螺杆压缩机工作原理与结构

压缩机特点

1、螺杆式制冷压缩机结构简单，机件数量少，没有像气阀、活塞环等易损件，它的主要摩擦件如转子、轴承等，强度和耐磨程度都比较高，而且润滑条件良好，因而机加工量少，材料消耗低，运行周期长，使用比较可靠，维修简单，有利于实现操纵自动化。

2、与速度式压缩机相比，螺杆式压缩机具有强制输气的特点，即排气量几乎不受排气压力的影响，在小排气量时不发生喘振现象，在宽广的工况范围内，仍可保持较高的效率。

3、采用了滑阀调节，可实现能量无级调节。没有余隙容积，因而容积效率高。

4、螺杆压缩机对进液不敏感，可以采用喷油冷却，故在相同的压力比下，排温比活塞式低得多，因此单级压力比高。

工作原理

吸气过程

当转子转动时，齿槽容积随转子旋转而逐渐扩

大，并和吸入口相连通，由蒸发系统来的气体通过孔口进入齿槽容积进行气体的吸入过程。在转子旋转到一定角度以后，齿间容积越过吸入孔口位置与吸入孔口断开，吸入过程结束。

压缩过程

当转子继续转动时，被机体、吸气端座和排气端座所封闭的齿槽内的气体，由于阴、阳转子的相互啮合和齿的相互填塞而被压向排气端，同时压力逐步升高进行压缩过程。

排气过程

当转子转动到使齿槽空间与排气端座上的排气孔口相通时，气体被压出并自排气法兰口排出，完成排气过程。由于每一齿槽空问里的工作循环都要出现以上三个过程，在压缩机高速运转时，几对齿槽的工作容积重复进行吸气、压缩和排气循环，从而使压缩机的输气连续、平稳。油路设备

油分离器

由以下条件确保油从制冷剂中分离出来:1、油和气体不同的流速；2、撞击壁面后流向油槽；3、通过“雾化器组件”后被阻挡。

油过滤器

由压力降来显示清洁状态，正常压力降< 1 bar，如果DP(压差)> 3.5 则过滤器脏必须进行更换。

油加热器

油加热器：加热器在停机期间以防止过量的制冷剂稀释到油中，在压缩机停机时应首先通电加热运行在开机。

油位

油位：可通过视镜观察，通常情况油位应在保持在视镜的1/2 - 3/4 之间，在任何情况下，通过视镜都能观察到油位，长时间或过多的泡沫都表示油被制冷剂稀释。

吸气过滤器

吸气过滤器：用来消除介质中的杂质，以保护阀门及设备的正常使用。当流体进入置有一定规格滤网的滤筒后，其杂质被阻挡，而清洁的滤液则由过滤器出口排出。

止逆阀

止逆阀：停机以防止高压气体从冷凝器返回压缩机防止反向压力对压缩机的冲击及由此造成转子的反转。

系统保护装置

1、排气温度监控：缺油会引起排气温度的突然升高，电子保护模块能对排气温度进行监控。

2、压力差开关HP/LP：利用其通断能力来控制通断,以求保证设备在压力不正常的情况下能及时关闭保护设备。

3、油位控制：建议在这些应用场合（长的管道布置、冷凝器远距离布置）使用油位监控器来严格控制油位

制冷量控制

按照制冷量100-75-50-25%调节，滑块有4 个对应的位置，滑块直接与油压缸内移动的滑阀相连接，滑阀的位置由电磁阀控制滑阀的实际形

状改变吸气口。

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光刻原理

光刻工艺一、目的：按照平面晶体管和集成电路的设计要求，在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形，以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。二、原理：光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上，在适当波长光的照射下，光致抗证剂发生变化，从而提高了强度，不溶于某些有机溶剂中，未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化，很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用，对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀，从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。（一）光刻原理图（一）光刻胶的特性： 1．性能，光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量，使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构，从而提高了抗蚀能力，不再溶于有机溶剂，也不再受一般腐蚀剂的腐蚀． 2．组成：以KPR 光刻胶为例：感光剂－－聚乙烯醇肉桂酸酯。溶剂－－环己酮。增感剂－－5·硝基苊， 3．配制过程：将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀，然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀，静置于暗室中待用。感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内，加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。（二）光刻设备及工具：在SiO 2层上涂复光刻胶膜将掩模板覆盖在光刻胶膜上在紫外灯下曝光显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1．曝光机－－光刻专用设备。 2．操作箱甩胶盘－－涂复光刻胶。 3．烘箱――烤硅片。 4．超级恒温水浴锅－－腐蚀SiO2片恒温用。 5．检查显为镜――检查SiO2片质量。 6．镊子――夹持SiO2片。 7．定时钟――定时。 8．培养皿及铝盒――装Si片用。 9．温度计――测量温度。图（二）受光照时感光树脂分子结构的变化三、光刻步骤及操作原理 1．涂胶：利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上，涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上，然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上，利用转动时产生的离心力，将片子上多余的胶液甩掉，在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。涂胶时间约为1分钟。要求：厚度适当（观看胶膜条纹估计厚薄），胶膜层均匀，粘附良好，表面无颗粒无划痕。图（三）光刻工艺流程示意图

