Lab-X3500中文操作手册
KlippelQCsystem操作说明书
FOSTER ELECTRIC (PANYU) FACTORY
ENG1/HHJZ—20100117 1/25
Klippel QC system 操作说明书
第一章 生产线使用指南
一、开机注意事项： 1．开机：必须先开电脑，再开分析仪，避免电脑开启时冲击电流损坏分析仪内 部精密部件； 2．关机：必须先关分析仪，再关电脑； 3．平时机器不使用时，要用毛巾或者棉布盖好测试箱，避免灰尘落入 MIC，影 响测试结果。
二、使用手顺： 1．从桌面上双击“QC Engineer”，打开使用界面，选择要测试的机种，按“Start” 开始进入测试窗口。此时，系统会弹出要求输入用户名与密码的小窗口，输入正 确才能进入设置。
双击这里
选择要测试的 机种名
输入用户名与 密码
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2．进入测试界面后，系统会弹出下图所示的设置窗口,如果这个窗口关闭了，可 以点击界面左上角的手形工具箱重新打开，在这里主要是设置测试数据保存位 置，以方便查找。
在 Tasks 任务栏 内选择第四行 “Finish”.
点击这里新建 保存目录路径
点击这个手形 工具可打开以 上窗口
FOSTER ELECTRIC (PANYU) FACTORY
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3．点击“Limits”设定测试标准，此时需要点击一下“Activate Limit Calculation Mode”打开激活，如下图所示。
点击这里激 活，再次点击 为关闭激活
注意：设定标准请在生产线都开 LINE 的情况下进行设定， 那样才能设定需要的环境噪音！
S4800扫描电镜操作说明书
冷场发射扫描电子显微镜S4800操作说明（普通用户） 燕山大学材料学院材料管A104（场发射，钨灯丝） 编写人：李月晴吕益飞 普通用户在熟练操作1个月后，如无不良记录，可申请高级用户培训。 高倍调清晰：局部放大(Red) →聚焦Focus→消像散 一、日常开机 1，开启冷却循环水电源。 2，按下Display开关至，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。 3，打开信号采集开关，位置打到1，为打开。 4，打开电源插排的开关。 5，打开装有EDS软件的主机电源。 6，记录仪器运行参数(右下角Mainte)，即钨灯丝真空度。如：IP1：0.0×10-8Pa；IP2：0.0×10-8Pa； IP3：9.6×10-7Pa。PeG-1，<1×10-3；PeG-2，<1×10+2。 注意：PeG≤1×10-3Pa时才能加高压测量。记录的参数：①点Flashing时会显示：In2(Ie)Flashing时电流最大值，如32.9μA；②加上高压后会显示，V ext=3.4kV。 二、轰击（点flashing，即在阴极加额外电压） 目的：高温去除针尖表面吸附的气体 1，最好在每天开始观察样品前一时做flashing； 2，选择flashing intensity为2 ； 3，若flashing运行时Ie小于20μA，则反复执行直至Ie值超过20μA且不再增加。 4，若flashing后超过8个小时仍继续使用，重新执行flshing 。 三、加液氮 容积不要超过1L，能维持4~6h。 四、样品制备及装入 样品制备简单，对样品要求较低，只要能放进样品室，都可进行观察。 1，化学上和物理上稳定的干燥固体，表面清洁，在真空中及在电子束轰击下不挥发或变形，无放射性和腐蚀性。 2，样品必须导电，非导电样品，可在表面喷镀金膜。 3，带有磁性的样品，由于物镜有强磁性，制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入
SEM操作手册
扫描电镜基本操作步骤和注意事项 一、基本操作步骤： 1. 块状样品尺寸不宜过大（形状不规则的样品应咨询管理老师如何测试，不能想当然）， 用铜导电胶；粉末样品，则需碳导电胶带，用牙签制样，尽可能少量，并用洗耳球吹掉粘结不牢的粉末样品；做好样品后，把导电胶带等放入抽屉，并收拾好桌面。 2. 测样品时需换鞋，请同学们注意保持实验室卫生。实验完毕后将拖鞋放回鞋架。 3. 观察屏幕右下角“Status”栏里的参数是否正常，尤其是Emission Current值是否正 常。测试前应在SEM记录本上记录IGP1、IGP2和Emission Current的值。每次实验要在实验记录本上记录：时间，样品名称，数量，测试人姓名，仪器是否正常。 4. 未测试前系统处于“P ump”状态（黄色），按“V ent”键往样品室充高纯氮气（变黄色）， 约2分钟后“V ent”键变灰色可以轻轻缓慢的拉开样品室的门（如果打不开门，马上联系管理人员）。 5. 将附有样品的铝台，用洗耳球吹洗干净，并放入。放臵样品时切忌对着样品室说话， 并且样品室的门不能开着太久，以保证样品室的清洁。（正常的操作：右手握住带有样品的镊子，左手轻轻拉开门，马上把样品放臵在支架（Holder）上，并立刻用左手“轻推”，右手扶住门正上端边缘的中间部位，双手配合，以防止门和电镜系统接触时过大的撞击，一直到门和电镜完全接触） 6. 放好样品后，轻轻将样品室门推入保证接触，将右手指放在门上接触边缘缝隙处， 左手点击“Pump”，当右手指感觉到门缝渐渐变紧时说明泵抽气正常。鼠标左键选中左上窗口，按住鼠标中间滚轮往上拉，样品台会上升，视样品具体情况，控制样品台和极靴之间的距离（Work Distance, WD），Work Distance不能小于6mm。等待操作界面右下角“Chamber Presure”真空优于8*10-3 Pa时，设臵好高压和Spot的值，方可点击“High Voltage”加上高压。 7. 鼠标左键选择一个成像窗口，点击“||”钮去掉窗口锁定，点击方框钮，选定一个合适 大小的区域聚焦和消像散。聚焦：按鼠标右键左右拖动至最清晰的位臵。消像散：等聚焦好后，按住Shift键并按下鼠标右键上下左右调至图像最清晰。左手放在小键盘“-，+”键上，以便及时的放大缩小图像。每次聚焦图像清晰后，都必须点击“Link Z to FWD”按钮，建立Z轴高度与焦距的关联（点击该键后，如果在CCD窗口拉动样品的高度，则在扫描窗口下端任务栏里的WD值随之变化，如果不点击该键，则WD值不懂，无法判断高度；每次聚焦后都必须点击该键）。按
