晶体生长工艺操作规程-80炉+(修改)
晶体生长工艺操作规程－80炉
1.概述
为了做到安全生产，正确地使用设备并制备出符合要求的产品，特对JDRL-800型单晶炉制定本操作规程。
2.工艺流程
2.1流程图
2.1.1拉晶流程图
准备→装炉→抽空→检漏→充氩气→加热→引晶→缩颈→放肩→转肩→等径生
2.2关键工艺参数
生产6″硅单晶工艺参数：
1、真空：≤3Pa/30～40min，漏气率：≤1Pa/5min；
2、氩气流量：25～30L/min，纯度不低于99.999％；
3、冷却水压力0.15～0.25MPa,入水温度22±2℃；
4、起始埚位：约+29mm；
5、起始拉速：1.20mm/min，埚随比0.115～0.117；
6、晶转：11rpm，埚转：7rpm；
7、引晶直径：3～5mm，长度：100～120mm；
8、放肩速度：0.4～0.5mm/min；
9、化料功率：约85KW。
3.进出物料规格
3.1进料规格
3.1.1多晶硅
3.1.1.1纯度不小于99.9999％，无酸印、水印、斑点、氧化物，不得有石英或其它杂物。
3.1.1.2块状尺寸
太阳能块状硅多晶的尺寸分布范围为:
a) <25mm的最多占重量的15%；
b)>25~50mm的占重量的40%~60%；
c)>50~100mm的约占重量的25%~45%；
料块要求大小搭配合理,保证不同电阻率的原料搭配合理,原因不明,多次回熔拉不成单晶的回熔料不再使用。
3.1.1.3多晶硅清洗按《硅多晶高纯处理工艺操作规程》操作。
3.1.2掺杂剂：按《直拉单后处理岗位清洗腐蚀工艺操作规程》操作。
3.2出料规格
Φ4～8″的单晶硅棒
4.操作程序
4.1准备
4.1.1戴上口罩、塑料手套。
4.1.2用真空扫除泵清扫炉室、真空管道和过滤罐内的挥发物和硅渣。
4.1.3用真空扫除泵和专用毛刷清扫石墨器件。
4.1.4若窥视孔模糊或有污物，应清理干净。
4.1.5更换塑料手套，用卫生纸蘸无水酒精擦洗炉室、密封圈、籽晶卡头、测信号孔。
4.1.6 装石墨器件
4.1.6.1石墨器件要轻拿轻放。
4.1.6.2检查并确认石墨器件无打火、无损伤。
4.1.6.3按照先下后上、先内后外的顺序，依次装好石墨器件，电极的连接处要垫石墨纸，并在两电极上放置石英套管，各器件要求安装平稳、牢靠。
4.2抽空检漏
4.2.1合上炉子后，依次打开主真空泵、抽空排气球阀，极限真空≤3Pa/30~40min 以下，然后依次关闭抽空排气球阀、停主真空泵，漏气率小于1Pa/5min。
4.2.2若达不到工艺要求值，可充入氩气后重新抽空检漏，若还达不到工艺要求，则应检查各密封处，重新擦净炉子密封圈等处，再行抽空、检漏程序。
4.2.3若仍达不到工艺要求，应请钳工查明原因，判断是漏气还是漏水故障，再做处理。
4.2.4若是漏气故障，钳工应找出漏气点，进行修理，排除故障。
4.2.5若是漏水故障，应判明是炉室漏水还是石墨器件含水分较多。若炉室漏水，应找出漏水点，请钳工焊好；若是石墨器件含水分较多，应抽空2h，再检漏，若仍达不到工艺要求值，应以2～3kw的功率（炉内不能看到发红）、低温烘炉2h，烘炉过程中要通氩气，然后检漏。
4.2.6做好以上工作后，再进行抽空检漏程序，直到达工艺要求。
4.2.7注意事项：开主真空泵时，应起动2－3次，抽管道内的气体；球阀约1min 可处于全开或全闭状态，预防回气。
4.3煅烧
4.3.1煅烧是在高温下去除石墨器件中的杂质（如水分、有机挥发物等），以免对单晶产品的质量产生影响，也可检验设备各方面的稳定性和可靠性。
4.3.2工艺要求
4.3.2.1更换整套新热系统，煅烧二次，每次8h，其中低温1h，中温1h，高温6h，中
4.3.2.2新石墨器件间加擦炉一次。
4.3.2.3新石墨坩埚和加热器，高温4h/次；
4.3.2.4其它石墨器件，高温2h/次；
4.3.2.5煅烧真空要求与拉晶一致。
4.3.2.6煅烧功率：化料功率
4.3.2.7更换新碳毡：先低温煅烧1h，中温1h，高温4h，观察挥发物情况，若挥发物多的话，继续煅烧，直至挥发物量较少为止。
4.3.2.8停炉停水超过48h，要煅烧2h，炉室若真空密封较好，水流通畅，也可不煅烧。
4.3.2.9一套三瓣石墨坩埚寿命约为30炉，若没有大的损伤，最多不超过35炉；加热器寿命约为70炉，最多不超过100炉。特殊情况酌情处理。
4.3.2.10煅烧好的石墨器件应密封保存，防尘防潮。
4.4装炉
4.4.1装炉前检查并确认各项工作就绪，见《JRDL-800直拉单晶炉开机检查表》。
4.4.2装石英坩埚
4.4.2.1将石墨坩埚升至合适的高度。
4.4.2.2打开塑料包装袋，戴上洁净的塑料手套取出石英坩埚，并检查石英坩埚的
标签是否完好，石英坩埚是否有裂纹、孔洞、表面不规则等，同时检查内壁是否有疵点、气泡、划道等，用戴着手套的手指去触摸内壁，检查是否有小脏物，或表面有小凸点等。
4.4.2.3将石英坩埚装入石墨坩埚。
4.4.2.4装完石英坩埚后应使石英坩埚四周高度一致。
4.4.3加掺杂剂，将掺杂剂全部倒入石英坩埚内。
4.4.4装料
4.4.4.1装料前核对多晶、掺杂剂、坩埚，确保与随工单的要求相符。装料时应戴上口罩、尼龙手套，再戴塑料薄膜手套，并注意防止料划伤。
4.4.4.2安装新石墨器件，或重新安装热系统时，需要核准“零埚位”。其方法是：
让石墨坩埚上沿与加热器上沿处于同一水平面上，此处的埚位即是零埚位。
4.4.4.3把多晶依次放进石英坩埚，装料时注意以下几点：
a、料块大小搭配要合理。
b、碎料和大块料可放在埚底，中等大小和碎料可放在上部。
c、料放置得要稳妥，防止化料时料掉出来，影响拉晶。
d、尖锐的大块料尖端不能对准石英坩埚。
e、对430mm的加热器，装完料后化料埚位应放在不低于“－90mm”的位置，
对480mm的加热器，化料埚位应放在不低于“－140mm”的位置，同时应保证化料时料不碰到导流筒下沿。
f、化料时埚可不转。
4.4.4.4将埚有所转动，看有无转动偏心、碰其它石墨器件等情况，若影响拉晶，应及时做相应调整。
4.4.4.5检查坩埚口上沿，加热器上沿及上保温圈上沿有无硅渣，若有，拿真空扫除吸除干净，然后依次放上保温盖和导流筒。
4.4.4.6检查上保温盖上有无硅渣，如有，用真空扫除吸除掉。
4.4.4.7检查各“Ｏ”形环上如有硅渣，用真空扫除吸除掉，再用卫生纸蘸无水酒
精清檫各“Ｏ”形环密封处，以免损伤“Ｏ”形环。
4.4.4.8将副炉室、炉盖复位，然后将液压泵开关打在“启”的位置，按下“卸荷”
按钮，按下“炉盖降”按钮，下降炉盖，直至它坐到炉筒上，继续按此按钮，下降副炉室，直到它坐到炉盖上。
4.4.3装籽晶
4.4.3.1首先检查籽晶的外观，确认无氧化和损伤，然后用销钉固定牢靠。若旧籽晶上有氧化膜，不再用砂纸打磨，而是换用完好的籽晶，该旧籽晶集中回收，送酸腐蚀岗位用酸腐蚀籽晶表面至发亮再用。
4.4.3.2下到炉台上的籽晶不再用砂轮打磨籽晶磨削角。
4.4.3.3装上炉内的籽晶不要让它在炉膛内摆荡，特别是在推动副炉室时应先将籽晶取下，待副炉室及重锤相对静止之后再装上籽晶，以免籽晶碰到炉壁，产生损伤。
4.4.3.4 籽晶装好后，按动晶升快速上升将籽晶升到副炉室内，用卫生纸蘸无水酒精炉盖门内壁、闸板阀及密封圈，检查闸板阀是否能够正常使用。
4.4.3.5确认炉盖门密封处洁净，软轴无损伤和严重老化迹象，确认籽晶夹头与软轴的连接牢固，检查籽晶是否完好，无事故隐患。把籽晶升到稍高于导流筒的位置，关闭炉盖门。
4.5化料
4.5.1检查各项数据应处于初始值。
4.5.2执行抽空检漏程序，达工艺要求。
4.5.3充氩气，氩气流量25～30l/min。
4.5.4加热化料
4.5.4.1启动加热电源，一般约60分钟分四次逐步加到化料功率，每隔20分钟加热一次。
A：第一次加热功率加至25KW左右（电压约25V，电流约900A）
B：第二次加热功率加至45KW左右（电压约32V，电流约1300~1400A）
C：第三次加热功率加至65KW左右（电压约40V，电流约1500~1600A）
D：第四次将功率加至85KW左右（电压约47V，电流约1900A左右）