喷砂系统工作原理

喷砂系统工作原理全自动机械回收式喷砂房是根据产品加工工艺流程及产品本身特性而设计的，适用于大型铸件锻件、焊接钢结构、工程机械、工业锅炉、化工机械、船舶修造等表面去氧化皮、除锈、强化，提高涂料的附着力等。其结构及配套设备主要由喷砂室、喷砂系统、磨料回收系统、通风和除尘系统、照明和电气控制系统六大部分组成一、喷砂室喷砂室是喷砂工人面对工件进行喷砂清理的地方。喷砂室采用砖墙结构，防水性能好，且具有很好的防震效果。室内采用耐磨橡胶皮保护，能有效保护室内设施。喷砂室地面铺设钢格栅，防止磨料在操作平台上积聚，对喷喷砂工人的安全造成威胁。磨料回收斗铺设钢板网,防止杂物进入喷丸系统。为了喷砂工人的安全，喷砂室的两侧均设计有安全门，这是喷砂工人在遭遇危险时能及时逃生的需要。喷砂室两侧布置有观察窗，方便随时了解喷砂工人的作业情况。该喷砂室建在室外，因此一定要注意做好防风挡雨的工作，防止雨水进入喷砂室，防止被雨淋湿的工件进入喷砂室。二、喷砂系统喷砂系统由喷砂机和喷砂工人的专用防护用具组成。喷砂作业的工作效率和作业安全都与喷砂作业机具有着密不可分的关系。该喷砂系统采用双腔连续工作型喷砂机为喷砂清理机具。 1、设备结构： (1)桶体由二级料仓组成，上仓与下仓，以保证连续加砂。 (2)自动加砂：由上仓料位感应器、下仓料位感应器及加料阀等组成。 (3喷砂部分由进气阀、磨料阀、喷砂管、喷嘴等组成。 (4)控制部分由电控箱及电缆线、气动遥控开关等组成。 2、设备工作原理；该机为自动添料可供两人连续工作的喷砂机。连续工作型喷砂机在上下两仓分别配有满仓料位仪和空仓料位仪。当下仓内的磨料料位下降到空仓料位仪的感应杆以下时，料位仪发出空仓信号，使上仓升压，控制上仓内的磨料流入下腔。在设定时间内，上仓进气阀自动关闭，上仓排气阀自动打开，上仓排气卸压，上仓加料阀打开（气缸控制），上仓添料备用。连续工作型喷砂机与磨料储砂箱配套使用，当上仓料位升高到满仓料位仪感应杆的高度时，料位仪发出满仓信号，将加料阀关闭，停止加料。 3、设备性能特点 (1)该设备采用双仓结构，因此，可达到连续作业的要求，喷砂工作可连续作业，不需一般喷砂机的停机加砂，大大提高了喷砂效率。 (2)该设备配置了下仓空仓料位仪和上仓满仓料位仪，并与储砂箱加料阀、进气电气控制联动，以保证当下仓无料时，始终能得到补充；上仓料满时，加料阀会自动关闭。控制系统中设置了延时继电器，按照实际工作情况，延时继电器可调，以满足各种工况条件下使用。(3)该系统的气动遥控阀件都采用了汤姆森磨料阀，动作灵活、反应灵敏、耐磨性强，特别是气动遥控磨料阀采用超耐磨复合材料，寿命长、流量调节方便，磨料阀采用斜体45°结

板框压滤机的工作原理

板框压滤机的工作原理板框压滤机是由交替排列的滤板和滤框共同构成一组滤室。在滤板的表面有沟槽构造，它凸出部位是用来支撑滤布的。滤框和滤板的边角上各有通孔，组装以后可以构成一个完整的通道，能够通入洗涤水、悬浮液和引出滤液来。板和框的两侧各有把手支托在横梁的上面，由压紧装置压紧板、框。板、框之间的滤布起到密封垫片的作用。由供料泵将悬浮液压入滤室，在滤布的上面形成滤渣，直至充满了滤室。滤液穿过滤布并沿滤板沟槽流至板框边角通道，集中排出。过滤完毕之后，可以通入清洗涤水洗涤滤渣。洗涤后，有时还通入压缩空气，除去剩余的洗涤液。随后打开压滤机卸除滤渣，清洗滤布，重新压紧板、框，开始下一工作循环。板框压滤机主要由压紧板(活动滤板)、止推板(固定滤板)、过滤介质(滤布或滤纸等)、滤板和滤框、横梁(扁铁架)、压紧装置、集液槽等组成(参见附图)，其中的过滤介质和集液槽上由用户自备，当然也可以由上海大张过滤设备代配。板框压滤机对于滤渣压缩性大或近于不可压缩的悬浮液都能适用。适合的悬浮液的固体颗粒浓度一般为10%以下，操作压力一般为0.3～0.6兆帕，特殊的可达3兆帕或更高。过滤面积可以随所用的板框数目增减。板框通常为正方形，滤框的内边长为 320～2000毫米，框厚为16～80毫米，过滤面积为1～1200米2。板与框用手动螺旋、电动螺旋和液压等方式压紧。板和框用木材、铸铁、铸钢、不锈钢、聚丙烯和橡胶等材料制造。板框压滤机共有手动压紧、机械压紧和液压压紧三种形式。手动压紧是螺旋千斤顶推动压紧板压紧；机械压紧是电动机配H型减速箱，经机架传动部件推动压紧板压紧；液压压紧是有液压站经机架上的液压缸部件推动压紧板压紧。