扫描电镜Zeiss Supra55简明操作指南
Zeiss-Supra55扫描电子显微镜简明操作指南 一、开机启动 1、按下绿键。 按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：zeiss 2、启动SmartSEM软件。 用户名：system 密码：无 3、检查真空值。 二、换样品(换样或加高压观察样品) 1、装试样。 在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。 注意：各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。 2、关高压。 3、检查插入式探测器状态 打开TV，将EBSD等插入式探测器拉出。 4、放气。 点Vent等待3-5 分钟。 注意：确认Z move on vent选上，这样，放气时样品台会自动下降。 5、拉开舱门。 注意：拉开舱门前，确认样品台已经降下来，周围探测器处于安全位置。 6、更换样品座 注意：抓样品座时戴手套，避免碰触样品。 7、关上舱门。 注意：舱门上O圈有时会脱落，关门时勿夹到异物。 8、抽真空。 点击Pump，等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)，等待3-5分钟。 注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。 当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝（Gun On），左下角Ready。 等待过程中，可先移动样品台初步定位样品。 9、换样完成。 加高压，观察样品台TV 三、成像过程 1、定位样品。 打开TV，移动样品台。升至工作距离约在8~10mm处，平移对准样品。可打开stage navigation帮助定位。 2、开高压。 根据检测要求和样品特性，设定加速电压； 3、观察样品，定位观察区。 全屏快速扫描（点击工具栏上）； 选择Inlens或SE2探头； 缩小放大倍数至最小； 聚焦并调整亮度和对比度（Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine）；
KLIPPEL 操作手册
KLIPPEL 测试系统的简单操作手册 检查激光：Enter----Main menu 选择Displacement meter----选择D（对校准器第二格，距离复0）----激光对准第一格（距离显示在9.7mm-10.3mm之间）----激光对准第三格,距离显示在-9.7mm—10.3mm之间----OK 固定喇叭，将雷射激光对准喇叭中间反射面（可用涂改液涂在雷射光束照射喇叭位置，增强反射强度，白色贴纸也可），距离调至绿灯及黄灯皆连续亮，不闪动，将连接线正确接上喇叭正负端子。 LPM小信号线性参数测试 1.点选第一行黄色资料夹图示，点选“open project”, 然后点选“new folder”, 输入文件名后按OK。 2.点选第一行蓝色测试图示（new operation），点选测试模式“LPM linear parameters”, 点先“LPM Logitech”设定，按OK。 3.点选第一行灰色喇叭图示“properties”,选“info可于name”栏重新命名， “comment”栏输入备注说明。然后点“Driver”，于“Diaphragm Area”栏输入有效振动面积（cm2）,或于“Diameter”栏输入有效振动直径（cm）,于“Material of voice coil”点音圈材质。在于“Power”栏，输入额定功率（W），额定阻抗（ohm），按OK确认，按Close关闭。 4.点选第一行绿色启动图示开始测试。 结果可以得下列小信号线性参数 Electrical Parameters Re electrical voice coil resistance at DC 直流电阻 Le frequency independent part of voice coil inductance L2 para-inductance of voice coil R2 electrical resistance due to eddy current losses Cmes electrical capacitance representing moving mass Lces electrical inductance representing driver compliance Res resistance due to mechanical losses Fs driver resonance frequency 共振频率 Mechanical Parameters (using laser) Mms mechanical mass of driver diaphragm assembly Including air load and voice coil 有效振动质量（含空气负载） Mmd mechanical mass of voice coil and diaphragm without Air load 有效振动质量（不含空气负载） Rms mechanical resistance of total-driver losses Cms mechanical compliance of driver suspension 顺性 Kms mechanical stiffness of driver suspension 钢性 Bl force factor (Bl product) 磁力因数
