超声波清洗机的结构与工作原理

超声波清洗机的结构与工作原理
超声波清洗机的结构与工作原理

超声波清洗机的结构与工作原理

超声波清洗机(ultrasonic cleaner)是利用超声波振动原理,对各类几何形状复杂的精密设备进行清洗,以除去其上粘附的油脂、放射性物质、血迹及细茵等污垢物。

(一)结构超声波清洗机主要由超声波发生器、清洗槽和箱体三大部份构成。

1.超声波发生器由电源变压器及整流系统、振荡器、推动级、功率放大器及输出变压器等组成。

2.清洗槽由不锈钢槽、复合换能器和匹配电感组成。换能器枯合于不锈钢槽底部,不锈钢槽与箱架之间垫有减振装置。

3.箱体面板上装有电流表、电源开关、输出插座、频率相功串调节旋钮;其后面装有电源进线插座及保险管。

(二)工作原理超声波清洗机是利用超声波的高能量,使物质分子产生显著的声压作用,超声波振动使液体分子排列紧密时,液体分子受到压力:超声波振动使液体分子稀疏时,液体分子受到向外散开的拉力。液体分子较能承受压力,但受到拉力作用时,其排列易发生断裂,这种断裂常发生在液体中存在杂质或气泡处。液体分子断裂后,其内出现许多泡状的小空腔,这些空腔在极短的时间内闭合,同时产生巨大的瞬时压力.一般可达数干MPa。巨大瞬时压力,可使浮悬在液体中的固体表面受到急剧的破坏作用,这种超声波对液体、固体的声压作用称为“孔蚀现象”。根据此原理,该机振荡器由电子管组成锅台式电感电容振荡回路,振荡频率由电容和电感决定。电位器用来控制反馈信号,振荡号

再经锅台电容输至推动级,经电子管甲类功率放大器放大后,再经未级功宰放大,然后传至换能器,将压电电能转为机械能,从而产生超声波振动。

本文作者:常宏药机

本文链接:https://www.360docs.net/doc/0110656340.html,/shownews.html?id=3066

版权所有@转载时必须以链接形式注明作者和原始出处

超声波清洗机的结构与工作原理

超声波清洗机的结构与工作原理 超声波清洗机(ultrasonic cleaner)是利用超声波振动原理,对各类几何形状复杂的精密设备进行清洗,以除去其上粘附的油脂、放射性物质、血迹及细茵等污垢物。 (一)结构超声波清洗机主要由超声波发生器、清洗槽和箱体三大部份构成。 1.超声波发生器由电源变压器及整流系统、振荡器、推动级、功率放大器及输出变压器等组成。 2.清洗槽由不锈钢槽、复合换能器和匹配电感组成。换能器枯合于不锈钢槽底部,不锈钢槽与箱架之间垫有减振装置。 3.箱体面板上装有电流表、电源开关、输出插座、频率相功串调节旋钮;其后面装有电源进线插座及保险管。 (二)工作原理超声波清洗机是利用超声波的高能量,使物质分子产生显著的声压作用,超声波振动使液体分子排列紧密时,液体分子受到压力:超声波振动使液体分子稀疏时,液体分子受到向外散开的拉力。液体分子较能承受压力,但受到拉力作用时,其排列易发生断裂,这种断裂常发生在液体中存在杂质或气泡处。液体分子断裂后,其内出现许多泡状的小空腔,这些空腔在极短的时间内闭合,同时产生巨大的瞬时压力.一般可达数干MPa。巨大瞬时压力,可使浮悬在液体中的固体表面受到急剧的破坏作用,这种超声波对液体、固体的声压作用称为“孔蚀现象”。根据此原理,该机振荡器由电子管组成锅台式电感电容振荡回路,振荡频率由电容和电感决定。电位器用来控制反馈信号,振荡号

再经锅台电容输至推动级,经电子管甲类功率放大器放大后,再经未级功宰放大,然后传至换能器,将压电电能转为机械能,从而产生超声波振动。 本文作者:常宏药机 本文链接:https://www.360docs.net/doc/0110656340.html,/shownews.html?id=3066 版权所有@转载时必须以链接形式注明作者和原始出处

压实机械的系列与压路机分类

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冲击式压路机(图6)使用多边形方滚,具有静压、冲击、振动、捣实和抒搓的综合作用适用于大型填方、塌

陷性土壤和干砂填筑工程的压实。 振动平板夯实机与振动冲击夯实机(图7)同属于振动压实机械。蛙式夯机是我国特有的一种小型压实设备,目前被除广泛使用。夯实机械通常用于小型工程的压实或作为压路机的补充。 2. 按工作质量大小分类 按工作质量大小,压路机分为小型、轻型、中型、重型和超重型,见表2、表3、表4。 表2 拖式轮胎压路机按质量分类