板框压滤机知识

板框压滤机知识基本概述板框压滤机分为厢式压滤机与板框式压滤机二种。组成部分板框压滤机的结构由三部分组成： 1、机架机架是压滤机的基础部件，两端是止推板和压紧头，两侧的大梁将二者连执着起来，大梁用以支撑滤板、滤框和压紧板。为了满足高级卫生需要或防腐需要，机架需要包上不锈钢。 A、止推板：它与支座连接将压滤机的一端坐落在地基上，厢式压滤机的止推板中间是进料孔，四个角还有四个孔，上两角的孔是洗涤液或压榨气体进口，下两角为出口（暗流结构还是滤液出口） b、压紧板：用以压紧滤板滤框，两侧的滚轮用以支撑压紧板在大梁的轨道上滚动。 C、大梁：是承重构件，根据使用环境防腐的要求，可选择硬质聚氯乙烯、聚丙烯、不锈钢包覆或新型防腐涂料等涂覆。 2、压紧机构手动压紧、机械压紧、液压压紧。 A、手动压紧：是以螺旋式机械千斤顶推动压紧板将滤板压紧。 B、机械压紧：压紧机构由电动机（配置先进的过载保护器）减速器、齿轮、丝杆和固定螺母组成。压紧时，电动机正转，带动减速器、齿轮，使丝杆在固定丝母中转动，推动压紧板将滤板、滤框压紧。当压紧力越来越大时，电机负载电流增大，当大到保护器设定的电流值时，达到最大压紧力，电机切断电源，停止转动，由于丝杆和固定丝母有可靠的自锁螺旋角，能可靠地保证工作过程中的压紧状态，退回时，电机反转，当压紧板上的压块，触压到行程开关时退回停止。 C、液压压紧：液压压紧机构的组成由液压站、油缸、活塞、活塞杆以及活塞杆与压紧板连接的哈夫兰卡片液压站的结构组成有：电机、油泵、溢流阀（调节压力）换向

阀、压力表、油路、油箱。液压压紧机械压紧时，由液压站供高压油，油缸与活塞构成的元件腔充满油液，当压力大于压紧板运行的摩擦阻力时，压紧板缓慢地压紧滤板，当压紧力达到溢流阀设定的压力值（由压力表指针显示）时，滤板、滤框（板框式）或滤板（厢式）被压紧，溢流阀开始卸荷，这时，切断电机电源，压紧动作完成，退回时，换向阀换向，压力油进入油缸的有杆腔，当油压能克服压紧板的摩擦阻力时，压紧板开始退回。液压压紧为自动保压时，压紧力是由电接点压力表控制的，将压力表的上限指针和下限指针设定在工艺要求的数值，当压紧力达到压力表的上限时，电源切断，油泵停止供电，由于油路系统可能产生的内漏和外漏造成压紧力下降，当降到压力表下限指针时，电源接通，油泵开始供油，压力达到上限时，电源切断，油泵停止供油，这样循环以达到过滤物料的过程中保证压紧力的效果。 3、过滤机构过滤机构由滤板、滤框、滤布、压榨隔膜组成，滤板两侧由滤布包覆，需配置压榨隔膜时，一组滤板由隔膜板和侧板组成。隔膜板的基板两侧包覆着橡胶隔膜或聚丙烯隔膜，隔膜外边包覆着滤布，侧板即普通的滤板。物料从止推板上的进料孔进入各滤室，固体颗粒因其粒径大于过滤介质（滤布）的孔径被截留在滤室里，滤液则从滤板下方的出液孔流出。滤饼需要榨干时，除用隔膜压榨外，还可用压缩空气或蒸气，从洗涤口通入，气流冲去滤饼中的水份，以降低滤饼的含水率。（1）过滤方式滤液流出的方式分明流过滤和暗流过滤。 A、明流过滤：每个滤板的下方出液孔上装有水咀，滤液直观地从水咀里流出。 B、暗流过滤：每个滤板的下方设有出液通道孔，若干块滤板的出液孔连成一个出液通道，由止推板下方的出液孔相连接的管道排出。（2）洗涤方式滤饼需要洗涤时，有明流单向洗涤和双向洗涤，暗流单向洗涤和双向洗涤。 A、明流单向洗涤是，洗液从止推板的洗液进孔依次进入，穿过滤布再穿过滤饼，从无孔滤板流出，这时有孔板的出液水咀处于关闭状态，无孔板的出液水咀是开启状态。 B、明流双向洗涤是，洗液从止推板上方的两侧洗液进孔先后两次洗涤，即洗液先从一侧洗涤再从另一侧洗涤，洗液的出口同进口是对角线方向，所以又叫双向交叉洗涤。 C、暗流单向流涤是，洗液从止推板的洗液进孔依次进入有孔板，穿过滤布再穿过滤饼，从无孔滤板流出。

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm（正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，