FEI (飞利浦)旗下Phenom飞纳台式扫描电镜手册
FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品 PHENOM TM G2 飞纳台式扫描电子显微镜第二代数秒之内，遍览微观世界 飞纳将带给您令人惊叹的高质量图片和前所未有的便捷操作，详情请咨询Phenom World BV中国公司：复纳科学仪器（上海）有限公司
数 秒之内，遍览微观世界 >>> 数秒之内，遍览微观世界 现在，Phenom-World B.V.向您隆重介绍第二代Phenom(飞纳)台式扫描电镜：Phenom G2和电镜能谱一体化的Phenom proX。 Phenom(飞纳) G2和proX 采用全新的硬件及软件架构，在继承了前代快速成像、简单易用等优点的同时，为您提供更加卓越的图像质量和精确的元素分析功能。 FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品 01 自2007年美国FEI 公司发布第一代Phenom(飞纳)台式扫描电镜以来，Phenom(飞纳)因其卓越的图像质量、30秒超快成像速度、简单易用的操作界面以及接近光学显微镜的超值价格，成为诸多科学家及工业研究人员的首选显微成像工具。 2009年，为了进一步促进Phenom(飞纳)台式扫描电镜的研发，FEI 公司与国际知名的NTS-Group 公司、Sioux 嵌入式系统公司合作，成立Phenom-World B.V.公司，专门从事新一代Phenom(飞纳)的研发生产。
https://www.360docs.net/doc/9717562725.html, >>> Phenom G2包含两款： 专业版 G2 pro 标准版 G2 pure 主要参数: 产品主要特点: ◎高质量的图像◎30s 快速成像 ◎操作简便，结合控制旋钮和触摸显示器便可获得 高倍SEM 图像 ◎长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝(1500 h)◎自动灯丝对中，自动聚焦◎图像亮度、对比度自动调节 ◎光学与低倍电子双重导航，想看哪里点哪里◎直接观测绝缘体，无需喷金◎兼得样品表面形貌与成份信息◎防震设计，对放置环境无特殊要求 ◎丰富的拓展模块：全景图像拼合、3D 粗糙度重 建、纤维测量系统...... ◎多功能样品杯选件：控温样品杯（-25~50℃）、 自动倾斜/旋转样品杯、降低荷电效应样品杯 ...... 02 20-120x (G2 pro)20x (G2 pure) 80-45,000x (G2 pro)70-17,000x (G2 pure)<25nm (G2 pro)<30nm (G2 pure) 5 kV <30s 四分割背散射电子探测器台式电脑大小 普通实验室或办公室、厂房 光学显微镜： 电子显微镜： 分 辨 率： 加速电压：成像时间：探 测 器：主机体积：放置环境：
JSM-6700F扫描电镜使用说明
JSM-6700F扫描电镜使用说明 JSM-6700F, 扫描电镜, 使用说明 1．确认设备和环境状态正常后，按操作台上的OPNPOWER”的右钮开机，开启操控面板电源，开计算机，进入JEOLPC-SEM工作界面，程序会自动进行以下三方面准备： 1） Flash（加热灯丝去除灯丝表面污染），为了使灯丝工作电流稳定，最好在Flash30分钟后进行观察； 2）样品台复位，根据需要选择进行或取消。 3）样品台选择，根据需要选择或取消。 2．检查工作状态，确认主机上WD为8㎜，EXCH灯亮，TILT 为0；按VENT键，灯闪烁，停闪后打开样品室门，把样品架放在样品台坐上（注意运行样品台选择程序，否则样品台移动范围不对，造成设备损害），关上样品室门；按EVAC键，灯闪烁，停闪后将样品送入样品室内，这时要确认HLDR灯亮；抽真空10分钟左右，确认样品室真空度小于2×10-4Pa后方可加电压。 3．按主机上的GUN VAVLE CLOSE键，此灯熄灭，电子束开始扫描。用操控器上的LOW MAG选用低放大倍率，用样品台上的WD 轴粗调焦，出现图象后再逐步放大，最后用FOCUC细聚焦；为了调焦方便，可以按操控器上的RDC IMAG键选用小窗口，和按操控器上的QUICK VIEW快速扫描。当放大倍数高于5000倍时应注意图象的象散，检测的方法是把图象倍率再增加，用聚焦钮在焦点附近调焦，如果图象有“涂污”的痕迹，而且在焦点的欠焦一侧和过焦一侧涂污方向垂
