现代光学检测技术及检测仪器

现代光学检测技术及检测仪器
现代光学检测技术及检测仪器

现代光学检测技术及检测仪器

教学目的和要求:

使学生理解光学检测的基本理论及典型检测仪器的基本原理,熟悉各种光学元件及系统的定量检测方法及数据处理算法,培养学生对于各种具体检测问题的分析判断能力。要求具备几何光学、应用光学以及光学仪器的基本概念,计算机软硬件及数字信号处理课程的预备知识。

教学方式:

以英语授课为主,对重要概念及原理作必要的汉语解释。结合多媒体手段讲解大量实例。内容提要:

第一章光学检测基本波像差理论

第一节符号规则

第二节理想系统成像质量

第三节球面波、离焦、倾斜

第四节 Seidel 像差

第五节几何像差与波像差的关系

第六节 Zernike 多项式及其应用

第七节 PV及RMS误差

第二章基本双光束干涉及其应用

第一节一般介绍

第二节条纹可见度及光源的相干性

第三节 Fizeau干涉仪

第四节 Twyman-Green干涉仪

第五节 Mach-Zehnder干涉仪

第六节剪切干涉仪

第七节双光束干涉仪的应用

第三章静态干涉图数字化分析方法

第一节多项式拟合方法

第二节 Fourier变换方法

第三节优化方法

第四节各种方法的比较

第四章相移(PSI)干涉术

第一节简介

第二节 PSI的基本概念

第三节连续相移与分步相移

第四节位相展开(Phase unwrapping)技术

第五节基本PSI算法

第六节误差来源及控制

第七节实现相移的元件

第八节动态PSI技术

第五章莫尔条纹及其应用

第一节莫尔条纹的基本概念

第二节莫尔条纹与干涉图

第三节莫尔轮廓术

第四节莫尔条纹的衍射理论解释

第五节莫尔条纹与全息干涉术

第六节莫尔条纹在光学检测中的应用

第六章量方法非球面的干涉测

第一节光学非球面描述

第二节零位检测方法

第三节非零位检测方法

第四节非球面检测误差分析

第五节各种方法总结

第七章光学表面质量检测

第一节光学表面误差分类

第二节表面粗糙度测量方法

第三节表面波纹度测量方法

第四节光学表面误差全频段评价

参考书目:

1.D. Malacara Optical Shop Testing , 1992, John Wiley and Sons.

2.Warren J. Smith Modern Optical Engineering, 1990, McGraw-Hill.

3.Applied Optics, Optical Society of America.

4.Optical Engineering, SPIE Press.

撰写人:张学军中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2006年11月

现代测试技术及应用学习心得

《现代测试技术》课程总结 学校:太原科技大学 班级:力学141802班 姓名:曹华科 学号:201418020202

《现代测试技术》课程总结 经过这学期现代测试技术的学习,让我对测试技术有了一个全新的认识和理解。让我以前对现代测试技术浅薄的认知有了很大的变化,现代测试的飞速发展也让我对之充满信心。 随着自动化技术的高速发展,仪器及检测技术已成为促进当代生产的主流环节,同时也是生产过程自动化和经营管理现代化的基础,没有性能好、精度高、质量可靠的仪器测试到各种有关的信息,要实现高水平的自动化就是一句空话。随着自动化程度要求的不断提高,测试技的作用越来越明显。可以说,自动化的提高很大作用取决于现代测试技术的提高。科学技术的发展历史表明,许多新的发现和突破都是以测试为基础的。同时,其他领域科学技术的发展和进步又为测试提供了新的方法和装备,促进了测试技术的发展。 测试的基本任务是获取有用的信息,而信息又是蕴涵在某些随时间或空间变化的物理量中,即信号之中的。因此,首先要检测出被测对象所呈现的有关信号,再加以分析处理,最后将结果提交给观察者或其他信息处理装置、控制装置。测试技术已成为人类社会进步和各学科高级工程技术人员必须掌握的重要的基础技术。 测试系统是执行测试任务的传感器、仪器和设备的总称。当测试的目的、要求不同时,所用的测试装置差别很大。测试系统的基本特性是测试系统与其输入、输出的关系,它一般分为两类:静态特性和动态特性。在选用测试系统时,要综合考虑多种因素,其中最主要的一个因素是测试系统的基本特性是否能使其输入的被测物理量在精度要求范围内真实地反映出来。 基于计算机的测量师现代测试技术的特点。20多年来,仪器开始与计算机连接起来。如今,计算机已成为现代测试和测量系统的基础。随着计算机技术、大规模集成电路技术和通信技术的飞速发展,传感器技术、通信技术和计算机技术者3大技术的结合,使测试技术领域发生了巨大变化。 第一种结合是计算机技术与传感器技术的结合。其结果是产生了智能传感器,为传感器的发展开辟了全新的方向。多年来,智能传感器技术及其研究在国

