---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ 若需要调节波特率,也可以通过上位机提高或者降低波特率,来更改信号读取的频率,本设计方案采用都是 9600 的波特率,配置完成够即可读取数据。

第 18 页图4-1上位机读取的姿态曲线图 4-2 配置操作如上图 2,点击记录/停止,即可记录这段时间内的离散数据,所得结果保存在 PC 机,并且以文本的形式保存,如图 4-3 所示为上位机所测传感器动作变化图。

第 19 页图 4-3 记录区间内离散数据到此为止,步态信号的从采集部分到 PC 机的传输部分基本结束。

第 20 页5. 软件系统原理与测试本设计方案需要设计到软件系统的有提取部分的滤波算法,还有就是绘制离散数据时候所需的 matlab 语言,以及提取特征时候的算法,这些算法可以形成一些分类器。

5.1 卡尔曼滤波简单来说,卡尔曼滤波器是一个最优化自回归数据处理算法。

对于解决很大部分的问题,他是最优,效率最高甚至是最有用的。

它的广泛应用已经超过 30 年,包括机器人导航、控制、传感器数据融合甚至在军事方面的雷达系统以及导弹追踪等等,近来更被应用于计算机图像处理,例如头脸识别、图像分割、图像边缘检测等等。

卡尔曼滤波利用目标的动态信息,设法去掉噪声的影响,得到一个关于目标位置的好的估计。

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这个估计可以是对当前目标位置的估计,也可以是对将来位置的估计,也可以是对过去位置的估计。

为了6 轴传感器提取的动态信号更加准确的被传输到 PC 机,所以本设计添加了一个卡尔曼滤波的环节,这样就能得到更加准确的动态信号。

具体算法可以归纳为以下:

首先,我们先要引入一个离散控制过程的系统。

该系统可用一个线性随机微分方程来描述:

X(k)=A X(k-1)+B U(k)+W(k) 再加上系统的测量值:

Z(k)=H X(k)+V(k) 上两式子中,X(k)是 k 时刻的系统状态,U(k)是 k 时刻对系统的第 21 页控制量。

A 和

B 是系统参数,对于多模型系统,他们为矩阵。

Z(k)是 k 时刻的测量值,H 是测量系统的参数,对于多测量系统,H 为矩阵。

W(k)和 V(k)分别表示过程和测量的噪声。

他们被假设成高斯白噪声,他们的 covariance 分别是 Q,R(这里我们假设他们不随系统状态变化而变化)。

对于满足上面的条件(线性随机微分系统,过程和测量都是高斯白噪声),卡尔曼滤波器是最优的信息处理器。

下面我们结合他们的covariances 来估算系统的最优化输出(类似上一节那个温度的例子)。

首先我们要利用系统的过程模型,来预测下一状态的系统。

---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ 假设现在的系统状态是 k,根据系统的模型,可以基于系统的上一状态而预测出现在状态:

X(k|k-1)=A X(k-1|k-1)+B U(k) (1)式(1)中,X(k|k-1)是利用上一状态预测的结果,X(k-1|k-1)是上一状态最优的结果,U(k)为现在状态的控制量,如果没有控制量,它可以为 0。

到现在为止,我们的系统结果已经更新了,可是,对应于 X(k|k-1)的 covariance 还没更新。

我们用 P 表示 covariance:

P(k|k-1)=A P(k-1|k-1) A+Q (2)式(2)中,P(k|k-1)是 X(k|k-1)对应的 covariance,P(k-1|k-1)是X(k-1|k-1)对应的 covariance,A表示 A 的转置矩阵,Q 是系统过程的covariance。

式子 1,2 就是卡尔曼滤波器 5 个公式当中的前两个,也第22 页就是对系统的预测。

现在我们有了现在状态的预测结果,然后我们再收集现在状态的测量值。

结合预测值和测量值,我们可以得到现在状态(k)的最优化估算值X(k|k):

X(k|k)= X(k|k-1)+Kg(k) (Z(k)-H X(k|k-1)) (3)其中 Kg 为卡尔曼增益(Kalman Gain):

Kg(k)= P(k|k-1) H / (H P(k|k-1) H + R) (4)到

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现在为止,我们已经得到了 k 状态下最优的估算值 X(k|k)。

但是为了要令卡尔曼滤波器不断的运行下去直到系统过程结束,我们还要更新 k 状态下 X(k|k)的 covariance:

P(k|k)=(I-Kg(k) H)P(k|k-1) (5)其中 I 为1 的矩阵,对于单模型单测量,I=1。

当系统进入 k+1状态时,P(k|k)就是式子(2)的 P(k-1|k-1)。

这样,算法就可以自回归的运算下去。

5.2 离散数据的绘制在绘制采集的离散数据的时候,本设计决定借助于 Matlab 来绘制曲线来,通过观察曲线的变化来获取我们所需的信息。

在 Matlab 中这种绘制曲线的方式我们称之为 plot 函数,例如plot(y),当 y 为向量时,是以 y 的分量为纵坐标,以元素序号为横坐标,用直线依次连接数据点,绘制曲线。

若 y 为实矩阵,则按列绘制每列对应的曲线;plot(x,y)若 y 和x 为同维向量,则以 x 为横坐标,y 第 23 页为纵坐标绘制连线图。

若 x 是向量,y 是行数或列数与 x 长度相等的矩阵,则绘制多条不同色彩的连线图,x 被作为这些曲线的共同横坐标。

若 x 和 y 为同型矩阵,则以 x,y 对应元素分别绘制曲线,曲线条数等于矩阵列数。

因为上位机存储的数据存在一个文件名为 DATA 的文本里面,根据这个我们对其编写 plot 函数程序,主要的程序如下:

---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ newData = importdata(‘Data.txt’, ‘\t’, 2); data=newData.data;

subplot(2,2,1);plot(data(:,1),data(:,2:4));grid

on;xlabel(‘ 时间/s’);ylabel(‘加速度/g’);title(‘加速度曲线’); subplot(2,2,2);plot(data(:,1),data(:,5:7));grid on;xlabel(‘ 时间/s’);ylabel(‘角速度//s’);title(‘角速度曲线’); subplot(2,2,3);plot(data(:,1),data(:,8:10));grid on;xlabel(‘ 时间/s’);ylabel(‘角度/’);title(‘角度曲线’); 最终得到各曲线如下:

第 24 页图 5-1 加速度曲线图 5-2 角速度曲线第25 页图 5-3 角度曲线 5.3 步态分析在实际应用中,人们只能尽量多列一些可能有影响的因素,然后通过数据处理,考查和筛选出作用较大的特征,删去影响不大的特征,从而建立数学模型进行步态的分析。

特征筛选的第一步是对每个特征做分析,考查每个特征与目标的相关性,特征与特征之间的相关性。

1)单特征相关分析用原始变量做投影图,考查单个特征、双特征、多特征对目标值的影响,计算相关系数。

2)双特征相关分析在所有特征中每次取出两个特征作为纵横坐标作图,同时将样本分为两类(或多类),以不同符号显示于图中,

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据此考查两类或多类样本在图中分布的规律;同时还显示两个特征间的相关系数。

第 26 页3)三特征相关分析在所有特征中每次选用三个,作为 x , y,z 坐标作三维图,同时将样本分为两类或多类,以不同符号显示于图中,据此考查各类样本在三维空间的分布规律;也可选两个特征为 x 和 y 坐标,目标值为 z 坐标,考查其关系。

三维结构可通过图形旋转考查,同时显示旋转后的三维坐标与原始变量的关系。

4)子空间局部考查将原始多维空间切割为几个子空间,然后再做相关分析,往往能揭示重要的规律性。

因复杂系统往往是多特征问题,目标值或目标类别往往由一个以上的因子共同决定,单考查一个、两个或三个因子的影响往往不够,因为由于其他因子(特征)变化的干扰,往往不能有效的全面显示特征空间的规律性,只有运用多模式识别方法建模才能全面解决问题。

但是作为初步考查手段,相关分析方法(特别是与子空间局部考查结合后)很有用,因为相关分析及其作图方法显示的是原始特征,若能找到规律,其物理(或化学)意义的诠释比较简单明了。

各种模式识别方法虽能提供更完整可靠的数学模型,但因其坐标表达式多为多个原始变量的线性或分线性组合,诠释比较复杂。

第 27 页6. 总结通过对课题要求的认真分析及各个参数的详尽考虑,最终确定了该课题的步态采集部分设备的具体型号,所确定的 6 轴加速度传感器的型号为 MPU6050。

MEMS加速度传感器的研究报告

MEMS加速度传感器的研究 摘要:微传感器因其尺寸微小,测量准确度和灵敏度高而广泛应用于工程、医学、生物等各个领域。本次报告中,我们将对MEMS技术在惯性传感器件应用——加速度传感器作为讨论学习的主要内容。本报告选取电容式加速度传感器为例,分别从原理、工艺、检测电路、应用等几个方面展开说明,涉及MEMS电容式加速度传感器的各个方面,较为全面。很多都是自己的理解,因此也易于接受。 关键词:MEMS 加速度传感器检测电路 0 引言 随着微机械系统和微加工技术的发展,微型传感器也随之迅速发展。惯性系统已广泛用于航天、航空、航海和许多民用领域,成为目前各种航行体上应用的一种主要导航设备,能够提供比较精确的姿态与多种导航信息。我们利用惯性敏感元件和初始位置就可以确定载体的动态位置、姿态和速度。而加速度计作为惯性系统的一个核心敏感器件,虽然较陀螺仪发明较晚,但是发展速度很快。各个较大的半导体公司如MOTOROLA和Analog Devices Inc. 等都在MEMS加速度计的研发生产中取得了很大的成就。因此,此次对于MEMS加速度传感器的研究对于了解专业发展前沿和激发自己的学习兴趣都有很大的帮助。 根据原理不同,MEMS加速度传感器可以分为压阻式、压电式、电容式、谐振式和隧穿式等几大类,为了突出重点,对MENS传感器的原理、工艺及应用有个全面的了解,我们在此选择了其中的一种——电容式加速度传感器做深入研究。 1 电容式加速度传感器的原理 1.1 基本原理 电容式传感器是电容值随环境参数变化而发生改变的传感器。根据平板电容器的表达式C=εS/d可知,S和d的变化都会导致电容的变化,因此电容式加速度计的测量原理又可分为变面积式和变间距式,由于变间距式在制造工艺上的优越性,因此当今大部分电容式加速度计都是采用变间距来改变电容进而来测量加速度。电容式加速度传感器的结构示意如图1 所示。

传感器技术的研究现状

传感器技术综述 Luqingsong@https://www.360docs.net/doc/8417700290.html, 摘要:本文简介了传感器技术的原理、分类和应用,以位移传感器为例概述了传感器技术的研究现状,在此基础上分析了我国传感器技术发展中存在的问题和解决方法,分析了传感器技术的发展方向。 关键词:传感器技术应用研究发展方向 1传感器 传感器是一种检测装置,一般由敏感元件、传感元件和其他辅助件组成,有时也将信号调节也转换电路、辅助电源作为传感器的组成部分。能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。传感器通常可以按照一系列方法进行分类。根据用途分类,传感器常以测别的物理量命名,如位移传感器、速度传感器、温度传感器、压力传感器等;根据工作原理分类,传感器可以依据工作原理进行命名,如振动传感器、磁敏传感器、生物感器等;按输出信号,可分为模拟传感器和数字传感器等;还可按照传感器的制造工艺、构成、作用形式等进行分类。[1] 随着微电子技术、微机械加工技术、光电科学以及当代生物科学等高新技术的推动下,传感器己经从过去单一功能转变为功能多样、科技含量高的新型产品。传感器技术是当前代表国家综合科研水平的重要技术,传感器技术的具体应用是传感器技术转化的重要途径和方法。其所涉及的知识领域非常广泛,研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。 2主要传感技术分类[2][5] 2.1光电传感技术 光电式传感器是以光为测量媒介、以光电器件为转换元件的传感器,它具有非接触、响应快、性能可靠等卓越特性。随着光电科技的飞速发展,光电传感器己成为光电传感器己成为各种光电检测系统中实现光电转换的关键元件,并在传感器应用中占据着重要的地位,其中在非接触式测量领域更是扮演者无法替代的角色。光电传感器工作时,光电器件负责将光能(红外辐射、可见光及紫外辐射)信号转换为电学信号。光电器件不仅结构简单、经济性好,且具有响应快、可靠性强等优势,在自动控制、智能化控制等方面应用前景十分广阔。此外,光电传感器除了对光学信号进行测量,还能够对引起光源变化的构件或其它被测量进行

压电式加速度传感器

HEFEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY 《传感器原理及应用》课程 考核论文 题目压电式加速度传感器班级机设七班 学号 20111488 姓名孙国强 成绩 机械与汽车工程学院机械电子工程系 二零一四年五月