螺杆压缩机工作原理及结构比较

螺杆压缩机工作原理及结构比较螺杆式制冷压缩机作为回转式制冷压缩机的一种，同时具有活塞式和动力式（速度式）两者的特点。 1、与往复活塞式制冷压缩机相比，螺杆式制冷压缩机具有转速高，重量轻，体积小，占地面积小以及排气脉动低等一系列优点。 2、螺杆式制冷压缩机没有往复质量惯性力，动力平衡性能好，运转平稳，机座振动小，基础可作得较小。 3、螺杆式制冷压缩机结构简单，机件数量少，没有像气阀、活塞环等易损件，它的主要摩擦件如转子、轴承等，强度和耐磨程度都比较高，而且润滑条件良好，因而机加工量少，材料消耗低，运行周期长，使用比较可靠，维修简单，有利于实现操纵自动化。 4、与速度式压缩机相比，螺杆式压缩机具有强制输气的特点，即排气量几乎不受排气压力的影响，在小排气量时不发生喘振现象，在宽广的工况范围内，仍可保持较高的效率。 5、采用了滑阀调节，可实现能量无级调节。 6、螺杆压缩机对进液不敏感，可以采用喷油冷却，故在相同的压力比下，排温比活塞式低得多，因此单级压力比高。 7、没有余隙容积，因而容积效率高。螺杆压缩机的工作原理和结构： 1、吸气过程：螺杆式的进气侧吸气口，必须设计得使压缩室可以充分吸气，而螺杆式空压机并无进气与排气阀组，进气只靠一调节阀的开启、关闭调节，当转子转动时，主副转子的齿沟空间在转至进气端壁开口时，其空间最大，此时转子的齿沟空间与进气口之自由空气相通，因在排气时齿沟之空气被全数排出，排气结

束时，齿沟乃处于真空状态，当转到进气口时，外界空气即被吸入，沿轴向流入主副转子的齿沟内。螺杆式空压机维修提醒当空气充满整个齿沟时，转子之进气侧端面转离了机壳之进气口，在齿沟间的空气即被封闭。 2、封闭及输送过程：主副两转子在吸气结束时，其主副转子齿峰会与机壳闭封，此时空气在齿沟内闭封不再外流，即[封闭过程]。两转子继续转动，其齿峰与齿沟在吸气端吻合，吻合面逐渐向排气端移动。 3、压缩及喷油过程：在输送过程中，啮合面逐渐向排气端移动，亦即啮合面与排气口间的齿沟间渐渐减小，齿沟内之气体逐渐被压缩，压力提高，此即[压缩过程]。而压缩同时润滑油亦因压力差的作用而喷入压缩室内与室气混合。 4、排气过程：当螺杆空压机维修中转子的啮合端面转到与机壳排气相通时，（此时压缩气体之压力最高）被压缩之气体开始排出，直至齿峰与齿沟的啮合面移至排气端面，此时两转子啮合面与机壳排气口这齿沟空间为零，即完成（排气过程），在此同时转子啮合面与机壳进气口之间的齿沟长度又达到最长，其吸气过程又在进行。螺杆压缩机分为：开启式、半封闭式、全封闭式一、全封闭式螺杆压缩机：机体采用高质量、低孔隙率的铸铁结构，热变形小；机体采用双层壁结构，内含排气通道，强度高，降噪效果好；机体内外受力基本平衡，无开启式、半封闭承受高压的风险；外壳为钢质结构，强度高，外形美观，重量较轻。采用立式结构，压缩机占地面积小，有利于冷水机组多机头布置；下轴承浸入油槽中，轴承润滑良好；转子轴向力较半封闭、开启式减少50%（排气侧电机轴的

光刻机和光掩膜版

十三章光刻II 光刻机和光掩膜版前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里，我们介绍如何将图形转移到硅片表面上，包括以下内容：a)将图形投影到硅片表面的装置（即光刻对准仪或光刻翻版机），由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具（即光掩模版和中间掩模版）。在介绍光刻机或掩模版之前，把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。在讨论光学原理之前，有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征：a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。通常，分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的，我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而，和光刻机的分辨率一样，最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解，但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小，且各层都需正确匹配，所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此，首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形，然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。加工产率是重要但不是最重要加工特征。例如，如果一个器件只能在低生产率但高分辨率的光刻机制版，这样也许仍然是经济的。不过，在大部分生产应用中，加工和机器的产率是很重要的，也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的，因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的，所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制，而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的，那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念，包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。衍射·一致性·数值孔径和分辨率图（1）：一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

带钢抛丸机结构及工作原理

结构及工作原理 1. 本机主要由下列部件组成抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。 2. 机器的工作原理被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。 3. 各部件主要结构 3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。结构及工作原理 1. 本机主要由下列部件组成抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。 2. 机器的工作原理

被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。 3. 各部件主要结构 3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。结构及工作原理 1. 本机主要由下列部件组成抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。 2. 机器的工作原理被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带

螺杆式空气压缩机原理及其各个系统原理

螺杆式空压机主机部分工作原理一、主机/电机系统：单螺杆空压机又称蜗杆空压机，单螺杆空压机的啮合副由一个6头螺杆和2个11齿的星轮构成。蜗杆同时与两个星轮啮合即使蜗杆受力平衡，又使排量增加一倍。我们通常说的螺杆式压缩机一般指双螺杆式压缩机。单螺杆空气压缩机

双螺杆式空气压缩机螺杆式(即双螺杆)制冷压缩机具有一对互相啮合、相反旋向的螺旋形齿的转子。其齿面凸起的转子称为阳转子，齿面凹下的转子称为阴转子。随着转子在机体内的旋转运动，使工作容积由于齿的侵入或脱开而不断发生变化，从而周期性地改变转子每对齿槽间的容积，来达到吸气、压缩和排气的目的。