4.5.4.2在化料过程中应注意观察炉内情况，若石英埚底已有熔化的液体，应及时逐步升或降埚位，及早把埚转调为1rpm，防止异常情况的发生，化料过程中人员不要离开炉台，经常观察炉内状况。
4.5.4.3料将化完时，可加大氩气流量、适当降低加热功率，逐渐调整晶转至11rpm、埚转至7rpm，不能骤然加大晶转或埚转，以免熔体温度过高，造成溅硅。一般高温4～5h，料可完全熔化完，料刚化完不要立刻将埚位提升到引晶埚位，可先将埚位放在零埚位附近一段时间，使熔体温度整体降下来，以免过早将埚位提至引晶埚位，导致熔体内对流严重，造成溅硅。
4.6引晶
4.6.1将埚位调整到引晶埚位，调整熔体温度至引晶温度，同时下降籽晶，准备引晶。
4.6.2若液面存在不熔物，可中温挥发30min，如果仍挥发不掉，可用籽晶进行沾渣或放肩提渣处理，后打开副炉室取出不熔物。
4.6.3引晶
4.6.3.1下降籽晶，接触液面，注意一次下降不要太多。如果籽晶马上出现光圈或熔断，说明液面温度较高；如果籽晶结晶而且久久不能熔化，表明液面温度较低；根据情况调节熔体温度。
4.6.3.2当光圈稳定合适时，开始引晶，根据光圈大小调整引晶速度，引晶平均拉速宜在2－4mm/min。
4.6.3.3细颈的直径应在3－5mm之间。
4.6.3.4细颈长度要求在100－120mm，开始放肩。
4.7放肩
4.7.1降拉速至0.4－0.5mm/min，若引晶温度较低，可采取大于0.5mm/min的速度放一段时间，不致生长太快，再降至0.4－0.5mm/min的速度放肩。
4.7.2放肩时，根据生长情况，适当调整温度，放肩要平滑。
4.7.3当放肩至接近目标直径时，打开自动记录，开始转肩。
4.8转肩
4.8.1用测径仪观察直径的变化，适当调整拉速和温度使直径达目标直径；当晶体直径达到目标直径后，点击“计长清零”对计长进行清零。
4.8.2转肩的拉速不宜太大，一般最大不超过2.5mm/min。
4.8.3在开始转肩时打开埚升离合器，同时将计算机控制中的埚升开关打向开，在转肩过程中逐步将埚升加到工艺要求值。
V埚＝（φ单晶棒/φ坩埚内）2×V晶升
埚随比＝V
埚/ V
晶升
其中：V
埚
――坩埚的速度；
V晶升――籽晶的上升速度，即晶体的生长速度；
φ单晶棒――单晶棒的直径；
φ坩埚内――石英坩埚的内径；
埚随比――坩埚和晶升的速度比。
4.8.4等径自动控制
若直径、拉速（达工艺要求的起始值）、温度稳定后，若直径合适达工艺要求，压光圈信号在1/3~1/4（光圈信号值300~500字），由人工控制直接投等径控制；若不合适，则调整熔体温度、晶体拉速，使晶体直径达工艺要求值，晶体拉速达工艺要求的起始值并稳定一段时间后，压光圈信号在1/3~1/4、光圈信号合适时，再投等径控制。
4.8.5投自动以后，密切关注直径变化情况，若直径变化较大，可采取人工降温或升温的办法，也可退出自动，重新调整后再投等径控制。
4.9等径生长
4.9.1等径控制阶段，如果直径偏差较大或温度波动较大，也可人工辅助升/降温调整。一般埚随比不需调整。
4.9.2等径过程中应时常关注晶体直径的变化，若发现直径超标应及时做相应调
整。
4.9.3监视单晶炉情况：如掉苞、结晶（尤其是接近尾部）、震动、其他异常情况，
如漏气、打火、埚裂、断电、停水、停气、晶升、埚升、晶转、埚转等机械故障、电器故障、晶体生长故障等，并做相应处理。
4.9.4将异常情况记录在拉晶原始记录上。
4.9.5晶体中途掉苞回熔
拉制过程中，若出现晶体掉苞，需要回熔时，应将埚位降至起始埚位以下，回熔过程中，温度不可过高，功率控制在60～70kw，回熔完一段晶体应及时下插晶体，以防埚底起泡。但一次下插晶体不能过多，应确认晶体已经回熔完再下插晶体（必要时可提起晶体检查中央是否有尖），因如果晶体中央有未回熔完的晶体，此时下插晶体，可能导致晶体戳漏石英埚底发生漏硅事故。快回熔完时，可加大氩气流量，及时降加热功率，以免温度过高产生硅跳。
4.9.6运行过程中换籽晶、取棒或连续加料
4.9.6.1更换籽晶、取棒或加料。
4.9.6.1.1运转过程中，若籽晶较脏，难以引出单晶，或籽晶较短，或籽晶损伤，需处理或更换籽晶。化完料，若需增加投料量时可二次加料。
4.9.6.1.2运转过程中，若出现单晶（φ6″）掉苞，长度在180～750mm，可根据情况决定取棒。
4.9.6.1.2.1正常情况下未达到最少提取长度的，则回熔。（若炉子漏气、埚边掉渣、石墨坩埚损坏、掉苞回熔三次以上或电器机械故障等异常情况要通知班长，视情况严重程度再决定）。
4.9.6.1.2.2化完料至最后一次回熔完，时间若超过24小时，再次拉晶时不再回熔，能拉成单晶则拉单晶，拉不成单晶拉多晶。
4.9.6.1.2.3超过最大提取长度的，拉多晶至要求的收尾重量后停炉（留埚料的重量应在投料量的10％以内）。
4.9.6.1.2.4在拉制过程中，如果第二支棒在12小时内（指从引晶开始）不能成晶，则拉多晶至要求的收尾重量后停炉（留埚料的重量应在投料量的10％以内）。4.9.6.1.3提棒
4.9.6.1.3.1提棒前应首先退出欧陆器的温度自动控制和计算机等径自动控制，关闭埚升随动，降低埚转晶转速度，将计算机控制中tr值恢复至0，op值恢复到
1200，在欧陆器上适当升高加热功率，点动晶升快速向上将晶体提起30—50mm，点动坩埚快速下降开关适当降低埚位。
4.9.6.1.3.2设定籽晶拉速到3mm/min，上升2h。不要用快速升按钮提升晶体，这样可能会引起晶体内裂或位错线延伸过长。
4.9.6.1.3.3记住提断处的埚位，第二支棒拉制时就在此埚位处开始。
4.9.6.1.3.4将坩埚转速降为1rpm。
4.9.6.1.3.5将籽晶（或晶棒）用快速升搬钮或按钮升至翻板阀以上。
4.9.6.1.3.6确保隔离阀碰不到籽晶或晶棒的最下端，稍升温，使液面不结晶。4.9.6.1.3.7将下端通向主炉室的氩气阀打开，此时通向主炉室的氩气流量不变。向副炉室充更大流量的氩气。
4.9.6.1.3.8用力向下压紧翻板阀。
4.9.6.1.3.9观察主、副炉室压力，副炉室压力应上升，调整氩气流量，使主炉室压力接近拉晶状态。
4.9.6.1.3.10上一条目过程中可松开炉盖门上的螺丝，以免充气后其被顶得太紧不易打开。
4.9.6.1.3.11使副炉室充入氩气、压力达一个大气压（参看副炉室旁边的压力表读
数为0MPa）。
4.9.6.1.3.12打开炉盖炉门或副炉室。
4.9.6.1.4取棒
4.9.6.1.4.1戴上耐热手套，两个操作者合作取棒，注意安全。
籽晶太热时，不要用手（或戴手套）接触，以防烫伤或籽晶上粘上脏物，待其凉后再操作，操作完以后应擦干净籽晶。拉制中途掉苞，取棒前，应以3mm/min 的拉速上提晶棒2h（最后超过副炉室下端以上后再取棒），取棒时将副炉室旋转到左侧，再下降晶体到取棒篮中取棒。
4.9.6.1.4.2合上炉盖炉门或副炉室。
4.9.6.1.4.3使用副炉室真空系统
4.9.6.1.4.4依次开启副真空泵和副泵的排气阀抽气，待副炉室压力小于一个大
气压后，压紧炉盖炉门的各个螺丝。
4.9.6.1.4.5执行驱气程序
依次开启副真空泵和副泵的排气阀抽气，当副室压力达－0.1MPa时，关上副泵的排气阀，给副炉室内充氩气，当副炉室压力表指针接近0MPa时，再打开副泵的排气阀进行抽气，同时关闭进副炉室的氩气，执行驱气程序，如此反复三次，目的是赶净副室内的空气，以免打开隔离阀时熔硅被氧化。
4.9.6.1.4.6当第四次抽空时待副炉室压力表读数为－0.1MPa时迅速依次关闭
副室排气阀和副室泵，确认副室排气阀关闭、并不漏气后，再打开翻板阀。
4.9.6.1.4.7打开副炉室上端氩气进气阀，关闭主炉室氩气进气阀。
4.9.6.1.4.8停副真空泵电源。
4.10收尾
4.10.1当等径生长到投料量的90－95％时，开始收尾。留埚料量应控制在投料量
的10％以内。
4.10.2首先，将系统退出等径控制状态，点击人工控制键，出现系统提示信息，
选择确定后，系统进入人工状态，将计长清零，进入速度系统，将埚升关闭；
点击收尾控制键，系统出现提示信息，选择确定后系统出现收尾控制提示信息，点击直拉式收尾，再点击提示键，系统退出键有效，点击退出键，系统进入收尾状态。
