透明导电膜玻璃TCO

一、玻璃导电的机理

众所周知，不同种类的物质，其导电的机理是不同的。金属导体导电，是由于在金属导体中有可以自由移动的自由电子的作用；半导体导电，是靠半导体中空穴的移动作用而使电子传导得以实现；电解质水溶液导电，是由于在电解质水溶液中有可以自由移动的离子的作用；离子化合物的晶体导电是在具有晶格缺欠的情况下，虽然是固体，但由于离子的迁移而导电。那么，玻璃导电的机理是什么呢？

在室温条件下，玻璃是相当好的绝缘体。一般来说，玻璃的电阻率在1010Ω/m～1015Ω/m之间。但是，温度升高，玻璃就要被软化，处于熔融状态中玻璃的电阻可降到几个欧姆，导电性能增强。即，玻璃从固体变成液体状态时可以导电。玻璃导电的能力由玻璃结构中离子的移动程度决定。玻璃是离子化合物晶体。玻璃的种类不同，其离子的种类以及比例含量都不同。以最常见的苏打石灰玻璃为例，其主要成分为SiO2，通常由于结构中存在晶格缺欠，晶体中的Na+在温度升高时由一个空穴迁移到另一个空穴而导电。由此可见，玻璃导电是属于离子导电

二、透明导电膜玻璃（TCO Coating Glass）

透明导电膜玻璃（TCO Coating Glass）是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜（Transparent Conductive Oxide）而形成的组件。对于薄膜太阳能电池来说，由于中间半导体层几乎没有横向导电性能，因此必须使用TCO玻璃有效收集电池的电流，同时TCO薄膜具有高透和减反射的功能让大部分光进入吸收层。TCO玻璃的生产工艺TCO玻璃工艺主要分为超白浮法玻璃生产、TCO镀膜。超白浮法玻璃生产工艺难度较高，目前世界上主要供应商有日本旭硝子、美国PPG、法国圣戈班等，国内供应厂家有限，目前仅金晶科技、南玻、信义能够供货。

透明导电膜玻璃（TCO Coating Glass）的种类主要为氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass）、掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）和掺F氧化锡（FTO Coating Glass）三种；ITO透明导电膜玻璃广泛的使用于大面积平板显示领域，国内ITO导电膜玻璃生产厂家主要有深圳南玻显示事业部、深圳莱宝光学、蚌埠华益导、芜湖长信，深圳天泽等众多厂家，技术也能与日本与欧美厂家竞争；而FTO透明导电膜和AZO透明导电膜的主要生产商有日本旭硝子（Asahi）、板硝子（NSG）与美国AFG，国内非晶硅薄膜电池厂因需求不大、尺寸规格特殊，所以议价空间小，进货价格高，甚至有钱也不一定买的到货。由于没有稳定的TCO导电膜货源，有些国内非晶硅薄膜电池厂则改用ITO 来代替，效果不好，价格亦贵。

三、氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass）

氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化

铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。

产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。

ITO导电膜的主要参数有：表面电阻、表面电阻的均匀性、透光率、热稳定性、加热收缩率、加热卷曲等。其中光透过率主要与ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面电阻有关。在基底材料相同的情况下，ITO膜的表面电阻越小，ITO膜层的厚度越大，光透过率相应的会有一定程度的减小。

ITO导电膜玻璃氧化物导电膜中，以掺Sn的In2O3(ITO)膜的透过率最高和导电性能最好，而且容易在酸液中蚀刻出细微的图形，其中透光率达90%以上。ITO中其透光率和阻值分别由In2O3与Sn2O3之比例来控制，通常Sn2O3:In2O3=1:9。

以下是两种不同的ITO导电膜的参数：

1.高阻抗ITO导电膜（PET-ITO）

高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要应用于移动通讯领域的触摸屏生产。产品参数：

面电阻：300～500 Ω/□

面电阻均匀性：MD≤±3%，TD≤±6%

ITO薄膜厚度：0.188±10% mm

线性度（MD）：≤1.5%

全光线透过率：≥86%

表面硬度（铅笔硬度）：≥3H

热稳定性：(R-R0)/R: ±20%

热收缩率：MD≤1.0%，TD≤0.8%

加热卷曲：≤10mm

2.低阻抗柔性ITO导电膜（PET-ITO）

适用于柔性电致变色器件、柔性薄膜太阳能电池、柔性EL发光器件的制备和生产。

薄膜厚度：0.175±10 mm

雾度：<2%

宽度：406/360±2 mm

粘附：100/100

卷曲：≤10 mm

透过率：≥ 80%

表面电阻：90±15 Ω/□ ？市场上有10Ω/□的卖

面电阻均匀性：<7%

热收缩：MD≤1.3，TD≤1.0

热稳定性：

高温：80℃,120hr ≤1.3

低温：-40℃,120hr ≤1.3

热循环：-30℃—80℃≤1.3

热/湿度：60℃, 90% RH,120hr ≤1.3

四、掺F氧化锡透明导电膜玻璃（FTO Coating Glass）

导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大. FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率；RS 是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。