主机是螺杆机的核心部件，任何品牌的螺杆机其主机结构和工作机理都是相近的。

(1)吸气过程转子旋转时，阳转子的一个齿连续地脱离阴转子的一个齿槽，齿间容积逐渐扩大，并和吸气孔口连通，气体经吸气孔口进齿间容积，直到齿间容积达到最大值时，与吸气孔口断开，由齿与内壳体共同作用封闭齿间容积，吸气过程结束。值得注意的是，此时阳转子和阴转子的齿间容积彼此并不连通。 2)压缩过程转子继续旋转，在阴、阳转子齿间容积连通之前，阳转子齿间容积中的气体，受阴转子齿的侵入先行压缩；经某一转角后，阴、阳转子齿间容积连通，形成“V”字形的齿间容积对(基元容积)，随两转子齿的互相挤入，基元容积被逐渐推移，容积也逐渐缩小，实现气体的压缩过程。压缩过程直到基元容积与排气孔口相连通时为止。 (3)排气过程由于转子旋转时基元容积不断缩小，将压缩后气体送到排气管，此过程一直延续到该容积最小时为止。随着转子的连续旋转，上述吸气、压缩、排气过程循环进行，各基元容积依次陆续工作，构成了螺杆式制冷压缩机的工作循环。从以上过程的分析可知，两转子转向互相迎合的一侧，即凸齿与

各种压滤机以及说明

1.压滤机是一种间歇性分离细微悬浮的过滤机械，既可适用于分离低浓度悬浮液，又能分离粘度高或接近于饱和状态的悬浮液是固液分离的理想设备。厢式压滤机为无滤框之压滤机，当压紧后，两邻滤板间所形成的空间即起滤室作用。该机操作压力较高，适用于难过滤物料，更多应用于含微量固体杂质的液相澄清。压紧板的压紧和松开均采用液压操作，结构简单，使用方便，广泛应用于化工、石油、冶金、染料，制药、食品环保等部门。 ▲滤板采用增强聚丙稀（玻纤改性）热塑模压成型制板，强度高、重量轻、无毒无味、耐酸、碱、盐溶液。 ▲采用复式油缸，液压压紧，压紧板行程650，700mm，下料方便，操作简便，安全可靠，没有顶缸现象。 ▲滤板型腔设计先进可靠，没有脱点、脱框现象，使用寿命长。 ▲流道设计独特，过滤速度快，缩短生产周期产量高 2. 带式压滤脱水机 2-1.用途带式压滤机主要用于给排水工程中污泥的脱水，使其体积减少，以利于进一步进行填埋、焚烧等处理。工作原理及构造：通过带式压滤机上一系列的辊及滚筒，将上下两层滤带张紧，滤带上的污泥在剪力作用下，污泥中的游离小不断被挤出，从而完成泥水分离过程。脱水过程

一般分为三个阶段：重力脱水段，楔形预压榨段，中、高压剪切脱水段。压滤机一般由架体、辊、纠偏装置、张紧装置、布泥系统、滤带、刮泥板、冲洗系统等组成。 2-2.特点 ①结构紧凑、整体刚性好。 ②无级调速电动机，可以随时调节运行速度，适应性强。 ③特制冲洗喷嘴及防堵塞装置，使滤带冲洗干净。 ④控制系统自动纠偏，并有限位开关保护滤带，确保设备正常运行。 ⑤处理量大，脱水效果好，运行费用低。 ⑥附属设备选用名牌产品，性能可靠。 ⑦可提供PLC远程控制接口，利用管理。压滤机是一种常用的固液分离设备，在18世纪初就应用于化工生产，至今仍广泛应用于化工、制药、冶金、染料、食品、酿造、陶瓷以及环保等行业。基本概述名称：压滤机定义：利用一种特殊的过滤介质，对对象施加一定的压力，使得液体渗析出来的一种机械设备。功能：使混合液中的固体提取出来，实现固、液分离的作用。用途：医药、化工、标准件、制药、冶金、非标螺丝、染料、食品、酿造、陶瓷、炼油、污水处理等环保行业。特点：过滤板具有性能稳定、操作方便、安全、省力；金属榨筒由无缝钢管加工、塑钢滤板精铸成型，耐高温、高压，经久耐用。功能配置手动压紧、电机压紧、自动液压压紧、自动保压、电气控制/电脑程控、自动拉板、自动接液翻板等进料方式、液流形式中进料、或角进料、中上进料明流出液、暗流出液