现代测试技术及应用

现代测试技术及应用作业 学号2013010106 姓名刘浩峰 专业核技术及应用 提交作业时间2014 12 10 无损检测中的CT重建技术 1无损检测 1、1无损检测概述 无损检测就是工业发展必不可少的有效工具,在一定程度上反映了一个国家的工业发展水平,其重要性已得到公认。中国在1978年11月成立了全国性的无损检测学术组织——中国机械工程学会无损检测分会。此外,冶金、电力、石油化工、船舶、宇航、核能等行业还成立了各自的无损检测学会或协会;部分省、自治区、直辖市与地级市成立了省(市)级、地市级无损检测学会或协会;东北、华东、西南等区域还各自成立了区域性的无损检测学会或协会。 无损检测缩写就是NDT(或NDE,non-destructive examination),也叫无损探伤,就是在不损害或不影响被检测对象使用性能的前提下,采用射线、超声、红外、电磁等原理技术并结合仪器对材料、零件、设备进行缺陷、化学、物理参数检测的技术。利用材料内部结构异常或缺陷存在引起的热、声、光、电、磁等反应的变化,以物理或化学方法为手段,借助现代化的技术与设备器材,对试件内部及表面的结构、性质、状态及缺陷的类型、性质、数量、形状、位置、尺寸、分布及其变化进行检查与测试。无损检测就是工业发展必不可少的有效工具,在一定程度上反映了一个国家的工业发展水平,无损检测的重要性已得到公认,主要有射线检验(RT)、超声检测(UT)、磁粉检测(MT)、液体渗透检测(PT)、涡流检测(ECT)、声发射(AE)与超声波衍射时差法(TOFD)。 1、射线照相法(RT)就是指用X射线或γ射线穿透试件,以胶片作为记录信息的器材的无损检 测方法,该方法就是最基本的,应用最广泛的一种非破坏性检验方法。工作原理就是射线能穿透肉眼无法穿透的物质使胶片感光,当X射线或r射线照射胶片时,与普通光线一样,能使胶片乳剂层中的卤化银产生潜影,由于不同密度的物质对射线的吸收系数不同,照射到胶片各处的射线强度也就会产生差异,便可根据暗室处理后的底片各处黑度差来判别缺陷。RT的定性更准确,有可供长期保存的直观图像,总体成本相对较高,而且射线对人体有害,检验速度会较慢。 2、超声波检测(UT)原理就是通过超声波与试件相互作用,就反射、透射与散射的波进行研究, 对试件进行宏观缺陷检测、几何特性测量、组织结构与力学性能变化的检测与表征,并进而对其特定应用性进行评价的技术。适用于金属、非金属与复合材料等多种试件的无损检测;可对较大厚度范围内的试件内部缺陷进行检测。如对金属材料,可检测厚度为1~2mm的薄壁管材与板材,也可检测几米长的钢锻件;而且缺陷定位较准确,对面积型缺陷的检出率较高;灵敏度高,可检测试件内部尺寸很小的缺陷;并且检测成本低、速度快,设备轻便,对人体及环境无害,现场使用较方便。缺点就是对具有复杂形状或不规则外形的试

自动光学检测与自动X光检测

AXI/ICT组合测试是否会成为SMT测试的主流技术? 由于市场竞争日趋激烈,电子产品制造商对如何提高产品成品率和产量格外关注。而在SMT生产线中采用何种测试技术对以上两点的影响举足轻重。 目前线路板越来越复杂,传统的ICT测试受到了极大限制。随着线路板的密度不断增大,ICT测试必须不断增加测试接点数,这会有两个弊端:一、将导致测试编程和针床夹具的成本呈指数倍上升。开发测试程序和夹具通常需要几个星期的时间,更复杂的线路板则要一个多月。二、将导致ICT测试出错和重测次数的增多。对ICT构成挑战的还有不断减小的引脚距离。目前高引脚数的封装包括PGA、 QFP、 BGA等,它们的封装密度可达到每平方厘米有几百只引脚。这种引脚密度使测试探针难以插入,也无法增加专用测试焊盘。因此,ICT测试已不能满足未来线路板的测试要求,电子制造商们需要寻找新的测试手段。 自动光学检测系统(AOI)是近几年发展起来的以光学系统为主的检测系统。AOI系统的优点是测试速度快、缺陷捕捉率高。AOI不但可对焊接质量进行检验,还可对光板、焊膏印刷质量、贴片质量等进行检查。因此,采用AOI系统,不仅可以提高生产效率,也能提高产品质量。目前,已有越来越多的厂商采用了AOI系统。但AOI系统的缺点是不能检测电路错误,同时对不可见焊点及双面焊PCB的检测也无能为力。 自动化X射线检测技术(AXI)是目前最新型的测试技术。AXI技术自诞生以来发展迅速,已由2D检验法发展到目前的3D检验法。3D检验法采用分层技术,即将光束聚焦到任何一层并将相应图像投射到一高速旋转的接收面上,由于接收面高速旋转使位于焦点处的图像非常清晰,而其它层上的图像则被消除,故3D检验法可对线路板两面的焊点独立成像。3D检验法还可对那些不可见焊点如BGA等进行多层图像“切片”检测,即对BGA焊接连接处的顶部、中部和底部进行彻底检验。AXI技术对工艺缺陷的覆盖率很高,通常达97%,而工艺缺陷一般要占总缺陷的80%到90%。但AXI技术不能测试电路电气性能方面的缺陷和故障。将AXI检测技术和传统的ICT在线测试方法相结合,则可以取长补短,使SMT检测技术达到完美的结合。目前一种被称为“AwareTest”的技术使AXI系统和ICT系统可以“互相对话”,能消除两者之间的重复测试部分。通过减小ICT/AXI多余的测试覆盖面可减少70%的ICT接点数量,因而可加快ICT编程并降低ICT夹具和编程费用。 由于AXI/ICT组合测试具有较多的优点,在过去的两三年里,应用AXI/ICT组合测试线路板的情况出现了惊人的增长。很多公司如朗讯、思科和北电等都采用了AXI/ICT组合测试。但昂贵的价格是阻碍厂商采用AXI技术的一个主要因素。目前,AXI检测设备的价格是AOI纯光学检测系统的3到4倍。不过这种情况正在得到改善。AXI技术需要的数字相机的成本正在迅速降低,业界已开始从512×512像素AXI系统转向1024×1024甚至2048×2048像素系统。处理器和存储器芯片价格的降低,使AXI系统已开始采用PC上的处理器进行图形处理,大大增强了它的计算能力。 随着AXI系统成本的降低和性能的提高,AXI/ICT组合测试检测技术是否会取代目前的ICT检测技术,成为未来主流的检测技术?敬请发表高见! 王义美格电子设备制造有限公司 我认为不同的测试方法是各有千秋的,对于中国的电子制造商来说,由于各自的生产规模、产品种类的不同,因此不会有某一种测试方法特别适合于中国的厂家。下面是我了解的一些情况,拿出来供大家参考。