4.10.3收尾过程中，应时刻观察收尾情况，防止异常情况的发生（如液面结晶等），
也可人工辅助收尾。
4.11停炉
4.11.1当收尾结束时，确认埚升开关已经关闭，按动晶升快速上升按钮提起晶体，使晶体尾端脱离熔体，适当降低晶转埚转速度（晶转6rpm左右，埚转2rpm左右），将埚位降到零埚位，分两次逐步停止加热：
第一次将功率降至25KW左右（电压约25V，电流约1000A）
40分钟后第二次降温，直接将功率降到0KW，关闭加热电源开关
同时在提起晶体后也可使晶升以2－4mm/min的速度使晶体向上走3h。
4.11.2冷却
4.11.3停加热后3h停氩气，然后关闭抽空真空球阀、停主真空泵。
4.11.4停气泵2h后，松开炉盖炉门把手，打开氩气阀门向炉室内充入氩气，进行拆炉。注意：单晶炉内有单晶棒时，只允许使用顶部氩气阀，不允许使用其它氩气阀。在向炉室充气时操作人员不得离开正在充气的炉台。
4.12拆炉
4.12.1当气压表升为零后，关氩气。升起副炉室，并将晶棒升起超过炉盖上沿，升起副炉室，旋转副炉室左侧的挡板至副炉室中央，使晶棒下落至接近档板的高度，再平缓旋转副炉室至单晶炉左边，然后旋转开挡板至左侧，下降单晶棒，将晶棒放入取棒篮内，晶棒要降到底落实，戴上耐热手套，一手扶重锤，一手剪籽晶，防止籽晶损伤。取完棒后同时将籽晶取下后放在高纯车上，旋转开炉盖，进行冷却炉子，尽可能早地取出导流筒和保温盖，升坩埚至近上限位，并以6－8rpm 的转速旋转，以利冷却。
4.12.2取出石英埚和留埚料，并做记号包装。
4.12.3一般每拉6炉后应更换真空泵油。该换泵油时，及时通知维修工，一般应安排在停泵2h后换真空泵油。石墨器件需更换时，换石墨器件进行煅烧。
4.13擦炉
4.13.1每炉清扫过滤罐内的滤网和排气真空管道。开炉前应擦干净炉室，打扫干净石墨器件。每4炉应用酒精擦干净副炉室内表面，每炉擦干净炉盖、主炉室内表面，每10炉彻底清扫炉内石墨器件一次。
4.13.2清理观察玻璃内的杂物。
4.13.3因需要停炉则应抽真空保持。
4.13.4每年应清洗炉子水路一次。
4.14记录
按工艺流程，每进行下一步，应及时按要求填写原始记录，停炉后，按要求填写工艺卡。
5.安全规定
5.1开炉前，按工艺要求先做好检查，确认无误后方能开炉。
5.2装炉时要轻拿轻放，避免损坏石墨件或被多晶料划伤。取单晶时，必须戴耐热手套，以防烫伤。清扫炉子前，应戴好口罩，以免吸入粉尘和有害气体。
5.3若遇突然停冷却水，应先用湿毛巾冷却炉体，再打开事故水，不得立即能通水，以免发生爆炸，造成人体伤害。运转中，若炉内漏水，要采取措施，降低炉内压力。
5.4收尾结束后，停炉时必须切断加热电源。
5.5电器机械发生故障时，必须有专业人员处理。
6.统计过程控制
应用单晶棒直径ＳＰＣ表，有利于更好地控制单晶棒直径。
这个步骤包括以下工作说明。
获得数据
计算特征值
用数据画图
填写有关事项
寻障排障
6.1获得数据
这部分描述了如何获得应用于单晶棒直径ＳＰＣ表的数据。
每支棒取样一次，每次测取晶棒头部、中部、尾部直径和晶棒直径最大值和晶棒直径最小值。从头到尾连续测量晶棒直径将获得晶棒最大值和最小值。
Ｘ1＝晶棒头部直径
Ｘ2＝晶棒中部直径
Ｘ3＝晶棒尾部直径
Ｘmax＝晶棒直径最大值
Ｘmin=晶棒直径最小值
说明：
除Ｘ1的测取位置有特别要求外，按“进出物料规格及检测方法”之“单晶棒直径测量”即能得到Ｘ1、Ｘ2、Ｘ3。
操作者在最终设定直径时籽晶行程所对应的晶棒位置即为Ｘ1值的测取位置。
·用测径仪测量晶体直径时，直径信号应在400-500。
·在拉晶原始记录本上记录直径读数，当时的拉制长度和所使用的测径仪号。
从头到尾连续测量晶棒直径将获得晶棒直径最大值和晶棒直径最小值。
6.2计算特征值
·直径平均值Ｘ，Ｘ＝（Ｘ1＋Ｘ2＋Ｘ3）/3
·直径平均值Ｘ与直径目标值Ｔ之偏差，Ｘ－Ｔ。
·极差Ｒ，Ｒ＝Max（Ｘ1，Ｘ2，Ｘ3）－Min（Ｘ1，Ｘ2，Ｘ3）
6.3用数据画图
·画控制线
·上控制限ＵＣＬ
·中心线ＣＬ
·下控制线ＬＣＬ
·ＵＣＬ、ＣＬ、ＬＣＬ将定期重新计算
·打点
·将直径偏差值所对应的点画在Ｘ－Ｔ图中。
·将极差值所对应的点画在Ｒ图中。
·连线：在图中将所描入的点与前一个点用直线连结起来。
7.故障排除
8.标准表格
8.1拉晶原始记录
8.2直拉单晶随工单
9.辅助材料
石墨：高纯石墨
碳毡：经1600℃高温处理。
石英坩埚：高纯内涂层透明坩埚。规格ф18″。
籽晶：规格ф12.5×（80－100）
10设备
JRDL-800型直拉单晶炉
11.辅助条件
11.1冷却水：入口压力0.15～0.25MPa，水温22±2℃
11.2氩气：纯度>99.999，压力0.3～0.4MPa
12.废物处理
单晶生产过程产生的废物主要有废气、废油、废旧热场部件，用过的石英坩埚、留埚料及SiO积淀物。
12.1废气：
废气将通过泵房排气管进入废气处理系统进行处理，然后直接排入大气。
12.2废油：
废油主要是指用过的真空泵油，所有的废油将被收集在指定容器中。
12.3废旧热场部件：
废旧的热场部件将被收集在指定容器中。
12.4用过的石英坩埚：
用过的石英坩埚将被收集在指定容器中。
12.5留埚料
拉晶剩余的留埚料，将按型号、规格、炉号等收集在塑料袋中。
12.6SiO积淀物
单晶拉制过程中产生的SiO将被真空泵首先吸入排气过滤罐，经过过滤网过滤，剩余的SiO粉尘进入真空泵油，SiO粉尘及被污染的真空泵油将排放到指定容器中。
13.工艺审核
直拉单晶区域工艺审核表编号：LG/PAC01
审核人：年月日
14.专用名词
无
15.相关文件
15.1《直拉单晶后处理岗位清洗腐蚀工艺操作规程》15.2《直拉单晶炉预防性维修规程》
多膛炉工艺操作规程
多膛炉工艺操作规程 1范围 本规程包括氧化锌脱氟、氯等杂质的工艺流程、基本原理、原材料及其质量要求、工艺操作条件、岗位操作法、产出物料及其质量要求、主要技术经济指标和主要设备。 2生产工艺流程，见图1。 煤气次氧化锌 + 去浸出工序 图1生产工艺流程 3基本原理 多膛炉焙烧的实质是在高温和一定负压的情况下，氟化物、氯化物发生物理、化学变化，使低沸点氟、氯化合物解吸挥发重返气相，随炉气和氧化锌烟尘一道进入烟气系统而除去。
6 岗位操作法 6.1 司炉岗位 6.1.1 开炉操作 A 、 开炉前清除炉内一切杂物，打开表冷 U 型管顶盖。 B 、 开炉前按“多膛炉设备使用维护规程”启动各设备。 C 、 点火升温：点火顺序自下而上，一般情况下每次点两个燃烧室，交叉点火（点火 操作要按“煤气使用规程”进行） ，升温速度按 5~100/h 进行，炉膛温度达 5500时保温 8 小时，升温时间 3~5天。 D 、 点火后，立即启动中心轴运行，待中心轴出口温度达 1500，开动冷却鼓风机。 E 、 在升温过程中，各燃烧室根据升温情况，逐渐调整煤气用量和一、二次风量。 F 、 在进料前两个班，开动排风机，关闭表冷 U 型管顶盖，加热收尘系统设备，并要 控制 好温度，严防布袋受潮。 6.1.2 正常操作 A 、每隔半小时至1个小时，认真检查炉内各层情况，设备（中心轴、耙臂、耙齿、 4 原材料及其质量要求 4.1 原料 4.1.1 成份 含量 4.1.2 化学成份（ %） Zn 、 Pb 、 F 、 55~63 9~13 0.04~0.02 物理规格要求 Cd 、 0.05~0.0As 、 Sb 0.3~0.8 0.05~0.07 H 2OV5%,粒度V 5mm ,温度V 无铁 器、砖块、木块等杂物。 4.2 燃料、材料 4.2.1 燃料使用本系统煤气。 4.2.2 布袋： 729#涤纶布。 5 工艺操作条件 5.1 多膛炉 5.1.2 焙烧层温度 焙烧层 四层 温度控制0 680~720 5.1.2 炉顶负压 0~20Pa 。 5.1.3 主轴冷却风出口温度 5.2 收尘系统 5.2.1 5.2.2 5.2.3 5.2.4 烟气出口温度 冷却管入口温度 布 袋入口温度 布袋 出口温度 100C 。 六层 680~720 八层 680~720 十层 450~550 160~180C 。 450-5500。 350~450C 。 120-1300。 > 700。