压电式加速度传感器 摘要:现代工业和自动化生产过程中,非电物理量的测量和控制技术会涉及大量的动 态测试问题。所谓动态测试是指量的瞬时值以及它随时间而变化的值的确定,即被测量为变量的连续测量过程。振动与冲击测量的核心是传感器,常用压电加速度传感器来获取冲击和振动信号。压电式传感器是基于某些介质材料的压电效应,当材料受力作用而变形时,其表面会有电荷产生,从而实现非电量测量。其中,压电式加速度传感器是以压电材料为转换元件,将加速度输入转化成与之成正比的电荷或电压输出的装置,具有结构简单、重量轻、体积小、耐高温、固有频率高、输出线性好、测量的动态范围大、安装简单的特点。 一、传感器物理效应及工作原理 压电效应:某些材料在受力时所产生的电极化现象。正压电效应:某些电介质在受到某一方向的机械力而变形时,在一定表面上产生电荷,若外力变向,电荷极性随之而变;当撤除外力后,又重新回到不带电状态。逆压电效应:当在电介质的极化方向施加电场,电场力使其在一定方向上产生机械变形或机械应力;当撤除外加电场时,变形或应力随之消失,又称电致伸缩效应。 压电材料:石英晶体是目前广泛应用成本较低的人造石英晶体,有很大的机械强度和稳定的机械性能,温度稳定性好,但灵敏度低,介电常数小,因此逐渐被其他压电材料所代替,至今石英仍是最重要的也是用量最大的振荡器、谐振器和窄带滤波器等元件的压电材料。除此之外,压电陶瓷有较高的压电系数和介电常数,灵敏度高,但机械强度不如石英晶体好。 压电式加速度传感器又称为压电加速度计,它是典型的有源传感器,利用某些物质如石英晶体、人造压电陶瓷的压电效应,在加速度计受振时,质量块加在压电元件上的力也随之变化。压电敏感元件是力敏元件,在外力作用下,压电敏感元件的表面上产生电荷,从而实现非电量电测量的目的。 压电加速度传感器的原理框图如图1所示,原理如图2所示。

无线加速度传感器文献综述

无线加速度传感器文献综述 一、研究现状 无线加速度传感器是传感器技术、MEMS技术、微处理器和无线通信技术相结合的产物,由加速度传感器、微处理器、射频收发芯片及电源构成。目前,国内外无线加速度传感器,包括其他类型的无线传感器,按体系结构可分为三大类: (1)COTS( Commercial Off The Shelf)节点,该类节点中的传感器、微处理器、通信模块等使用的都是现成的商用产品。典型代表有美国伯克利大学加州分校(UCB)的MICATelos节点,欧洲传感器研究项目小组开发的EyesIFX节点,中科院研究的GAIN系列也属于该类节点。这种节点除了无线传感器的共同特点外还具有低成本、短周期、技术门槛相对较低等优势,被各高校和研究机构广泛采纳,所以该类型的节点是最多的。 (2)SOC(System On Chip)节点,该类节点只使用一个芯片,就可实现节点的数据采集、控制和通信功能。SOC节点通常都为特定的应用而开发,由于需要芯片设计能力,因此开发门槛较高,成果相对较少。典型代表有Rockwell科学实验室的WINS节点、麻省理工开发的uAMPS-III等。 (3)Smart Dust节点,又称微型节点或尘埃节点。该类节点使用了业界最尖端的技术,体积只有几个平方毫米,通常为军事应用而开发,微型节点的代表为Smart Dust节点和SPEC节点,都由UCB研制。内嵌微处理器是无线加速度传感相比于传统传感器的又一特点,微处理器负责控制传感器进行数据的采集、处理和收发。 二、无线加速度传感器的工作原理 无线加速度传感器实际上就是将以加速度传感器为核心的数据采集模块、微处理器为核心的数据预处理模块、射频芯片为核心的无线传输模块,以及以微电池能量模块集成并封装在一个外壳内的系统。无线加速度传感器工作时,加速度传感器检测加速度信号(模拟信号),然后送入A/D转换器使其转换为数字信号,在作A/D转换之前,一般会设置信号调理电路,用来放大和滤波(如对建筑结构的检测,由于大跨度桥梁等大型建筑结构的自振频率较低,而桥面振动、桥梁负荷冲击等对振动信号的影响又相对较大,因此,在A/D采样之前需对模拟信号作抗混滤波处理,以滤除或降低高频干扰)。A/D的输出传送给微处理器进行预处理并存储数据,得到的预处理加速度数据将送给无线收发模块进行无线传输。最后,接受装置接收并数据传输给PC机作进一步的分析处理与显示。典型的无线加速度传感器节点结构由以下几个部分组成: (1)数据采集模块:用于对检测区域进行数据采集与信号调理。 (2)数据处理模块:微处理器对整个传感器节点的操作进行控制,对数据进行预处理并存储。 (3)无线传输模块:以射频芯片为核心,根据IEEE802.15.4协议进行无线通信,传输控制信息并首发数据信息。 (4)能量模块:为另三大模块提供电源,一般为微电池 三、无线加速度传感器存在的问题

(完整版)传感器的目前现状与发展趋势综述

传感器的目前现状与发展趋势 吴伟 1106032008 材控2班 摘要:传感器是高度自动化系统乃至现代尖端技术必不可少的一个关键组成部分。传感器技术是世界各国竞相发展的高新技术,也是进入21 世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。传感器技术所涉及的知识领域非常广泛,其研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。本文首先介绍了传感器的基本知识和传感器技术的发展历史。之后,综述了近几年高端前沿的光电传感器技术和生物传感器技术的主要研究状况。最后,展望了现代传感器技术的发展和应用前景。 关键词:传感器技术;传感器;研究现状;趋势 引言 当今社会的发展,是信息化社会的发展。在信息时代,人们的社会活动将主要依靠对信息资源的开发及获取、传输与处理。而传感器是获取自然领域中信息的主要途径与手段,是现代科学的中枢神经系统。它是指那些对被测对象的某一确定的信息具有感受(或响应)与检出功能,并使之按照一定规律转换成与之对应的可输出信号的元器件或装置的总称。传感器处于研究对象与测控系统的接口位置,一切科学研究和生产过程所要获取的信息都要通过它转换为容易传输和处理的电信号。如果把计算机比喻为处理和识别信息的“大脑”,把通信系统比喻为传递信息的“神经系统”,那么传感器就是感知和获取信息的“感觉器官”。 传感器技术是现代科技的前沿技术,发展迅猛,同计算机技术与通信技术一起被称为信息技术的三大支柱,许多国家已将传感器技术列为与通信技术和计算机技术同等重要的位置。现代传感器技术具有巨大的应用潜力,拥有广泛的开发空间,发展前景十分广阔。 1 传感器的基本知识

