氮化硅刻蚀膏初步调研报告

氮化硅蚀刻膏前期调研报告

一、氮化硅蚀刻膏

1.使用工艺

使用传统的丝网印刷工艺将刻蚀膏印刷在含有氮化硅掩膜的基材上，印刷完成后在一定温度下烘烤后,蚀刻氮化硅掩膜。

2.性能指标

A.基本功能：蚀刻氮化硅掩膜层，且不损伤ITO和Moalmo层；

B.良好的印刷性能；

C.良好的稳定性：印刷及存储过程中（常温）不变质，且常温不能刻蚀氮化硅掩膜，烘烤过程中能迅速刻蚀氮化硅掩膜；

D.易脱膜：刻蚀完成后易去除。

二、相关技术资料

1.氮化硅掩膜法制备选择性发射极晶体硅太阳电池

在艾凡凡等关于“氮化硅掩膜法制备选择性发射极晶体硅太阳电池”一文中，在硅片表面镀一层80nm厚的氮化硅掩膜，然后使用传统的丝网印刷工艺将含有一定量磷酸的腐蚀浆料印刷在氮化硅掩膜表面，腐蚀出电极图形。

2. 氮化硅湿法蚀刻中热磷酸的蚀刻率

在肖芳等关于“氮化硅湿法蚀刻中热磷酸的蚀刻率”一文中，使用热磷酸湿法刻蚀氮化硅，其中磷酸刻蚀氮化硅层的反应机理为：

3.一种提高氮化硅层和氧化层刻蚀选择比的方法（专利）

介绍的是磷酸刻蚀液，在磷酸刻蚀氮化硅反应中，磷酸作为催化剂使用，从反应平衡来看，随着氮化硅刻蚀量的增加，形成的二氧化硅会逐渐增加，由于二氧化硅会与磷酸反应（二者反应是有条件的，浓且热的磷酸才可与之反应，通常不反应），故该副产物二氧化硅会降低半导体衬底表面氧化层的刻蚀速率，从而增加了氮化硅和氧化层的刻蚀选择比，进而使得刻蚀趋于稳定。

提高氮化硅层和氧化层刻蚀选择比的方法，当所述添加剂为氮化硅时，所述氮化硅的剂量为Y=(0.014*X-1.4)*a；其中X为所述刻蚀选择比的值，且X为150:1-250:1 中的任意值，a为所述添加剂中氮化硅的密度值，氮化硅为SixNy，不同的x和y的氮化硅的密度值a不相同，如Si3N4的密度值a为3.44 ；如生产需要氮化硅层和氧化层的刻蚀选择比为150:1，且添加剂为氮化硅时，则氮化硅的剂量为Y=0.7a。当选择比大于250:1时，该氮化硅的剂量大于2.1a且小于3a，这是因为，当生产需要的氮化硅层和氧化层的刻蚀选择比较大时，由于已经添加足够量的氮化硅添加剂，使得反应处于平衡，从而使得反应趋于稳定，所添加的氮化硅添加剂只需保持稳定的反应即可。

4. 酸洗和热氧化对氮化硅粉料表面特性与浆料流变性能的影响

代建清等提到，使用氮化硅粉料制备水性浆料时，为了提高氮化硅在体系中的分散性，采用了酸洗和热氧化工艺处理粉体，去除了绝大部分可溶性高价（Ca2+和Mg2+）及颗粒表面的Si-O-Si基团，可显著改善了粉料的分散性，使用的分散剂为10wt％的四甲基氢氧化铵溶液。

5.表面水解和热氧化对氮化硅粉料表面特性及分散特性的影响

马天等人在文章中提到，用去离子水为分散介质，以质量分数10％的四甲基氢氧化铵((CH3)4NOH)水溶液作分散剂配制氮化硅浆料，球磨24 h，并调整其pH值为11.5±0.3，氮化硅粉料和去离子水以及10％四甲基氢氧化铵溶液比例为100 g：60 ml：10 ml。

初始粉体因为含有大量的憎水性硅氧烷Si-O-Si基团，表面水解处理利用了Si-O-Si基团碱性条件下的水解反应：

Si-OH更有利于氮化硅颗粒表面带负电，这有利于形成静电排斥的氮化硅水基浆料。

随后进行了热氧化工艺处理（粉料在空气气氛下600℃，6h热氧化处理），氮化硅粉料在空气气氛下加热时，颗粒表面胺类基团SiNH2和Si2NH因发生氧化而减少，热氧化处理使氮化硅颗粒表面富氧层中的相邻Si-0H基团发生脱水反应而生成Si-O-Si基团。热氧化处理使离子电导率和可溶性高价反离子浓度降低，从而大幅度的提高了粉体的分散性能。

试验中使用的4种商业氮化硅粉料的初始分散性能都很差，不能直接制备固相含量高于50％的水基浓悬浮体，表面水解加热氧化处理使4种氮化硅粉料的分散性能都大为改善，4种粉料的50％浆料的表观粘度在很低的剪切速率下就小于1 Pa.s。因此水解和随后的热氧化处理是1种普适性的制备氮化硅水基浓悬浮体的新方法。

6.分散剂对氮化硅浆料流变性的影响

刘学健等研究了分散剂对浆料流变性的影响，选用德国Starck公司的Si3N4粉体作为研究对象，使用的分散剂是一种小分子的无机化合物钠盐，它是依赖带有负电荷的阴离子基团在Si3N4粒子表面的吸附，通过静电稳定机理进行分散的。

结论：Si3N4粉料在pH=11左右，分散剂用量在0.81.2wt%时具有最佳的流动性。

7.氮化硅陶瓷的应用和酸腐蚀研究进展

文中测试了不同酸对氮化硅陶瓷的腐蚀，H2SO4，HNO3，HCl，总体看来，氮化硅陶瓷在三种酸中的抗腐蚀性还是比较强的，三种等浓度的无机酸的腐蚀趋势基本一致。但在H2SO4溶液中失重更严重，这是因为H2SO4溶液中H+的