作为高新技术，我国目前最高只能开发出可见光平均透光率达到80％左右的透明导电膜，还没有超过90％。在高透光率低方阻透明导电膜的研究领域里，将是机遇与挑战并存，需要我们做更深入的研究。目前我国需要进一步从材料选择、工艺参数制定、多层膜光学设计等方面来提高透明导电膜的综合性能，使其可见光平均透光率达到92%以上，从而满足高尖端技术的需要。

五、掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）

基本概念：通过真空磁控反应溅射工艺将ZAO(氧化锌铝)薄膜镀制于玻璃基片上。产品应用：液晶显示器，薄膜太阳能电池，防雾产品等。应用：

AZO因其透明、导电的优异性能而应用广泛。目前主要的应用领域有：

1.平面液晶显示(LCD)、电致发光显示(ELD)、电致彩色显示(ECD)；

2.太阳能电池透明电极;

3.用作热反射镜, 建筑物的玻璃幕墙，用于寒冷地区的建筑玻璃窗起热屏蔽作用, 节省能源消耗。

4.利用它既透明又导电的特点可用作表面发热器, 在汽车、火车、飞机等交通工具的玻璃窗上形成防雾除霜玻璃, 同理, 可用在防雾摄影机镜头、特殊用途眼镜、仪器视窗、冷冻陈列柜、烹调用加热板上。

5.利用它对微波的衰减性，可以用在计算机房、雷达屏蔽保护区等需要屏蔽电磁波的地方，以防止外界电磁波的侵入而造成电子设备的误差和保密信息的泄漏。柔性衬底AZO薄膜的开发使它的潜在用途扩大到制造柔性发光器件、塑料液晶显示器、可折叠太阳能电池以及作为保温材料用产品性能：优良的耐环境性能，经过耐酸、耐碱、耐溶剂、温度循环、高温等环境测试，膜层无明显变化。

产品性能及参数

加工规格：最大1250mm×1700mm，厚度0.4mm-6mm。

玻璃规格：1100×1400mm

玻璃厚度：3.2～8mm,

TCO膜的结构：玻璃/SiO2;

平均膜厚度：1000nm

电性能及光性能

薄膜电阻：≤10Ω/□

膜厚均匀性：±10%

电阻系数均匀性：±7%

方块电阻(欧姆/□)：9.26

方块电阻均匀性：±10%

可见光透过率：≥80%(at550 nm) (超白浮法玻璃)

六、AZO透明导电膜玻璃（AZO Coatiing Glass）的生产及优势

目前在氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass）、掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）和掺F氧化锡透明导电膜玻璃（FTO Coating Glass）三种透明导电膜中，掺F氧化锡透明导电膜玻璃（FTO Coating Glass）通常采用在线生产的方式进行生产，所以其生产商大都为浮法玻璃生产商，其生产线的投资巨大，并且具有很高的技术含量，不适合中小型企业和非玻璃生产企业进行投资；氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass）和掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）都可以采用大面积磁控溅射的方式进行镀膜，并且由于氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass）是传统的平板液晶显示（FPD）行业生产设备，国内已经具有众多生产厂家，并且由于ITO导电膜不适合硅基非晶硅薄膜电池生产工艺，限制了其在太阳能领域的应用；只有掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）具有既满足透明导电的技术要求，同时又具有大面积批量生产的价值，故目前掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）生产线的建设已经进入了快速扩张时期。

由于铟为稀散元素，在自然界中贮存量少，价格较高，而且ITO应用于太阳能电池中时在等离子体中不够稳定，其他种类的透明导电氧化物的研究也就成为了一个研究热点。这方面氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO 相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌（AZO）薄膜研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好，因而有可能成为ITO的替代产品，尤其是在太阳能电池透明电极领域。另外，多元复合氧化物如钙钛矿相的BaSnO3 SrSnO3也是TCO薄膜的一个研究方向。

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ITO透明导电玻璃项目建设方案分析建设方案分析参考模板，仅供参考

摘要该ITO透明导电玻璃项目计划总投资23477. 01万元，其中：固定资产投资17762. 89万元，占项目总投资的75.66%；流动资金5714. 12 万元，占项目总投资的24. 34%o 达产年营业收入43792. 00万元，总成本费用34370. 53万元，税金及附加393. 10万元，利润总额9421. 47万元,利税总额11114. 08 万元，税后净利润7066. 10万元，达产年纳税总额4047. 98万元；达产年投资利润率40. 13%,投资利税率47. 34%,投资回报率30. 10%,全部投资回收期4. 82年，提供就业职位774个。认真贯彻执行“三高、三少”的原则。“三高”艮卩：高起点、高水平、高投资回报率；“三少"即：少占地、少能耗、少排放。本IT0透明导电玻璃项目报告所描述的投资预算及财务收益预评估基于一个动态的环境和对未来预测的不确定性，因此，可能会因时间或其他因素的变化而导致与未来发生的事实不完全一致。