方面分类,这为选购和应用提供了相当大的空间。 (1)按压轮型式分类压路机的光面钢轮能适应路面的光整作业,且在转移工地时可在公路上行驶。但这种刚性滚轮难于保证铺层材料压实度的均匀性,这种压实度不均匀的道路经行车和沉陷后就会出现凹凸不平。 凸块轮对土壤兼有压实、冲击、拌合与揉搓的综合作用,特别适用于压实粘土。由于凸块对铺层材料的压应力大,经多遍压实后可得到高强度的工程基础。凸块轮振动压路机(图10)在工程基础与堤坝的建设施工中得到了广泛应用。 轮胎压实较之刚性压轮,其优越性在于其揉搓作用能使被压实材料在轮胎接地面积范围内得以均匀压实,而物料很少向侧面移动,这就使铺层各处的压实度相一致,且不会出现裂纹。由于柔性压实,不会破坏铺层材料的原有粘度和混合料中的骨科结构,使沥青混凝土路面有很好的封闭性和抗滑性能。 (2)按驱动轮数量分类单轮驱动压路机在进行压实作业时,从动轮有较为严重的推土现象,降低了铺层材料表面的压实品质。全轮驱动压路机的压轮都是主动轮,驱动力将铺层材料推向后方,能明显地发送表面的压实品质。 单轮驱动压路机往往是一个轮驱动,另一个从动轮转向,全轮驱动较单轮驱动有更大的驱动能力和制动能力,使压路机压实作业时不易陷车,刹车时能缩短制动距离。 (3)按振动轮数量分类振动压路机有单轮振动和双轮振动两种结构型式。与单轮振动串联压路机相比,双轮振动串联压路机虽然结构较复杂,但压实能力强,生产效率高。单轮振动串联压路机在结构上比较简单在一些小型压实工程及路面维修作业中被广泛采用。轮胎驱动单轮振动压路机的驱动能力大,横向稳定性好,几乎占领了岩石填土和工程基础的所有压实工作。 (4)按压轮布置分类压轮串联布置使作业面平整度好,三轮布置的压路机横向稳定性好,轮胎压路机的前后轮应相互错开安装。前后轮应有必要的重叠量,不致于在作业面留下空白处。 组合振动压路机(图11)的压轮布置独具匠心,前轮振动,后轮为四个光面轮胎。它集振动压路机与轮胎压路机的优点于一身,在路面铺层的压实工作中获得了很好的压实效果。 (5)按传动型式分类压路机的传动型式可以是机械传动、液压传动、液力机械传动。机械传动系统只能实现有级变速,且不能实现全轮驱动。液压传动能很容易地实现无级变速和全轮驱动、全轮振动,能在相当大的调速范围内保持高效率,操纵也很方便。液力机械传动能在一定的范围内根据行驶阻力的变化自动无级调速,提高了发动机的功率利用率。现在几乎所有的振动压路机上都采用了液压传动,液力机械传动只在超重型的轮胎压路机上应用。 (6)按转向方式分类压路机的转向方式分为偏转轮转向和铰接转向两大类。偏转轮转向的压压路机用整体式车架,结构比较简单。偏转轮转向有前轮转向、后轮转向和前后轮同时转向,其中前轮转向较有得司机掌握行车方向。前后轮同时转向也称“全轮转向”,全轮转向压路机的转弯半径小,且能保证弯道压实时不出现漏压现象,但需采用液压传动技术才能实现。

光刻原理

光 刻 工 艺 一、目的: 按照平面晶体管和集成电路的设计要求,在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形,以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理: 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术,它先采用照像复印的方法,将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上,在适当波长光的照射下,光致抗证剂发生变化,从而提高了强度,不溶于某些有机溶剂中,未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化,很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用,对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀,从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 (一)光刻原理图 (一)光刻胶的特性: 1.性能,光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量,使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构,从而提高了抗蚀能力,不再溶于有机溶剂,也不再受一般腐蚀剂的腐蚀. 2.组成:以KPR 光刻胶为例: 感光剂--聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂--环己酮。 增感剂--5·硝基苊, 3.配制过程: 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀,然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀,静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内,加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 (二)光刻设备及工具: 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1.曝光机--光刻专用设备。 2.操作箱甩胶盘--涂复光刻胶。 3.烘箱――烤硅片。 4.超级恒温水浴锅--腐蚀SiO2片恒温用。 5.检查显为镜――检查SiO2片质量。 6.镊子――夹持SiO2片。 7.定时钟――定时。 8.培养皿及铝盒――装Si片用。 9.温度计――测量温度。 图(二)受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1.涂胶:利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上,涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上,然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上,利用转动时产生的离心力,将片子上多余的胶液甩掉,在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求:厚度适当(观看胶膜条纹估计厚薄),胶膜层均匀,粘附良好,表面无颗粒无划痕。 图(三)光刻工艺流程示意图

超声波清洗机设备结构工作原理

超声波清洗机设备结构工 作原理 Modified by JEEP on December 26th, 2020.