板框压滤机的选型及工作原理

板框压滤机的选型及工作原理板框压滤机由交替排列的滤板和滤框构成一组滤室。滤板的表面有沟槽，其凸出部位用以支撑滤布。滤框和滤板的边角上有通孔，组装后构成完整的通道，能通入悬浮液、洗涤水和引出滤液。板、框两侧各有把手支托在横梁上，由压紧装置压紧板、框。板、框之间的滤布起密封垫片的作用。由供料泵将悬浮液压入滤室，在滤布上形成滤渣，直至充满滤室。滤液穿过滤布并沿滤板沟槽流至板框边角通道，集中排出。过滤完毕，可通入清洗涤水洗涤滤渣。洗涤后，有时还通入压缩空气，除去剩余的洗涤液。随后打开压滤机卸除滤渣，清洗滤布，重新压紧板、框，开始下一工作循环。板框压滤机对于滤渣压缩性大或近于不可压缩的悬浮液都能适用。适合的悬浮液的固体颗粒浓度一般为10%以下，操作压力一般为0.3～0.6兆帕，特殊的可达3兆帕或更高。过滤面积可以随所用的板框数目增减。板框通常为正方形，滤框的内边长为 320～2000毫米，框厚为16～80毫米，过滤面积为1～1200米2。板与框用手动螺旋、电动螺旋和液压等方式压紧。板和框用木材、铸铁、铸钢、不锈钢、聚丙烯和橡胶等材料制造。板框式压滤机主要由止推板(固定滤板)、压紧板(活动滤板)、滤板和滤框、横梁(扁铁架)、过滤介质(滤布或滤纸等)、压紧装置、集液槽等组成(参见附图一-一八)，其中过滤介质和集液槽由用户自备，也可由本厂代配。板框压滤机有手动压紧、机械压紧和液压压紧二种形式。手动压紧是螺旋千斤顶推动压紧板压紧；机械压紧是电动机配H型减速箱，经机架传动部件推动压紧板压紧；液压压紧是有液压站经机架上的液压缸部件推动压紧板压紧。两横梁把止推板和压紧装置连在一起构成机架，机架上压紧板与压紧装置饺接，在止推板和压紧板之间依次交替排列着滤板和滤框，滤板和滤框之间夹着过滤介质；压紧装置推动压紧板，将所有滤板和滤框压紧在机架中，达到额定压紧力后，即可进行过滤。悬浮液从止推板上的进料孔进入各滤室(滤框与相邻滤板构成滤室)，固体颗粒被过滤介质截留在滤室内，滤液则透过介质，由出液孔排出机外。压滤机的出液有明流和暗流两种形式，滤液从每块滤板的出液孔直接排出机外的称明流式，明流式便于监视每块滤板的过滤情况，发现某滤板滤液不纯，即可关闭该板出液口；若各块滤板的滤液汇合从一条出液管道排出机外的则称暗流式，暗流式用于滤液易挥发或滤液对人体有害的悬浮液的过滤。压滤机根据是否需要对滤渣进行洗涤，又可分为可洗和不可洗两种形式，可以洗涤的称可洗式，否则称为不可洗式。可洗式压滤机的滤板有两种形式，板上开有洗涤液进液孔的称为有孔滤板(也称洗涤板)，未开洗涤液进液孔的称无孔滤板(也称非洗涤板)。可洗式压滤机

手动喷砂机的设计和工作原理之令狐文艳创作

令狐文艳手动喷砂机的设计与工作原理一、手动喷砂机用途：上海良时专业设计制造的手动喷砂机，专用于小批量产品(重量小于20kg)工件外表面湿喷砂处理，达到表面光饰、清除毛刺、氧化皮等要求，亦可用于电镀前处理,如有其它的特别要求,需要重新设计手动湿喷砂机。二、工作原理：本机采用吸入式喷砂，即利用压缩空气负压将机内磨液贮箱里的砂水混合料通过输砂管吸入喷枪内，然后随压缩空气流由喷嘴高速射到工件表面，达到湿喷砂加工目的。三、喷砂特点： 1．砂液循环使用，耗砂低，喷嘴磨耗小，成本低。

2．密闭性佳，不会产生粉尘污染。 3．操作简单，故障少、密闭式空间，噪音低。 4．具窗口清洗功能，使用时视线佳。 5．不锈钢制之机身，经久耐用。 6．配备清水清洗枪，可手动清洗工件。 7．工作区域内设置有过滤网，目的是为了防止工人在上班工作时不小心或者由于机器故障的原因，较大杂物掉入高压砂泵槽内，损坏高压砂泵的叶片，造成不应有的损失而影响正常的生产。四、加工范围：适用于小批量产品(每次加料约15～20kg)表面湿喷砂。五、喷砂介质：

46#～120#白刚玉、棕刚玉、玻璃珠等多种砂料。六、加工效率：使用φ8mm喷嘴时，理论喷砂效率约2～3m2/分钟，实际喷砂效率以产品喷砂效果定。七、喷砂加工流程：本机喷砂加工时，工人只进行开关机的操作和装入工件的工作，其余完全由机器完成,其工作程序如下： 1．喷砂前，工人应检查机舱底部的磨液是否全部将砂泵的叶轮淹没，水和砂料的比例是否符合喷砂的工艺要求，然后打开总电源开关，启动照明开关，启动排雾风扇。 2．喷砂前工人将一定量的工件放入机舱内(工件放入量由加工工件的大小而定，最重≤20kg)后关闭舱门。 3．启动主机电源，操作者用手握牢喷枪，然后用脚踩住气囊开关启动喷枪，用喷枪按所需角度方位对工件进行喷砂。

各种过滤设备工作原理及结构分析(动画演示)

各种过滤设备工作原理及结构分析（动画演示）更多好内容：化工707网下载此文档：化工707论坛过滤设备是用来进行过滤的机械设备或者装置，是工业生产中常见的通用设备。过滤设备总体分为真空和加压两类，真空类常用的有转筒、圆盘、水平带式等，加压类常用的有压滤、压榨、动态过滤和旋转型等。按操作方式分类：间歇过滤机、连续过滤机按操作压强差分类：压滤、吸滤和离心过滤工业上使用的典型过滤设备：板框压滤机（间歇操作）转筒真空过滤机（连续操作）过滤式离心机1 板框压滤机1）结构由许多块带凹凸纹路的滤板与滤框交替排列组装于机构成。主要包括滤板、滤框、夹紧机构、机架等组成。滤板：凹凸不平的表面，凸部用来支撑滤布，凹槽是滤液的流道。滤板右上角的圆孔，是滤浆通道；左上角的圆孔，是洗水通道。