ITO透明导电玻璃项目建设方案分析目录第一章IT0透明导电玻璃项目绪论第二章IT0透明导电玻璃项目建设背景及必要性第三章建设规模分析第四章IT0透明导电玻璃项目选址科学性分析第五章总图布置第六章工程设计总体方案第七章项目风险评估分析第八章职业安全与劳动卫生第九章项目进度说明第十章投资估算与经济效益分析

第一章ITO透明导电玻璃项目绪论一、项目名称及承办企业（-）项目名称 IT0透明导电玻璃项目（二）项目承办单位 XXX公司二、IT0透明导电玻璃项目选址及用地规模控制指标（-）IT0透明导电玻璃项目建设选址项目选址位于XXX临港经济开发区，地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，建设条件良好。（二）IT0透明导电玻璃项目用地性质及规模项目总用地面积59289. 63平方米（折合约88. 89亩），土地综合利用率100. 00%；项目建设遵循“合理和集约用地”的原则，按照IT0 透明导电玻璃行业生产规范和要求进行科学设计、合理布局，符合规划建设要求。（三）用地控制指标及土建工程

ITO导电玻璃检验标准

1.0范围本标准准适用于正星光电科技有限公司生产的ITO 产品。 2.0规范性引用文件 2.1 JIS B0601—1994表面微观波纹度测量过程和方法的标准。 2.2 GB2828—2003计数抽样检验程序[第一部分按照接收质量限（AQL ）检索的逐批检验抽样计划]。 3.0玻璃基片的规格 3.1 长度及宽度的允许偏差、厚度允许偏差表序号检验项目标准范围测量方法 1 长度/宽度 ±0.20mm 数显游标卡尺 2 厚度 1.10mm ±0.1mm 0.70mm ±0.05mm 0. 55mm ±0.05mm 0.4/0.33mm ±0.05mm 千分尺 3 垂直度 ≤0.10% 宽座角尺和塞尺 3.2垂直度玻璃基片的垂直度的公差等级a/L ≤0.1%（见图1，a 为公差带，L 为被测玻璃基片的相应边长）。图1 玻璃基片的垂直度 3.3 弯曲度（h/L) 图2 玻璃基片的弯曲度，不允许S 形弯曲 3.4微观波纹度（玻璃的浮法锡面）微观表面波纹度的数值Rt 的最大值应符合表2要求序号厚度玻璃类型弯曲度微观波纹度 1 1.10mm 非强化 ≤0.10% ≤0.15um/20mm 强化 ≤0.20% 2 0.70mm 非强化 ≤0.15% ≤0.20um/20mm 强化 ≤0.25% 3 0.55mm 非强化 ≤0.15% ≤0.25um/20mm 强化 ≤0.30% 4 0.4/033mm 非强化 ≤0.15% ≤0.30um/20mm 强化 ≤0.30% 3.5磨边倒角: R 型边编号项目标准要求检验方法 1 C 型倒边 0.05mm ≤W ≤0.4mm 10倍放大镜 2 R 型倒边宽度:0.1mm ≤W ≤1.0 曲半径: R ≤50 mm 10倍放大镜 3 标识角 b=2.0±1.0mm 10倍放大镜 b d*d 浮法方向切角磨边示意图 a 0.3*45° C 型边

基于光电显示用透明导电膜及玻璃(ITO)的原理.

基于光电显示用透明导电膜及玻璃（ITO）的原理 ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶 ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 ITO导电层的特性： ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。 ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类： ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。

ITO导电玻璃入门知识

I T O导电玻璃入门知识 SANY GROUP system office room 【SANYUA16H-

ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类： ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。 ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm 以下的主要用于STN液晶显示器产品。 ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。影响ITO玻璃性能的主要参数：长度、宽度、厚度及允差（±0.20）垂直度（≤0.10%）翘曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%）