近代光学测试技术

近代光学测试技术 随着激光技术、光波导技术、光电子技术、光纤技术、计算机技术的发展,以及傅里叶光学、现代光学、二元光学和微光学的出现与发展,光学测试技术无论从测试方法、原理、准确度、效率,还是适用的领域范围都得到了巨大的发展,是现在科学技术与社会生产快速发展的重要技术支撑和高新技术之一。 光学测试技术的复杂性随着科学的发展而日渐增加,大量需要处理的数据更加远离使用者的直观感觉。因此必须发展面向科学实践的、能对现代光学测试技术产生深入的了解 其中运用先进的实验手段和方法来开展内燃机缸内燃烧过程的研究,获得缸内燃咦产焰的有关信息(例如温度场·浓度场·速度场),具有十分重要的学术价值和广阔的应用前景。内燃机缸内燃烧的光学测试方法是目前最有效的研究手段之一,在国内外得到越来越广泛的运用。采用这种方法来研究内燃机的燃烧过程,能够进一步加深对燃烧过程的理解,为燃烧系统的评价和改进提供依据,对于指导内燃机燃烧系统的设计,提高内燃机工业整体水平具有重要的现实意义。 在内燃机燃烧的各种光学测试方法中,主要有双色法(Two一ColorMethod)、全息法(Holo脚phMeth-od)、吸收光谱法(Abso甲tionSpeetroseopyMeth-od)、激光诱导荧光法(肠ser一IndueedFluores-cenceSpectroscopy,简称LIF法)、喇曼散射光谱法(RamanSeatteringSpeetroseopy)和相干反斯托克斯光谱法(CoherentAnti 一StokesRamanscattering,简称CARS法)等。这些光学测试方法的应用,使内燃机缸内燃烧的研究向微观化、定量化和可视化方向发展[z]。 双色法

仪器科学与测试技术专业(InstrumentScienceandtesting[001]

仪器科学与测试技术专业(Instrument Science and testing technology)学术型硕士研究生培养方案 (学科专业代码:99J1 授予工学硕士学位) 一、学科专业简介 仪器科学与测试技术是综合应用传感技术、光电技术、精密机械、信号与信息处理技术、现代电子技术、计算机技术、自动控制技术等,研究和探索仪器科学与测试领域的新技术、新方法,推动仪器科学与测试系统的智能化、网络化、集成化。主要研究获取、存储、处理、传输和利用信息的现代科学技术及仪器,包括测控技术及仪器、现代传感技术、精密计量理论与应用、虚拟仪器、微系统理论与应用、微小型机电系统、智能结构系统与技术、信号分析与数据处理、矿用仪器仪表等,是机、电、光、计算机、材料科学、物理、化学、生物学等先进技术的高度综合,它既是知识创新和技术创新的前提,也是创新研究的主体内容之一。 二、培养目标 1、重点培养具有良好的职业素养、坚实的仪器科学与测试技术基础理论的高层次光电产业、能源、电力行业专门技术人才; 2、培养掌握仪器科学测试理论和技术专业知识,运用先进现代测试技术、方法解决煤炭、电力、光电等行业关键理论和技术的专门人才; 3、培养严谨求实的科学态度和作风,具有创新求实精神和良好的科研道德,具备从事仪器科学与测试技术学科相关的研究开发能力;能胜任研究机构、高等院校和产业部门等有关方面的研究、工程、开发及管理工作; 4、较为熟练的掌握一门外国语,具有熟练地进行专业阅读和初步写作的技术人才 四、学习年限 全日制硕士研究生学制为三年;半脱产硕士研究生经申请批准,其学习年限可延长半年至一年。 五、培养环节 1、导师的确定 研究生导师的确定实行双向选择,研究生根据公布的导师名单填写双向选择表,然后由导师根据填表选择所要指导的研究生。第一志愿未落实的硕士研究生,根据学生其他志愿和实际情况,在进一步征求师生双方意见的基础上进行协调落实。 2、培养计划的确定

光学探测技术

光学探测技术 为了更好的理解之后的学习内容,我们将回顾一下光在光电检测中的基本概念。最基本的考虑因素是光电探测器,它可以将光转变为电流。通过使用雷达和通讯系统在有频谱和红外光频谱中有各种各样的检测技术显示了高性能。由于体积小、性能的原因,大多数应用依靠现代半导体器件的基于光电效应,产生光电流检出率。还有,光电流是包含光生的初级电子和孔的损耗区域的检测器。温和上涨10-100可以通过雪崩过程取得许多检测器,如光电倍增管(PMT)和雪崩光电二极管(APD).有设备通常具有一个多余的乘法和雪崩过程中,在接收器设计时必然考虑到所产生的噪音。使用APD设备远远超过了雪崩击穿的偏见,使探测器在盖革模式下,工作,使造成非常高的增益(10~6),超快速的上升时间(皮秒),单光子事件的敏感性,仍然可以实现高增益。它已经被所有情况证明,主要的光电子统计数据是相同冲击碰撞光子流的。泊松统计的,而需要更复杂的统计模型来描述雪崩过程。 光接收机使用光探测器可以用两种方法来完成检测,即直接检测和相干检测。直接检测可以看作是一个简单的能量收集过程,只需要在镜焦平面上放置一个光电探测器,然后产生的信号电流被一个电子放大器放大。相比之下,相干检测则要求光电探测器表面存在能与信号光束混合的本地光学信号谐振器。相干混合过程对信号光和本地振荡器的调试方式规定了严格的要求,以便两个从根本上不同的方法都能有效地执行。如果信号光和本地振荡器频率不同或不相关,这个过

程成为外差检波;如果他们的频率是相同的或相关的,就是零差检测。图3-3显示了一般光外差器结构,有单独的激光器非别产生不相关的、不同频的信号光和本地振荡光。将它们用一个光波分复用器合成为一个反射率很高、信号损耗很低、可以提供足够能量的本地振荡光。图3-4显示了一个可能的同频安排,其中一小部分传输光用于本地振荡器,从而达到相关频率的要求。 在零差激光雷达应用中,信号与本地振荡信号的频率之间的相干性关于往返运动的时间参数τR ,经常用一个具有比τR 更长的相干时间的激光发射器来维持。另外,激光发射器和本地振荡器的频率可以是相同的,也可以是不同的,它取决于(在这个)光学系统中是否采用变频器。单模激光频移系统,有的也被称为失调零差系统,多普勒频频量Vo1远离基带的信号也可以发生频移,其中Vo1=±2|V|/λ为多普勒频率。这个相反的轨迹与远离信号源的运动一致,以至于多普勒频率在零带重叠产生出一个确定的频率Vo1,用于发射和接收频率之间的固有相干性,这些过程仍旧可以被看做零差。 零差检测被证明在量子学领域有一些独特的特殊功能,它展示了实现光子噪声水平低于量子的可能性。这种噪音水平被体积为海森堡的不确定原理的相干性的挤压状态,然而这种幅度或相位的变化并不能同时进行。相干态是一个在不确定性原理上的最底线,即众人所知的激光灯,这些状态是与聚合束和反聚合束统计的光子密切相关的,在4.8.2节中将提到APD检测统计。