1.1 传感器的定义和组成 广义地说,传感器是指将被测量转化为可感知或定量认识的信号的传感器。从狭义方面讲,感受被测量,并按一定规律将其转化为同种或别种性质的输出信号的装置。传感器一般由敏感元件、转换元件、测量电路和辅助电源四部分组成,其中敏感元件和转换元件可能合二为一,而有的传感器不需要辅助电源。 1.2 传感器技术的基本特性 在测试过程中,要求传感器能感受到被测量的变化并将其不失真地转换成容易测量的量。被测量有两种形式:一种是稳定的,称为静态信号;一种是随着时间变化的,称为动态信号。由于输入量的状态不同,传感器的输入特性也不同,因此,传感器的基本特性一般用静态特性和动态特性来描述。衡量传感器的静态特性指标有线性度、灵敏度、迟滞、重复性、分辨率和漂移等。影响传感器的动态特性主要是传感器的固有因素,如温度传感器的热惯性等,动态特性还与传感器输入量的变化形式有关。 2 传感器技术的发展历史与回顾 传感器技术是在20世纪的中期才刚刚问世的。在那时,与计算机技术和数字控制技术相比,传感技术的发展都落后于它们,不少先进的成果仍停留在实验研究阶段,并没有投入到实际生产与广泛应用中,转化率比较低。在国外,传感器技术主要是在各国不断发展与提高的工业化浪潮下诞生的,并在早期多用于国家级项目的科研研发以及各国军事技术、航空航天领域的试验研究。然而,随着各国机械工业、电子、计算机、自动化等相关信息化产业的迅猛发展,以日本和欧美等西方国家为代表的传感器研发及其相关技术产业的发展已在国际市场中逐步占有了重要的份额。 我国从20世纪60年代开始传感技术的研究与开发,经过从“六五”到“九五”的国家攻关,在传感器研究开发、设计、制造、可靠性改进等方面获得长足的进步,初步形成了传感器研究、开发、生产和应用的体系,并在数控机床攻关中取得了一批可喜的、为世界瞩目的发明专利与工况监控系统或仪器的成果。但从总体上讲,它还不能适应我国经济与科技的迅速发展,我国不少传感器、信号

微加速度传感器的研究现状及发展趋势

微加速度传感器的研究现状及发展趋势 摘要:介绍了为加速度传感器的研究现状、基本原理及其分类和发展趋势。重点论述了为加速度传感器的特点和它在民用领域和军用领域的不同应用,并对微加速度传感器领域内一些新的进展进行了讨论,指出了微加速度传感器的发展趋势。 关键词:MEMS 微加速度传感器 应用 发展趋势 Research and Development of Microaccelerometer Abstract:The research situation, the basic principle,classification and its development trend of acceleration sensor are introduced.The characteristics and application in civil areas and military field are discussesed, and some new progress to the micro acceleration sensor field are discussed.The development trend of micro acceleration sensor is proposed. Keywords:MEMS Micro acceleration sensor Applications Development trend 0前言 20世纪40年代初,德国人研制了世界上第一只摆式陀螺加速度计。此后的半个多世纪以来,由于航空、航海和航天领域对惯性测量元件的需求,各种新型加速度计应运而生,其性能和精度也有了很大的完善和提高。 加速度计面世后一直作为最重要的惯性仪表之一,用在惯性导航和惯性制导系统中,与海陆空天运载体的自动驾驶及高技术武器的高精度制导联系在一起受到重视。这时候的加速度计整个都很昂贵,使其他领域对它很少问津。 这种状况直到微机械加速度计(Micro Mechanical Accelerometer,MMA)的问世才发生了改变。随着微机电系统技术的发展,微加速度计制作技术越来越成熟,国内外都将微加速度计开发作为微机电系统产品化的优先项目。微加速度计与通常的加速度计相比,具有很多优点:体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性好等。它可以广泛地运用于航空航天、汽车工业、工业自动化及机器人等领域,具有广阔的应用前景。 当前国内在加速度技术上仍沿用传统的压电技术,精度停留在5×10-5g水平上,而且尺寸偏大,重量偏重,影响我国惯导技术的先进性。近年来国内虽然有多个单位MEMS微加速度计进行了研究,但在精度上仍未取得突破,大体上只能达到10-1g的水平。 1微加速度传感器概述及发展现状 1.1微加速度传感器的工作原理 MEMS加速度传感器是以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础,在单晶硅片上制造出来的微机电系统,包括微机械加速度计、微机械陀螺仪和微惯性测量组合(MIMU)。微加速度传感器的工作原理是经典力学中的牛顿定律,其功能是测量运动物体(如车辆、飞机、导弹、舰艇、人造卫星等)的质心运动和姿态运动,进而可以对运动物体实现控制和导航。MEMS微加速度传感器与非MEMS为加速度传感器相比,其体积和价格可减少几个数量级,对国防具有重大战略意义。基于MEMS加速度传感器建低成本、高性能的微型惯性导航系统正在成为当前惯性技术领域的一个研究热点。

加速度传感器传感器课程设计

一、 设计要求 1、功能与用途 加速度传感器在现代生产生活中被应用于许许多多的方面,如手提电脑的硬盘抗摔保护,另外一个用处就是目前用的数码相机和摄像机里,也有加速度传感器,用来检测拍摄时候的手部的振动,自动调节相机的聚焦。而这些产品中由于要求对温度的干扰有很大的免疫力,其中采用的都是压电式加速度传感器。压电加速度传感器还应用于汽车安全气囊、防抱死系统、牵引控制系统等安全性能方面,灵敏度是压电加速度传感器应用时候要考虑到的重要因素之一。 概括起来,加速度传感器可应用在控制,手柄振动和摇晃,仪器仪表,汽车制动启动检测,地震检测,报警系统,玩具,环境监视,工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析;鼠标,高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上。 2、指标要求 分别用压电式传感器、电阻应变式传感器、电容传感器实现加速度的测量将非电量转化为电量输出。 二、设计方案及其特点 依据压电效应、电阻应变效应以电容相关的物理参数及性质随外力而变化的特性,可制作成压电式加速度传感器、电阻应变式加速度传感器及电容式加速度传感器。三种加速度传感器的设计及特点分别叙述如下: 1、方案一 压电式加速度传感器 压电加速度测量系统结构框图如图1所示: 压电加速度传感器采用具有压电效应的压电材料作基本元件 ,是以压电材料受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器。这些压电材料 ,当沿着一定 压电加速度 传感器 电荷放大器 信号处理电 路 A/D 转 换电路 图1 压电加速度测量系统结构框图