导电玻璃

NSG玻璃：FTO导电玻璃，厚度为2.2mm，透光率大于90%，电阻为15欧，大小为200mm*150mm,也可以根据用户要求订做。导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 Characteristics of NSG TCO TCO Tvis (%) Haze (%) Sheet Resistance(ohms/sq) High Transmission Type(for tandem) 80 to 82 11 to 16 11 to 14 High Transmission Type(for a-Si) 80 to 82 8 to 13 8 to 11 Normal TCO(for a-Si) 79 to 81 8 to 12 8 to 11 TCO镀膜玻璃的特性及种类在太阳能电池中，晶体硅片类电池的电极是焊接在硅片表面的导线，前盖板玻璃仅需达到高透光率就可以了。薄膜太阳能电池是在玻璃表面的导电薄膜上镀制p-i-n半导体膜，再镀制背电极。透明导电氧化物的镀膜原料和工艺很多，通过科学研究进行不断的筛选，目前主要有以下三种TCO玻璃与光伏电池的性能要求相匹配。 ITO镀膜玻璃是一种非常成熟的产品，具有透过率高，膜层牢固，导电性好等特点，初期曾应用于光伏电池的前电极。但随着光吸收性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳定，因此目前ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。 SnO2镀膜也简称FTO，目前主要是用于生产建筑用Low-E玻璃。其导电性能比ITO略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能适宜等优点。通过对普通Low-E的生产技术进行升级改进，制造出了导电性比普通Low-E好，并且带有雾度的产品。利用这一技术生产的TCO玻璃已经成为薄膜光伏电池的主流产品。氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好。预计会很快成为新型的光伏TCO产品。目前主要存在的问题是工业化大面积镀膜时的技术问题。光伏电池对TCO镀膜玻璃的性能要求 1.光谱透过率为了能够充分地利用太阳光，TCO镀膜玻璃一定要保持相对较高的透过率。目前，产量最多的薄膜电池是双结非晶硅电池，并且已经开始向非晶/微晶复合电池转化。因此，非晶/微晶复合叠层能够吸收利用更多的太阳光，提高转换效率，即将成为薄膜电池的主流产品。 2.导电性能TCO导电薄膜的导电原理是在原本导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素，使半导体的导电性能发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。氧化铟锡（ITO）透明导电玻璃就是将锡元素掺入到氧化铟中，提高导电率，它的导电性能在目前是最好的，最低电阻率达10-5Ωcm量级。 3.雾度为了增加薄膜电池半导体层吸收光的能力，光伏用TCO玻璃需要提高对透射光的散射能力，这一能力用雾度（Haze）来表示。雾度即为透明或半透明材料的内部或表面由于光漫射造成的云雾状或混浊的外观。以漫射的光通量与透过材料的光通量之比的百分率表示。一般情况下，普通镀膜玻璃要求膜层表面越光滑越好，雾度越小越好，但光伏用TCO玻璃则要求有一定的光散射能力。目前，雾度控制比较好的商业化TCO玻璃是AFG的PV-TCO玻璃，雾度值一般为

光电显示用透明导电膜及玻璃

光电显示用透明导电膜及玻璃(ITO)的原理 ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 ITO导电层的特性： ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。 ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类： ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN 液晶显示器和透明线路板。 ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。 ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。

导电玻璃(ITO)行业分析

目前，国内 ITO导电玻璃生产线约 50条，产品以 TN/STN为主，主要生产厂商包括长信科技、南玻 A、莱宝高科、蚌埠华益等。图表、国内主要 ITO导电玻璃厂商产能情况（1）LCD-ITO导电玻璃长信科技是国内规模最大的 LCD用 ITO导电玻璃生产企业，产销量均居同行业之首。公司所生产的 LCD-ITO导电玻璃产品主要以 TN、STN为主。国际上生产LCD-ITO导电玻璃的企业主要有韩国三星康宁、日本 Geomatic公司，但其主要面向本国市场。国内批量生产 LCD-ITO导电玻璃的企业主要有本公司、南玻 A、莱宝高科和蚌埠华益。 2009长信科技 ITO导电玻璃产量（TN、STN）占市场总量的 20%以上，居 ITO 行业第一位。其中 STN玻璃产品产量位居南玻、莱宝之后位于第三位，占 STN市场份额的 14%左右，因此有较大的提升空间。全球 ITO导电玻璃生产主要集中在中国大陆。而国内生产厂商中，莱宝高科ITO导电玻璃主要集中在彩色滤光片 CF的生产，募集资金主要投向 TFT空盒项目。南玻 A主要精力放在新能源和工程玻璃（ low-e玻璃）方面。因此，发行人目前的竞争对手主要是国内厂家，基本情况如下表：

STN导电膜玻璃产品是发行人重点发展的产品之一，尽管目前已初步打开市场，但与行业内优势企业南玻 A、莱宝高科等相比，发行人在产能规模、市场占有率以及资金上没有优势，但近年来，随着公司对 STN产品生产研发技术的投入，使公司掌握了这一产品的先进生产技术，得到了客户的广泛认可。公司下一步的发展目标将围绕扩大和提升触摸屏玻璃和 STN导电玻璃的市场占有率，将其做精做细。为进一步满足市场的需求，计划用两年的时间，优化公司产品结构，逐步提高 STN的比例，进一步增强公司产品的盈利能力和市场竞争力，成为国内 STN导电玻璃优势企业之一。 LCD需求领域根据其技术和市场特点，可以分为消费品和工业品两大类。其中消费品由于消费者对视觉效果的要求和受消费支出的影响，产品技术类型以TFT-LCD为主，需求波动较大。而工业品则更追求特定情况下性能的稳定性和耐用性，对视觉效果要求低，低成本诉求强，所以技术类型以 TN-LCD和 STN-LCD为主，需求也较稳定。TN-LCD和 STN-LCD与 ITO导电膜玻璃之间存在一对一的搭配关系。通过核查，保荐机构认为：发行人坚持以持续的设备研制和产品创新为主导，以市场需求为导向，在巩固 TN市场优势地位的同时，以改善和优化产品结构为目标。通过近几年的市场拓展，发行人 STN、TP产品竞争力得到了快速提升。（2）TP-ITO导电玻璃目前触摸屏用 ITO导电玻璃的国际生产厂商主要集中在电子产品较为发达的日本、韩国和我国台湾地区，国内主要生产厂商为南玻 A、蚌埠华益、康达克和万德宏。具体情况如下表所示：