单晶炉安全操作规范
单晶炉安全操作规范集团公司文件内部编码：（TTT-UUTT-MMYB-URTTY-ITTLTY-
单晶炉安全操作规范1、开机安全检查 单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠； 1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）； 2）欧陆表输出设定为0； 3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象； 4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常； 2、装炉时安全事项 在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 3、抽真空安全事项
1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态； 2）按真空泵操作规程正确操作； 3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象； 4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作；4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项 1）按工艺操作规程进行正确操作； 2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作； 3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌； 4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；
5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害； 6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人员处于缺氧环境状态下工作； 5、加热器加热过程安全事项 在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。 1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、水压正常，否则严禁开启加热器； 2）开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严禁超功率或过电流运行； 3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处置，
闪速熔炼炉炉前岗位安全操作规程标准范本
操作规程编号：LX-FS-A91302 闪速熔炼炉炉前岗位安全操作规程 标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
闪速熔炼炉炉前岗位安全操作规程 标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1排渣和排铜的准备 a.排铜、排渣时，穿好隔热服、工作鞋，戴好防护面罩，厚布手套。 b.加强标准化点检，按要求检测两炉的液面和铜、渣温度，并作记录。 c.加强铜、渣流槽和水套的冷却水的确认工作，以避免冰铜与水接触发生爆炸。 d. .排铜、排渣前要仔细检查铜、渣流槽和水套的损伤程度,不符合规定的禁止使用并更换。 e.严禁用大锤、钢钎等工具重击铜槽和水套表
面。 f. .排铜、排渣前要仔细检查连接软管有无破损和接口不严密的状况，不符合规定的禁止使用并更换。 2闪速熔炼炉排铜操作 a.检查水淬水压、流量正常，粒化系统正常运行，事故水和仪表阀5处于应急状态。 b.检查流槽盖板密封完好，流槽保持干燥，流槽环集系统运行正常。 c.将选择的排冰铜口周围清理干净，稍开氧气阀（≤0.2MPa）。 d.一人开氧，一人烧口。开启氧气时，要缓慢平稳，并严禁戴有油污的手套；烧口时，吹氧管要缓慢水平推进；冰铜流出后，迅速关闭氧气阀，拔出吹氧管。
LF精炼炉工艺技术操作规程
一、原辅材料技术（质量）要求 1、石墨电极材质要求 1）电极直径：φ350mm或φ400mm 2）电极长度：1800mm 3）体积密度：1.74g/cm3 4）单重：301kg或393kg 5）电阻率：4.4 2、埋弧渣 1）主要理化指标 2）使用方法： a、质量要求较高的钢种应采用无渣工艺，或扒去初炼炉渣重新造精炼渣。 b、出钢过程中应向钢包内加入脱氧剂，使钢中溶解氧含量≤10ppm，TFeO＜1.0%。 c、到LF工位，加精炼渣料后给电，加热熔化后再加入埋弧渣。按3—5kg/t钢（交流钢包炉）或5—8kg/t钢（直流钢包炉）加入，具体根据发泡高度确定。 d、加入埋弧渣后，要有氩气搅拌，氩气流量控制在3—5NL/min。 3、合金包芯线 1）钙铁包芯线主要理化指标（使用量0.5kg—1.0kg/t钢）
2）铝线和金属钙线等主要技术条件 3）硅钙线成份要求： 4、预熔型精炼合成渣的作用及主要理化指标 1）主要理化指标 2）使用方法： 加入量为5—7kg/t钢左右，出钢前全部加入钢包底部。也可分两次加入，先包底加入50%，剩余部份随钢流加入，LF炉视情况进行少量调整，具体加入量根据现场工艺条件决定。 二、LF炉主体设备 1、变压器及二次回路 2、电极、电极提升柱及电极臂 3、炉盖及抽气罩 4、吹氩搅拌系统 5、钢包及钢包运输车 6、渣料、合金加入及称量系统
三、LF炉工艺流程 80吨顶底转炉挡渣出钢（全程吹氩）吹氩站吹氩测温、定氧、取样喂铝线测温、定氧、取样钢包吊运到LF炉精炼站钢包车上进准备位测温预吹氩钢包入加热位加热、造渣调成份取样、测温定氧喂线、软吹氩（喂钙铁线或硅钙线）加保温剂连铸 四、白渣精炼工艺要点 1、主要化学反应 1）石墨电极与渣中氧化物反应： C+(FeO)=【Fe】+｛CO｝ C+(MnO)=【Mn】+｛CO｝ 上述反应不仅提高了熔渣的还原性，而且还提高合金吸收率，生成CO使LF炉内气氛更具还原性。 2）脱硫反应式为： 【FeS】+(CaO)=(CaS)+ (FeO) 脱硫能力用分配系数Ls表示： Ls=(S)%/【S】% 当溶解氧不变时，硫的分配系数随(CaO)的增大而增大，随(FeO)、（SiO2）的增加而减少。 2、白渣精炼工艺要点 1）挡渣出钢，控制吨钢水下渣量不大于5kg/t。
锌系统氧化锌多膛炉焙烧工艺操作规程
锌系统氧化锌多膛炉焙烧工艺操作规程 1 范围 本标准规定了锌Ⅰ系统镜框备料工艺流程、基本原理、原材料及质量要求、工艺操作条件、岗位操作法、产出物料及质量要求、主要技术经济指标和主要设备。 本标准适用于锌Ⅰ系统境况备料工艺操作过程。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡事不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 Q/ZYJ04.01.19 外购氧化锌 Q/ZYJ06.01.01.06 烟化炉氧化锌 Q/ZYJ06.05.01.04 氧化锌焙砂 Q/ZYJ06.05.01.07 挥发窑氧化锌 Q/ZYJ13.01.04 煤气使用岗位通用安全环保操作流程 Q/ZYJ15.02.01 工业煤气 3 工艺流程 3.1 多膛炉工艺流程（见图1） 3.2 富乐泵工艺流程 多膛炉氧化锌输送采用变频给料机与螺旋泵相结合的输送方式，物料从氧化锌仓到目标仓，由前后两段输送组成，各设PLC柜一台，控制系统由两台PLC 柜和一台64位计算机组成。 氧化锌输送管道走向为：氧化锌仓库料仓-富乐泵-沿7号路过1号路-绕机器-电解厂房-中间仓-富乐泵-沿6号路-直浸料仓。 4 基本原理 4.1 多膛炉工艺的基本原理 在700℃左右的高温、保持炉内有一定负压的情况下，氧化锌中的氟化物、卤化物在多膛炉内发生物理、化学变化，是氟、氯化合物解吸重返气相，低沸点氟、氯化合物挥发氧化锌的氟、氯化合物分解成气态，随炉气忽然氧化锌烟尘一道进入烟气系统中而被除去。 4.2 富乐泵的工作原理 从氧化锌仓库料仓下接星形给料机，星形给料机进入螺旋泵（富乐泵），由输送机输送至中间仓，再由另一台螺旋泵（富乐泵）送到直浸料仓。螺旋泵（富乐泵）原理：输送的物料进入进料箱后，螺旋轴将物料通过套筒推送到混合箱中。在混合箱中，物料形成物料密封层，物料密封层可防止压缩空气从混合箱回流。物料被排入混合箱后，空气通过喷嘴进入混合箱，使物料充分液态化，然后输送