超声波清洗机设备结构,工作原理1根据原理16:振动所设计的超声波清洗设备标准清洗原理: 超声波清洗机是通过超声波发生器将高于20KHz频率的有震荡信号进行电功率放大后经超声波换能器(震头)的逆压电效应转换成高频机械振动能量通过清洗介质中的声辐射,使清洗液分子振动并产生无数微小气泡。气泡沿超声传播方向在负压区形成、生长,并在正压区迅速闭合而产生上千个大气压的瞬间高压而爆破,形成无数微观高压冲击波作用于被清洗工件表面。此即超声波清洗中的“空化效应”。超声波清洗机就是基于“空化效应”的基本原理工作的,也因此,超声清洗对具有内外结构复杂、微观不平表面、狭缝、小孔、拐角、死角、元件密集等特点的工件均具有卓越的洗净能力,是其他清洗方法无可比拟的。随着超声频率的提高,气泡数量增加而爆破冲击力减弱,设备因此,高频超声特别适用於小颗粒污垢的清洗而不破环其工件表面。 2设备由三部分组成: (又称超声波电源)、换能器及其它的辅助系统。 超声波发生器将工频电转变成 28KHZ以上的高频电信号,通过电缆输送到换能器上。一般超声波换能器是固定在清洗槽的底板上,清洗槽内装满了液体,当换能器被加上高频电压后,它的压电陶瓷元件在电场作用下便产生纵向振动。 超声波换能器(又称声头)是一种高效率的换能元件,能将电能转换成强有力的超声波振动,在产生超声波振动时,仿佛是一个小的活塞,振幅很小,约只有几微米。但这个振动加速度很大(几十至几千个);槽上具有许多个换能器,施加相同的频率及相位的电能时,就合成了一个巨大的活塞进行往复振动,这种振动的现象,就是平时我们所说的超声波。以下是超声波的组成部分说明(1)换能器:采用特种锆酸钛酸铅PZT压

压路机结构和工作原理

项目一压路机构造与装配 (2) 任务一认识压路机 (2) 1.压路机的用途 (2) 2.公路的结构 (2) 3. 压路机的分类 (2) 4. 压路机的型号编著 (3) 5.振动式压路机的应用 (3)

项目一压路机构造与装配 任务一认识压路机 一、任务描述 二、任务要求 三、相关知识 (一)压路机的用途、分类与型号编制 1.压路机的用途 在公路、铁路、机场、水利工程、建筑工程中,压路机主要用于对路基、路面、大堤、围堰、建筑基础等进行压实。 所谓压实,就是通过碾压、冲击等方法,以外力克服土壤、砂石、沥青混合料的颗粒之间的摩擦力、凝聚力进行重新排列,互相之间靠拢、将水与空气挤出,使材料颗粒之间的摩擦力、凝聚力变得更大,被压实材料也就更密实。 压实经过了四个过程:重新排列、充填过程、分离过程与夯实过程。即较大的颗粒重新排列,使它们之间的间隙变小,小颗粒充填到大颗粒这间的间隙中,将间隙中的水与空气挤出,在外力的作用下颗粒碎裂,造成进一步的充填。 造成压实的作用力有以下几种:静压力、冲击力、激振力、振荡力与搓揉力。能产生以上几种力进行压实工作的机器就是压路机。 2.公路的结构 公路分二层:路面层与路基层。 路基层有二种:一种是未经挖动的土层,这种不需要进行压实;另一种是填起来的土层,必须进行分层压实。 路面层分为面层、基层与垫层,均需要进行压实。其中各层的材料与厚度各不相同,有沥青混凝土、水泥混凝土、稳定土、级配沙石、泥结沙石等。对于不同的层面、不同的材料就采用不同的压实方法,采用不同的压实机械。 3.压路机的分类 1 按压实原理分:静作用式、振动式、振荡式。 3按碾压轮的形式分:光钢轮、振动轮、羊脚轮。 4按机架分:整体机架、铰接机架。 5按碾压轮数量分:单轮、双轮、叁轮。

超声波清洗机使用说明书

超声波清洗机说明书 目录 一、概述 二、技术参数 三、使用环境 四、使用方法 五、注意事项 六、售后服务 七、出厂配置 一、概述 1、清洗原理 超声波清洗机是由超声波信号发生器(电源) 产生的高频振荡信号通过换能器(振子)转化成高

频机械振荡并传播到液体中,超声波在液体中疏密相间地向前辐射并产生数以万计的微小气泡,这些气泡在传播过程中的负压区形成、生长,而在正压区迅速闭合,在这种被称之为“空化效应”的过程中,气泡闭合可形成上千个大气压的瞬时高压,连续不断的产生的高压就像无数小“爆炸”不断冲击物体表面,使物体表面及缝隙中的污垢迅速剥落,从而达到清洗目的。 数控系列超声波清洗机采用LED 人机交互界面,数字显示,友好清晰,直观方便。该机性能稳定、可靠,深受广大用户的喜爱。 2、用途 TH 系列超声波清洗机是采用成熟的电路设计、优质进口元器件和先进的加工工艺制造而成的新一代功率超声清洗设备,工作可靠,效率高,输出功率稳定。广泛应用于制药企业玻璃瓶、胶塞、各种滤芯滤网的清洗;金属非金属结构件电镀前的处

理;电子、光学、仪表等精密部件的清洗;饰品、贵金属、稀有金属的清洗;微粉分级处理及过滤筛的清洗;化纤喷丝头、喷丝板的清洗;汽修行业发动机、油泵油嘴、化油器的清洗;生物化验室中的提取、除气及医疗器械的清洗等诸多领域。 3、性能特点 (1)清洗效率高,能批量处理被清洗物。 (2)清洗效果好,不损坏被清洗件,被清洗 件清洁度整体一致。 (3)操作工人不接触清洗液,安全可靠,省 时省力。 (4)特别适用于清洗几何形状复杂的工件, 无孔不入,无微不致。