ITO导电玻璃入门知识

I T O导电玻璃入门知识集团企业公司编码：（LL3698-KKI1269-TM2483-LUI12689-ITT289-

的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。 ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO 层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类： ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。 ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。

导电玻璃知识交流

导电玻璃

导电玻璃TCO(影响ITO玻璃性能的主要参数、测试方法及判定标准)

TCO镀膜玻璃的特性及种类、测试方法及判定标准 NSG玻璃： FTO导电玻璃，厚度为2.2mm，透光率大于90%，电阻为15欧，大小为200mm*150mm,也可以根据用户要求订做。导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率 RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 TCO镀膜玻璃的特性及种类在太阳能电池中，晶体硅片类电池的电极是焊接在硅片表面的导线，前盖板玻璃仅需达到高透光率就可以了。薄膜太阳能电池是在玻璃表面的导电薄膜上镀制p-i-n半导体膜，再镀制背电极。透明导电氧化物的镀膜原料和工艺很多，通过科学研究进行不断的筛选，目前主要有以下三种TCO 玻璃与光伏电池的性能要求相匹配。 ITO镀膜玻璃是一种非常成熟的产品，具有透过率高，膜层牢固，导电性好等特点，初期曾应用于光伏电池的前电极。但随着光吸收性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳定，因此目前ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。 SnO2（二氧化锡）镀膜也简称FTO，目前主要是用于生产建筑用Low-E玻璃。其导电性能比ITO略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能适宜等优点。通过对普通Low-E的生产技术进行升级改进，制造出了导电性比普通Low-E好，并且带有雾度的产品。利用这一技术生产的TCO玻璃已经成为薄膜光伏电池的主流产品。氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好。预计会很快成为新型的光伏TCO产品。目前主要存在的问题是工业化大面积镀膜时的技术问题。光伏电池对TCO镀膜玻璃的性能要求 1.光谱透过率为了能够充分地利用太阳光，TCO镀膜玻璃一定要保持相对较高的透过率。目前，产量最多的薄膜电池是双结非晶硅电池，并且已经开始向非晶/微晶复合电池转化。因此，非晶/微晶复合叠层能够吸收利用更多的太阳光，提高转换效率，即将成为薄膜电池的主流产品。 2.导电性能TCO导电薄膜的导电原理是在原本导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素，使半导体的导电性能发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。氧化铟锡（ITO）透明导电玻璃就是将锡元素掺入到氧化铟中，提高导电率，它的导电性能在目前是最好的，最低电阻率达10-5Ωcm量级。 3.雾度为了增加薄膜电池半导体层吸收光的能力，光伏用TCO玻璃需要提高对透射光的散射能力，

透明导电膜玻璃TCO

一、玻璃导电的机理众所周知，不同种类的物质，其导电的机理是不同的。金属导体导电，是由于在金属导体中有可以自由移动的自由电子的作用；半导体导电，是靠半导体中空穴的移动作用而使电子传导得以实现；电解质水溶液导电，是由于在电解质水溶液中有可以自由移动的离子的作用；离子化合物的晶体导电是在具有晶格缺欠的情况下，虽然是固体，但由于离子的迁移而导电。那么，玻璃导电的机理是什么呢？在室温条件下，玻璃是相当好的绝缘体。一般来说，玻璃的电阻率在1010Ω/m～1015Ω/m之间。但是，温度升高，玻璃就要被软化，处于熔融状态中玻璃的电阻可降到几个欧姆，导电性能增强。即，玻璃从固体变成液体状态时可以导电。玻璃导电的能力由玻璃结构中离子的移动程度决定。玻璃是离子化合物晶体。玻璃的种类不同，其离子的种类以及比例含量都不同。以最常见的苏打石灰玻璃为例，其主要成分为SiO2，通常由于结构中存在晶格缺欠，晶体中的Na+在温度升高时由一个空穴迁移到另一个空穴而导电。由此可见，玻璃导电是属于离子导电二、透明导电膜玻璃（TCO Coating Glass）透明导电膜玻璃（TCO Coating Glass）是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜（Transparent Conductive Oxide）而形成的组件。对于薄膜太阳能电池来说，由于中间半导体层几乎没有横向导电性能，因此必须使用TCO玻璃有效收集电池的电流，同时TCO薄膜具有高透和减反射的功能让大部分光进入吸收层。TCO玻璃的生产工艺TCO玻璃工艺主要分为超白浮法玻璃生产、TCO镀膜。超白浮法玻璃生产工艺难度较高，目前世界上主要供应商有日本旭硝子、美国PPG、法国圣戈班等，国内供应厂家有限，目前仅金晶科技、南玻、信义能够供货。透明导电膜玻璃（TCO Coating Glass）的种类主要为氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass）、掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）和掺F氧化锡（FTO Coating Glass）三种；ITO透明导电膜玻璃广泛的使用于大面积平板显示领域，国内ITO导电膜玻璃生产厂家主要有深圳南玻显示事业部、深圳莱宝光学、蚌埠华益导、芜湖长信，深圳天泽等众多厂家，技术也能与日本与欧美厂家竞争；而FTO透明导电膜和AZO透明导电膜的主要生产商有日本旭硝子（Asahi）、板硝子（NSG）与美国AFG，国内非晶硅薄膜电池厂因需求不大、尺寸规格特殊，所以议价空间小，进货价格高，甚至有钱也不一定买的到货。由于没有稳定的TCO导电膜货源，有些国内非晶硅薄膜电池厂则改用ITO 来代替，效果不好，价格亦贵。三、氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass）