不完全电离补充了溶液中消耗的质子，使氮化硅酸腐蚀平衡反应向着加重腐蚀的方向进行。

其中，HF 酸对氮化硅的腐蚀远远大于上述几种酸，随着氢氟酸的浓度增大，腐蚀能力逐渐增强。

三、市场上的类似产品简介

1. 厦门市豪尔新材料有限公司

特点：

A.持续性好，4h 内可连续使用；

B.刻蚀速度快，900埃的镀层刻蚀时间为1-3min ；

C.对BM 、OC 、ITO 腐蚀小；

D.刻蚀完成后直接用纯水清洗。

本产品适用于触摸屏电子产品金手指区域的消影层，（包括二氧化硅、氮化硅、五氧化二妮等）的刻蚀，刻蚀速度快且均匀，刻蚀后测得电阻率变化范围稳定。

2. 德国默克二氧化硅蚀刻膏 isishape HiperEtch? 11S

产品主要特点：

SiO2蚀刻膏水溶性蚀刻油墨属于环保产品，使用方便、操作简单、安全可靠。isishape HiperEtch?11S 是含氟化物的蚀刻膏，用于在室温下蚀刻ITO 玻璃上的SiO2层，同时可为网版印刷提供优越的条件。

产品特点

? 有选择性地在ITO 上蚀刻SiO2，不会破坏ITO

? 快速蚀刻工艺：2-3nm/s

? 易于清洗，不需要有机洗涤剂

? 冲洗剂的有机和氟化成分低

? 不同厚度的SiO2层在室温下蚀刻约2-5分钟，处理时间越长说明线越宽。

三、初步方案

1.H3PO4+NH4F+Si3N4+SiO2水性体系

其使用工艺参数如下：其中剥离工艺采用0.2-3Wt%NaOH或TMAH.

原理：6H2O+Si3N4======3SiO2+4NH3↑（H3PO4做催化剂，加热才可反应）NH4F ====== HF+ NH3↑(遇水且受热，反应可进行)

4HF+ SiO2 ===== SiF4↑+2H2O(4HF+ SiO2 =====H2SiF4+2H2O)

最终：

12NH4F+Si3N4=16NH3↑+3SiF4↑（H3PO4催化，H2O，热），体系中只要有足够的NH4F就足以消耗体系中的Si3N4，当体系中没有Si3N4，有如下反应式：

4NH4F+SiO2 ===== SiF4↑+2H2O+4NH3↑（热）

过量的NH4F需要用SiO2处理，因此体系中需要引入SiO2，这将减少浆料对ITO和MOALMO的腐蚀，同时假如选择气相SiO2时甚至可以提高浆料的触变性（也可能SiO2与水性体系不兼容，待测试）。同时选择Si3N4的目的就是作为主体填充物，增大粘度，SiO2作为增稠添加剂同时防止固体颗粒快速沉降。

结合文献中的报道，针对不同公司生产的Si3N4的差异，和Si3N4的预处理与否，会影响浆料的流变特性，直接影响浆料的印刷性能，否则无法实现其刻蚀功能，因此需考虑固体颗粒在体系中的分散性。研究表明，Si3N4颗粒在酸性体系中分散性较差，在碱性体系中的分散性非常好。

根据目前的资料来看，刻蚀膏印刷完成后的烘烤条件为130℃*10min，针对此工艺中可能存在的挥发（水分、HF酸等），其中水分的挥发可以使浆料处在较低的温度水平，有利于浆料的印刷稳定性；但可能造成的后果就是印刷驻网时长

太短，不能满足工艺使用要求，因此考虑引入慢干剂（可溶于水的溶剂）如乙二醇（沸点197℃，闪点111℃）；如乙二醇单丁醚（沸点171℃，闪点74℃），丙二醇丁醚（沸点171℃，闪点70℃，溶于水有限），卡必醇，乙基卡必醇的等。

如果蚀刻的速度不可控，需要考虑缓蚀剂的引入。

●主体树脂的选择

或许可能通过对样品进行烘烤实验，观察测试其成膜情况（硬度，附着力，韧性等）、初步判断是聚氨酯体系还是环氧体系或其他。

选取树脂的要求：（酸值高，水溶性好）酸性条件下树脂的水溶性不足

A、保定市兰竹化工有限公司；

B、广州市洛驰贸易有限公司

2.KOH+Si3N4水性体系

●原理：

由于氮化硅薄膜中含有少量的H，不能承受浓KOH的腐蚀，而KOH不会与氧化物反应，故使用KOH作为蚀刻剂成为可能。

从文献中了解，在碱性体系中可使用四甲基氢氧化铵水溶液（碱性）作为氮化硅颗粒的分散剂，能有效提高粉体的分散性能，其他分散剂如聚乙二醇（分子量为200）分散剂（含量在0.5%-0.8%左右）、六偏磷酸钠(SHMP)（含量在1%左右）和聚甲基丙烯酸脂铵盐水溶液Darvan-c（含量在0.4%左右）也可作为氮化硅颗粒的分散剂。

●主体树脂的选择

水溶性树脂(碱性条件下的树脂水溶性较好)

市场调查报告6篇

市场调查报告6篇市场调查报告篇1 20xx年银行卡刷卡手续费定价机制政策的落地，一定程度上缓解了收单市场套码乱象，促使收单机构将发展重心从监管套利向提升服务质量转变，进一步释放了银行卡产业的创新活力，给产业发展带来新的机遇。与此同时，收单市场依然存在许多不容忽视的问题和风险，比如小微商户准入标准不统一带来的公平缺失、包括聚合支付在内的创新支付业务的价格机制有待理顺等。为了解会员单位在业务经营中存在的困难和问题，支付清算协会通过对37家代表性会员单位(包括21家银行和16家非银行支付机构)的书面调研，对我国收单市场基本情况以及会员单位反馈的主要问题进行了摸底。银行卡收单市场发展概况 (一)银行卡受理环境不断完善随着受理成本的降低和市场推广力度的加强，受理商户数量持续快速增长，受理环境不断完善。截至20xx年底，银行卡跨行支付系统联网特约商户万户，同比增加%，较上年末新增万户;POS终端万台，同比增加%，较上年末新增万台;ATM终端万台，同比增长%，较上年末新增万台。 (二)收单机构积极布局聚合支付业务受成本低廉、客户需求等多种因素驱动，商业银行、支付机构等