洗涤板：左上角的洗水通道与两侧表面的凹槽相通，使洗水流进凹槽；非洗涤板：洗水通道与两侧表面的凹槽不相通。滤框：滤浆通道：滤框右上角的圆孔洗水通道：滤框左上角的圆孔为了避免这两种板和框的安装次序有错，在铸造时常在板与框的外侧面分别铸有一个、两个或三个小钮。非洗涤板为一钮板，框带两个钮，洗涤板为三钮板。 2）操作过程板框压滤机为间歇操作，每个操作循环由装合、过滤、洗涤、卸饼、清理5个阶段组成。装合：将板与框按1-2-3-2-1-2-3的顺序，滤板的两侧表面放上滤布，然后用手动的或机动的压紧装置固定，使板与框紧密接触。过滤：悬浮液在指定压强下送进滤浆通道，由通道流进每个滤框里；滤液分别穿过滤框两侧的滤布，沿滤板板面的沟道至滤液出口排出；颗粒被滤布截留而沉积在滤布上，待滤饼充满全框后，停止过滤。根据滤液排出方式分为：明流和暗

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm （正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，将产生一个对准电信号，该信号以中断信号的形式输入计算机，X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时，计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候，一个标记中两个象限的光栅同时参与，在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数，但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同，如图2所示。在对准扫描的过程中，每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号，由于两个象限的光栅条纹间距不同，所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号，而这个点就是在X

带式压滤机工作原理

带式压滤机工作原理三、工作原理该设备主要由驱动装置、传动滚筒、输送带、槽型上托辊、下托辊、机架、清扫器、拉紧装置、改向滚筒、导料槽、重锤张紧装置及电器控制装置等组成。输送带绕经传动滚筒和尾部改向滚筒形成环行封闭带。托辊承载输送带及上面输送的物料。张紧装置使输送带具有足够的张力，保证与传动滚筒间产生摩擦力使输送带不打滑。工作时，减速电机带动传动滚筒，通过摩擦力驱动输送带运行，物料由进料装置进入并随输送带一起运动，经过一定的距离到达出料口转入下一道工艺环节。四、结构和控制特点上托辊采用槽形托辊，利于承载松散物料。回程托辊采用V型托辊，有效防止皮带机跑偏。在空段清扫器前后安装下平托辊有利于清除物料。输送带张紧采用螺旋张紧和重锤张紧两套装置。螺旋张紧装置还可以调整皮带机的跑偏。在输送带的工作面两侧，沿输送带全长安装有导料槽，导料槽由槽板和橡胶板组合而成，橡胶板与输送带接触，形成槽形断面，起到增加输送量的作用，同时也防止物料洒落。导料槽板同橡胶板的固定方式采用螺栓和压板压紧的形式，橡胶板不需要钻孔，同时可以根据橡胶板的磨损情况，方便的进行调整，保证橡胶板保持同输送带的密封状态。在输送机头部和尾部安装有头部及空段清扫器。头部清扫器为重锤刮板式结构，安装于传动滚筒下方，用于清除输送带工作面的粘料。空段清扫器为刮板式结构，安装于靠近尾部的输送带非工作面的上方，用于清除输送带非工作面上的物料。

输送带采用聚酯帆布带，具有耐油、耐酸碱的性质。接头采用硫化接头，接头安全系数10-12。输送机一侧安装有拉绳开关，当发生紧急情况时拉动开关上的钢丝绳启动此开关，可以立即停机。故障排除后，拉动复位销开关可复位。输送机头尾部安装有跑偏开关，当输送带发生跑偏时，输送带带动开关上的立辊旋转并倾斜，倾斜大于一级动作角度12?时，发出一组开关信号;如立辊继续倾斜大于二级动作角度30?时，发出另一组开关信号。两组信号分别用于报警和停机。当输送机恢复正常运行后，立辊自动复位。五、安装调试 1.输送机的各支腿、立柱或平台用化学锚栓牢固地固定于地面上。 2.机架上各个部件的安装螺栓应全部紧固。各托辊应转动灵活。托辊轴心线、传动滚筒、改向滚筒的轴心线与机架纵向的中心线应垂直。 3.螺旋张紧行程为机长的 1,,1.5,。 4.拉绳开关安装于输送机一侧，两开关间用覆塑钢丝绳连接，松紧适度。 5.跑偏开关安装于输送机头尾部两侧，成对安装。开关的立辊与输送带带边垂直，且保证带边位于立辊高度的1/3处。立辊与输送带边缘距离为50,70mm。 6.各清扫器、导料槽的橡胶刮板应与输送带完全接触，否则，调节清扫器和导料槽的安装螺栓使刮板与输送带接触。 7.安装无误后空载试运行。试运行的时间不少于2小时。并进行如下检查: (1)各托辊应与输送带接触，转动灵活。 (2)各润滑处无漏油现象。 (3)各紧固件无松动。 (4)轴承温升不大于40?C，且最高温度不超过80?C。 (5)正常运行时，输送机应运行平稳，无跑偏，无异常噪音。

喷砂机技术参数

喷砂机技术参数移动气动喷砂机（单枪）由于磨料对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，使工件表面的机械性能得到改善，因此提高了工件的抗疲劳性，增加了它和涂层之间的附着力，延长了涂膜的耐久性，也有利于涂料的流平和装饰，把表面的杂质、杂色及氧化层清除掉，同时使介质表面粗化，消除工件残余应力和提高基材表面硬度的作用。分类吸入式 1．一般组成喷砂机喷砂机一个完整的吸入式干喷砂机一般由六个系统组成，即结构系统、介质动力系统、管路系统、除尘系统、控制系统和辅助系统。 2. 工作原理是吸入式干喷砂机是以压缩空气为动力，通过气流的高速运动在喷枪内形成的负压，将磨料通过输砂管吸入喷枪并经喷嘴射出，喷射到被加工表面，达到预期的加工目的。在吸入式干喷砂机中，