直，就表示有象散存在，用操控器上的消象散X、Y纽使涂污消失，此时图象清晰度会明显提高，调焦和清象散应在比照相所需的放大倍数高的放大倍数下进行，至少高出1.5倍。 4．按操控器上的ACB钮即可自动调整亮度对比度,也可用CONTRAST和BRIGHTNESS钮手工调整。得到一幅满意的图象时,可按FREEZE记录下图象。 5．完成观测后关高压（HT），按GUN VAVLE CLOSE钮，指示灯变黄。 6．运行样品台位置初始化程序，EXCH POSN指示灯亮，拉动样品杆将样品置于样品交换室内，HLDR灯亮，按VENT按钮，样品交换室放气，取出样品后按EVAC按钮。 7．退出操作界面，关计算机。按“OPN POWER”左钮关机，关控制面板电源。 8．对于不同的样品的观测和图象倍率大小、不同信号图象分析的工作条件选择： 1）电压一般使用10kV；对于导电性差的样品可选低一点电压如3-10 kV，需要高的放大倍率且样品不易被电子束穿透，可选用较高的电压，如15kV左右；做EDS分析时电压要用15-20kV。 2）电流一般用10uA，做EDS能谱时可选用20uA。 3）工作距离（WD）一般用8mm，如果要观察高的放大倍率（5万倍以上）,可以把工作距离调小到3-8mm；如果放大倍率不高且要图像立体感强,可以把工作距离调大一点8-15mm。用EDS能谱时工作
扫描电镜操作流程
SIRION场发射扫描电镜操作规程 一.开机 1.首先检查循环水系统,压力显示约4.5，温度显示约11-18度,为正常范围。 2.检查不间断电源的”LINE”，”INV.”指示灯亮，上部6只灯仅一只亮是为正常。 3.开电镜电脑(白色机箱)的电源，通过密码进入WINDOWS后，先启动”SCS”，然后启 动”Microscope Control”。 二.操作过程 1.有关样品的要求： 需用电镜观测的样品，必须干燥，无挥发性，有导电性，能与样品台牢固粘结（块状试样的下底部需平整，利于粘结）。粉末样品用导电胶带粘结后，需敲击检查，或用吹风机吹去粘结不牢固的粉末。含有机成份的样品（包括聚合物等），需经过干燥处理。 2.交换样品特别注意点： 该电镜的样品台是4轴马达驱动的精密机械，定位精度1微米，同时也可以手动旋钮驱动。样品室中暴露着镜头极靴，二次电子探头，低压背散射电子探头，能谱探头，红外相机，涡轮分子泵等电镜的核心部件，样品台驱动过程中存在着碰撞的可能性，交换样品和驱动样品台时要特别小心。比如样品室门应轻拉轻推；样品要固定牢固，防止掉到镜筒里去；样品高度要合适，Z轴移动样品或手动倾斜样品前，用CCD图象检查样品位置等等。 3.换样品过程：换样品前必须先检查加速电压是否已经关闭，条件符合，可按放气键（“VENT”）。交换样品台操作必须戴干净手套。固定好样品台后（固紧内六角螺丝），必须用专用卡尺测量样品高度，不允许超过规定高度。推进样品室，左手按住样品室门上手柄，右手点击抽真空软件键”PUMP”。整个换样品过程中，不要手动调节样品台位置（倾动除外）。 4.关高压过程：按下软件键“xx kV”，稍等待，听到V6阀的动作声音后，键颜色由黄色变灰色,表示高压已正式关闭。 5.开高压过程：样品室抽真空到达5e -5 mBar以上，可以开高压，观察图象。开高压：检查“Detector”菜单项中的“SE”或“TLD”被选中，按“HT”键，数秒后按软键“xx kV”，应听到V6阀开启的声音，等待键颜色变黄色。图象出来后，同时会弹出一个窗口，提示首先必须聚焦图象，然后按“OK”，使电脑能测出实际的样品高度，次序不可颠倒。在数千倍聚焦完成后（In Focus），按“OK”。 6.聚焦图象：按住鼠标右键，左或右向移动鼠标来聚焦图象。 7.消像散：按住左Shift键，按住鼠标右键移动，消除像散。 8.拍照：按“F2”键，电镜开始单次扫描。扫描结束，过数秒，冻结键（雪花图形）自动激活（变黄色）。这时可用“InOut”菜单中的Image保存图象。 9.拷贝图象：须用新光盘或未开封的新软盘拷贝。 三.关机 1.先关高压，放气后，取出样品后，重抽真空，然后关“Microscope Control”，再关WINDOWS。 电镜的电脑是控制整台电镜的，电脑的CMOS管理，显示卡及驱动程序等与普通电脑不同，请不要当作普通电脑来使用。禁止修改电脑的任何设置，禁止安装任何软件。禁止使用USB
SU8200场发射扫描电镜技术说明文件
SU8200场发射扫描电镜技术说明文件 一、二次电子分辨率： 0.8 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 mm) 1.1 nm (着陆电压 1 kV，工作距离1.5 mm)(减速模式) 以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品） 二、放大倍率： 低倍模式：?20 到?2k 高倍模式：?100 到?1000k 三、电子光学： 1.电子枪： 冷场发射电子枪（带有柔性flash功能） 2.加速电压: 0.5 到 30 kV 着陆电压: 0.01到 2 kV 3.透镜系统 三级电磁透镜系统 4.物镜光阑 四孔可调光阑(内置加热自清洁功能) 5.扫描线圈 二级电磁式偏转线圈（高倍模式） 一级电磁式偏转线圈（低倍模式） 6.消像散器 八级电磁系统（X，Y） 7.探测器： 低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）三种探测器进行二次电子/背散射电子的接收能谱系统 (选配) 8.束闸 电磁型 9.电位移： ±12 μm (工作距离8 mm) 注意：工作距离改变时，电位移范围会改变 四、样品室和样品台：
1.样品台控制： 五轴马达台 2.可移动范围和样品尺寸： 3.可安装样品高度 4.换样 预抽室 5.样品台控制： 图形界面控制 自动样品更换位置定位功能 样品台移动轨迹存储功能 优中心旋转功能 图片导航功能 五、显示系统