上虞晶盛(单晶炉)界面操作手册
． 全自动软件界面操作手册 REV. HXSC_A1.HA03 （TDR-95A/100A/100B-ZJS适用） 2010年06月 杭州慧翔电液技术开发有限公司HangZhou HuiXiang Electro-Hydraulic Technology Development Co.Ltd
目录 介绍.............................. ........................... ...................... ........ ............................. .. (3) 炉体控制.............................. .......................................... ........ ............................. .. (4) 晶体、坩埚提升运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5) 晶体、坩埚旋转运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5) 坩埚自动定位界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6) 加热功率控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6) 磁场电流设置界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7) 等径闭环界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (7) 热场温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7) 温度闭环参数设置界面..... .......................................... ........ ............................. .. (8) 热场温升控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8) 液面温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8) 生长控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (9) 坩埚跟踪控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (9) 压力控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (10) 自动工艺选择..................... .......................................... ........ ............................. .. (10) 氩气、真空控制............. .......................................... ....... ..... ............................. .. (11) 曲线数据.............................. .......................................... ........ ............................. .. (12) 曲线数据选择............. .......................................... . (13) 工艺参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (14) 下载SOP说明............. .......................................... ........ ............................. (18) 辅助功能.............................. .......................................... ........ ............................. .. (19) 硅晶体重量长度计算........ . .......................................... ........ ............................. .. (19) 大气压力设定.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20) 液面温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20) 热场温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (21) 晶体、坩埚行程设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (21) 晶体、坩埚位置设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (22) 磁场零位校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23) 日期时间校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23) 系统参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (24) 注册.............................. . .......................................... ........ ............... ................... .. (24)
电加热炉安全操作规程通用版
操作规程编号：YTO-FS-PD615 电加热炉安全操作规程通用版 In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers. 标准/ 权威/ 规范/ 实用 Authoritative And Practical Standards
电加热炉安全操作规程通用版 使用提示：本操作规程文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理，通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态，从而达到安全生产和减少隐患的效果。文件下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用。 用电加热金属材料，由于加热温度控制准确，劳动条件好而受到人们的欢迎。常用的电加热方式有感应加热，接触电加热和电阻式加热。 感应电加热和接触电加热其实都是使用一种加热器，感应器式样由被加热坯料的形状和尺寸确定，接触电加热对被加热坯料的表面糙度和形状尺寸更有严格的要求，相比之下，由于电阻式加热炉具有较强的通用性而获得了更广泛的应用。 电阻式加热炉也有多种型式，锻压车间常用的是箱式电阻炉。坯料从炉口装入炉膛，关闭炉门后即可送电加热。电热体(电阻丝)以辐射方式把热量传给坯料，使其加热到所需要的温度。炉门的升降是用脚踏传动装置来操纵的。 操作电加热炉应注意以下事项： 1、使用前必须对炉子的安全接地线、炉壁、炉底和加