方向对其施力而使它变形时,内部就产生极化现象 ,同时在它的两个相对的表面上便产生符号相反的电荷;当外力去掉后 ,又重新恢复不带电的状态;当作用力的方向改变时 ,电荷的极性也随着改变。电信号经前置放大器放大 ,即可由一般测量仪器测试出电荷(电压)大小 ,从而得出物体的加速度 加速度计的使用上限频率取决于幅频曲线中的共振频率图2。 方案二 电阻应变式加速度传感器 应变式加速度传感器主要用于物体加速度的测量。其基本工作原理是:物体运动的加速度与作用在它上面的力成正比,与物体的质量成反比,即a=F/m 。 图3中1是等强度梁,自由端安装质量块2,另一端固定在壳体3上。等强度梁上粘贴四个电阻应变敏感元件4 。 测量时,将传感器壳体与被测对象刚性连接,当被测物体以加速度a 运动时,质量块受到一个与加速度方向相反的惯性力作用, 使悬臂梁变形,该变形被粘贴在悬臂梁上的应变片感受到并随之产生应变,从而使应变片的电阻发生变化。 电阻的变化引起应变片组成的桥路出现不平衡,从而输出电压, 即可得出加速度a 值的大 图2 压电式加速度计的幅频特性曲线 3 2 1 4 1—等强度梁;2—质量块;3—壳体; 4—电阻应变敏感元体 图3 应变式加速度传感器结构

传感器的应用现状及发展趋势-论文2011-11-16

传感器技术的研究应用现状与发展前景 传感器技术作为信息技术的三大基础之一,是当前各发达国家竞相发展的高技术是进入21 世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。传感器在科学技术领域、工农业生产以及日常生活中发挥着越来越重要的作用。人类社会对传感器提出的越来越高的要求是传感器技术发展的强大动力,而现代科学技术突飞猛进则提供了坚强的后盾。传感器是信息系统的源头, 在某种程度上是决定系统特性和性能指标的关键部件。本文回顾了传感器技术的发展历史,综述了近几年高端前沿的光电传感器技术和生物传感器技术的主要研究应用状况,并通过简述当前的应用实例,展望了现代传感器技术的发展和应用前景。 1.引言 传感器是将物理、化学、生物等自然科学和机械、土木、化工等工程技术中的非电信号转换成电信号的换能器。当今社会的发展是信息化社会的发展,在信息时代人们的社会活动将主要依靠对信息资源的开发及获取、传输与处理,而传感器是获取自然领域中信息的主要途径与手段,是现代科学的中枢神经系统,它是指那些对被测对象的某一确定的信息具有感受(或响应)与检出功能,并使之按照一定规律转换成与之对应的可输出信号的元器件或装置的总称。传感器处于研究对象与测控系统的接口位置一切科学研究和生产过程所要获取的信息都要通过它转换为容易传输和处理的电信号。如果把计算机比喻为处理和识别信息的大脑,把通信系统比喻为传递信息的神经系统,那么传感器就是感知和获取信息的感觉器官。传感器技术是现代科技的前沿技术,发展迅猛,同计算机技术与通信技术一起被称为信息技术的三大支柱,许多国家已将传感器技术列为与通信技术和计算机技术同等重要的位置现代传感器技术具有巨大的应用潜力拥有广泛的开发空间,发展前景十分广阔。 2.传感器的发展历史及分类 2.1传感器技术的发展历史 传感器技术是20世纪的中期才刚刚问世的,在那时与计算机技术和数字控制技术相比,传感技术的发展都落后于它们,不少先进的成果仍停留在实验研究阶段并没有投入到实际生产与广泛应用转化率比较低。在国外,传感器技术主要是在各国不断发展与提高的工业化浪潮下诞生的,并在早期多用于国家级项目

微加速度传感器概述_微机电系统设计学

《微机电系统设计学》读书报告 ——微加速度传感器概述查阅资料前,预计要解决的问题: 1)微加速度传感器的产生 2)微加速度传感器相比于传统传感器存在的优势 3)微加速度传感器工作原理 4)微加速度传感器主要有哪些类型,不同类型的特点 5)不同类型的微加速度传感器大致结构和工作机制 6)微加速度传感器主要应用及其发展趋势和前景 7)国内外微加速度传感器的发展 查阅的主要书籍及论文如下: 1.刘昶等微机电系统基础[M] 北京:机械工业出版社,2007 2.李德胜等MEMS技术及其应用[M] 黑龙江: 哈尔滨工业大学出版社,2002 3.傅建中等微系统原理与技术[M] 北京:机械工业出版社,2005 4.刘好等微加速度传感器的研究现状及发展趋势[J] 光学精密工程2004,12(3): 81-86 5.李圣怡等微加速度计研究的进展[J] 国防科技大学学报2006(04):34-37 针对预期解决的问题,对查阅的资料进行整理。 一、微加速度传感器概述 自19世纪产业革命以来,传感器作为检测单元不断用于改善机器系统的性能和提高系统的自动化程度。随着MEMS技术的不断发展,特别是其加工技术,如蒸镀、刻蚀,微细加工的进步,过去很难加工的工艺变得容易了。通过蒸镀可以制成均匀的、稳定的,并可以把拾取信息的敏感部分和电路集成于一体。例如,微加工技术可在半导体材料上,利用刻蚀方法使局部厚度变成几个微米而感受压力的敏感膜,从而避免了传统的把感压膜固定在装置上而产生的诸多不稳定因素。除了敏感元件及其信号处理电路,调节机构甚至运动元件也都可以利用微加工技术集成在一起,在相对极小的空间里制作出测量和控制系统。 各种各样的微传感器已经问世,测量对象从机械量的位移、速度和加速度到热工学量的温度和基于温度特性的红外图像和流速,以及磁场、化学成分等应有尽有。同传统传感器相比,微传感器具有体积小、质量轻、功能灵活、功耗小,以及成本低廉等特点。20世纪40年代初,德国人研制了世界上第一只摆式陀螺加速度计。此后的半个多世纪以来,由于航空、航海和航天领域对惯性测量元件的需求,各种新型加速度计应运而生,其性能和精度也有了很大的完善和提高。美国AD公司、美国加州大学Berkeley分校(UCB)、德国Dresden大学、