1.用户界面 电脑显示器上的图形用户界面 2.电脑 操作系统：微软Windows 7 专业版（32位） 操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法（标配轨迹球，或选配操纵杆）3.显示器 24.1寸液晶显示器或同等配置的显示器（屏幕：1,920×1,200像素） 4.扫描模式： 二维图像显示 选区模式 点分析模式 平均浓度分析模式 图像显示模式 大屏显示模式 (1280 ? 960) 单屏显示模式 (800 ? 600) 双屏同时显示模式 (800 ? 600) 四屏同时显示模式 (640 ? 480) 选区显示模式（图像调整时使用） 5.电子光学对中： 电子束对中 光阑对中 像散对中 低倍对中 6.扫描模式 积分扫描 快扫 慢扫 缩小区域扫 高清捕图 积分捕图 荷电抑制扫描(CS扫描) 7.扫描速度 TV：两级扫描速度（Rapid1～Rapid2）
扫描电镜SEM-JEOL 7600F 详细操作步骤
Operating procedure for JEOL 7600F High Resolution Analytical SEM I. Specimen preparation There are several holders for different kinds of specimens and applications. During your initial training you should have received a general overview of these holders. Also, you should have received training on specimen mounting using the holder that best suits your specific application. Only use a holder for which you have received training by the tool instructor. If you wish to use a different holder, first contact the tool instructor. It is very important to know the kind of holder you are using and the way to mount specimens. For example, for the 12.5 and 26 mm holders, the correct way to mount your specimen is to flush its surface with the cylinder top face (see Fig. 1). FIG. 1. Specimen positioning on 12.5 and 26 mm holders. (Diagram taken from JEOL’s manual.) If your specimen needs to protrude above the cylinder’s top face (or the top face of another holder), you can still use this holder, but you need to estimate (with approx. 1 mm accuracy) the offset between the specimen and holder top surfaces. To make sure you are doing things correctly, use the sample height tool(see Fig. 2). Try to have the sample’s surface aligned with the zero offset line. If it needs to be above this line, read the offset in the meter scale. This offset value will be used when loading your sample in the SEM chamber.
双束扫描电镜HeliosNanolab600i使用手册
双束扫描电镜（HeliosNanolab 600i）使用手册 ★实验前，必须用超薄切片观察样品的质量。 1. 先观察样品并设计一下样品切割拍照方案 2. Link样品 先用SEM低倍找到样品再用高倍聚焦样品再回到低倍点link使工作距离变到大约4(此时可以Pt沉积显示是绿色的) 3. 调整样品的位置 在FIB窗口观察：调整样品R，倾斜样品T，使样品与FIB垂直（看不到白色侧面） 4. Pt沉积： 先框选要切割的位置（rectangle），在Pt heat cold 双击变warm后再点成?图标(同时Pt 沉积管进入) Application Value：Pt dep，Z：1.5μm，30kV, 9.3 nA或更小，Start开始沉积 沉积完成后，Pt沉积√去掉（沉积管出） warm→cold 沉积层完成后，先切掉样品拍照面要观察表面沉积的炭层和Pt层），（clean cress section，application value: Si, Z=15μm，30kV，47nA）（粗切可用大电流） 切好后用SEM界面观看是否是要观察的区域再进行下一步的操作 5. 挖凹槽 （clean cress section，将要观察的样品两侧挖大约10μm宽的2个凹槽（一定要2个分别挖槽） application value: Si, Z=15μm，30kV，47nA） 再切掉表面的一层（因为两面挖槽会溅射到表面） 1)30 kV 2)2.5 nA(小电流可以精细的切割) 3)Z=15 4)cleaning cross section 6. 做标记 将样品旋转R +180度,使样品要切的面对着离子束 在两个凹槽的右侧的做上扫描电镜拍照标记(先Pt沉积一个方块,再用离子束打一个环状结构或其他的图形，可以两个凹槽里都做不同的标记) 做好标记后再转回原来的R，然后再调整focus 使SEM和FIB的界面都清晰并且在界面的同一高度 7. 打开自动切割的的程序-Auto slice and viewG3（2） 1）写一下用户名例如：Liwen-20121015-normal 2）next（FIB界面分辨率HFW ～138μm）