加紧在聚合支付业务方面的布局。调研的36家1收单机构中，21家会员单位(58%)通过自身技术研发或与聚合技术服务商合作已经开展了聚合支付业务;4家会员单位(11%)正在推进聚合支付业务， 11家会员单位(31%)尚未开展聚合支付业务。聚合支付业务从形式上看主要有两种形式，第一种形式体现为商户布放智能POS，即融合了扫码、刷卡、云闪付、指纹支付、声波支付等支付方式中的两种以上的POS 机、PAd或其他智能终端;第二种形式体现为条码台牌，即通过在特约商户收银台或餐桌等位置张贴、布放二维码，支持微信、支付宝、银行等不同机构的客户通过扫二维码完成支付。从背后业务实质来看，聚合支付业务则是收单机构依托银行、非银行支付机构或清算组织，借助以上各方的支付通道与清结算能力，利用自身的技术与服务集成能力，将一个以上的银行、非银行支付机构或清算组织的支付服务整合到一起，为商户提供包括“支付通道整合服务”、“集合对账服务”、“差错处理服务”、“技术对接服务”、“会员账户服务”、“运行维护服务”、“终端提供与维护”等服务，减少商户接入、维护支付结算服务的成本支出，提高商户支付结算系统运行效率，获取增值收益。 (三)收单业务整体规模稳步增长2 随着受理环境的不断完善以及线上线下收单业务一体化的发展，银行卡收单业务量保持高速发展态势,收单交易金额机构集中度有所提升。根据协会统计数据，20xx年，全国182家收单机构3共处理收单业务亿笔，金额万亿元，分别较上年增长%和%。排名前十位的收

陶瓷项目可行性研究报告

陶瓷项目可行性研究报告泓域咨询规划设计/投资分析/产业运营

摘要从二十世纪八十年代开始，以高效发动机和燃汽轮机中高温陶瓷关键零部件开发为导向的陶瓷材料的组成设计、晶界工程、净尺寸成型、烧结技术研发，为先进结构陶瓷的研究与发展培育了人才队伍、奠定了基础。高温结构陶瓷是一种具有高熔点等特点的结构陶瓷。高温结构陶瓷分为氧化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、氮化硼陶瓷和碳化硼陶瓷。该陶瓷项目计划总投资12662.47万元，其中：固定资产投资8960.47万元，占项目总投资的70.76%；流动资金3702.00万元，占项目总投资的29.24%。本期项目达产年营业收入27401.00万元，总成本费用20561.10 万元，税金及附加245.36万元，利润总额6839.90万元，利税总额8028.69万元，税后净利润5129.92万元，达产年纳税总额2898.76万元；达产年投资利润率54.02%，投资利税率63.41%，投资回报率40.51%，全部投资回收期3.97年，提供就业职位452个。

陶瓷项目可行性研究报告目录第一章项目概论一、项目名称及建设性质二、项目承办单位三、战略合作单位四、项目提出的理由五、项目选址及用地综述六、土建工程建设指标七、设备购置八、产品规划方案九、原材料供应十、项目能耗分析十一、环境保护十二、项目建设符合性十三、项目进度规划十四、投资估算及经济效益分析十五、报告说明十六、项目评价十七、主要经济指标

第二章背景和必要性研究一、项目承办单位背景分析二、产业政策及发展规划三、鼓励中小企业发展四、宏观经济形势分析五、区域经济发展概况六、项目必要性分析第三章项目市场空间分析第四章产品规划分析一、产品规划二、建设规模第五章项目选址方案一、项目选址原则二、项目选址三、建设条件分析四、用地控制指标五、用地总体要求六、节约用地措施七、总图布置方案八、运输组成

氮化硅刻蚀机培训教程

Tel/lam 氮化硅刻蚀机培训教案一简介： Tel/lam 氮化硅刻蚀机是一种平板式的干法刻蚀设备，用于氮化硅的干法刻蚀，其工作原理为特种气体SF6,CHF3在RF下电离并与氮化硅发生反应。二结构组成它由以下几部分组成：主机部分、电源部分、泵组部分、射频部分和气体供给部分部分。 1主机部分：它是氮化硅刻蚀机的主体部分，包括显示器、传递腔、反应腔、传动系统及设备的主要控制系统。 2电源部分：系统供电208V进入，经变压器，继电器等变为所需的电压输出。该设备泵组电源由电源柜控制。 3射频部分：在气体反应时提供的高频电源，以便气体在高真空环境下电离，产生等离子体。射频匹配系统位于主机上部，用于对射频源所提供的高频通过可变的电感电容进行匹配，以便提供给设备稳定高效的射频。射频电源为208VAC供电，外接冷却水为本体发热元件降温。 4泵组部分：由机械泵、增压泵和真空管线构成抽反应腔的真空系统，以达到工艺反应时所需的真空度要求。由18泵及配套的真空管线用于抽传递腔的真空。现在我们使用的泵组位于一楼回风区内。 5 气体供给部分：由特气柜、特气瓶和特气管线构成。用于提供反

应所需的特种气体，其中用于提供特气的特气瓶至于一楼回风区内，特气经二次减压提供给设备，并由质量流量计进行控制。三T el/lam 氮化硅刻蚀机的基本操作 1 当操作本台设备时，应首先检查该设备的动力条件，具体条件如下：压缩空气：±氮气: ±用于射频冷却的冷却水是否有，反应所用的特气是否有，设备面板的电极温度是否和设定的温度相符，排风是否正常。 2操作：按照设备操作流程进行操作 3面板按键：LOAD 用于下载初始化程序 SAVE保存程序 RECIPE 用于编辑反应的程序STATUS 用于观察设备所处的状态PARAMETERS用于设置设备参数 OPTIONS用于设备的手动操作及观察设备运行时的参数变化 START 开始设备开始运行 STOP终止下一片硅片从传片筐传出 FIELD SELECT 用于切换设定状态设备面板另有四个用于光标移动的按健及一个数字键盘四 Tel/lam 氮化硅刻蚀机的常见故障及应急故障处理 1真空故障：主要显示为反应腔或者传递腔真空达不到，真空漏率较大。可能引起该故障的主要原因为：真空泵能力下降，真空管线连接不好，设备内部密封件老化，真空监测系统不准确。传递腔不能达到大气压.其故障原因为用于检测其是否达到大气