AOI自动光学检测

AOI的全称是Automatic Optic Inspection(自动光学检测),是基于光学原理来对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备。AOI是近几年才兴起的一种新型测试技术,但发展迅速,目前很多厂家都推出了AOI测试设备。当自动检测时,机器通过摄像头自动扫描PCB,采集图像,测试的焊点与数据库中的合格的参数进行比较,经过图像处理,检查出PCB上缺陷,并通过显示器或自动标志把缺陷显示/标示出来,供维修人员修整。 编辑摘要 目录 1 什么是AOI 2 什么是AOI测试技术 3 AOI的主要目标 4 针对AOI检查的PCB优化设计 5 新一代自动光学检测技术(AOI):内嵌式检测技术 自动光学检查(AOI, Automated Optical Inspection) 一、定义 运用高速高精度视觉处理技术自动检测PCB板上各种不同帖装错误及焊接缺陷.PCB板的范围可从细间距高密 度板到低密度大尺寸板,并可提供在线检测方案,以提高生产效率,及焊接质量 . 通过使用AOI作为减少缺陷的工具,在装配工艺过程的早期查找和消除错误,以实现良好的过程控制.早期发现缺陷将避免将坏板送到随后的装配阶段,AOI将减少修理成本将避免报废不可修理的电路板. 二、主要特点 1)高速检测系统 与PCB板帖装密度无关 2)快速便捷的编程系统 - 图形界面下进行 -运用帖装数据自动进行数据检测 -运用元件数据库进行检测数据的快速编辑 3)运用丰富的专用多功能检测算法和二元或灰度水 平光学成像处理技术进行检测 4)根据被检测元件位置的瞬间变化进行检测窗口的 自动化校正,达到高精度检测 5)通过用墨水直接标记于PCB板上或在操作显示器 上用图形错误表示来进行检测电的核对 三、AOI 检查与人工检查的比较 人工检查AOI检查 pcb<18*20及千个pad以下 人重要辅助检查 时间正常正常 持续性因人而异好 可靠性因人而异较好 准确性因人而异误点率高

现代测试技术及应用

西华大学课程考核试题卷 ( 中考卷) 试卷编号: ( 2012__ 至 2013____ 学年 第_2___学期 ) 课程名称:现代测试技术及应用 考试时间:90 分钟 课程代码:6002699 试总分:100分 考试形式: 网络考试 学生自带普通计算器: 允许 一、判断题(本大题共10小题,每小题2分,总计20分) 1.粗大误差具有随机性,可采用多次测量,求平均的方法来消除或减少。( ) 错 2. 当计数器进行自校时,从理论上来说还是存在±1个字的量化误差。( )对 3.一个频率源的频率稳定度愈高,则频率准确度也愈高。( )错 4. 给线性系统输入一个正弦信号,系统的输出是一个与输入同频率的正弦信号()对 5.随机误差又叫随差,随机误差决定了测量的精密度。( )对 6.测量系统的理想静态特性为y=Sx+S0( ).答案:错 7. 从广义上说,电子测量是泛指以电子科学技术为手段而进行的测量,即以电子科 技术理论为依据,以电子测量仪器和设备为工具,对电量和非电量进行的测量。( ) 答案:对 8. 在进行阿伦方差的测量时,组与组之间以及组内两次测量之间必须都是连续的。 ( )答案:错 9.反射系数、 功率、 导磁率 、信号频率均为有源量( )。答案:错 10. 峰值电压表按有效值刻度,它能测量任意波形电压的有效值。( )答案:对 二、选择题(本大题共10小题,每小题3分,总计30分) 1. 若马利科夫判据成立,则说明测量结构中含有 ____ 。 A:随机误差 B: 粗大误差 C: 恒值系差 D: 累进性变值系差 答案:D 2. 如两组测量的系数误差相同,则两组测量的 相同。 A. 精密度 B. 准确度 C. 精确度 D. 分散度 答案:A 3.在使用连续刻度的仪表进行测量时,一般应使被测量的数值尽可能在仪表满刻度值的 ____ 以上 答案:D 4.±1误差称为____。 A.最大量化误差 B.仅测频的误差 C.±1一个字误差 D.闸门抖动引起的误差 答案:A 5.仪器通常工作在( ),可满足规定的性能。

自动光学检测仪

用在多层板的内外层或高密度双面板表面质量的检查。但是在其它方面的应用也比较多,特别是对高密度互连结构(HDI)微通孔和表面的检查。而且还应用在IC封装和装配中的印制板的检查。AOI很有效地应用诸多方面,为提高印制板的表面质量,发挥了重要的作用。 一.底片的检查 自动光学系统的设计是根据底片检查工艺特性,采用透射的模式即将需要检查的底片放置在玻璃桌台上,而不采用抽真空台面,而是通过玻璃桌面的下的光束透过玻璃进行对底片的扫描来检查底片相应位置上的缺陷。使用这种方法对底片进行表面质量的检查,为更加清晰的将印制板表面缺陷呈现出来,对该系统的放大装置作了很大的改进,达到了既是印制板表面的很小的缺陷都能检查出来。当在印制板生产过程中使用该系统时,就能将印制板面的5μm和5μm以下的缺陷检查出来,并且能够适当的区别错误的真假,就是采用高级的识别系统大大的减少故障缺陷的发生。 在反射模式将白色的纸放置在光具(底片)之下,介于光具透明和不透明范围之间,以提高其对比度。经过交替的变换达到或接近所使用的标准的AOI系统。这种方法不是通用的的,更多的倾向是由于微小的划伤,才会出现假的缺陷报告。另外,容易产生错误的是由于光具表面银粒子无光泽,再通过AOI的反射模式,特别是焦点不是在光具银乳胶膜上,就很容易出现假的读出。而表面无光泽的粒子致使真空度下降。这些粒子是甲基丙烯酸树脂,直径大约7微米,它能够使光发出散光。 如果AOI是开始并记录应该发现的缺陷,唯一的其缺陷的尺寸应比10微米要大,这样用它来检查就能解决所存在的质量问题,而且还有可能解决对精细导线(S/L=30/50微米)的检查。对于有阻抗要求的导线宽度公差控制不会比±5-10微米变化更大是可能的。而AOI的灵敏度不会记录这样的线宽变化。检查光具(即底片)通常应该在清洁的、黄光室内进行,不建议到AOI作业区进行检查,应此区域清洁度不够。因此,实际上AOI机不是检查内层或外层的光具膜的机器。. AOI实际上也可以检验玻璃底版的图像质量,即玻璃上镀铬膜。这些底版通常制作和检验是通过转包公司再送交PWB制造厂的。典型的要求就是底版上的缺陷的尺寸在5微米或更大些。许多使用玻璃底版的用户也使用检查玻璃的工具进行检查,以延长使用的寿命。但使用玻璃底版也很贵。 玻璃底版至少要曝光百次以上,最典型的次数为200-500次,就必须使用AOI对玻璃底版图像进行质量检查,还可以通过曝光试验,如底版的图像好就可以接着使用,或者进行修整。 二.覆盖有光敏抗蚀剂的板在进行显影前的潜像质量的检查 这一步最基本的想法就是在湿处理前,对板的图像与孔对准度进行检查,及早发现如有质量缺陷就很容