二、技术参数 1、超声功率:300 W (数显,40%-100%功率 可调) 2、超声频率:40KHz 3、清洗时间任意设定:1 —199mi n分辨率1min 4、温度控制:常温一一80度,加热功率:400W 5、工作电源:AC 220 V.50HZ(外供电源必须 接地) 6、清洗槽内尺寸:30 0X 240 X 150 mm3 三、使用环境 1、环境温度10C —30C,清洗液温度10C — 50 C

超声波清洗机设备结构,工作原理

超声波清洗机设备结构,工作原理1根据原理16:振动所设计的超声波清洗设备标准清洗原理: 超声波清洗机是通过超声波发生器将高于20KHz频率的有震荡信号进行电功率放大后经超声波换能器(震头)的逆压电效应转换成高频机械振动能量通过清洗介质中的声辐射,使清洗液分子振动并产生无数微小气泡。气泡沿超声传播方向在负压区形成、生长,并在正压区迅速闭合而产生上千个大气压的瞬间高压而爆破,形成无数微观高压冲击波作用于被清洗工件表面。此即超声波清洗中的“空化效应”。超声波清洗机就是基于“空化效应”的基本原理工作的,也因此,超声清洗对具有内外结构复杂、微观不平表面、狭缝、小孔、拐角、死角、元件密集等特点的工件均具有卓越的洗净能力,是其他清洗方法无可比拟的。随着超声频率的提高,气泡数量增加而爆破冲击力减弱,设备因此,高频超声特别适用於小颗粒污垢的清洗而不破环其工件表面。 2设备由三部分组成: (又称超声波电源)、换能器及其它的辅助系统。 超声波发生器将工频电转变成 28KHZ以上的高频电信号,通过电缆输送到换能器上。一般超声波换能器是固定在清洗槽的底板上,清洗槽内装满了液体,当换能器被加上高频电压后,它的压电陶瓷元件在电场作用下便产生纵向振动。 超声波换能器(又称声头)是一种高效率的换能元件,能将电能转换成强有力的超声波振动,在产生超声波振动时,仿佛是一个小的活塞,振幅很小,约只有几微米。但这个振动加速度很大(几十至几千个);槽上具有许多个换能

器,施加相同的频率及相位的电能时,就合成了一个巨大的活塞进行往复振动,这种振动的现象,就是平时我们所说的超声波。以下是超声波的组成部分说明(1)换能器:采用特种锆酸钛酸铅PZT压电陶瓷片组成的三明治式的振动头具有效率高、寿命长、不易发生故障的优点。换能器采用特种耐高温、耐振动、高粘度的树脂胶辅以特殊的方法加以固定绝不脱落,且可耐受100℃150℃的高温(2)超声波发生器(电源):采用功率MOS管超声波发生器,电路先进,结构完整,辅以灵敏可靠的集成控制系统,保证了超声波清洗机在各种负载下稳定工作。发生器体积小巧,外观新颖,操作十分简便,产品质量及技术水准可与国外同类产品相媲美,一经推出便受到了同行的重视,更得到了广大用户的欢迎。 各种可独立工作,亦可多组并联使用,以完成大规模清洗工程。维修简单,若有一组发生故障时,不影响其它各组的工作,此点对于生产线来说,更为重要。机箱内装有散热风扇施行强制冷风,确保长期工作的安全性。(3)加热及温度控制系统:加热器采用铸铝加热片,可耐酸碱,寿命长。加热的目的是将清洗剂加热以增加清洗机的洗涤效果,温度自动控制,可在适当范围内随意调整(4) 清洗槽:清洗槽采用SU304不锈钢经氩弧焊焊制而成,槽体上设置有排渣检修口、保温隔声层等5)槽液循环过滤系统:在该系统中设有过滤器,对槽液进行动态过滤,以维持槽液的清洁度。当工件出槽,经过过滤的液体流经槽体上部的喷淋环节对工件进行一次冲洗,以便冲掉工件出槽,以避免其对下道槽液造成污染。(6)输送系统:根据被清洗工件的形状、体积、批量等确定超声波清洗机的输送方式及控制方式。典型的输送方式有——悬链、网带、双链、步进、电葫芦、自行葫芦、滚筒、转盘、龙门架、机械手、吊篮、推盘等等。(7)

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm(正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,

光刻机和光掩膜版

十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里,我们介绍如何将图形转移到硅片表面上,包括以下内容:a)将图形投影到硅片表面的装置(即光刻对准仪或光刻翻版机),由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具(即光掩模版和中间掩模版)。在介绍光刻机或掩模版之前,把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前,有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征:a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常,分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的,我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而,和光刻机的分辨率一样,最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解,但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小,且各层都需正确匹配,所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此,首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形,然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如,如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版,这样也许仍 然是经济的。不过,在大 部分生产应用中,加工和 机器的产率是很重要的, 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的,因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的,所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制,而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的,那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念,包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图(1):一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