干法刻蚀工艺

干法刻蚀工艺干法刻蚀工艺可分为物理性刻蚀与化学性刻蚀两种方式。物理性刻蚀是利用辉光放电将气体（如氩）电离成带正电的离子，再利用偏压将离子加速，溅击在被刻蚀物的表面而将被刻蚀物的原子击出，该过程完全是物理上的能量转移，故称为物理性刻蚀。其特色在于，具有非常好的方向性，可获得接近垂直的刻蚀轮廓。但是由于离子是全面均匀地溅射在芯片上，所以光刻胶和被刻蚀材料同时被刻蚀，造成刻蚀选择性偏低。同时，被击出的物质并非挥发性物质，这些物质容易二次沉积在被刻蚀薄膜的表面及侧壁上。因此，在超大规模集成化制作工艺中，很少使用完全物理方式的干法刻蚀方法。化学性刻蚀或称为等离子体刻蚀( PLASMA Etching，PE)，是利用等离子体将刻蚀气体电离并形成带电离子、分子及反应性很强的原子团，它们扩散到被刻蚀薄膜表面后与被刻蚀薄膜的表面原子反应生成具有挥发性的反应产物，并被真空设备抽离反应腔。因这种反应完全利用化学反应，故称为化学性刻蚀。这种刻蚀方式与前面所讲的湿法刻蚀类似，只是反应物与产物的状态从液态改为气态，并以等离子体来加快反应速率。因此，化学性干法刻蚀具有与湿法刻蚀类似的优点与缺点，即具有较高的掩膜／底层的选择比及等向性。鉴于化学性刻蚀等向性的缺点，在半导体工艺中，只在刻蚀不需要图形转移的步骠（如光刻胶的去除）中应用纯化学刻蚀方法。最为广泛使用的方法是结合物理性的离子轰击与化学反应的反应离子刻蚀( RIE)。这种方式兼具非等向性与高刻蚀选择比的双重优点。刻蚀的进行主要靠化学反应来实现，加入离子轰击的作用有两方面。 1)破坏被刻蚀材质表面的化学键以提高反应速率。 2)将二次沉积在被刻蚀薄膜表面的产物或聚合物打掉，以使被刻蚀表面能充分与刻蚀气体接触。由于在表面的二次沉积物可被离子打掉，而在侧壁上的二次沉积物未受到离子的轰击，可以保留下来阻隔刻蚀表面与反应气体的接触、使得侧壁不受刻蚀，所以采用这种方式可以获得非等向性的刻蚀效果。当应用于法刻蚀时，主要应注意刻蚀速率、均匀度、选择比及刻蚀轮廓等因素。

氮化硅陶瓷增韧调研报告

氮化硅陶瓷增韧调研报告 1、前言氮化硅陶瓷是典型的高温高强结构陶瓷，具有良好的室温及高温机械性能，强度高，耐磨蚀，抗热震能力强，抗化学腐蚀，低导热系数，密度相对较小，是结构陶瓷中研究最为广泛深入的材料，亦是陶瓷发动机及其它高温结构件、切削工具、耐磨件等的主要候选材料，近几年来仍是人们争相研究的热点材料之一。但是，已有的研究对氮化硅陶瓷的脆性缺陷仍未获得彻底改善，从而大大限制了它的实际应用。如何提高氮化硅韧性仍是人们研究的焦点。目前从事氮化硅陶瓷研究的学者为了提高其韧性，主要从两大方面着手进行韧性改善。一是通过进行“显微结构设计”来提高氮化硅陶瓷的韧性。即降低气孔的含量，控制杂质的含量，提高氮化硅陶瓷的密度、纯度；对氮硅陶瓷的晶型、晶粒尺寸、发育完整程度进行控制；对晶界的大小、材质进行调控；对玻璃相的数量、性质、分布状态等进行控制，以求在烧结后获得最佳韧性的显微组织，从而提高氮化硅陶瓷的韧性【1】。二是在上述基础上开展的“晶界工程”研究。氮化硅陶瓷常以多晶陶瓷的形式出现，而对多晶材料而言，当晶体较小为微米或纳米级时，晶界状态是决定其电性能、热性能和力学性能等的一个极其重要的因素。对于氮化硅陶瓷来说，晶界强度，尤其是晶界高温强度是决定其能否作为高温工程材料运用的关键。氮化硅是强共价键化合物，其自扩散系数很小，致密化所必须的体积扩散及晶界扩散速度很小，同时它的晶界能V gb与粉末表面能V sv的比值(V gb/ V sv) 比离子化合物和金属要大得多，使得烧结驱动力Δv 较小，决定了纯氮化硅无法靠常规的固相烧结达到致密化，必须加入少量氧化物烧结助剂，在高温烧结过程中它们与氮化硅表面SiO2反应形成液相，通过液相烧结成致密体，冷却后该液相呈玻璃态存在于晶界。而此玻璃相的性能在很大程度上决定了氮化硅陶瓷材料的性能。为了提高氮化硅陶瓷的高温性能，人们对玻璃晶界结晶化进行了大量的研究工作，称之为“晶界工程”【2】。 2、氮化硅陶瓷增韧研究现状

MEMS深硅刻蚀工艺研究报告

学院：机械与材料工程学院班级：机械14-5 姓名：学号：指导教师：目录 1、背景................................................................................. (3) 2、ICP干法刻蚀原理 (6) 3、ICP刻蚀硅实验 (8)

3.1、光刻工艺 3.2、ICP刻蚀硅工艺背景一、什么是MEMS 微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部

结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。MEMS是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。二、MEMS用途 MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。 MEMS是一个独立的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。三、刻蚀工艺用途刻蚀技术（etching technique），是在半导体工艺，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路

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编号：TQC/K879 下半年中国人奢侈品消费新编调查报告完整版 Daily description of the work content, achievements, and shortcomings, and finally put forward reasonable suggestions or new direction of efforts, so that the overall process does not deviate from the direction, continue to move towards the established goal. 【适用信息传递/研究经验/相互监督/自我提升等场景】编写：________________________ 审核：________________________ 时间：________________________ 部门：________________________