S扫描电镜操作步骤
S扫描电镜操作步骤集团标准化工作小组 [Q8QX9QT-X8QQB8Q8-NQ8QJ8-M8QMN]
扫描电镜S-4800操作规程 一、日常开机 打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。 二、装样品 1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。 2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样 品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。 3.关闭交换室，按下EVAC键，当EVAC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室 阀门自动打开。 4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上 的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。 三、图像观察 1.加高压 点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。 2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式， 通过调节样品位置，找到所要观察的视场。 3.聚焦、消像散 选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。 4.图像采集及保存 用键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。采集后暂时存放在窗口下侧，选中
Hitachi s-3400N扫描电镜中文操作手册(简易版)
Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册 一、开机 1．打开配电箱总电源，开启UPS （若配备）。 2．合上背面总电源闸，确认“STAGE ”闸和“DISPLAY ”闸均为合闸状态。 3．将前面板钥匙从“OFF ”转经“START ”后自动转回“ON ”。 3．电脑启动后，同时按下“Ctrl ”+“Alt ”+“Delete ”，用户名为“S-3400”，密码无，单击“OK ” 键，进入系统。随后出现S-3400N 登陆框。用户名为“S-3400”，密码无，单击“OK ”键，进入程序。 二、放置样品 1．持续按住前面板“AIR ”按钮1秒以上至指示灯亮，或单击操作界面右上角“AIR ”键至该键变为 灰色。放气过程中，出现“Specimen Setting ”对话框，同时出现放气进度指示条，直至进度条显示“The chamber has been aired. Changing a sample is now possible ”时，单击对话框中的“Specimen Setting ”键。
5．将处理完毕的样品固定于样品台上，精确测量高度后，放入样品仓。在样品仓打开的状态下，在“Specmen/Detector Setting”对话框内选择合适的Size和Height，单击“Stage Move”键，等样品台停止上升后，确认样品不能碰到样品仓口的限高片，平稳推入样品台。
6．按前面板“EV AC ”按钮至指示灯亮，或单击操作界面左上角“EV AC ”键至该键变为灰色。 三、样品观察 确认样品室已高真空，“ON ”亮显后，根据不同样品的观察需要，在屏幕右边操作面板中的“Cond ”菜单栏“ELECTRON BEAM ”选区，“Probe Current ”下拉列表中选择合适的探针电流，“Vacc ”下拉列表中选择合适的加速电压；在“Image ”菜单栏“SCREEN MODE ”选区中选择使用“Full （全屏）”、“Dual （双屏）”或“Small （常规小屏）”观察方法；在“DETECTOR ”选区中选择使用“SE ”或“BSE ”探头；也可以单击操作界面左上角Vacc 区域，出现“Setup ”后，在“Optics ”菜单栏下，“Vacc ”下拉列表中选择合适的加速电压。单击操作界面左上角“ON ”键，加高压。 在“Stage ”菜单栏“Z/TILT ”选区单击“Analysis ””确定样品台的高度位置。 探针电流（Probe Current ）与图像质量、工作距离大小和电镜观察效果关系如下： 探针电流设定 0 50 100 照射电流(A) WD 短 WD 长 分辨率 分辨率高 分辨率低 二次电子信号 景深浅 景深深 图象粗糙度
扫描电镜测试手册
RD-PS-WI01S1A兴森快捷-技术中心□绝密□机密□秘密■内部公开
