SEM操作规程21688讲课稿

SEM 操作规程 2 1 68 8

Fig> 4.7 Spec, Exchange button JSM-7800F 扫描电镜操作规程 1、确认Maintenance 界面内的GUN/AC 内GUN 参数（电流值稳定） 和SIP1和SIP2的真空度正常方可运行！！ 2、选择正确的样品座放置样品并固定，样品高度不要超过样品座上 方 10mm 。 注意：接触样品座，取放样品时务必戴手套操作！！ ！ Cylinder * Specimen holder Specimen Setscrew 5pecimen stub HI 3、装样品前必须确认高压处于 关闭状态。 4、点击SEM 应用程序软件中Specimen 窗口的［Exchange Position 按钮，使样品交换室控制面板 EXCH POSN 灯点亮，并确认样品台 处于样品交换的位置（X : 0.000mm, Y : 0.000mm ，Z=40.0mm , R : 0.00, T : 0.00）。 I SEM monitor

EXCH POSN- Lamp 枇学呼.巴J Specimen exchange chamber panel