复杂成分次氧化锌生产电解锌新工艺研究
复杂成分次氧化锌生产电解锌新工艺研究 作者：马华菊， 史文革， 郑燕琼， MA Hua-ju， SHI Wen-ge， ZHENG Yan-qiong 作者单位：马华菊,MA Hua-ju(桂林理工大学南宁分校,广西,南宁,530001)， 史文革,郑燕琼,SHI Wen-ge,ZHENG Yan-qiong(河池市津泰资源再生有限公司,广西,南丹,547200) 刊名： 中国有色冶金 英文刊名：CHINA NONFERROUS METALLURGY 年，卷(期)：2010,39(3) 参考文献(5条) 1.关亚君铅烟化炉次氧化锌生产电锌的工艺研究[期刊论文]-中国有色冶金 2006(06) 2.房恒安利用副产品氧化锌生产电积锌的研究 1994(05) 3.唐道文;毛小浩;黄碧芳硫酸锌溶液中氟氯净化的研究[期刊论文]-贵州工业大学学报 2004(03) 4.张元福;陈家蓉;黄光裕针铁矿法从氧化锌烟尘浸出液中除氟氯的研究[期刊论文]-湿法冶金 1996(70) 5.梅光贵;王德润;周敬元;王辉湿法炼锌学 2001 本文读者也读过(4条) 1.关亚君.GUAN Ya-jun铅烟化炉次氧化锌生产电锌的工艺研究[期刊论文]-中国有色冶金2006(6) 2.马华菊.何航军.李浩铭.MA Hua-ju.HE Hang-jun.LI Hao-ming还原挥发的次氧化锌综合利用[期刊论文]-有色金属（冶炼部分）2010(4) 3.陈鸽翔次氧化锌搭配进入锌系统工艺实践[期刊论文]-中国科技博览2010(21) 4.曾平生.戴孟良.ZENG Ping-sheng.DAI Meng-liang次氧化锌脱砷新工艺研究[期刊论文]-有色金属（冶炼部分）2008(3) 本文链接：https://www.360docs.net/doc/e11312851.html,/Periodical_ysyl201003014.aspx
单晶炉具体操作步骤(精)
1、目的 为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范。 2、适用范围 适用于 TDR-70A/B和 JRDL-800型单晶炉的操作。 3、单晶炉操作工艺流程 作业准备→ 热态检漏→ 取单晶和籽晶→ 石墨件取出冷却→ 真空过滤器清洗→ 真空泵油检查更换→ 石墨件清洗→ 单晶炉室清洗→ 石墨件安装→ 石英坩埚安装→ 硅料安装→ 籽晶安装→ 抽空、检漏→ 充氩气、升功率、熔料→ 引晶、缩颈、放肩、转肩→ 等径生长→ 收尾→ 降功率、停炉冷却 4、主要内容 A. 作业准备 a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 b. 开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无误后方能开炉。 c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。 d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净。 f. 用毛巾将炉体从上到下一遍, 擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净。 B. 热态检漏
a. 检查上一炉功率关闭时间,在单晶冷却 4.0小时(TDR-70A/B型单晶炉、 5.0 小时(JRDL-800型单晶炉后,关闭氩气(只关闭氩气阀门,主、付室流量计调节阀打开并分别调节到 30L/Min,开始抽高真空,并作时间记录。 b. 待炉内压力到达极限(要求达到 3Pa 以下后,先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏,并作相应时间记录,若 0.5小时内抽不到 3Pa 以下时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 c. 检漏要求 3分钟以上,漏气率 <0.34Pa/min为正常,同时作好漏气率记录, 若漏气率>0.34Pa/min时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。 C. 取单晶和籽晶 a. 热态检漏后,旋松付室小门 4个螺丝,打开氩气阀门充氩气至常压,关闭氩气,旋开付室小门 4个螺丝,打开付室小门。 b. 提升单晶至付室,从付室小门内确认单晶升至所需高度,若无异常,盖住翻板阀,打开液压泵,升起付室。 c. 把安全接盘移到炉筒口处,缓慢转动付室至侧面。 d. 把取单晶的架子放在付室炉筒正下方,准备接单晶。 e. 稳定单晶,移开安全接盘,按下籽晶快降,将单晶降入架子内。 f. 确认单晶完全入架子内后, 按住籽晶, 用钳子将籽晶从细径处钳断, 钳断籽晶后,应稳定重锤,防止重锤快速转动,损坏钢丝绳。 g. 将籽晶从重锤上取下,放在指定场所,再将重锤升至付室内适当位置。 h. 将单晶移到中转区,及时、准确的将单晶编号写在单晶上,待自然冷却后对单晶进行各项参数检测并作好记录。 D. 石墨件取出冷却
多用炉操作规程
多用炉操作规程
多用炉生产线操作规程 前言 Aichelin多用炉生产线包括装出料车，升降备料台，固定备料台，低温回火炉，清洗机，箱式多用炉，高温回火炉。 （一）启炉停炉操作规程 启炉操作： 在每次启动设备前，必须对所有部件进行彻底的外观详细检查，必须检查每个部件的损坏情况及损坏原因。结构部件损坏会导致操作故障和重大损坏。 准备： -炉门必须处于打开状态 -安装好拆除的红色弯管 -检查氮气罐中的液体储量 -检查工艺介质的储量 -生产线外部电源已经接通 -从所有运输装置上卸下不属于设备的物体 启炉： 1、接通电源。 2、等待系统启动后打开前室风扇，后室风扇转到自动。 3、接通“控制电压开”，“变频器电源开”。 4、检查各机械动作是否正常，如有动作异常及时处理，保证设备动作正 常。 5、接通“加热控制开”，启动后室温控，关闭中门，按照多用炉升温曲线
进行升温。 6、升温同时检查配气系统气体压力是否正常，如果出现异常及时处理，保 证设备供气正常。 7、当炉温升到400℃以上后，打开安全氮气截止阀，调整安全氮气流量 4~6M3/h。 8、打开丙烷气的截止阀，并检查废气烧嘴和火帘的截止阀是否打开。 9、点燃废气燃烧装置的点火烧嘴（按火焰控制器上的红色指示灯）。 10、关闭前门，再次打开前门，观察火帘动作是否正常，如有异常及时解 决。 11、如果火帘动作正常，关闭火帘截止阀。 12、启动油搅拌器，油池加热，等油温达到设定值后检查淬火油油位是否 达到油位高度，如果油位过低及时添加淬火油，使油位达到要求高度。 13、启动油冷却泵和油冷却风扇。 14、多用炉后室温度高于750℃后，按下“废气点火”点燃废气烧嘴，接 通“供气开”，开始供气，供气量按甲醇3L/h，氮气3.3 M3/h计。 15、等到中门排气孔喷出火焰稳定在250毫米左右后，点燃前门火帘，关 闭前门。 16、等后室炉压稳定后，检查压力，如有异常及时检查并处理，当炉压正 常后，按空渗过程进行空渗。 注意：只有在中门排气孔喷出火焰稳定后，才能关闭前门，否则将会发生事故，会造成设备严重损坏及严重人身伤害。 多用炉升温过程： 1、200℃ 6小时
上虞晶盛单晶炉操作说明书