1.0 目的 本标准规定了与电子探针和扫描电镜联用的X射线能谱仪的定量分析方法的技术要求和规范，适用于电子探针和扫描电镜X射线能谱仪对块状试样的定量分析。 2.0 应用文献 GB/T 17359-1998 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析方法通则 3.0 试样及标准样品 3.1试样 3.1.1将试样制成适于装入所用仪器样品座内的尺寸，并将试样分析表面磨平、抛光； 3.1.2试样表面要作净化处理，如用无水乙醇或丙酮溶液清洗，或用超声波清洗装置进行清洗，去掉一切外来的污染物； 3.1.3对不允许磨光的样品，应在显微镜下观察和挑选出较为平坦的表面，以备分析用； 3.1.4不导电的样品要喷镀碳膜或其他导电膜，并保证与试样座有良好的导电通路。 3.2标准样品 3.2.1首先选用国家标准化行政主管部门批准颁发的国家标准样品，尚无合适的国标时，可选用相应机构认可的研究标样； 3.2.2应尽量选择成分和结构与被分析试样相近的标准样品； 3.2.3应检查标准样品的有效期、表面质量（清洁度、无损伤划痕）和导电性。 4.0设备 4.1电子探针仪或扫描电镜的电子枪灯丝充分预热，使发射电流稳定； 4.2对电子光学系统进行合轴调整 4.2.1在扫描电镜中，用扫描图像法精确测定电子束聚焦点的最佳X、Y、Z的坐标位置； 4.2.2坐标位置一旦确定，电子光学合轴系统，包括物镜电流等参数，在定量分析情况下不得再调整。 4.3 X射线能谱仪 4.3.1 X射线能谱仪应预热30min，使其工作稳定； 4.3.2在使用有可变窗口光阑的探测器时，应选择合适的窗口直径，对计数率低的样品选用大直径的窗口光阑，对计数率高且谱峰容易重叠的样品选用小直径的窗口光阑； 4.3.3在定量分析时选择最佳的X射线探测器的几何条件（探头里样品的距离），在分析同一样品时，应保持该几何条件不变。 4.4 经常检查X射线探测器的窗口污染程度 4.4.1检查时可应用某一纯元素样品的高、低能量的X射线峰值强度比值来估算（如Cu的Kα与Lα谱峰之比值）；4.4.2要经常保持探测器窗口清洁,当污染严重影响X射线的强度时应及时清洁窗口； 4.4.3当污染影响X射线的强度不太严重时，可通过增加X射线探测器的窗口厚度值参数进行修正。 4.5 X射线能谱仪的系统检查 4.5.1校验多道分析器的峰位漂移，利用能谱仪中的零位调节系统，使峰位漂移小于1道； 4.5.2校验分析器的能量刻度； 4.5.3检查多道分析器的检出效率； 4.5.4加盐脉冲处理器的状态，调节增益，并使噪音信号尽可能减小；
扫描电镜操作手册
SEM操作手册 一、开机 在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮，见图一 图一 a 接通电源后，按红色按钮，电镜通电。 b 按黄钮，真空系统开始工作，整机处于待机状态。 c 约1分钟后按绿钮，所有系统开始工作，同时电脑自动启动(或人工手动启动)，进入 系统。 d 双击SmartSEM并登陆。 二、放置样品 （1）从样品室放入样品 a 键盘点击Ctrl+G，打开扫描电镜控制窗口（SEM Control）。该窗口包括六个控制版面（如 图二）：电子枪（Gun）、探测器（Detector）、光阑（Aperture）、真空（Vacuum）、样品台（Stage）。 b选中Vacuum版面，点击Vent对样品室通入氮气（Vent前确保EHT已经关掉）。
图二 c等待几分钟后，样品室可以打开，放入样品（如图三），样品台卡在燕尾槽中，确认样品台卡紧了即可。 图三 （2）用Airlock放置样品 图四 a 确认Stage已经处于Exchange位置：在Smart SEM的菜单栏依次选择Stage→Store/Recal →$exchange。 b 点击Airlock面板上的Vent按钮，卸掉交换室中的真空，将样品台卡在交换室的燕尾槽中，用样品传输杆拧紧样品台。 c 点击Transfer按钮（抽真空时手推紧一下舱门），抽真空后隔离舱门打开，样品传输杆伸入样品仓内，将样品台卡在样品基座上的燕尾槽中，旋松螺丝后将样品传输杆拉出来。 d 点击Airlock面板上的Store按钮，关闭舱门。（注意：舱门关闭后Store灯才停止跳动，这段时间内舱门在向内平移，仍处于未闭合状态，不能泄真空）
日立S4800扫描电镜中文使用手册
一、介绍 Hitachi S-4800场发射扫描电镜采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图象质量(15 kV下分辨率1 nm)，尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm)；新型的透镜系统，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式，使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。 二、操作说明 1．开机 （1）日常开机：打开Display的开关，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。 （2）完全关闭电源后开机：接通配电盘电源→拔上MAIN Swith 开关→按一下Reset按钮，→将MAIN控制面板上EVAC POWER按至ON，SC EVAC指示灯处于常绿状态后，等半小时→按下Display开关至ON, PC 自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。 2．图像观察 （1）装入样品 制样→把样品托装入样品座，并用标尺确定高度、旋紧→按AIR按钮→将样品座插在样品交换杆上，并锁紧→将交换杆拉至尽头卡紧，关闭交换室→按下EVAC按钮→按下OPEN 按钮打开MV-1后，推进交换杆，旋转样品杆UNLOCK位置后拉出交换杆→按下CLOSE 按钮。 （2）图像观察及保存 SC真空恢复正常后（显示为L E-3）→选择适当的加速电压（Vacc）→加高压→在低倍、TV模式下将图像调节清楚→聚焦、消象散→Slow3确认图像质量→点击Capture按钮拍照→点击右下方Save按钮→选择保存位置、使用者及样品信息，保存。 （3）结束观察