光学干涉测量技术

光学干涉测量技术 ——干涉原理及双频激光干涉 1、干涉测量技术 干涉测量技术和干涉仪在光学测量中占有重要地位。干涉测量技术是以光波干涉原理为基础进行测量的一门技术。相干光波在干涉场中产生亮、暗交替的干涉条纹,通过分析处理干涉条纹获取被测量的有关信息。 当两束光亮度满足频率相同,振动方向相同以及相位差恒定的条件,两束光就会产生干涉现象,在干涉场中任一点的合成光强为: 122I I I πλ=++V 式中△是两束光到达某点的光程差。明暗干涉条纹出现的条件如下。 相长干涉(明): , () min 12I I I I ==+m λ=V 相消干涉(暗): , ()min 12I I I I ==+-12m λ? ?=+ ??? V 当把被测量引入干涉仪的一支光路中,干涉仪的光程差则发生变化。通过测量干涉条纹的变化量,即可以获得与介质折射率和几何路程有关的各种物理量和几何量。 按光波分光的方法,干涉仪有分振幅式和分波阵面式两类。按相干光束传播路径,干涉仪可分为共程干涉和非共程干涉两种。按用途又可将干涉仪分为两类,一类是通过测量被测面与参考标准波面产生的干涉条纹分布及其变形量,进而求得试样表面微观几何形状、场密度分布和光学系统波像差等,即所谓静态干涉;另一类是通过测量干涉场上指定点干涉条纹的移动或光程差的变化量,进而求得试样的尺寸大小、位移量等,即所谓动态干涉。 下图是通过分波面法和分振幅法获得相干光的途径示意图。光学测量常用的是分振幅式等厚测量技术。 图一 普通光源获得相干光的途径 与一般光学成像测量技术相比,干涉测量具有大量程、高灵敏度、高精度等特点。干涉测量应用范围十分广泛,可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率的变化及振动等

现代检测技术作业

现代检测技术 学院: 专业: 姓名: 学号: 指导教师: 2014年12月30日

一现代检测技术的技术特点和系统的构成 1、现代检测技术特点 (1)测量过程软件控制 智能检测系统可以是新建自稳零放大,自动极性判断,自动量程切换,自动报警,过载保护,非线性补偿,多功能测试和自动巡回检测。由于有了计算机,上述过程可采用软件控制。测量过程的软件控制可以简化系统的硬件结构,缩小体积,降低功耗,提高检测系统的可靠性和自动化程度。 (2)智能化数据处理 智能化数据处理是智能检测系统最突出的特点。计算机可以方便、快捷地实现各种算法。因此,智能检测系统可用软件对测量结果进行及时、在线处理,提高测量精度。另一方面,智能检测系统可以对测量结果再加工,获得并提高更多更可靠的高质量信息。 智能检测系统中的计算机可以方便地用软件实现线性化处理、算术平均值处理、数据融合计算、快速的傅里叶变换(FFT)、相关分析等各种信息处理功能。(3)高度的灵活性 智能检测系统已以软件工作为核心,生产、修改、复制都比较容易,功能和性能指标更加方便。而传统的硬件检测系统,生产工艺复杂,参数分散性较大,每次更改都涉及到元器件和仪器结构的改变。 (4)实现多参数检测与信息融合 智能检测系统设备多个测量通道,可以有计算对多路测量通进行检测。在进行多参数检测的基础上,依据各路信息的相关特性,可以实现智能检测系统的多传感器信息融合,从而提高检测系统的准确性、可靠性和容错性。 (5)测量速度快 高速测量时智能检测系统追求的目标之一。所谓高速检测,是指从检测开始,经过信号放大、整流滤波、非线性补偿、A/D转换、数据处理和结果输出的全过程所需要的时间。目前,高速A/D转换的采样速度在2000MHz以上,32位PC机的时钟频率也在500MHz以上。随着电子技术的迅猛发展,高速显示、高速打印、高速绘图设备也日臻完善。这些都为智能检测系统的快速检测提供了条件。(6)智能化功能强 以计算机为信息处理核心的智能检测系统具有较强的智能功能,可以满足各类用户的需要。典型的智能功能有: 1)测量选择功能 智能检测系统能够实现量程转换、信号通道和采样方式的自动选择,使系统具有对被测量对象的最优化跟踪检测能力。 2)故障诊断功能 智能检测系统结构复杂,功能较多,系统本身的故障诊断尤为重要,系统可以根据检测通道的特性和计算机本身的自诊断能力,检查个单元故障,显示故障部位,故障原因和应采取的故障排除方法。 3)其他智能功能 智能检测系统还可以具备人机对话、自校准、打印、绘图、通信、专家知识查询和控制输出等智能功能。 2、系统的构成