超声波清洗机使用说明书

超声波清洗机使用说明书

超声波清洗机说明书 目录 一、概述 二、技术参数 三、使用环境 四、使用方法 五、注意事项 六、售后服务 七、出厂配置

数控系列超声波清洗机采用LED人机交互界面,数字显示,友好清晰,直观方便。该机性能稳定、可靠,深受广大用户的喜爱。2、用途 TH系列超声波清洗机是采用成熟的电路设计、优质进口元器件和先进的加工工艺制造而成的新一代功率超声清洗设备,工作可靠,效率高,输出功率稳定。广泛应用于制药企业玻璃瓶、胶塞、各种滤芯滤网的清洗;金属非金属结构件电镀前的处理;电子、光学、仪表等精密部件的清洗;饰品、贵金属、稀有金属的清洗;微粉分级处理及过滤筛的清洗;化纤喷丝头、喷丝板的清洗;汽修行业发动机、油

泵油嘴、化油器的清洗;生物化验室中的提取、除气及医疗器械的清洗等诸多领域。 3、性能特点 (1)清洗效率高,能批量处理被清洗物。(2)清洗效果好,不损坏被清洗件,被清洗件清洁度整体一致。 (3)操作工人不接触清洗液,安全可靠,省时省力。 (4)特别适用于清洗几何形状复杂的工件,无孔不入,无微不致。 二、技术参数 1、超声功率:300 W(数显,40%-100%功率可调)

2、超声频率:40KHz 3、清洗时间任意设定:1—199min 分辨率1min 4、温度控制:常温——80度,加热功率:400W 5、工作电源:AC 220 V.50Hz(外供电源必须接地) 6、清洗槽内尺寸: 300× 240 × 150 mm3 三、使用环境 1、环境温度10℃—30℃,清洗液温度10℃—50℃ 2、相对湿度≤80% 3、大气压力86~106Kpa 4、连续工作时间≤60min

压路机结构和工作原理

项目一压路机构造与装配...................................... 错误!未定义书签。 任务一认识压路机........................................ 错误!未定义书签。 1.压路机的用途 .............................................. 错误!未定义书签。 2.公路的结构 ................................................ 错误!未定义书签。 3. 压路机的分类 ............................................. 错误!未定义书签。 4. 压路机的型号编着 ......................................... 错误!未定义书签。 5.振动式压路机的应用 ........................................ 错误!未定义书签。

项目一压路机构造与装配 任务一认识压路机 一、任务描述 二、任务要求 三、相关知识 (一)压路机的用途、分类与型号编制 1.压路机的用途 在公路、铁路、机场、水利工程、建筑工程中,压路机主要用于对路基、路面、大堤、围堰、建筑基础等进行压实。 所谓压实,就是通过碾压、冲击等方法,以外力克服土壤、砂石、沥青混合料的颗粒之间的摩擦力、凝聚力进行重新排列,互相之间靠拢、将水与空气挤出,使材料颗粒之间的摩擦力、凝聚力变得更大,被压实材料也就更密实。 压实经过了四个过程:重新排列、充填过程、分离过程与夯实过程。即较大的颗粒重新排列,使它们之间的间隙变小,小颗粒充填到大颗粒这间的间隙中,将间隙中的水与空气挤出,在外力的作用下颗粒碎裂,造成进一步的充填。 造成压实的作用力有以下几种:静压力、冲击力、激振力、振荡力与搓揉力。能产生以上几种力进行压实工作的机器就是压路机。 2.公路的结构 公路分二层:路面层与路基层。 路基层有二种:一种是未经挖动的土层,这种不需要进行压实;另一种是填起来的土层,必须进行分层压实。 路面层分为面层、基层与垫层,均需要进行压实。其中各层的材料与厚度各不相同,有沥青混凝土、水泥混凝土、稳定土、级配沙石、泥结沙石等。对于不同的层面、不同的材料就采用不同的压实方法,采用不同的压实机械。 3.压路机的分类 1 按压实原理分:静作用式、振动式、振荡式。 2按结构质量分:轻型、小型、中型、重型、超重型。 3按碾压轮的形式分:光钢轮、振动轮、羊脚轮。 4按机架分:整体机架、铰接机架。 5按碾压轮数量分:单轮、双轮、叁轮。

超声波清洗的工作原理

上千个大气压力,数百度的高温,利用闭合时的爆炸冲击波破坏不溶性污物而使它们分散于 清洗液中,当团体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时,油被乳化, 而达到清洗件表面净化的目的。 由于超声波固有的穿透力, 所以可以清洗各种表面复杂, 形 状特异的物件,对小孔和缝隙都有很好的清洗效果, 对不吸音或吸音系数小的物体清洗效果 最佳。 正确使用超声波设备 1、了解超声波 用超声波可以分为三种,即次声波、声波、超声波。次声波的频率为 的频率为20Hz~20kHz ;超声波的频率则为 20kHz 以上。其中的次声波和超声波一般人耳是 听不到 的。超声波由于频率高、波长短,因而传播的方向性好、穿透能力强,这也就是为什 么设计制作超声波清洗机的原因。 2、超声波如何完成清洗工作 超声波清洗是利用超声波在液体中的社会化作用、 加速度作用及直进流作用对液体和污 物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。目前所用的超声波清 超声波清洗的应用原理 超声波清洗的应用原理是由超声波发生器发出的高频振荡信号, 通过换能器转换成高频 机械振荡而传播到介质, 清洗溶剂中超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射, 使液体流动而 产生数以万计的微小气泡,存在于液体中的微小气泡(空化核)在声场的作用下振动, 当声 压达到一定值时,气泡迅速增长,然后突然闭合, 在气泡闭合时产生冲击波,在其周围产生 固体粒子即脱离,从 20Hz 以下;声波