压缩空气既是供料动力又是射流的加速动力。压入式高压喷砂机对于压入式干喷砂机我们重点介绍压入式喷砂工作单元，即由压力罐和喷枪组成的基本工作单元。 1．一般组成一个完整的压入式干喷砂机工作单元一般由四个系统组成，即压力罐、介质动力系统、管路系统、控制系统。 2．压入式干喷砂机的工作原理压入式干喷砂机是以压缩空气为动力，通过压缩空气在压力罐内建立的工作压力，将磨料通过出砂阀压入输砂管并经喷嘴射出，喷射到被加工表面达到预期的加工目。在压入式干喷砂机中，压缩空气既是供料动力又是射流的加速动力。液体式液体喷砂机相对于干式喷砂机来说，最大的特点就是很好地控制了喷砂加工过程中粉尘污染，改善了喷砂操作的工作环境。下面将对液体喷砂机的结构组成和工作原理进行详细地介绍。

1．一般组成一个完整的液体喷砂机一般由五个系统组成，即结构系统、介质动力系统、管路系统、控制系统和辅助系统。 2．工作原理液体喷砂机是以磨液作为磨液的供料动力，通过磨液泵将搅拌均匀的磨液（磨料和水的混合液）输送到喷枪内。压缩空气作为磨液的加速动力，通过输气管进入喷枪，在喷枪内，压缩空气对进入喷枪的磨液加速，并经喷嘴射出，喷射到被加工表面达到预期的加工目的。在液体喷砂机中，磨液泵为供料动力，压缩空气为加速动力。冷冻喷砂机，全称为自动喷射式冷冻修边机，冷冻喷砂理论起源于上世纪70年代欧美，后被日本昭和炭酸株式会社发明改良该设备主要用于替代手工对橡胶模压件、精密注塑及压铸件产品进行去毛边处理，此类设备从70年代末开始已经在发达国家被广泛使用，国内也在2000年后开始逐步推广并成为橡塑合金行业必备的后道工序设备之一。特点 1、操作简单：普通工人经过半小时培训即可熟练操作机器，并且有先进的自动控制系统可防止工人误操作。

各种过滤器的原理及结构资料

各种过滤器的原理及结构株洲海润公司郑胜春（摘录）石英砂过滤器主要用于去除水中的悬浮物。该设备与其它水处理设备配合，广泛地应用在给水净化、循环水净化污水处理等各类水处理工程中。活性碳过滤器主要用于吸附水中游离氯（吸附力达99％），对有机物和色度也有较高的去除率。是软化、除盐系统制纯水工艺的预处理设备。滤料为活性碳。设备主要材质为碳钢防腐、玻璃钢和不锈钢等。活性碳过滤器技术参数过滤速度：8-10m3/h 进水浊度：≤5mg/L；工作温度：常温工作压力：≤0.6Mpa; 反洗压缩空气量：18-25L/m2.S 滤料层高：1000-1200mm 反洗强度：4-12L/m2.S; 反冲洗时间：4-6分钟石英砂过滤器技术参数： 1、运行参数 2、水质参数设计滤速：8-10米/时期终水头损失：1.7米进水浊度小于15度，出水浊度小于3度。反清洗强度：4-15升/秒·平方米进水浊度小于10度，出水浊度小于2度。冲洗历时：5-7分钟滤料：石英砂3、水压垫层厚度：200-400毫米滤层厚度：800毫米进水水压：≥0.04Mpa 反冲洗进水水压：≥0.15Mpa 盘式过滤器原理与应用分析工厂制水的预处理系统以前采用的是纤维过滤法，在近几年的运行过程中，这种方法暴露出许多问题：过滤效率明显下降，运行阻力增加，树脂破碎率升高，制水成本逐年上升；出现纤维扭曲，发生“粘连抱团”现象，纤维束不能垂直竖立，下移动不能复位；过滤器内部气囊破损严重，无法正常发挥松散纤维的作用。为了改善制水预处理系统的现状，转而采用盘式过滤器代替高效纤维过滤，取得了良好的效果。一、盘式过滤器机理 1盘式过滤器的原理：利用相邻盘片之间的沟槽纹交叉点实现对固体颗粒的拦截，运行时14组过滤头并联，在水和弹簧的压力作用下过滤滤芯的滤盘被压紧，水从盘片的端面进入，水中的颗粒杂质被压紧的盘片截留，从而起到过滤的作用。反洗时，其中一组进水阀关闭，排污阀打开，其他13组过滤单元的部分出水反向进入这组过滤单元，在反洗水压下促使碟片横向旋转和纵向颤动。滤芯盘片松开，同时反洗水沿管线方向冲向过滤盘片，导致盘片高速旋转，使截留在盘片上的杂物在离心力和水流冲洗的共同作用下脱离盘片，并经反洗水的作用排除。冲洗过程仅需十几秒钟，一个滤头反洗结束后，再对其它几组依次进行反洗。阿速德盘式过滤器又有其独到之处：旋转设计。水流进入到过滤器单元内时，沿外壳的切向进入，在过滤单元内高速旋转，没有真正进入盘式过滤器之前，系统已经将大部分的泥沙等杂质从水中分离，减轻了过滤器的负担，使其工作寿命是同类产品的10倍左右。