应变式加速度传感器培训讲学

应变式加速度传感器

传感器与测控电路课程设计 说明书 题目应变片式加速度传感器的设计姓名 学院机电工程学院 专业测控技术与仪器 学号 指导教师 成绩 二〇一零年六月二十三日

目录 一、设计题目 (3) 二、设计任务及技术指标 (3) 三、设计要求 (3) 四、构造及其原理概述 (4) 五、结构设计 (5) 六、应变片的选择及其设计计算 (7) 七、转换电路的设计 (9) 八、外部电路的设计 (10) 九、结构和辅助零件的设计 (11) 十、精度误差分析 (12) 十一、课程设计总结 (13) 十二、参考文献 (14) 附录: 传感器设计CAD零件图 (15) 传感器设计CAD装配图 (16) 测控电路原理Proteus图 (17)

一、设计题目 应变式加速度传感器的设计 二、设计任务及技术指标 1、工作在常温、常压、静态、环境良好。 2、精度0.1%FS。 3、测量范围20g。 4、频响:0.1~100HZ。 5、电桥电压:5V。 三、设计要求 1、利用电阻或半导体的应变效应设计加速度传感器,将所测的加速度转换 成电信号。 2、根据被测量,设计传感器的性能参数和结构参数。 3、根据传感器敏感元件输出电量的类型设计转换电路和后续信号处理电 路。

四、构造及其原理概述 1、金属丝在外力作用下发生机械变形时,其电阻值将发生变化。 2、用应变片测量受力变形时,将应变片粘贴于被测对象表面上。在外力作用 下,被测对象表面产生微小机械变形时,应变片的敏感栅也随同变形,其电阻值发生相应的变化。通过转换电路转换为相应的电压或电流的变化。 根据式 σ=Eε 式中σ:测试的应力; E:材料弹性模量 可以测得σ应力值。通过弹性元件将加速度转换为应变,因此可以用应 变片测量加速度,从而做成应变式加速度传感器。 3、如图为加速度传感器的结构示意图。 图1 加速度传感器结构简图

加速度传感器原理与应用简介

加速度传感器原理与应用简介 1、什么是加速度传感器 加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,就好比地球引力,也就是重力。加速力可以是个常量,比如g,也可以是变量。 加速度计有两种:一种是角加速度计,是由陀螺仪(角速度传感器)的改进的。另一种就是线加速度计。 2、加速度传感器一般用在哪里 通过测量由于重力引起的加速度,你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。通过分析动态加速度,你可以分析出设备移动的方式。但是刚开始的时候,你会发现光测量倾角和加速度好像不是很有用。但是,现在工程师们已经想出了很多方法获得更多的有用的信息。 加速度传感器可以帮助你的机器人了解它现在身处的环境。是在爬山?还是在走下坡,摔倒了没有?或者对于飞行类的机器人来说,对于控制姿态也是至关重要的。更要确保的是,你的机器人没有带着炸弹自己前往人群密集处。一个好的程序员能够使用加速度传感器来回答所有上述问题。加速度传感器甚至可以用来分析发动机的振动。 目前最新IBM Thinkpad手提电脑里就内置了加速度传感器,能够动态的监测出笔记本在使用中的振动,并根据这些振动数据,系统会智能的选择关闭硬盘还是让其继续运行,这样可以最大程度的保护由于振动,比如颠簸的工作环境,或者不小心摔了电脑做造成的硬盘损害,最大程度的保护里面的数据。另外一个用处就是目前用的数码相机和摄像机里,也有加速度传感器,用来检测拍摄时候的手部的振动,并根据这些振动,自动调节相机的聚焦。 概括起来,加速度传感器可应用在控制,手柄振动和摇晃,仪器仪表,汽车制动启动检测,地震检测,报警系统,玩具,结构物、环境监视,工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析;鼠标,高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上。 3、加速度传感器是如何工作的 线加速度计的原理是惯性原理,也就是力的平衡,A(加速度)=F(惯性力)/M(质量)我们只需要测量F就可以了。怎么测量F?用电磁力去平衡这个力就可以了。就可以得到F 对应于电流的关系。只需要用实验去标定这个比例系数就行了。当然中间的信号传输、放大、滤波就是电路的事了。 现代科技要求加速度传感器廉价、性能优越、易于大批量生产。在诸如军工、空间系统、科学测量等领域,需要使用体积小、重量轻、性能稳定的加速度传感器。以传统加工方法制造的加速度传感器难以全面满足这些要求。于是应用新兴的微机械加工技术制作的微加速度传感器应运而生。这种传感器体积小、重量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、易于实现数字化和智能化。而且,由于微机械结构制作精确、重复性好、易于集成化、适于大批量生产,它的性能价格比很高。可以预见在不久的将来,它将在加速度传感器市场中占主导地位。 微加速度传感器有压阻式、压电式、电容式等形式。 ·压电式 压电式传感器是利用弹簧质量系统原理。敏感芯体质量受振动加速度作用后产生一个与加速度成正比的力,压电材料受此力作用后沿其表面形成与这一力成正比的电荷信号。压电式加速度传感器具有动态范围大、频率范围宽、坚固耐用、受外界干扰小以及压电材料受力自产生电荷信号不需要任何外界电源等特点,是被最为广泛使用的振动测量传感器。虽然压

压力传感器研究现状及发展趋势

压力传感器研究现状及发展趋势 传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一,从宇宙开发到海底探秘,从生产的过程控制到现代文明生活,几乎每一项技术都离不开传感器,因此,许多国家对传感器技术的发展十分重视,如日本把传感器技术列为六大核心技术(计算机、通信、激光、半导体、超导体和传感器) 之一。在各类传感器中压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、便于集成化的优点,可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速、液位、压强的测量与控制。除此以外,还广泛应用于水利、地质、气象、化工、医疗卫生等方面。由于该技术是平面工艺与立体加工相结合,又便于集成化,所以可用来制成血压计、风速计、水速计、压力表、电子称以及自动报警装置等。压力传感器已成为各类传感器中技术最成熟、性能最稳定、性价比最高的一类传感器。因此对于从事现代测量与自动控制专业的技术人员必须了解和熟识国内外压力传感器的研究现状和发展趋势。 1 压力传感器的发展历程 现代压力传感器以半导体传感器的发明为标志,而半导体传感器的发展可以分为四个阶段[1 ] : (1) 发明阶段(1945 - 1960 年) :这个阶段主要是以1947 年双极性晶体管的发明为标志。此后,半导体材料的这一特性得到较广泛应用。史密斯(C.S. Smith) 与1945 发现了硅与锗的压阻效应[2 ] ,即当有外力作用于半导体材料时,其电阻将明显发生变化。依据此原理制成的压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上,即将力信号转化为