图像测量技术论文

图像测量技术读书笔记 摘要:图像测量技术是以现代光学为基础,融光电子学、计算机图形学、信息处理、计算机视觉等现代科学技术为一体的综合测量技术,是将图像处理技术应用于测量领域的一种新的测量方法。图像测量该技术把图像作为信息传递的载体,依据视觉的原理和数字图像处理技术对物体的成像图像进行分析研究,得到需要测量的信息,目前已经成功应用于很多领域。图像测量方法具有非接触、高速度、动态范围大、信息丰富等优点,受到国内外测量领域的重视。本文介绍了图像测量技术的历史背景,总结了图像测量系统的发展现状及其应用领域,并指出了图像测量技术存在的问题及今后发展的趋势。 0.引言 图像测量技术是近年来在测量领域中新兴的一种高性能测量技术。它以光学技术为基础,将光电子学、计算机技术、激光技术、图像处理技术等多种现代科学技术融合为一体,构成光、机、电、算综合体的测量系统。图像测量,就是把测量对象——图像当作检测和传递信息的手段或载体加以利用的精确测量技术。其目的是从图像中提取有用的信号,通过对获得的二维图像进行处理和分析,得到需要的三维场景的信息,最终实现测量的目的。 图像(包括视频)测量技术广泛应用于工业产品质量检测、智能交通、安防、工程变形监测、医学等各个领域,并且随着计算机技术和信息技术的发展,其实现方法和手段也日新月异。 1.研究背景 科学技术和生产活动的大规模开展及一系列重大突破催生并发展了测量学科。同时,测量器具、技术和理论的发展又促进了生产技术的发展。近代科学和工业化的发展要求测量学科一方面需要进行专业化分工;同时也要求其突破经典的测量方法,寻求新的测试原理与手段,如求助于电学、光学、计算机等,从单一学科发展为多学科间的相互借鉴和渗透,形成综合各学科研究成果的新型测量系统。 传统的几何测量方法根据测量头与被测件是否接触可分为接触式与非接触

光学测量技术详解

光学测量技术详解(图文) 光学测量是生产制造过程中质量控制环节上重要的一步。它包括通过操作者的观察进行的快速、主观性的检测,也包括通过测量仪器进行的自动定量检测。光学测量既可以在线下进行,即将工件从生产线上取下送到检测台进行测量;还可以在线进行,即工件无须离开产线;此外,工件还可以在生产线旁接受检测,完成后可以迅速返回生产线。 人的眼睛其实就是一台光学检测仪器;它可以处理通过晶状体映射到视网膜上的图像。当物体靠近眼球时,物体的尺寸感觉上会增加,这是因为图像在视网膜上覆盖的“光感器”数量增加了。在某一个位置,图像达到最大,此时再将物体移近时,图像就会失焦而变得模糊。这个距离通常为10英寸(250毫米)。在这个位置上,图像分辨率大约为0.004英寸(100微米)。举例来说,当你看两根头发时,只有靠得很近时才能发现它们之间是有空隙的。如果想进一步分辨更加清楚的细节的话,则需要进行额外的放大处理。 本部分设定了隐藏,您已回复过了,以下是隐藏的内容 人的眼睛其实就是一台光学检测仪器;它可以处理通过晶状体映射到视网膜上的图像。本图显示了人眼成 像的原理图。 人眼之外的测量系统 光学测量是对肉眼直接观察获得的简单视觉检测的强化处理,因为通过光学透镜来改进或放大物体的图像,可以对物体的某些特征或属性做出准确的评估。大多数的光学测量都是定性的,也就是说操作者对放大的图像做出主观性的判断。光学测量也可以是定量的,这时图像通过成像仪器生成,所获取的图像数据再用于分析。在这种情况下,光学检测其实是一种测量技术,因为它提供了量化的图像测量方式。 无任何仪器辅助的肉眼测量通常称为视觉检测。当采用光学镜头或镜头系统时,视觉检测就变成了光学测量。光学测量系统和技术有许多不同的种类,但是基本原理和结构大致相同。

PCB自动光学检测技术共4页

PCB自动光学检测技术 一、PCB检测技术发展历程 在PCB的生产工艺流程中,蚀刻是重要环节之一,即用化学药剂腐蚀掉设计线路以外多余的铜。该工艺流程中,药剂量、温度、流速和腐蚀时间等因素直接影响生产的质量,控制不好将会产生诸如短路、开路、线宽缺损、残留铜和针孔等缺陷。 PCB通常用目视、电测试和AOI方法检测。 20世纪70年代以前,PCB检测主要依靠人眼加放大镜,检测速度慢,漏检率高,同时,还会导致检验人员视力下降,影响人体健康。 电测试的原理是根据PCB线路图的计算机数据设计一副针床夹具和相应的网点测试程序。测试时,探针压在PCB表面的待测点,然后通电测试每个网点的通断,并报告存在的短路和断路缺陷。其局限在于○1只能检测短路和断路两种缺陷,缺口、针孔和残留铜等其他缺陷都无法检测。○2针床夹具的成本过高,小批量生产不合适。 电测试受到PCB向高密度、小型化方向发展的限制。随着线路板的密度不断增大,电测试需不断增加测试接点数,导致测试编程和针床夹具成本上升,开发测试程序和夹具通常需要数星期乃至一个多月时间,同时将导致电测试出错和重测次数增多。对电测试构成挑战的还有不断减少的引脚距离。因此,电测试已不能满足未来线路板的测试要求。 二、PCB自动光学测试技术 (2)自动光学检测的工作原理 AOI是检测PCB表面图形品质(如表面缺陷、断路和短路)的设备,

用于生产过程中半成品品质检测,是高精密单层印制板,尤其是多层印制板加工的关键技术。测试系统集光学、精密机械、识别诊断算法和计算机技术于一体,功能或激光自动扫描PCB,采集图像后送与计算机处理,再与数据库中的标准数据比较,查出PCB上缺陷,用显示器或自动标识系统显示或标识缺陷,供维修人员修理。 2.PCB自动光学检测图像处理技术 (3)图像采集 获取图像是AOI的关键,所获取图像的质量好坏直接影响最终的检测效果。从使用的图像采集器件来看,目前AOI分为两类,一类是使用高精度线扫描CCD成像;另一类是利用激光作为光源,用光电倍增管(PMT)作为光电转换器件来获取图像。 图像的处理是将光电器件(CCD或PMT)输出的有关PCB信息的电信号转换为计算机可识别的二进制信号。首先进行模/数转换,将模拟信号转换为灰阶数字信号,利用PCB基材和铜的灰阶值不同的特性,形成二维灰度图像,然后利用阈值法,将大于指定阈值的像素转换成黑(铜)像素,等于或小于指定阈值的像素转换成白(基材)像素。阈值根据材质来选取,一般在灰阶数值的60~110之间,最后得到关于PCB信息的二值(0,1)图像。 (2)图像处理技术 (A)图像特征提取 对转换后的二值图像进行分析并与标准图像比较以发现PCB上存在的缺陷。常用的分析方法有两种。其中矢量分析法是一种图形位置搜索技术,