第一章单晶生长条件 设备要求 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书） （1）冷却水要求 水压：炉子进出水压差要求介于2~3 公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上； 炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6 公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250 升每分钟，单独电源要求供水量不低于20 升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC； 水质：弱碱性水，PH 值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。 连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。 （2）压缩空气要求 气压：≥7 公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。 流率：≥升每秒； 汽缸容积：主真空球阀：2 升；辅助真空球阀：升。 （3）电力要求 相制：3 相AC380V(±10%)/50Hz； 功率：≥192KVA。 配电柜应装有500V、400V 的空气开关，和380V/400A的隔离开关。 （4）炉子真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏 率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTo r r/hr。 （热场已经煅烧完全） 日常维护 （1）坩埚轴驱动部件的维护保养a、经常检查坩埚轴的冷却水是否通畅，避免冷却不充分而损坏坩埚轴； b、每个月对下轴丝杠至少清理一次，每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多） 润滑油，然后上下快升降两次。 （2）提拉头的维护保养a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重毛刺等），如有损坏，立即更换；b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角，否则在运行过程中会引起抖动。 （3）水冷系统的维护保养a、每次加热前检查水流量是否充足，确保所有水路没有堵塞，水温传感器运行正常；b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。 （4）翻板阀的维护保养每次装炉前检查阀口密封圈是否完好，翻板阀操作是否轻松、无卡滞，底部挥发物是否打扫干净，如发现问题应及时排除。 （5）真空系统的维护保养a、经常检查泵油，上下腔油均应浸过小观察窗一半。如上泵腔油不够，应及时补新油；下泵腔油不够，需关闭球阀，打开左侧阀门，使上泵腔油下到下泵腔，然后关闭阀门。注意右侧阀门保持常开；b、每次大清，先彻底放尽泵腔内的废油（用手慢慢拉动传动皮带，盘出下泵腔内的废油），然后打开上泵腔，清除干净沉淀油污。最后换上新油；c、每次拆炉时，拆开真空管道所有盲板和波纹管，彻底清扫管内的粉尘。
LF精炼炉安全操作规程正式样本
文件编号：TP-AR-L1882 There Are Certain Management Mechanisms And Methods In The Management Of Organizations, And The Provisions Are Binding On The Personnel Within The Jurisdiction, Which Should Be Observed By Each Party. （示范文本） 编制：_______________ 审核：_______________ 单位：_______________ LF精炼炉安全操作规程 正式样本
LF精炼炉安全操作规程正式样本使用注意：该操作规程资料可用在组织/机构/单位管理上，形成一定的管理机制和管理原则、管理方法以及管理机构设置的规范，条款对管辖范围内人员具有约束力需各自遵守。材料内容可根据实际情况作相应修改，请在使用时认真阅读。 1、操作者须取得该设备操作证，方可操作。 2、工作前检查循环水是否正常，检查运动部位 有无障碍，各润滑部位有无润滑，压缩空气压力应在 0.5MPa以上，氧气压力应在0.8Mpa以上，液压站油 箱液位不低于1/3处，确认无误后，方可工作。 3、确认炉体上无人，送高压电。 4、装电极时，卡头未卡紧前，天车钩头不允许 下落；卸电极时，天车钩头应将电极拉紧，然后方可 松开电极卡头。 5、工作中应经常观察炉体各部位，发现异常， 应立即停电报修。
6、工作中应注意循环水温度，不得超过50℃，炉子工作时，不允许关闭冷却机。 7、各砌体部位不允许浇水或受潮。 8、钢包车开出前，必须将炉盖和三个电极都开到最高位。 9、工作后切断高压电源，将电极提升到最高位置后，再断开控制电源。 在停炉时，应关闭液压系统的液压泵。 此处输入对应的公司或组织名字 Enter The Corresponding Company Or Organization Name Here
多用炉生产线操作规程
多用炉生产线操作规程 前言 Aichelin多用炉生产线包括装出料车，升降备料台，固定备料台，低温回火炉，高温回火炉，清洗机，箱式多用炉。 （一）多用炉启炉停炉操作 启炉操作： 在每次启动设备前，必须对所有部件进行彻底的检查，结构部件损坏会导致操作故障和重大损坏。 准备： -炉门必须处于打开状态 -安装好拆除的红色弯管 -检查氮气储量 -检查工艺介质的储量 -检查管道有无泄漏 -检查供电电源是否正常 启炉： 1、接通总电源。 2、接通“控制电压接通”。 3、等待系统启动完成后打开后室风扇，油搅拌器转到自动，前室风扇转到自动，启动油冷 却泵。 4、全面检查各机械动作（升降台、中门、推拉链的运转；循环风扇、油搅拌的运转平稳性 以及噪音）是否正常，及时处理异常情况，保证设备动作正常。 5、接通“加热控制开”，启动后室温控，按照多用炉升温曲线进行升温。 6、启动油槽加热，等油温达到设定值后检查淬火油油位是否达到标准油位高度，如果油位 过低应及时添加淬火油，使油位达到要求高度。 注意：淬火油油位以油搅拌器慢速搅拌时为准。 7、升温同时检查配气系统各供气压力是否正常，保证设备供气正常。400℃后应通入少量氮 气，对后室炉内构件进行保护。 8、后室温度到了600℃时，打开废气烧嘴截止阀，按下“废气点火”按钮点燃废气烧嘴， 检查烧嘴工作是否稳定，打开前门火帘的截止阀，按火焰控制器上的红色指示灯，火帘 燃烧后关闭前门，再次打开前门，观察火帘及前门联锁是否正常，前室高压充氮是否正 常动作，前室换气时间是否正确执行。在关闭前门的同时应检查炉压是否正常，一般情 况下，3~4M3/h的氮气流量应该能够达到240Pa左右的炉压。(以上操作在确保炉内没有 可燃气氛条件下进行) 9、多用炉后室温度达到800℃以上后，按下“废气点火”点燃废气烧嘴（点燃后一直常开）， 接通“供气开”，开始供气，供气量按甲醇4.4L/h，氮气4 M3/h计。 10、等到中门排气孔喷出的火焰稳定后，点燃前门火帘，关闭前门。如果火焰偏小或者不 稳定，在关闭前门前可以适当加大供气量。 11、等后室炉压稳定后，再次检查炉内压力是否正常，随后按空渗过程进行空渗。 注意：只有在中门排气孔喷出火焰稳定后，才能关闭前门，否则将有爆炸的危险，会造成设备严重损坏及严重人身伤害。特别注意！！！ 短时间停炉后多用炉升温过程： 1、200℃6小时
LF精炼炉工艺技术操作规程
L F精炼炉工艺技术操 作规程 公司标准化编码 [QQX96QT-XQQB89Q8-NQQJ6Q8-MQM9N]
LF 精炼炉工艺技术操作规程
一、原辅材料技术（质量）要求 1.石墨电极材质要求 1）电极直径：?350mm或?400mm 2）电极长度：1800mm 3）体积密度：cm3 4）单重：301Kg或393Kg 5）电阻率： 2.埋弧渣 1）主要理化指标 2）使用方法： a.质量要求较高的钢种应采用无渣工艺，或扒去初 炼炉渣重新造精炼渣。 b.出钢过程中应向钢包内加入脱氧剂，使钢中溶解 氧含量≤10ppm，TfeO＜%。 c.到LF工位，加精炼渣料后给电，加热熔化再加入 埋弧渣。按3—5Kg/t钢（直流钢包炉）加入，具 体根据发泡高度确定。 d.加入埋弧渣后，要有氩气搅拌，氩气流量控制在 3—5NL/min. 3）、合金包芯线 1）钙铁包芯线主要理化指标（使用量—t港）