电信号进行测量。此阶段最小尺寸大约为1cm。 (2) 技术发展阶段(1960 - 1970 年) :随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001) 或(110) 晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯[3 ] 。这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点,实现了金属- 硅共晶体,为商业化发展提供了可能。 (3) 商业化集成加工阶段(1970 - 1980 年) :在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术[4 ] ,主要有V 形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。由于可以在多个表面同时进行腐蚀,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式,成本进一步降低。 (4) 微机械加工阶段(1980 年- 今) :上世纪末出现的纳米技术,使得微机械加工工艺成为可能。 通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力传感器,其线度可以控制在微米级范围内。利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜,使得压力传感器进入了微米阶段。 2 压力传感器国内外研究现状 从世界范围看压力传感器的发展动向主要有以下几个方向。 2. 1 光纤压力传感器[5 ]

加速度传感器课程论文

加速度传感器课程论文

ADXL05型单片加速度传感器的工作原理及实际应用 姓名:杨锐 电气四班(19) 前言: 单片加速度传感器的典型产品有美国ADI 公司生产的ADXL05、ADXL105.、ADXL190、ADXL202和ADXL210,还有美国Motorola公司生产的MMA1200D、MMA120IP和MMA1220D。上述产品也称为加速度计( accelerometer),可广泛用于工业、交通、地矿、建筑及军事领域,既可测量重力加速度,又可以测量由振动、冲击所产生的加速度、速度,位移等参数,还能取代水银式倾斜仪测量倾斜角。单片加速度传感器分模拟信号输出、数字信号输出两种形式,ADXL05、ADXL105和MMA1200D 均属于模拟电压输出式,ADXL202和ADXL210 则属于数字输出式,或者能输出与加速度成比例关系的占空比信号。此外,ADXL05、ADXL105均属于单轴加速度传感器,只能测量沿X轴方向的加速度;ADXL202、ADXL210属于双轴加速度传感器,可同时测量沿X轴、Y轴两个方向的加速度。

1、ADXL05的工作原理 1.1 性能特点 (1)在ADXL05芯片中集成了一个完整的加速度测量系统,内部包含用单晶硅制成的电容式加速度传感器和信号调理器。最大外形尺寸仅为φ9.4x19(mm),质量为5g。 (2)它属于力平衡式加速度传感器,测量加速度时满量程为±1~±5g (lg=9.8m/s),具体量程可通过外围元件来设定。分辨力可达0.005g。加速度计的电压比例系数为200mv/g,满量程时的非线性误差为±0.2%,谐振频率为12kHz。 (3)过载能力强,在0.5s内可承受1000g的冲击。外围电路简单。利用重力加速度可以校准传感器的极性。芯片还具有自检功能,可检测传感器或外围元件是否发生故障。 (4)电源电压范围是+4.75~+5.25V,典型值为5V,工作电流约为8mA。 1.2.工作原理 1.2.1 引脚功能 ADXL05采用TO - 100封装,引脚排列如 图1-2-1所示。

传感器技术发展现状及趋势

传感器技术发展现状及趋势 桂林航天工业学院 课程论文 题目:传感器技术发展现状及趋势 专业:工商企业管理(生产运作与质量管理) 姓名:罗并 学号:20190820Z00102 指导教师:陈少航 2019年 6月12日 传感器技术发展现状及趋势 在信息化社会,几乎没有任何一种科学技术的发展和应用能够离得开传感器和信号探 测技术的支持。生活在信息时代的人们,绝大部分的日常生活与信息资源的开发,采集, 传送和处理息息相关。分析当前信息与技术发展状态,21世纪的先进传感器必须具备小型化,智能化,多功能化和网络化等优良特征。 为了能够与信息时代信息量激增,要求捕获和处理信息的能力日益增强的技术发展趋 势保持一致,对于传感器性能指标(包括精确性,可靠性,灵敏性等)的要求越来越严格; 与此同时,传感器系统的操作友好性亦被提上了议事日程,因此还要求传感器必须配有标 准的输出模式;而传统的大体积弱功能传感器往往很难满足上述要求,所以它们已逐步被 各种不同类型的高性能微型传感器所取代;后者主要由硅材料构成,具有体积小,重量轻,反应快,灵敏度高以及成本低等优点。 目前,几乎所有的传感器都在由传统的结构化生产设计向基于计算机辅助设计(CAD) 的模拟式工程化设计转变,从而使设计者们能够在较短的时间内设计出低成本,高性能的 新型系统,这种设计手段的巨大转变在很大程度上推动着传感器系统以更快的速度向着能 够满足科技发展需求的微型化的方向发展。 智能化传感器(Smart Sensor)是20世纪80年代末出现的另外一种涉及多种学科的新 型传感器系统。此类传感器系统一经问世即刻受到科研界的普遍重视,尤其在探测器应用 领域,如分布式实时探测,网络探测和多信号探测方面一直颇受欢迎,产生的影响较大。,智能化传感器具有以下优点: (1)智能化传感器不但能够对信息进行处理,分析和调节,能够对所测的数值及其误 差进行补偿,而且还能够进行逻辑思考和结论判断,能够借助于一览表对非线性信号进行

MEMS加速度传感器的原理与构造

微系统设计与应用 加速度传感器的原理与构造 班级:2012机自实验班 指导教师:xxx 小组成员:xxx xx大学机械工程学院 二OO五年十一月

摘要 随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展,各种基于MEMS技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、光开关等等,它们有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点,而且因为其加工工艺一定程度上与传统的集成电路工艺兼容,易于实现数字化、智能化以及批量生产,因而从问世起就引起了广泛关注,并且在汽车、医药、导航和控制、生化分析、工业检测等方面得到了较为迅速的应用。其中加速度传感器就是广泛应用的例子之一。加速度传感器的原理随其应用而不同,有压阻式,电容式,压电式,谐振式等。本文着手于不同加速度传感器的原理、制作工艺及应用展开,能够使之更加全面了解加速度传感器。 关键词:加速度传感器,压阻式,电容式,原理,构造