下半年中国人奢侈品消费新编调查报告完整版下载说明：本报告资料适合用于日常描述工作内容，取得的成绩，以及不足，最后提出合理化的建议或者新的努力方向，使整体流程的进度信息实现快速共享，并使整体过程不偏离方向，继续朝既定的目标前行。可直接应用日常文档制作，也可以根据实际需要对其进行修改。本文有第一范文网整理! 中国奢侈品消费者的消费习惯和品位正在发生巨大的变化。其中，购物动机从送礼为主转变为自用，购物地点也更多地转向海外。报告中显示，两年前，超过1/3的中国消费者以购买送礼的奢侈品为主，品牌上包括劳力士手表、gucci手袋等。现在中国消费者对于奢侈品的购买动机已不是送给上司或者官员的礼物，转变为自用或者

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氮化硅陶瓷轴承项目可行性研究报告编制单位：北京中投信德国际信息咨询有限公司编制时间：https://www.360docs.net/doc/ef4986167.html, 高级工程师：高建

关于编制氮化硅陶瓷轴承项目可行性研究报告编制说明（模版型）【立项批地融资招商】核心提示： 1、本报告为模板形式，客户下载后，可根据报告内容说明，自行修改，补充上自己项目的数据内容，即可完成属于自己，高水准的一份可研报告，从此写报告不在求人。 2、客户可联系我公司，协助编写完成可研报告，可行性研究报告大纲（具体可跟据客户要求进行调整）编制单位：北京中投信德国际信息咨询有限公司专业撰写节能评估报告资金申请报告项目建议书商业计划书可行性研究报告

目录第一章总论 (1) 1.1项目概要 (1) 1.1.1项目名称 (1) 1.1.2项目建设单位 (1) 1.1.3项目建设性质 (1) 1.1.4项目建设地点 (1) 1.1.5项目主管部门 (1) 1.1.6项目投资规模 (2) 1.1.7项目建设规模 (2) 1.1.8项目资金来源 (3) 1.1.9项目建设期限 (3) 1.2项目建设单位介绍 (3) 1.3编制依据 (3) 1.4编制原则 (4) 1.5研究范围 (5) 1.6主要经济技术指标 (5) 1.7综合评价 (6) 第二章项目背景及必要性可行性分析 (7) 2.1项目提出背景 (7) 2.2本次建设项目发起缘由 (7) 2.3项目建设必要性分析 (7) 2.3.1促进我国氮化硅陶瓷轴承产业快速发展的需要 (8) 2.3.2加快当地高新技术产业发展的重要举措 (8) 2.3.3满足我国的工业发展需求的需要 (8) 2.3.4符合现行产业政策及清洁生产要求 (8) 2.3.5提升企业竞争力水平，有助于企业长远战略发展的需要 (9) 2.3.6增加就业带动相关产业链发展的需要 (9) 2.3.7促进项目建设地经济发展进程的的需要 (10) 2.4项目可行性分析 (10) 2.4.1政策可行性 (10) 2.4.2市场可行性 (10) 2.4.3技术可行性 (11) 2.4.4管理可行性 (11) 2.4.5财务可行性 (11) 2.5氮化硅陶瓷轴承项目发展概况 (12)

深硅刻蚀工艺原理

硅蚀刻工艺在MEMS中的应用文章来源：本站原创点击数：97 录入时间：2006-4-7 减小字体增大字体 Dave Thomas / Trikon Technologies，Newport，Wales，United Kingdom 本文介绍了在现代微机电系统（MEMS；Micro Electro-Mechanical System）制造过程中必不可少的硅蚀刻流程，讨论了蚀刻设备对于满足四种基本蚀刻流程的要求并做了比较，包括块体（bulk）、精度（pre cision）、绝缘体上硅芯片（SOI；Silicon On Insulator）及高深宽比的蚀刻（high aspect ratio etching）等。并希望这些基本模块能衍生出可提供具备更高蚀刻率、更好的均匀度、更平滑的蚀刻侧壁及更高的高深宽比的蚀刻能力等蚀刻设备，以满足微机电系统的未来发展需求。微机电系统是在芯片上集成运动件，如悬臂（cantilever）、薄膜（membrane）、传感器（sensor）、反射镜（mirror）、齿轮（gear）、马达（motor）、共振器（resonator）、阀门（valve）和泵（pump）等。这些组件都是用微加工技术（micromachining）制造的。由于硅材料的机械性及电性众所周知，以及它在主流IC制造上的广泛应用，使其成为微加工技术的首要选择材料。在制造各式各样的坑、洞、齿状等几何形状的方法中，湿式蚀刻具有快速及低成本的优势。然而，它所具有对硅材料各方向均以相同蚀刻速率进行的等向性（isotropic）蚀刻特性、或者是与硅材料的晶体结构存在的差异性、产生不同蚀刻速率的非等向性（a nisotropic）等蚀刻特性，会限制我们在工艺中对应用制造的特定要求，例如喷墨打印机的细微喷嘴制造（非等向性蚀刻特性总会造成V形沟槽，或具锥状（tapered walls）的坑洞，使关键尺寸不易控制）。而干式蚀刻正可克服这个应用限制，按照标准光刻线法（photolithographic）的光罩所定义的几何图案，此类干式蚀刻工艺可获取具有垂直侧壁的几何图案。举例来说，通常要蚀刻定义出较大尺寸的组件，如电容式加速微传感器（capacitive accelerometers）。通常我们会优先考虑湿式蚀刻方式，但对于需要更精确尺寸控制、或是整体尺寸需微缩的组件的制造，则会考虑选择采用干式蚀刻来达到工艺要求。硅蚀刻广泛应用的硅蚀刻方法，是起源于德国Robert Bosch公司开发的非等向性硅蚀刻工艺方法，被称为Bosch 气体交替技术（Bosch gas-switching technique）[1]。利用具有非等向性蚀刻反应的等离子源，与通过反应形成高分子蔽覆层（polymeric passivation layer）的另一种等离子源，两者反复交替进行的方法，以达到硅蚀刻的工艺要求。常用的在硅蚀刻生产过程中的气体选择，多是采用SF6（六氟化硫），因其可在能量只有2 0eV的条件下即可分解出6个氟原子，而这些氟原子会继续与Si反应形成挥发性SiF4（四氟化硅）。理论上，已定义几何图案的6寸硅晶圆占据了大约15%的裸片面积，设定等离子反应室内压力>30mtorr、SF6