OLED用ITO导电玻璃技术要求和制造方法

ＯＬＥＤ用ＩＴ０导电玻璃技术要求和制造方法南玻集团精细玻璃事业部金弼牵志贞摘要ＯＬＥＤ用ＩＴＯ导电玻璃的技术要求有，降低１ＴＯ薄膜的微观表面粗糙度、进一步降低ＩＴＯ的面电阻、要求在ＩＴＯ之上还要镀金属导电膜、严格控制表面缺陷。相应的制造技术包括，改善表面粗糙度的软抛光方法、离子镀ＩＴＯ膜技术、ＤＣ／ＲＦ溅射镀膜方法等；改善面电阻的方法包括改善了的镀膜方法、增加金属膜层、采用超低电阻膜层结构等。ＴｅｃｈｎｉｃａｌＲｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓａｎｄＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＭｅｔｈｏｄｓｏｆＩＴＯＧｌａｓｓｆｏｒＯＬＥＤＣＳＧＦｉｎｅＧｌａｓｓＤｉｖｉｓｉｏｎＢｉＪｉｎＺｈｉｚｈｅｎＬｉＡｂｓｔｒａｃｔＴｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓｏｆｔｈｅＩＴＯｇｌａｓｓｆｏｒＯＬＥＤｉｎｃｌｕｄｅ，ｌｏｗＩＴＯ’ｓｒｏｕｇｈｎｅｓｓ，ｌｏｗｓｈｅｅｔｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ，ｍｅｔａｌｌｉｃｃｏａｔｉｎｇｏｎＩＴＯｓｔｒｉｃｔｌｙｃｏｎｔｒｏｌｌｉｎｇｓｕｐｅｒｆｉｃｉａｌｄｅｆｅｃｔｓＴｈｅｒｅｌｅｖａｎｔｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｍｅｔｈｏｄｓｉｎｃｌｕｄｅ，ｓｏｆｔ—ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ，ｐｌａｓｍａｃｏａｔｉｎｇ，ＤＣ／ＲＦｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ，ｅｔｃ．，ｔｈｅｍｅｔｈｏｄｓｕｓｅｄｔｏｄｅｃｒｅａｓｅｔｈｅｓｈｅｅｔｒｅｓｉｓｔａｎｃｅｉｎｃｌｕｄｅ，ｉｍｐｒｏｖｉｎｇｃｏａｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄ，ｃｏａｔｉｎｇｍｅｔａｌｌｉｃｆｉｌｍ，ａｄｏｐｔｉｎｇｕｌｔｒａ—ｌｏｗｒｅｓｉｓｔａｎｔｆｉｌｍ，ｅｔｃＯＬＥＤ用ＩＴＯ是从ＬｃＤＪ＝｝ｊＩＴＯ衍生过来的。早期ＯＬＥＤ研发过程中直接采＿【；｜｛传统的ＬＣＤ用ＩＴＯ，然而随着量产化的进程，发现这种导电玻璃对新型的ＯＬＥＤ还存在着一些不足，ｆ｝｛此提｝Ｈ了开发针对ＯＬＥＤ特点的ＩＴＯ的新课题。国外１ＴＯ相关产业，如日本仓元、ｉ容和韩国三星康宁、ＳＮＰ，已经开展了这方面的研究工作，并且一些开发产品用于小批量牛产Ｊ一。国内，南玻集团精细玻璃事业部也在开发专用于ＯＬＥＤ的ＩＴＯ导电玻璃，并取得了可喜的进展。１ＯＬＥＤ用ＩＴＯ的技术要求ＯＬＥＤ对ＩＴＯ的特殊技术要求表现在以下几点：ａ．ＩＴＯ薄膜的微观表面粗糙度要很低；ｂＩＴＯ的面电阻要求很低，通常在１吖ｌ以卜；ｃ．