目录 1 压阻式加速度传感器 (2) 1.1 压阻式加速度传感器的组成 (2) 1.2 压阻式加速度传感器的原理 (2) 1.2.1 敏感原理 (3) 1.2.2 压阻系数 (4) 1.2.3 悬臂梁分析 (5) 1.3 MEMS压阻式加速度传感器制造工艺 (6) 1.3.1结构部分 (6) 1.3.2 硅帽部分 (8) 1.3.3键合、划片 (9) 2电容式加速度传感器 (9) 2.1电容式加速度传感器原理 (9) 2.1.1 电容器加速度传感器力学模型 (9) 2.1.2电容式加速度传感器数学模型 (11) 2.2电容式加速度传感器的构造 (12) 2.2.1机械结构布局的选择与设计 (12) 2.3.2材料的选择 (14) 2.3.3工艺的选择 (15) 2.3.4具体构造及加工工艺 (16) 3 其他加速度传感器 (18) 3.1 光波导加速度计 (18) 3.2微谐振式加速度计 (18) 3.3热对流加速度计 (19) 3.4压电式加速度计 (19) 4 加速度传感器的应用 (20) 4.1原理 (20) 4.2 功能 (20) 参考文献 (22)

传感器技术的应用及其发展

传感器技术的应用及其发展 摘要:传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础,传感器技术是实现测试与自动控制的重要环节,而测试技术与自动控制水平 高低,是衡量一个国家科学技术现代化程度的重要标志。本文列举了传感器技术在当前一些重要领域里的应用,并讲述了其发展趋势。 关键词:传感器技术应用现状发展趋势 一、引言 传感器技术是当今世界令人瞩目,迅速发展的高新技术之一,也是当代科学发展的一个重要标志,与通许技术、计算机技术共同构成21世纪信息产业的三大支柱。如果说计算机是人类大脑的扩展,那么传感器就是人类五官的延伸。因此各发达国家都将传感器技术作为本世纪重点技术加以发展。随着国内工业自动化、信息化和国防现代化的发展,传感器的年需求量持续增长。传感器的应用也越来越广泛、已渗透到各个专业领域。但是目前国内传感器技术的创新和新产品开发能力落后于国内外先进水平,制约了我国工业自动化和信息化技术的发展。 二、传感器介绍 传感器一般由敏感元件、传感元件和其他辅助件组成,有时也将信号调节与转换电路、辅助电源作为传感器的组成部分。传感器通常可以按照一系列方法进行分类。根据输入物理量的分类,传感器常以别测物理量命名,如位移传感器,速度传感器、温度传感器、压力传感器等;根据工作原理分类,传感器常可以依据工作原理进行命名,如应变式、电容式、电感式、热电式、光电传感器等;按输出信号分类,可分为模拟传感器和数字式传感器。输出量为模拟量则称为模拟式,输出量为数字式则称为数字式传感器等等。 三、主要传感器技术分类 传感器技术是当前代表国家综合科研水平的重要技术,传感器技术的具体应用是传感器技术转化的重要途径和方法。加强对传感器技术应用的研究也是了解传感器技术发展现状并对其未来发展进行预测的基础和前提。 3.1 光电传感器技术

加速度传感器原理以及选用

加速度传感器原理以及选用 什么是加速度传感器? 加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,就好比地球引力,也就是重力。加速力可以是个常量,比如g,也可以是变量。 加速度传感器一般用在哪里? 通过测量由于重力引起的加速度,你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。通过分析动态加速度,你可以分析出设备移动的方式。但是刚开始的时候,你会发现光测量倾角和加速度好像不是很有用。但是,现在工程师们已经想出了很多方法获得更多的有用的信息。 加速度传感器可以帮助你的机器人了解它现在身处的环境。是在爬山?还是在走下坡,摔倒了没有?或者对于飞行类的机器人来说,对于控制姿态也是至关重要的。更要确保的是,你的机器人没有带着炸弹自己前往人群密集处。一个好的程序员能够使用加速度传感器来回答所有上述问题。加速度传感器甚至可以用来分析发动机的振动。 目前最新IBM Thinkpad手提电脑里就内置了加速度传感器,能够动态的监测出笔记本在使用中的振动,并根据这些振动数据,系统会智能的选择关闭硬盘还是让其继续运行,这样可以最大程度的保护由于振动,比如颠簸的工作环境,或者不小心摔了电脑做造成的硬盘损害,最大程度的保护里面的数据。另外一个用处就是目前用的数码相机和摄像机里,也有加速度传感器,用来检测拍摄时候的手部的振动,并根据这些振动,自动调节相机的聚焦。 加速度传感器是如何工作的? 多数加速度传感器是根据压电效应的原理来工作的。 所谓的压电效应就是 "对于不存在对称中心的异极晶体加在晶体上的外力除了使晶体发生形变以外,还将改变晶体的极化状态,在晶体内部建立电场,这种由于机械力作用使介质发生极化的现象称为正压电效应 "。 一般加速度传感器就是利用了其内部的由于加速度造成的晶体变形这个特性。由于这个变形会产生电压,只要计算出产生电压和所施加的加速度之间的关系,就可以将加速度转化成电压输出。当然,还有很多其它方法来制作加速度传感器,比如电容效应,热气泡效应,光效应,但是其最基本的原理都是由于加速度产生某个介质产生变形,通过测量其变形量并用相关电路转化成电压输出。 在选购加速度传感器的时候,需要考虑什么? 模拟输出 vs 数字输出:这个是最先需要考虑的。这个取决于你系统中和加速度传感器之间的接口。一般模拟输出的电压和加速度是成比例的,比如2.5V对应0g的加速度,2.6V对应于0.5g的加速度。数字输出一般使用脉宽调制(PWM)信号。 如果你使用的微控制器只有数字输入,比如BASIC Stamp,那你就只能选择数字输出的加速度传感器了,但是问题是你必须占用额外的一个时钟单元用来处理PWM信号,同时对处理器也是一个不小的负担。 如果你使用的微控制器有模拟输入口,比如PIC/AVR/OOPIC,你可以非常简单的使用模拟接口的加速度传感器,所需要的就是在程序里加入一句类似"acceleration=read_adc()"的指令,而且处理此指令的速度只要几微秒。 测量轴数量: 对于多数项目来说,两轴的加速度传感器已经能满足多数应用了。对于某些特殊的应用,比如UAV,ROV控制,三轴的加速度传感器可能会适合一点。 最大测量值: 如果你只要测量机器人相对于地面的倾角,那一个±1.5g加速度传感器就足够了。

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