市场调查报告范文6篇

市场调查报告范文6篇市场调查报告范文市场调查报告范文（一）：关于手机的市场调研报告目前我国手机产业在市场快速发展的依托下，继续持续了高速增长的发展势头。而手机商也在极力的至于手机的创新，追求更加的与众不同，以至于在市场的竞争中占据优势。这时候智能手机就顺应时代的潮流而问世了。谷歌安卓系统的HTc、苹果IoS系统Iphone顿时风靡全球。在中国市场有力的挑战了诺基亚的市场份额第一的宝座。时代在进步，社会在发展。不想落后那么就务必得创新，务必跟得上时代的脚步。国产手机虽然取得了群体性的突破，但系统、品质、营销、宣传等都跟不上国外品牌，占领市场份额的优势很弱。国产魅族就顺应时代呈此刻消费者面前，让所有的国产手机商有了借鉴的榜样。不可否认的魅族手机的宣传很到位、很成功。但宣传的成功并不代表真正的成功。在真正的开售日开始，魅族手机的各种各样的问题就显示出来了。于此基础上，在各种渠道从魅族手机的营销、优势、产品、库存多个方面上进行了资料搜集，并保证执行操作的简易性与客观性，最后对问卷进行了详尽的分析，并借以了超多数据与图表，以此更加全面地阐明问卷的具体状况，得

出更加精准与富有代表性的结论。调查实施调查背景根据工业和信息化部统计，XX年我国手机产量亿部，占全球手机产量的%;截止到XX年5月底，我国手机用户已经到达亿户，并继续持续快速增长态势。但是从国内手机市场的品牌占有状况看，国产品牌的手机只占%，中国的手机市场依然是海外品牌一统天下的局面。XX年中国手机市场规模将接近1600亿，智能手机、音乐手机、3G手机将成为未来5年市场发展的亮点。中国手机市场进入规模化增长阶段，产品及市场层面的竞争相当激烈，产品同质化、价格战及渠道下沉是最直接表现，厂商竞争重点也由争夺市场份额向追求利润转移，手机市场竞争全面升级。与此同时，手机核准制取消以及中国3G 手机市场即将启动加速手机市场竞争全面升级，一方面体此刻优势品牌份额集中及众多中小品牌份额分化，另一方面体此刻厂商、运营商、渠道商及零售商之间的博弈由竞争向竞合发展。调查方法本次调查我们小组采用了问卷调查的方式，我们使用了标准化的问卷程序。问卷以一般性问题开始，而后随着问卷

刻蚀工艺

硅片工艺程
集成电路工艺之
Materials
IC Fab Metallization CMP Dielectric deposition Test
Wafers
刻蚀
Thermal Processes Masks
Implant
Etch PR strip
Packaging
Photolithography Design
Final Test
刻蚀
1、基本介绍 2、湿法刻蚀 3、干法刻蚀 4、刻蚀工艺
刻蚀的定义
基于光刻技术的腐蚀：刻蚀湿法称腐蚀？干法称刻蚀？将光刻胶上的IC设计图形转移到硅片表面腐蚀未被光刻胶覆盖的硅片表面，实现最终的图形转移化学的，物的或者两者的结合

栅极光刻对准
栅极光刻掩膜
光刻胶多晶硅
STI P-Well
USG
栅极光刻曝光
Gate Mask
显影/后烘/检验
Photoresist Polysilicon STI P-Well USG STI
PR Polysilicon USG P-Well

多晶硅刻蚀（1）
Polysilicon
多晶硅刻蚀（2）
Gate Oxide Polysilicon
PR STI P-Well USG STI
PR USG P-Well
去除光刻胶
Gate Oxide Polysilicon
离子注入
Gate Oxide Dopant Ions, As Polysilicon
+
STI P-Well
USG
STI
n+ P-Well
n+
USG Source/Drain

产品市场调查报告范文5篇

产品市场调查报告范文5篇产品市场调查报告1 1.生产状况据调查，国内以电暖器为主要产品的生产企业为数不多，大约30多家。2002年，这些企业电暖器总产量约240.19万台。其中年产量超过10万台的主要有广东美的家电厂、宁波天工实业公司……八家企业。这八家企业电暖器总产量约209.53万台，占国内电暖器总产量的87.24%。具体数字见表一(略) 以上状况证明：虽然电暖器行业目前处于起步阶段，但生产集中程度都十分高。个性是产量排行第一的广东美的家电厂，其产量超过国内总产量的四分之一，在本行业中处于明显的垄断地位。 2.销售状况据对北京、大连、沈阳、济南、杭州、武汉六个城市的27家大商场的调查，2002年总销量约为71000台。其中，销量超过5000台的有大连商场、大连百货大楼……五家商场，年销售总量约44447台，占27家销售总量的62.2%。具体数字见表二(略) 以上状况证明：与电暖器生产的高度集中类似，电暖器销售的集中程度也十分高。这种现象一方面反映了电暖器市场正处于开发阶

段，大部分商场都把电暖器作为试销商品经营，把电暖器作为主要商品经营的为数甚少;另一方面，虽然经销电暖器获得成功的商场数量不多，但这些成功者的事实至少说明，电暖器极具市场潜力，具有良好的发展前景。 3.各种品牌的竞争(略) 4.市场分析与展望(略) 产品与建筑面积、供热面积的分析，产品生产和销售状况的分析(略) 5.几点推荐(略) 产品调查是市场调查的主要资料之一。产品市场调查报告的行业性、专业技术性很强。其资料一般包括：产品的品牌、质量、款式、功能、价格、技术、服务、消费，及对产品的评价、意见、要求、产品的市场销售、市场展望等。上述市场调查报告范文侧重于对产品的生产、销售、品牌等状况的介绍，运用数字分析、比较、排位等方法分析，尤其是第四部分对影响产品销售的建筑面积、供热面积等深层背景进行分析，并进行预测，使文章更有力度，在此基础上所提出的对策和推荐，必然显得理据充实，说服力强。 (四)市场调查报告的结尾结尾是市场调查报告的重要组成部分，要写得简明扼要，短小