通常在ＩＴ０之上还要镀金属导电膜，如Ｃｒ、Ｍｏ膜等；ｄ表面尘埃、针眼等缺陷控制非常严格。１１表面粗糙度ＬＣＤ对ＩＴＯ膜表面形貌的关注集中在波纹度（ｗａｖｅｎｅｓｓ）层面，而ＯＬＥＤ关注更微观的粗糙度（Ｒｕｇｈｎｅｓｓ）层面。ＡＫｌｏｐｐｅｌ等人研究表明【１】，ＩＴＯ表面粗糙度大时器件的漏电流增加、发光效率下降。仓元公司的观点是，ＩＴＯ表面粗糙的点｝ｊ电流会集中，产生所谓黑点“ｄａｒｋｓｐｏｔ”，要控制Ｒａ＜ｌｎｍ。ＳＮＰ认为必须控制ＩＴＯ表面的Ｒｐ—ｖ＜１０ｎｍ和Ｒａ＜ｌａｍ，数十纳米的突起将会导致黑点“ｄａｒｋｓｐｏｔ”，使发光效率下降、产品良率降低。我们研究了各种ＩＴＯ表面ＡＦＭ形貌。传统的ＩＴＯ的Ｒａ大约为２～５ｎｍ、Ｒｐ．ｖ大约为２０～６０ａｍ，并且有些ＩＴＯ表面存在竹笋一样的突起，国外同行叫做ｓｐｉｋｅ（图１）。圈１ＩＴＯ表面ＡＦＭ形貌Ｒａ代表占表面积绝大部分的２－５ｎｍ左右的凹凸，我们认为这种凹凸与“ｄａｒｋｓｐｏｔ”无关；几十纳米的ｓｐｉｋｅ是电流密度很高的部位，过高的电流密度容易引起发光层老化，成为“ｄａｒｋｓｐｏｔ”的发源地。最能反映Ｓｐｉｋｅ形貌的指标是Ｒｐ＿ｖ，所以我们认为ＲＤ—Ｖ远比Ｒａ重要，是评价ＯＬＥＤ—ＩＴＯ的主要指标。韩国早期和日本一样重视Ｒａ，但现在把Ｒｐ－ｖ提到优先的位置。ｌ２面电阻要求ＯＬＥＤ是电流型发光器件，发光亮度的提高依赖于发光效率和电流密度的提高，比起电场型的ＬＣＤ，对降低面电阻的要求更高。满足１０ＤＪ以下的低电阻要求，并不是简单地增加ＩＴＯ膜厚就能做到。膜厚增大到１５０ｎｍ以上时，薄膜干涉效应和薄膜应力效应凸显出来，给ＩＴＯ薄膜颜色的控制和基板翘曲度的控制增加了相当大的难度，必须从设备、工艺、材料等方面全方位控制。１３金属导电膜ＯＬＥＤ与ＣＯＧ技术的结合是目前的发展趋势。Ｉｃ管脚非常密集，作为其引线的ＩＴＯ的线宽和线间距都非常小，常常不能满足导电性能要求，需要用导电性更好的金属线来替代。最常用的金属膜是铬（ｃｒ）膜，面电阻达到２ＤＪ以Ｆ。１４表面缺陷实践证明，对于线间距在１５微米以下的高解像度ＳＴＮ，必须将５０微米以下异物（ｐａｒｔｉｃｌｅ）、针眼（ｐｉｎｈｏｌｅ）纳入控制范围之内。对于ＯＬＥＤ，比起同样解像度的ＳＴＮ—ＬＣＤ更麻该重视异物的控制。５０微米以下异物的清除涉及到设备、Ｔ艺、环境等诸多因素，监控靠人眼目测已无法做到，必须配合专门的光学检测系统。２ＯＬＥＤ用Ⅱｏ的制造方法在以上提到的四项要求中，表面粗糙度要求是最关键的一项，低面电阻要求次之，新的专门针对ＯＬＥＤ用途的ＩＴＯ的制造方法主要围绕着这两项进行。２ｌ表面粗糙度的改善方法降低表面粗糙度的的途径有多种，其中比较成熟的是ＩＴＯ表面软抛光方法，近期提出的离子镀膜方法（ＰｌａｓｍａＣｏ撕ｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）值得特别关注。此外还有ＤＣ＋ＲＦ溅射镀膜方法、ＩＴＯ表面等离子处理方法、ＩＴＯ表面化学处理方法也在研究。软抛光是晟直接的方法，其做法是采用传统磁控溅射方法制作普通ＩＴＯ，然后采用特殊的抛光方法改善ＩＴＯ表面的粗糙度。日本先锋公司生产上使用这种方法制作的基板。日