洗机中,空化作用和直进流作用应用得更多。 (1) 空化作用:空化作用就是超声波以每秒两万次以上的压缩力和减压力交互性的高 频变换方式向液体进行透射。在减压力作用时,液体中产生真空核群泡的现象,在压缩力作 到精密洗净目的。 (2) 直进流作用:超声波在液体中沿声的传播方向产生流动的现象称为直进流。声波 强度在cm2时,肉眼能看到直进流,垂直于振动面产生流动,流速约为 进流使被清洗物表面的微油污垢被搅拌, 污垢表面的清洗液也产生对流,溶解污物的溶解液 与新液混合,使溶解速度加快,对污物的搬运起着很大的作用。 (3) 加速度:液体粒子推动产生的加速度。对于频率较高的超声波清洗机,空化作用 就很不显著了,这时的清洗主要靠液体粒子超声作用下的加速度撞击粒子对污物进行超精密 清洗。 3、超声波清洗机的原理是什么 超声波换能器将高频振荡电讯号转换成高频机械振荡,以纵波的形式在清洗液中辐射。 在辐射波扩张的半波期间, 清洗液的致密性破坏并形成无数直径为 50- 500 ^m 的气泡。这种 气泡中充满着溶液蒸汽。在压缩的半波期间,气泡讯速闭合,会产生上百Mpa 的局部液压撞 击。这种现象称为“空化”效应。 在“空化”效应的连续作用下, 工件表面或隐蔽处的污垢 被爆裂、剥落。同时,在超声的作用下,清洗液的渗透作用加强;脉动搅拌加剧;溶解、分 散和乳化加速;从而将工件彻底清洗干净。 4、超声波清洗机 是由哪几部分构成的 超波清洗机主要由超声波清洗槽和超声波发生器两部分构成。 好、耐腐蚀的优质不锈钢制成, 底部安装有超声波换能器振子; 超声波发生器产生高频高压, 用时,真空核群泡受压力压碎时产生强大的冲击力, 由此剥离被清洗物表面的污垢, 从而达 10cm/s 。通过此直 超声波清洗槽用坚固弹性

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm (正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,将产生一个对准电信号,该信号以中断信号的形式输入计算机,X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时,计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候,一个标记中两个象限的光栅同时参与,在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数,但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同,如图2所示。在对准扫描的过程中,每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号,由于两个象限的光栅条纹间距不同,所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号,而这个点就是在X

超声波清洗机技术要求

超声波清洗机技术要求 一、设备名称:CG-DX-8超声波清洗机 二、主要技术参数、技术要求及工艺要求 1、设备的技术参数及技术要求 1)、技术参数 1、设备外形尺寸:L5160×W1150×H1750mm; 2、超声波清洗功率:1000W×4块(上下各2块);超声波频率:40KHZ; 超声波漂洗1、2功率:1000W×2块;超声波频率:40KHZ; 3、储液槽1:L:1200×W750×H500mm, 加热功率:2KW×6根(U型,L=500mm); 循环泵1:QLY2-16 0.75KW,流量:2T,扬程:16米,液下高度:L=400mm; 4、储液槽2、3:L:800×W750×H500mm; 加热功率:2KW×6根(U型,L=500mm) 循环泵2、3:QLY2-16 0.75KW,流量:2T,扬程:16米,液下高度:L=400mm; 5、吹液、吹干风泵:XGB-9 1.5KW×2台;风泵吸风口配空气过滤器; 6、设备总功率:24KW(含加热功率:12KW); 2)、技术要求 1、清洗范围:满足高速铝线漆包机8个头清洗要求,高速铝线漆包机DV值 100-140,铝线线径Φ0.3-0.8mm; 2、清洁度:铝线表面无油污、油泥、无铝屑; 3、设备操作方向为:面对设备左进右出; 4、整套设备无清洗介质的跑、冒、滴、漏现象; 5、机体材料、外观、结构形式按供双方确认的技术协议制造;

6、机械电气操作及维护均应保证其安全、可靠、方便、快捷; 7、喷漆颜色:与铝线漆包机颜色相同; 8、配备漆包铝线超声波清洗机与高速铝线漆包机铝线走线的所有转向导轮, 买方提供连接到控制柜电缆,卖方提供电缆型号幷连接。 2.工艺技术要求: 2-1