点击OFF按钮关闭加速高压→将放大倍率还原设至×1.00K→按操作界面上home使样品台回到初始位置→依照装入样品的方式反序取出样品。 3．关机 （1）日常关机 退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY （2）完全关机 短时间关机：退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。长时间停机：退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭STAGE→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭IP1-3switch→关闭EVAC、IP、DISPLAY开关→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。（3）紧急关机 在紧急情况下，按下红色EMERGENCY OFF按钮顺时针旋转到底，系统关机后，将各开关按钮拨至正常停机位置。 三．注意事项 1．每次使用时，记录IP1、IP2、IP3真空度，以及Flashing结束后第一次加高压后Vext 值，若Vext大于5.0 kV时，请准备新的FE-Tip更换。对电镜出现的故障详细记录并即使解决。每次操作完后，做电镜室内的卫生，注意保持操作台、地面以及电镜面板等清洁。2．对样品的要求：需用电镜观测的样品，必须干燥，无磁性、无挥发性，有导电性，能与样品台牢固粘结。样品制完后用强力气流吹去粘结不牢固的粉末。同一次装入电镜的样品，高度差不要超过1.5 mm。样品进交换仓之前需与比高器相比，样品最高处须低于比高器规定的高度。 3．关于电脑：禁止修改电脑的任何设置，禁止安装任何软件。禁止使用USB接口（包括优盘）。使用光驱或软驱等需经电镜管理人员检查同意，严防病毒感染。电脑的许多指令要
关于大型仪器设备的独立操作使用管理办法
关于大型仪器设备的独立操作使用管理办法为了满足人才培养、学科发展的迫切需要，最大程度地发挥大型仪器设备的使用效益，进一步提高学生的创新实践能力，现对扫描电镜、透射电镜、电子万能试验机等大型仪器设备实行可独立操作的开放使用管理办法，其它大型仪器设备待条件成熟后再逐步纳入本管理办法。 一、可独立操作的大型仪器设备 、场发射扫描电镜（简称场发射） 、环境扫描电镜（简称环扫） 、透射电镜（简称） 、振动样品磁强计（简称） 、高真空电弧熔炼及吸铸炉（简称电弧炉） 、甩带机 、显微硬度计（简称显微） 、磨损试验机（简称磨损） 、（含高低温）、电子万能试验机（简称电拉） 、电子扭转试验机（简称扭转） 、1100C真空退火炉 、拉拔机（含轧端机）、拉丝机 、热压机、注塑机 、其它经确认的大型仪器设备 二、可独立操作人员 、教师。 、由课题组推荐的本科生、硕士生或博士生。 、在电镜室设置“兼职管理人员”岗位，其职责和权限均大于普通独立操作人员，其管理办法另订。 三、独立操作人员资格的确认程序 、扫描电镜、透射电镜类 申请人从中心网页（）下载申请表（如附件），填写后交中心办公室初审。考核记录表（如附件）由中心考核人员填写。 申请人需选修“扫描电子显微分析”或“透射电子显微分析”研究生课程，并获得分以上的考试成绩。已选修类似课程并获得良好以上成绩的申请人经机组负责人确认后可免修，已在其他单位具有熟练操作类似大型仪器设备经验的申请人经机组负责人确认后可免修。 通过上述理论知识考核的申请人必须参加中心组织的安全知识考核、并获得分以上的考核成绩，方能进入现场操作培训。
中心定期、分批组织现场操作培训（含课程实验），每人现场操作培训?次。培训结束后逐一进行现场操作考核。 中心将根据考核结果确定获得完全独立操作资格的人员名单（即兼职管理人员）和非完全独立操作资格的人员名单，后者需有管理人员或兼职管理人员在场时才能独立操作。兼职管理人员需承诺服从中心统一安排、愿意为其他师生服务。 中心及时公布通过考核的人员名单，并发放由学校统一印制的独立操作培训合格证；对兼职管理人员另行发放专用工作证（上岗证）。 、其它大型仪器设备 中心根据各大型仪器使用需求情况组织?次独立操作培训。申请独立操作其它大型仪器设备的人员必须首先参加中心组织的安全教育。个人从分析测试中心网页下载申请表（如附件），填写后交中心办公室初审。初审合格人员将获得相关大型仪器设备的书面或网上文件资料（说明书、操作手册或操作规程等），申请人通过自学的方式完成技术资料的预习。 申请人完成资料预习后，参加中心组织的实验室安全知识和理论知识考核，考核成绩均超过分的人员方能进入现场操作培训。 申请人按约定时间进入现场接受操作培训，培训时间视设备情况及申请人操作熟练程度而定。 培训结束后逐一进行现场操作考核。 中心及时公布通过考核的可独立操作大型仪器设备的人员名单。 四、可独立操作设备使用时间及其运行保障 、扫描电镜、透射电镜、、显微硬度计、电拉 实行网上预约，可预约时间由机组负责人根据实际情况设置。空余时间主要由兼职设备管理人员负责操作，机组负责人保障机组正常运行。 、电弧炉、甩带机、磨损试验机、拉丝机、拉拔机等正常工作日的上班时间。确需非上班时间使用，需提前办理书面借用手续。设备负责人保障相关设备的正常运行。 五、预约使用方式 、电镜、显微硬度计、电拉、显微镜等大型仪器设备按网上预约办法预约使用。 、其它暂未列入网上预约使用的设备，可向设备负责人直接预约。 、独立操作人员未经允许不得私自代他人测试试样。 六、有关费用