近代光学实验讲义

实验8基于线扩散函数测量光学系统MTF值 8.1 引言 光学传递函数理论是在傅里叶分析理论的基础上发展起来的。最早在1938年,德国人弗里塞对鉴别率法进行了改进,提出用亮度呈正弦分布的分划板来检验光学系统,并且证实了这种鉴别率板经照相系统成像后像的亮度分布仍然是同频率的正弦分布,只是振幅受到了削弱。1946年法国科学家P.M.Duffheux正式出版了一本阐述傅立叶方法在光学中的应用的书,并首次提出传递函数的概念,从此开拓了像质评价的新领域。 8.2 实验目的 1.学习了解光学传递函数理论; 2.光学调制传递函数(MTF)测量。 8.3 实验原理 调制传递函数(Modular Transfer Function,简称MTF)是信息光学领域引入的概念。光学成像系统作为最基本的光学信息处理系统,可以用来传递二维的图像信息。对于一个给定的光学系统而言,输入图像信息经过光学系统后,输出的图像信息取决于光学系统的传递特性。由于光学系统是线性系统,而且在一定条件下还是线性空间不变系统,因此可以沿用通信理论中的线性系统理论来研究光学成像系统性能。对于相干与非相干照明下的衍射受限系统,可以分别给出它们的本征函数,把输入信息分解为由这些本征函数构成的频率分量,并考察每个空间频率分量经过系统后的振幅衰减和相位移动情况,可以得出系统的空间频率特性,即传递函数。这是一种全面评价光学系统传递光学信息能力的方法,当然也可以用来评价光学系统的成像质量。与传统的光学系统像质评价方法(如星点法和分辨率法)相比,用光学传递函数方法来评价光学系统成像能力更加全面,且不依赖于观察个体的区别,评价结果更加客观,有着明显优越性。随着近年来微型计算机及高精度光电测试工具的发展,测量光学传递函数的方法日趋完善,已成为光学成像系统的频谱分析理论的一种重要应用。另外,光学成像系统的传递函数分析方法作为光学信息处理技术的理论基础,有得于推动光学信息处理技术在信息科学中得到广泛的应用。 MTF是瑞典哈苏公司制定的反映镜头成像质量的一个测试参数,反映的是镜头对现实世界的再现能力。这是一个复杂的测试体系,是对镜头的锐度,反差和分辨率进行综合评价的数值。对于一个平面黑(白)色物体,它的线对频率是O。此时,任何一个最简易的镜头都可以完整的体现出这一反差。即MTF值等于1。而对于纯黑和纯白相间的线条(反差为100%)来说,随着线对频率的提高,通过镜头表现的反差就相应减少(反差小于100%)。当频率达到一个很高的数值时(例如1000线对/毫米),则任何镜头也只能把它们记录成一片灰色。这时镜头的MTF 值就接近于0。因此,MTF值是一个界于0到1之间的数值。这个数值越大(越接近l),说明这个镜头还原真实的能力越强。 对于一个线性或可以近似看作线性的成像光学系统,当一个点光源在物方移

现代光学测试实验报告

现代光学测试技术实验报告 姓名:*** 学号:*** 专业:*** 班级:*** 课程名称:现代光学测试技术 指导教师:*** 完成日期:***

现代光学测试技术实验报告 一、实验目的 1、了解散斑的性质及特点 2、了解散斑干涉、剪切散斑干涉、DIC 、和条纹投影技术的具体应用 3、通过分析优劣更好地学习现代光学测试技术的相关内容 二、实验原理 ● 散斑 1、散斑的定义 当一束激光照射到物体的粗糙表面(例如铝板)时,在铝板前面的空间将布满无规律分布且明暗相间的颗粒状光斑,称为散斑。(如图1所示) 2、要形成散斑且质量较好必须具备的条件: (1)有能发生散射光的粗糙表面 (2)入射光线的相干度要足够高,如:激光 (3)如使用激光粗糙表面深度须大于入射光波长 3、散斑的分类 由粗糙表面的散射光干涉而直接形成的,称为直接散斑。(如图2所示) 经过一个光学系统,在它的像平面上形成的散斑,称为成像散斑,即主观散斑。(如图3所示) 图2 客观散斑原理图 图1 散斑图像

图3 主观散斑原理图 4、散斑的应用 散斑携带了散射面的丰富信息,可以通过散斑的性质来推测物体表面的性质,是实验应力分析方法的一种,用于测取物体的位移、应变。由于这种办法的无损、快速等诸多优点,它被广泛应用于工业控制的缺陷检测、医学的光活检等领域,且受到越来越多的关注。 ●三角法测量原理 图4 激光三角法测量原理图

如图所示,θsin z a a b M ??=???= z K z s i n M b ??=???=??θ 则K b z ?=?,其中θsin M K ?= 物体变形前和变形后的光强分布为: ()()()()x y x P x y x P f ,2,,2cos y x b y x a I f π π=?? ?????+=,, ()()()()()[]()()()[]y x z y x k -x ,2,y x z y x k -x ,2cos y x b y x a I c c ,,,,,,y x P y x P π π=???????+= ()() ()()() ()()y x K -y x z y x z y x K y x z y x P y x k 2-c f c f ,,,,,,,??= ∴=?= ??π ()y x K ,可以通过实验标定得到,由此,则可知物体的变形或位移 ● DIC 技术 图5 物体变形图像追踪 因为散斑分布是随机的,所以每一点和它周围的散斑是不一样的,我们在相关运算过程中,可以将变形前和变形后的散斑图像分割成很多网格,每一个网格就是一个相应的子集:这样,我们就可以以这个子集为载体,分析物体的相应的位移信息,将所有的子集进行计算,就可以得到相应的位移场: 在数字图像相关算法中,我们将变形前后的两幅散斑图分别设为F (x ,y )和G (x ,y ),劝、数字图像相关基本思想是在F (x ,y )中找到一个子区,通