2020年西部特色经济发展状况的调研报告

西部特色经济发展状况的调研报告西部如何贯彻西部大开发战略，紧紧抓住历史机遇，加快发展，用我们勤劳的双手去描绘西部最美的图画，这是当前摆在我们面前亟待需要认真研究的课题。一、西部经济发展中存在的问题 1、东西部差距继续扩大。从新中国成立至1978年的30年，以现价计算，国民生产总值增长速度，东西部之比为7。08∶7.52。在近几年的国内生产总值比率中，占国土面积13.5%的东部地区占65%以上，而国土面积占全国56%的西部仅占13%左右。 2、经济的二元化特征明显，结构性矛盾突出。西部地区，以能源、原材料、机械、电子、航天技术为代表的现代产业部门有了一定的发展，农村却以手工劳动、半手工劳动为主，农业的现代化和机械化水平远低于东部，经济的二元化特征十分明显。从产业结构看，西部地区第一产业所占比重偏大，第三产业发展不足。从所有制结构看，西部地区非国有经济尚未很好地发挥经济增长点的作用。 3、文化教育科技事业落后，人口整体文化素质偏低。据第三次人口普查资料，每千人中青壮年中文盲、半文盲数，东部北京为125人，江苏273人，广东168人，西部四川为237人，贵州为323人，云南为339人，宁夏西海固地区高达435人。正由于此，西部地区长期陷于一种相对封闭状态，难以集聚科技人才，难以改变传统生产方式，进而形成一种贫困的恶性循环。

4、生态环境恶劣、水资源缺乏、基础设施落后、社会服务体系不完善。由于大面积毁林（草）和滥砍滥伐，破坏了森林植被，导致土地沙化、草原退化和自然灾害频繁。黄土高原的水土流失，宁夏、内蒙古的荒漠化、沙尘暴，西南山区的泥石流与山体坍塌便是生态环境恶化的具体表现。同时西部地区绝大部分地区公路、铁路干线不成体系，通车里程十分有限，通讯、邮政设施缺乏，供水供电设施不足，给人民生活和社会生产带来不便，也不利于外向型经济的发展。二、发展特色经济，是西部经济实现超常规、跳跃式发展的必由之路特色经济是指一个国家或地区在发展市场经济中，利用比较优势和市场原则，通过竞争而形成的具有鲜明产业特色及企业产品特色的经济结构。发展特色经济，是改变过去西部地区粗放、低效发展传统模式、经济振兴崛起的有力支撑。因为西部地区，无论是整体推进，还是结构调整、基础设施建设、生态环境建设以及发展教育科技，对外开放，最终着眼点和落脚点在发展特色经济。西部省区虽然资源优势有所发挥，并开始形成了某些支柱产业，但远未发展为较强竞争力、占有较大市场份额的区域特色经济，完全可以说，西部地区发展缓慢，很大程度上在于未能实现较快发展市场经济与较好地发挥资源优势的有机结合，把资源优势尽快转换为经济优势。发展特色经济，有利于向资源的广度和深度进军，有利于防止和解决重复建设，实现产业结构战略性调整，有利于形成商品优势，

2020奢侈品消费调查报告3篇

2020奢侈品消费调查报告3篇【篇一】奢侈品消费调查报告中国奢侈品消费者的消费习惯和品位正在发生巨大的变化。其中，购物动机从送礼为主转变为自用，购物地点也更多地转向海外。报告中显示，两年前，超过1/3的中国消费者以购买送礼的奢侈品为主，品牌上包括劳力士手表、gucci手袋等。现在中国消费者对于奢侈品的购买动机已不是送给上司或者官员的礼物，转变为自用或者给朋友代购。报告显示，“三公”消费受限，让购买奢侈品送礼的行为大幅缩减，致使大量中国游客减少在国外消费时的奢侈品购买数量，甚至匿名购买。海外渠道的奢侈品消费已成为大部分中国消费者购买奢侈品的选择。调查显示，超过2/3的中国消费者购买奢侈品的渠道是海外消费，主要集中在法国、米兰、伦敦、纽约和日本这些奢侈品消费热门国家和地区。归功于汇率、税以及其他折扣，这些国家和地区的奢侈品以低于中国地区奢侈品价格的超过50%出售。调查显示，约20%海外消费为朋友自用而代购。咨询公司贝恩（bain&co）驻意大利的danielezito表示，中国消费者曾经购买奢侈品的目的是炫耀财富，但现在他们想通过奢侈品展示品位，并倾向于选择奢侈品行业可以提供的奢侈品。“这也使规模较小但品质好的小众品牌得到了更多机会。”调查中显示，越来越多的中国消费者在购买奢侈品时选择服装品类和新品牌。目的和需求的改变导致奢侈品行业也在发生变化。来自财富品质研究院的分析表示，电商和代购等新渠道的发展使很多消费者可以有更多机会接触和购买到奢侈品。渠道大众化也在进一步加速奢侈品牌大众化。在传统奢侈品牌普遍大众化的同时，高端消费领域出现一定机会，这个机会属于高端定制服务。据财富品质研究院的调查发现，XX年已有67%的中国富豪认为传统奢侈品不是真正的奢侈品，定制才是，并且开始钟爱更多领域的定制内容。【篇二】奢侈品消费调查报告昨天，杭州大厦b座二楼总服务台的边上，一位三十出头的男士好奇地询问