导电膜

导电薄膜的荷电载流子在输运过程中受到表面和界面的散射，当薄膜的厚度可与电子的自由程相比拟时，在表面和界面的影响将变得显著，这个现象称为薄膜的尺寸效应。它等效于载流子的自由程减小，因此与同样材料的块体相比，薄膜的电导率较小。由于制备技术欠完善，通常薄膜中的缺陷浓度比较高，主要缺陷为杂质、空位、填隙原子、位错、晶界，以及表面和界面的吸附和偏析等。 ITO导电膜玻璃 ITO导电膜玻璃氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 ITO导电膜的主要参数有：表面电阻、表面电阻的均匀性、透光率、热稳定性、加热收缩率、加热卷曲等。其中光透过率主要与ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面电阻有关。在基底材料相同的情况下，ITO膜的表面电阻越小，ITO膜层的厚度越大，光透过率相应的会有一定程度的减小。以下是两种不同的ITO导电膜的参数：高阻抗ITO导电膜（PET-ITO）高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要应用于移动通讯领域的触摸屏生产。产品参数：面电阻：300～500 Ω/□ 面电阻均匀性：MD≤±3%，TD≤±6% ITO薄膜厚度：0.188±10% 线性度（MD）：≤1.5% 全光线透过率：≥86% 表面硬度（铅笔硬度）：≥3H 热稳定性：(R-R0)/R: ±20% 热收缩率：MD≤1.0%，TD≤0.8% 加热卷曲：≤10mm 低阻抗柔性ITO导电膜（PET-ITO）适用于柔性电致变色器件、柔性薄膜太阳能电池、柔性EL发光器件的制备和生产。

ITO导电玻璃入门知识

ITO导电玻璃入门知识 ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 ITO导电层的特性： ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。 ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类： ITO 导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。 ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm 以下的主要用于STN液晶显示器产品。 ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。影响ITO玻璃性能的主要参数：

TCO透明导电薄膜玻璃的主要应用

TCO透明导电薄膜玻璃的主要应用 TCO的主要应用领域有平面液晶显示（LCD）、有机发光二极管（OLED）显示、半导体照明（LED出光面电极）、薄膜太阳能电池、Low-E玻璃等。另外，柔性衬底的TCO薄膜的开发使它的潜在用途扩大到制造柔性发光器件、塑料液晶显示器、可折叠太阳能电池以及作为保温材料用于塑料大棚、玻璃粘贴膜等。一般来说，不同TCO材料在可见光透光率差别不大的情况下，方阻决定其用途，具体参见表1。表1 TCO方阻值与应用方阻（Ω/sq）应用领域＜10 液晶显示器、彩色滤波片等 15~40 液晶电视、笔记本电脑、便携式电脑等 40~300 太阳能电池、家电/仪器/仪表面板、手机、游戏机、EL等＜1000 车载液晶显示器、触控面板、Low-E玻璃等常见的TCO材料及其应用、性能需求见表2。表2 TCO应用 1.2.1平板显示作为资金密集型和技术密集型行业，近年来LCD行业以每年平均高于30%的增长率增长而被誉为全球明星产业。LCD面板广泛应用于各类消费电子产品，其中大尺寸LCD面板主要应用于笔记本电脑和液晶电视等，中小尺寸LCD面板主要应用于手机、数码相机、MP4、GPS导航仪和车载显示屏等，见图2。

图2 LCD应用范围大尺寸LCD面板基本上为大规模生产的标准品，主要集中在笔记本电脑、液晶监视器、液晶电视等产品上。而中小尺寸LCD面板大都是客户定制型产品，其规格品种多样且成系列化，其应用范围比较广泛，包括手机、PDA、数码相机、数码摄像机、车载显示屏等，近年来发展尤为迅猛。由于透明导电薄膜与LCD面板之间存在着一对一的搭配关系，透明导电薄膜是平板显示的基础和关键材料，因此也相应地为透明导电薄膜的发展创造了良好的市场空间。此外，在平电致发光显示器（ELD）、电致变色显示器（ECD）、等离子体显示（PD）等领域，TCO 薄膜也将会发挥巨大的作用。 1.2.2薄膜太阳能电池在国际市场硅原材料持续紧张的背景下，薄膜太阳电池已成为国际光伏市场发展的新趋势和新热点，具有广阔的应用前景。薄膜太阳能电池与晶硅太阳能电池相比具有更低的成本，对于大规模工业生产具有独特的优势，已成为继单晶硅、多晶硅之后的第三代太阳能电池，成为目前太阳能研究开发的主要方向。薄膜太阳能电池是在TCO玻璃表面的导电薄膜上镀制p-i-n半导体膜，再镀制背电极。图3示意了非晶硅/微晶硅双结叠层的薄膜太阳能电池。图3 薄膜太阳能电池结构示意图太阳光从TCO玻璃一侧入射，由于TCO的透明性大部分光进入硅薄膜p-i-n结区域，其中光子能量大于硅禁带宽度E g的光子能把价带中电子激发到导带上去，形成自由电子，价带中留下带正电的自由空穴，即电子-空穴对，通常称它们为光生载流子。其中在耗尽区或空间电荷层内的光生载流子，立即被该区的内建电场分离，电子被扫到电池的ｎ型一侧，空穴被扫到电池的ｐ型一侧，从而在电池上下两面（两极）分别形成了正负电荷积累，产生“光生电压”，即“光伏效应”。由此可见，TCO玻璃作为薄膜太阳能电池的前电极，是必不可少的构件。并且，TCO玻璃表面薄膜的电导率、透光性能、光反射及吸收特性都将对最终薄膜电池的光电转换效率起决定性作用。