光刻机的技术原理和发展趋势

光刻机的技术原理和发展趋势 王平0930******* 摘要: 本文首先简要介绍了光刻技术的基本原理。现代科技瞬息万变,传统的光刻技术已经无法满足集成电路生产的要求。本文又介绍了提高光刻机性能的关键技术和下一代光刻技术的研究进展情况。 关键字:光刻;原理;提高性能;浸没式光刻;下一代光刻 引言: 光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸,是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一,光刻机一次次革命性的突破,使大模集成电路制造技术飞速向前发展。因此,了解光刻技术的基本原理,了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。本文就以上几点进行了简要的介绍。 光刻技术的基本原理: 光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上,然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。 1、涂胶 要制备光刻图形,首先就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶。截止至2000年5月23日,已经申请的涂胶方面的美国专利就达118项。在涂胶之前,对芯片表面进行清洗和干燥是必不可少的。目前涂胶的主要方法有:甩胶、喷胶和气相沉积,但应用最广泛的还是甩胶。甩胶是利用芯片的高速旋转,将多余的胶甩出去,而在芯片上留下一层均匀的胶层,通常这种方法可以获得优于+2%的均匀性(边缘除外)。胶层的厚度由下式决定: 式中:F T为胶层厚度,ω为角速度,η为平衡时的粘度,ρ为胶的密度,t为时间。由该式可见,胶层厚度和转速、时间、胶的特性都有关系,此外旋转时产生的气流也会有一定的影响。甩胶的主要缺陷有:气泡、彗星(胶层上存在的一些颗粒)、条纹、边缘效应等,其中边缘效应对于小片和不规则片尤为明显。

全自动超声波清洗机说明书

目录 一、设备概述 (2) 二、设备各主要组成部份功能 (2) 三、清洗工艺流程、温度及时间的选择方法 (6) 四、使用前的准备工作 (8) 五、操作使用说明 (9) 六、使用注意事项 (12) 七、常见故障排除方法 (13) 八、维护与保养 (13) 九、超声波发生器使用说明 (15) 十、整机结构图·······················十一、整机电路图······················附件: 1、产品合格证 2、产品保修卡 3、安装调试验收单

首先,谢谢贵公司选用本公司生产的外国全自动超声波清洗机。使用本机前请先仔细阅读说明书,以免因使用不当而损坏机器。 一、设备概述 本设备是由苏州富怡达超声波有限公司为贵公司量身定做一台专业用于笔记本塑料外壳、手机塑料按键清洗的一台自动化清洗设备,整机主要由超声波发生器、换能器、清洗槽、储液槽、循环过滤系统、自动温控加热系统、进出料台、电脑控制机械臂、热风烘干装置、机架、控制系统等组成。本设备是一个全自动清洗系统,清洗过程由PLC控制,7个由不锈钢材质制作的超声波清洗槽及相对应的储液槽、抛动装置组成的一条连续工作的装置。操作者将装有工件的清洗篮放置在进料台上,电脑控制龙门多吊臂机械手将清洗篮依次送往各工序段,对工件进行一系列清洗、漂洗、干燥后将清洗好的工件送到出料台上,操作者在出料口处将工件卸下。 二、设备各组成部分功能 2. 1 第一、二槽:超声波清、漂洗槽 内槽尺寸:500×600×550 (L×W×H mm)设有单边溢流结构,震动板至液面高度为450mm,采用SUS304#δ2mm不锈钢板焊接制作;槽体右侧设有溢 流口,底部设有排水口,设有循环水进水口。 超声波:功率1800W,频率:28KHZ,投入式超声波震板,底震式,可单独控制。 采用日本NTK晶片换能器。超声波可自动/手动控制,自动情况下槽内 无水、无篮均不开启超声;震动盒采用SUS316#δ2mm不锈钢板焊接制 作;配最新他激式液晶显示超声波发生器。 循环过滤:独立自循环系统,循环泵采用优质国产不锈钢循环泵。配线绕式过滤棉芯,过滤精度10μ,循环水流量可通过手动阀门调节。 储液槽:有效尺寸(L×W×H) 400×350×520(mm) 采用SUS304#δ1.5mm 不锈钢板焊接制作;设下限液位保护开关,自动关闭加热电源。 抛动系统:清洗过程中对工件进行上下垂直抛动,抛动幅度50mm,抛动频率 12次/分钟。采用电机带动,调束器控制抛动频率。 加热:清洗槽内设有不锈钢加热管2支×3KW,储液槽内设不锈钢加热管3KW/支,配日本“欧姆龙”数显式温度控制器。温控范围:常温+10℃

超声波清洗的小常识

(一). 简单介绍超声波清洗的小常识 ·频率:大于20KHz,工业常用频率为:20KHz,25KHz,28KHz,40KHz。 ·清洗介质:采用超声波清洗,一般有两类清洗剂:化学溶剂、水基清洗剂等。清洗介质的化学作用,可以加速超声波清洗效果,超声波清洗是物理作用,两种作用相互结合,可以对物件进行充分、彻底的清洗。 ·功率密度:功率密度—发射功率(W)/发射面积(cm 2 ) 通常大于0.3W/CM 2 。(在一定范围内)超声波的功率密度越高,空化效果越强,速度越快,清洗效果越好。但对于精密的、表面光洁度甚高的物件,采用长时间的高功率密度清洗会对物件表面产生“空化”腐蚀。常用工业清洗超声功率密度约在0.3-1.0W/CM 2 之间。 ·超声波频率选择:超声波频率越低,在液体中产生的空化越容易,产生的力度大,作用也越强,适用于工件(粗、脏)初洗。频率高则超声波方向性强,适合于精细的物件清洗。超声波工作频率低则工作噪音较大,随着工作频率的提高,噪音明显减少。 ·清洗温度:一般来说,超声波在30°C-40°C 时的空化效果最好。清洗剂则一般是温度越高,作用越显著。通常实际应用超声波清洗时,采用40°C-60°C 的工作温度。由于超声波设备的特殊性,最好清洗时工作温度不超过80 ℃。 (二). 超清洗的配备与采购要点: 功率的选择 超声波清洗有时用小功率,花费很长时间也没有清除污垢。而如果功率达到一定数值,很快便将污垢去除。若选择功率太大,空化强度将大大增加,清洗效果是提高了,但这时较精密的零件也产生了蚀点,而且清洗机底部振动板空化严重,水点腐蚀也增大,在采用三氯乙烯等有机溶剂时,基本上没有问题,但采用水或水溶性清洗液时,易于受到水点腐蚀,如果振动板表面已受到伤痕,强功率下水底产生空化腐蚀更严重,因此要按实际使用情况选择超声功率。 频率的选择 超声清洗频率从28 kHz 到120kHz 之间,在使用水或水清洗剂时由空穴作用引起的物理清洗力显然对低频有利,一般使用28-40kHz 左右。对小间隙、狭缝、深孔的零件清洗,用高频(一般40kHz 以上)较好,甚至几百kHz 。对钟表零件清洗时,用400kHz 。若用宽带调频清洗,效果更良好。 清洗篮的使用 在清洗小零件物品时,常使用网篮,由于网眼要引起超声衰减,要特别引起注意。当频率为28khz 时使用10mm 以上的网眼为好。 清洗液温度 水清洗液最适宜的清洗温度为40-60℃,尤其在天冷时若清洗液温度低空化效应差,清洗效果也差。因此有部分清洗机在清洗缸外边绕上加热电热丝进行温度控制,当温度升高后空