光学测试技术复习资料

光学检测原理复习提纲 第一章 基本光学测量技术 一、光学测量中的对准与调焦技术 1、对准和调焦的概念(哪个是横向对准与纵向对准?) P1 对准又称横向对准,指一个目标与比较标志在垂轴方向的重合。调焦又称纵向对准,是指一个目标像与比较标志在瞄准轴方向的重合。 2、常见的五种对准方式。 P2 压线对准,游标对准。。。。 3、常见的调焦方法 最简便的调焦方法是:清晰度法和消视差法。p2 二、光学测试装置的基本部件及其组合 1、平行光管的组成、作用;平行光管的分划板的形式(abcd )。P14 作用:提供无限远的目标或给出一束平行光。 组成:由一个望远物镜(或照相物镜)和一个安置在物镜 焦平面上的分划板。二者由镜筒连在一起,焦距 1000mm 以上的平行光管一般都带有伸缩筒,伸缩筒 的滑动量即分划板离开焦面的距离,该距离可由伸 缩筒上的刻度给出,移动伸缩筒即能给出不同远近 距离的分划像(目标)。 2、什么是自准直目镜(P15)(可否单独使用?),自准直法? 一种带有分划板及分划板照明装置的目镜。Zz 自准直:利用光学成像原理使物和像都在同一平面上。 3、;高斯式自准直目镜(P16)、阿贝式自准直目镜(P16)、双分划板式自准直目镜(P17)三种自准直目镜的工作原理、特点。P15—p17(概念,填空或判断) 1高斯式自准直目镜缺点--分划板只能采用透明板上刻不透光刻线的形式,不能采用不透明板上刻透光刻线的形式,因而像的对比度较低,且分束板的光能损失大,还会产生较强的杂光。 2阿贝式自准直目镜---特点射向平面镜的光线不能沿其法线入射,否则看不到亮“+”字线像。阿贝目镜大大改善了像的对比度,且目镜结构紧凑,焦距较短,容易做成高倍率的自准直仪。 主要缺点:直接瞄准目标时的视轴(“+”字刻度线中心与物镜后节点连线)与自准直时平面 (a )"+"字或"+"字 刻线分划板; (b )分辨率板; (c )星点板; (d )玻罗板

南京理工大学 研究生 近代光学检测 试题解析

思考题 1. 简述处理空间载频干涉条纹的FFT 法原理,说明其主要步骤,并 给出相应的公式推导。 答:带有载频的干涉图的光强表达式为: )],(22cos[),(),(),(y x y f x f y x b y x a y x i y x φππ-++= 其中,x f ,y f 是干涉条纹在X和Y方向的中心载频。),(y x φ是干涉图包含的相位信息。处理步骤如下: a)对干涉图进行傅里叶变换 )] (2exp[),()](2exp[),(),(),(y f x f j y x c y f x f j y x c y x a y x i y x y x +-+++=*ππ其中)ex p (2 1 ),(φj b y x c = 。 b)为了祛除干涉条纹对边缘检测的影响,我们选取合适的滤波器,取出干涉分布正一级谱或负一级谱,并将其平移到坐标原点,对应的物理过程是滤波、消倾斜。公式变化后为: ) ()(2121,,I f f C f f = c )进行逆傅立叶变换,结果为 []),(exp ),(2 1 ),(y x j y x b y x C φ= d )包裹的相位为: [][] ),(Re ),(Im ,1 y x c al y x c age tg y x -=)(φ e )将包裹相位)(y x ,φ展开,得到波面的相位信息。 2. 以马赫-曾德尔干涉仪为例,说明移相干涉术的原理。当以PZT 移相或旋转平板移相时,如果移相步长为π/2,分别推导移相器的直线位移步长量或角度位移步长量。 3. 如图所示,波长为λ的准直激 光束入射到泰曼干涉仪中。在干涉仪的测试臂中放入一块

现代检测技术

《现代检测技术》综述 前言: 随着现代科学技术的不断发展、社会的日益进步,现代化生产的规模越来越大,管理的形式和方式趋于多样性,管理也更加科学,人们对产品的产量和质量的要求也越来越高,这就导致常规的检测参数、检测手段、检测仪表难以满足现代生产和生活的需求。从一般的单参数测量到相关多参数的综合自动检测,从一般的参数的量值测量到参数的状态估计,从确定性的测量到模糊的判断等等,已成为当前检测领域中的发展趋势,正受到越来越广泛的关注,从而形成了各种新的检测技术和新的检测方法,这些技术和方法统称为现代检测技术。 检测的发展和现代检测技术: 检测是指在各类生产、科研、试验及服务等各个领域,为及时获得被测、被控对象的有关信息而实时或非实时地对一些参量进行定性检查和定量测量,而工业化的发展则对传统的检测提出了更高的要求,为了保证生产过过程能正常、高效、经济的运行,严格控制生产过程中某些重要的工艺参数(如温度、压力、流量等)进行严格的控制,基于这样的理念现代检测呼之欲出。 1 检测的发展: 检测技术是20世纪六十年代发展起来的一门具有广泛应运价值的交叉学科,发展过程经历了三个阶段。 (1)第一阶段是依靠人工为主。通过专家现场获取设备运行时的感观状态,感知异常的震动、噪声、温度等信息,凭经验确定可能存在何种故障或故障隐患。 (2)第二阶段是信号分析监测与诊断阶段。随着传感器技术、测量技术以及分析技术的发展,状态监测逐步发展为依靠传感器和测量仪器获取设备的工作参数(如频率、振幅、速度、加速度、温度等参数),通过与正常工作状态下的参数进行对比,确定故障点或故障隐患点。 (3)第三阶段是现代化状态监测与故障诊断阶段。随着信号处理技术、软测量技术、计算机技术和网络技术的发展,状态监测与故障诊断技术也发展到计算机时代,数据采集工作站采集现场的各种传感器信号,通过计算机网络将数据发送到远程的监测与诊断工作站,利用各种信号处理技术和分析软件对设备状态进行监测。 2 现代检测 2.1现代检测技术 现代测试技术是一门交叉性学科,是自动化、电子信息工程、电气自动化、机电一体化等专业的专业基础课程。 尽管现代检测仪器和检测系统的种类、型号繁多,用途、性能千差万别,但它们的作用都是用于各种物理或化学成分等参量的检测,其组成单元按信号传输的流程来区分:通常由各种传感器(变送器)将非电被测物理或化学成分参量转化成电信号,然后经信号调理、数据采集、信号处理后显示并输出,由以上设备以及系统所需要的交、直流稳压电源盒必要的输入设备便组成了一个完整的检测系统,涉及内容主要包括传感器原理与技术、信号调理、数据采集、信号处理、

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