2）铝线和金属钙线等主要技术条件 3）硅钙线成份要求： 4、预熔型精炼合成渣的作用及主要理化指标 1）主要理化指标 3）使用方法：加入量为5—7Kg/t钢左右，出钢前全部加入钢包底部。也可分两次加入，先包底加入50%， 剩余部分随钢流加入，LF炉视情况进行少量调整， 具体加入量根据现场工艺条件决定。 二、LF炉主体设备 1.变压器及二次回路 2.电极、电极提升 3.炉盖及抽气罩 4.吹氩搅拌系统
5.钢包及钢包运输车 6.渣料、合金加入及称量系统 三、LF炉工艺流程 80吨顶底转炉→扫渣出钢（全程吹氩）→吹氩站→吹氩测温、定氧、取样→喂铝线→测温、定氧、取样→钢包吊运到LF炉精炼站钢包车上→进准备位→测温→预吹氩钢包加热位→加热、造渣→调成份→取样、测温定氧喂线、软吹氩（喂钙铁线或硅钙线）→加保温计→连铸 四、白渣精炼工艺要点 1.主要化学反应 石墨电极与渣中氧化物反应 C+（feO）=[Fe]+{CO} C+（MnO）=[Mn]+{CO} 上述反应，不仅提高了熔渣的还原性，而且还提高合金吸 收率，生成CO使LF炉内气氛更具有还原性。 脱流反应式为： 【FeS】+【CaO】+【FeO】 脱流能力用分配系数Ls表示： Ls=（S）%【S】% 当溶解氧不变时，留得分配系数随（CaO）的增大而增大， 随【FeO】、（SiO2）的增加而减少。 2、白渣精炼工艺要点
直拉单晶炉操作规程
夏津县奥德新能源有限公司 直拉单晶炉操作规程 版本/修订0 文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010 1 目的 为了使单晶制造厂直拉单晶炉操作工熟练掌握单晶炉，使生产正常运行。 2 适用范围 单晶制造厂所有单晶操作工。 3 内容 3.1 拆炉 3.1.1 准备 确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。左旋至副室筒下。 3.1.2 炉子清扫 3.1.2.1 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢 车。 3.1.2.2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石 英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。 注意：1：石墨件不能用手接触。 2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。 3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。 3.1.2.3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。 注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的 现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。保证密封圈的完好。 3.1.2.4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒 精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。 注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。 3.1.2.5 主炉清扫 戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘， 炉底。 注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有酒精的纸巾把主 炉室及密封圈擦拭干净。 3.1.2.6 石墨件的清扫 吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。
精炼炉安全操作规程标准范本
操作规程编号：LX-FS-A23488 精炼炉安全操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
精炼炉安全操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1、接电极： 1.1、接放电极前仔细检查螺丝头、上电极工具是否可靠。 1.2、用压缩空气把电极连接处和夹头的灰尘吹净，对正、拧紧电极和接头。 1.3、指挥天车需手势明显，电极吊起不得碰撞它物。 2、放电极： 2.1、将电极夹持器处于下限位时高速伸展电极。 2.2、要求夹持器处于下限位时调整电极。
2.3、将电极、炉盖均升至上限位，要求此时电极下端高于炉盖下沿。 3、座包吊包： 3.1、指挥天车需手势明显，钢包起吊后不得碰撞它物。 3.2、钢包缓慢下降，座包平稳。 3.3、吊包时指挥准确，不得碰撞钢包车。 3.4、指挥吊座钢包时，应与钢包保持一定距离，防止钢水突然喷溅伤人。4、吹氩：接氩气管前检查氩气瓶内供氩情况，要求氩气压力不小于0.8MPa，调压阀、管路、压力表正常。快速接头完好，内有垫圈。接好后开阀，试透气砖是否畅通。 5、测温、取样： 5.1、准备好校正好的测温枪、干燥的偶头、纸
燃气蒸汽锅炉操作规程完整
10t/h 燃气锅炉操作规程 编制：王世锋 校对： 审核：
东营奥星石油化工有限公司 二零一七年十二月
目录 第一部分锅炉简介........................................................................................................ 一、WNS 型系列蒸汽锅炉的型号意义 (1) 二、锅炉结构和技术特点 (1) 三、锅炉及除氧器结构介绍 (2) 四、煮炉 (4) 第二部分锅炉使用说明................................................................................................. 一、燃气锅炉的运行 (5) 二、锅炉的升火及升温 (6) 三、锅炉的停炉 (7) 四、锅炉的排污 (8) 五、水位计的冲洗 (8) 六、锅炉水质分析方法 (9) 七、正常运行与管理 (10) 八、锅炉运行中常见事故处理 (11) 九、锅炉辅助设备表 (14) 十、附表：锅炉控制器使用说明 (15)
第一部分锅炉简介 一、WNS 型系列蒸汽锅炉的型号意义 以WNS10-1.25-Y （Q）为例：表示卧式内燃锅炉，额定蒸发量为10t/h ，额定蒸汽压力1.25MPa ，蒸汽温度为饱和温度，燃用油（气）的蒸汽锅炉。 二、锅炉结构和技术特点 1、WNS 系列全自动燃油（气）蒸汽锅炉，采用快装卧式内燃双回程湿背烟火管 锅炉型式。锅炉本体采用下置式波形炉胆，回燃室和波形炉胆、螺纹烟管相连接。高温 烟气火焰在炉胆内进行辐射放热后，经回燃室折向螺纹烟管进行对流传热后，进入前烟箱；高温烟气向后进入节能冷凝器，经充分换热后，最后通过烟囱排入大气。 2、WNS 系列全自动蒸汽锅炉，采用快装卧式内燃三回程湿背烟火管锅炉型式， 其中1t/h 的锅炉为中心回焰燃烧结构，其余的为顺流燃烧结构。锅炉本体采用下置式波形炉胆，烟气分三个回程，燃料在炉胆内正压燃烧，经过回烟室进入对流螺纹烟管，再 从前烟箱折回对流烟管，再进入节能器进行对流传热，最后通过烟囱排入大气。烟气三 回程在炉内的停留时间长，利于降低排烟温底，提高锅炉效率。 3、锅炉前烟箱装有活动烟箱盖，拆、装检修方便。锅炉配有整体式燃烧器，具有 启动快，效率高，高度自动化等特点，适用于各种需要提供生活、民用及工业用蒸汽的 地方。 4、锅炉具有超气压保护、水位自动调节、缺水保护、意外熄火停炉保护、程序启 动等完善功能。