【精华】市场调查报告范文锦集六篇.doc

【精华】市场调查报告范文锦集六篇

【精华】市场调查报告范文锦集六篇随着个人素质的提升，需要使用报告的情况越来越多，报告根据用途的不同也有着不同的类型。那么，报告到底怎么写才合适呢？以下是帮大家整理的市场调查报告6篇，希望对大家有所帮助。市场调查报告篇1 由于人们几千年的封建保守思想，美术教育在基础教育中被视为“副课”。在期末考试来临时，甚至连最后的“阵地”也丢失了，被语、数等考试性科目“占领”。这是长期以来的应试教育的弊端。素质教育的兴起，使美术教育有了抬头的一日，但是人们衡量一个学校、一个班级、一个老师的好坏仍是单纯的学习成绩。目前，我国义务教育阶段的美术教育在诸多方面尚未能达到素质教育的要求，如：课程综合性和多样性不足；过于强调学科中心；过于关注美术与专业知识和技能；脱离学生生活经验；学生的学习没有兴趣等等。针对此现状，本文结合自身在洛阳市东升第二中学的教学实践，对洛阳市东升第二中学的美术教育现状做了一个调查报告。这要通过对洛阳教育管理机关、校长与学校的管理层、学校美术教学的开展情况、学校美术师资队伍的现状和问题以及自身的教学工作作为调查对象，从而进一步对洛阳市东升第二中学的美术教育现状进行分析。在参加中学美术教学一年后，发现大部分美术教师都遇到了诸多问题，如因知识面较窄而难以解答学生在课堂上提出涉及边缘学科的知识问题；美术鉴赏课程达不到理想效果；美术课堂教学秩序不好，而且出现“满堂灌”，学生也对美术不感兴趣、不重视等等多种问题。针对学校美术教学现状，对当地教育机构、教育单位、美术教师等对象进行相关调查分析。一、当地教育管理机构对美术教育的态度河南省洛阳市新课程实验启动后，由于基础教育培养目标、课程体系的重建，要求转变教师教育观念和学生学习方式，学校文化建设呈现新的面貌，教育科研出现新的形势。认清新形势，驾驭新局面，对推进新课程实验，提高新课程教育质量具有决定性的意义。在这一年多的时间里，洛阳市美术教师在洛阳市教育局的大力支持及体卫艺、教研室的直接领导下，结合各学校各教师的实际情况，带领全体教师权利参与新课程改革的实践与探索。通过聘请专家到洛阳市进行“新课程专题讲座”、“美术课程研讨会”、“美术课堂教学大赛”以及美术教师培训等活动，对洛阳市美

辽宁陶瓷新材料项目可行性研究报告

辽宁陶瓷新材料项目可行性研究报告规划设计/投资方案/产业运营

报告摘要说明从二十世纪八十年代开始，以高效发动机和燃汽轮机中高温陶瓷关键零部件开发为导向的陶瓷材料的组成设计、晶界工程、净尺寸成型、烧结技术研发，为先进结构陶瓷的研究与发展培育了人才队伍、奠定了基础。结构陶瓷具有优越的强度、硬度、绝缘性、热传导、耐高温、耐氧化、耐腐蚀、耐磨耗、高温强度等特色，因此，在非常严苛的环境或工程应用条件下，所展现的高稳定性与优异的机械性能，在材料工业上已倍受瞩目，其使用范围亦日渐扩大。而全球及国内业界对于高精密度、高耐磨耗、高可靠度机械零组件或电子元件的要求日趋严格，因而陶瓷产品的需求相当受重视，其市场成长率也颇可观。该超高温结构陶瓷项目计划总投资6405.57万元，其中：固定资产投资5060.91万元，占项目总投资的79.01%；流动资金1344.66万元，占项目总投资的20.99%。本期项目达产年营业收入9563.00万元，总成本费用7258.19万元，税金及附加107.12万元，利润总额2304.81万元，利税总额2729.83万元，税后净利润1728.61万元，达产年纳税总额1001.22万元；达产年投资利润率35.98%，投资利税率42.62%，投资回报率 26.99%，全部投资回收期5.21年，提供就业职位208个。

高温结构陶瓷是一种具有高熔点等特点的结构陶瓷。高温结构陶瓷分为氧化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、氮化硼陶瓷和碳化硼陶瓷。超高温陶瓷是指能在1800℃以上应用，具有相当优良的高温抗氧化性和抗热震性的陶瓷基复合材料。超高温陶瓷能够适应超高音速长时飞行、大气层再入、跨大气层飞行和火箭推进系统等极端环境，可用于飞行器鼻锥、机翼前缘、发动机热端等各种关键部位或部件。

2011-2012中国奢侈品报告

2011-2012中国奢侈品市场调研报告 2011年11月24日，北京，全球最大的独立公关公司之一——罗德公共关系顾问有限公司与亚洲地区著名奢华品市场调研公司——信天翁联业商务咨询有限公司联手推出《2011-2012中国奢华品报告》，首次将目光投向中国“80后”群体，揭示其独特的奢华品消费观，并对未来中国奢华品消费趋势做出预测和建议。拥有庞大而年轻的新兴消费群体，是中国奢华品市场的重要特征。这个群体的年龄已远远低于西方国家的奢华品消费者，甚至也低于同处亚洲的邻国—日本。这个主要由“80后”组成的新生代群体，虽然年轻，但已完全做好消费奢华品的准备，使得中国不仅在现今、更在未来成为最具潜力的奢华品市场。共1057名受访者参与了调研，而结果显示，以“80后”为主体的年轻奢华品消费群呈现5大特点：更乐观，更自我，更崇尚主流品牌，更数字，更追求购买价值。更乐观：中国大陆消费者展现了坚定的消费信心。92%的受访者表示，即便面对通货膨胀及经济前景不确定等压力，未来一年他们在奢华品上的支出将不逊于前一年，甚至会超过。而在台湾，仅有20%的受访者选择这个选项。此项结果表明，中国大陆市场保持着对未来发展的乐观态度，在未来的几年内，中国大陆将继续带领全球奢华品市场的增长。

更自我：过去的观点认为，购买奢华品最主要的诱因是传统的“面子”观念，为了显示身份地位或获得认同而进行的消费行为。然而，2010年发布的第二份中国奢华品报告中显示，“彰显身份、地位”在奢华品消费诱因中，已次于“自我愉悦”。聚焦“80后”的《2011-2012中国奢华品报告》，更确定了这一趋势：对于年轻的消费者来说，购买奢华品最主要的原因是出于“自我”的诱因，特别是当他们要寻求某种自我奖励的时候。一些社会心理要素，如身份象征，已不再是最重要的因素而在今年的报告中退居第二位。