超声波清洗机的原理使用和保养

超声波清洗机的原理使用和保养 一、原理 1、什么是超声波:波可以分为三种,即次声波、声波、超声波。次声波的频率为20Hz以下;声波的频率为20Hz~20kHz;超声波的频率则为20kHz以上。其中的次声波和超声波一般人 耳是听不到的。超声波由于频率高、波长短,因而传播的方向性好、穿透能力强,这也就是 为什么设计制作超声波清洗机的原因。 2、超声波如何完成清洗工作 超声波清洗是利用超声波在液体中的社会化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直 接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。目前所用的超声波清洗机 中,空化作用和直进流作用应用得更多。 (1)空化作用:空化作用就是超声波以每秒两万次以上的压缩力和减压力交互性的高频变换 方式向液体进行透射。在减压力作用时,液体中产生真空核群泡的现象,在压缩力作用时, 真空核群泡受压力压碎时产生强大的冲击力,由此剥离被清洗物表面的污垢,从而达到精密 洗净目的。 ★在超声波清洗过程中,肉眼能看见的泡并不是真空核群泡,而是空气气泡,它对空化 作用产生抑制作用降低清洗效率。只有液体中的空气气泡被完全脱走,空化作用的真空核群 泡才能达到最佳效果。 (2)直进流作用:超声波在液体中沿声的传播方向产生流动的现象称为直进流。声波强度在0.5W/cm2时,肉眼能看到直进流,垂直于振动面产生流动,流速约为10cm/s。通过此直进流使被清洗物表面的微油污垢被搅拌,污垢表面的清洗液也产生对流,溶解污物的溶解液与 新液混合,使溶解速度加快,对污物的搬运起着很大的作用。 (3)加速度:液体粒子推动产生的加速度。对于频率较高的超声波清洗机,空化作用就很不 显著了,这时的清洗主要靠液体粒子超声作用下的加速度撞击粒子对污物进行超精密清洗。 3、超声波清洗机的构成:超波清洗机主要由超声波清洗槽和超声波发生器两部分构成。超声波清洗槽用坚固弹性好、耐腐蚀的优质不锈钢制成,底部安装有超声波换能器振子;超声波 发生器产生高频高压,通过电缆联结线传导给换能器,换能器与振动板一起产生高频共振, 从而使清洗槽中的溶剂受超声波作用对污垢进行洗净。 4、超声波清洗原理 声波清洗的原理是由超声波发生器发出的高频振荡信号,通过换能器转换成高频机械振荡而 传播到介质,清洗溶剂中超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射,使液体流动而产生数以万 计的微小气泡,存在于液体中的微小气泡(空化核)在声场的作用下振动,当声压达到一定 值时,气泡迅速增长,然后突然闭合,在气泡闭合时产生冲击波,在其周围产生上千个大气 压力,破坏不溶性污物而使它们分散于清洗液中,当团体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表 面时,油被乳化,固体粒子即脱离,从而达到清洗件表面净化的目的。由于超声波固有的穿透力,所以可以清洗各种表面复杂,形状特异的物件,对小孔和缝隙都有很好的清洗效果, 对不吸音或吸音系数小的物体清洗效果最佳. 5、超声波的两个主要参数: 频率20KHz~33KHz 功率密度=发射功率(W)/发射面积(CM2) 6、超声波清洗效果及相关数据 清洗介质:采用超声波清洗,一般有两类清洗剂即化学溶剂和水基清洗剂。清洗介质的化学 作用可以加速超声波清洗效果,超声波清洗是物理作用,两种作用相结合,以对物件进行充 分、彻底的清洗。 功率密度:超声波的功率密度越高,空化效果越强,速度越快,清洗效果越好,但对于精密 的表面光洁度甚高的物件,采用长时间的高功率密度清洗会对物件表面产生空化、腐蚀。

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