无尘车间的等级是如何划分的

无尘车间的等级是如何划分的
无尘车间的等级是如何划分的

无尘车间的等级是如何划分的

发布者:admin 发布时间:2011-7-27 阅读:147次【字体:大中小】

无尘车间即净化车间,净化车间,亦称为无尘室或洁净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间可以分为以下几个级别:

1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。

10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。

100级很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。

1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。

10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。

100000级十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。

介绍东莞无尘车间装修材料的选择是什么?

东莞无尘车间装修中,材料的选用非常重要,就如同一套得体的服装一样,合理的选择会起到锦上添花的作用,在此,长荣装饰工程告诉您一些有关选择的要求:

一、无尘净化车间在室内装修设计中,装修材料主要有以下两个特殊要求:

二、根据《无尘车间施工及验收规范》规定,在使用木材和石膏板时应加注意:

三、(1)无尘车间使用的木材的含水率不应大于16%,并且不得外露使用。由于无尘车间换气次数大,相对湿度低,如大量使用木材,易干裂、变形、松动、产生灰尘等,即使用也要局部使用,并且一定要做好防腐防潮处理。

(2)一般东莞无尘车间需用石膏板时必须用防水石膏板,而对于生物无尘车间由于经常用水擦洗和用消毒液冲洗,即使防水石膏板也要受潮变形,不耐冲洗,所以规定生物无尘车间不应采用石膏板作罩面材料。

四、不同无尘车间在选择室内装修材料时还需考虑不同的个性需求:

五、 1、无尘车间通常都需频繁擦拭,除了用水擦拭还会用消毒水、酒精、其它溶剂等擦拭,这些液体通常都有一定的化学品性,会使一些材料表面变色、脱落,这就要在装修材料上面有一定的耐化学品性。

2、生物东莞无尘车间如手术室为了杀菌的需要,通常会安装三氧O3发生器,O3(即臭氧)是一种强氧化气体,会加速环境中物体特别是金属的氧化锈蚀,也会使一般涂层表面由于氧化而褪色,变色,所以此类无尘车间要求其装修材料有很好的耐氧化性,不会产生锈蚀。

六、目前国内知名装修设计公司施工中,对于无尘车间墙面装修材料主要有以下几种:

1、瓷砖

经久性陶瓷砖铺贴后,长时间不会裂、不变形、不吸污。您可以用下面简单方法判断:用墨水滴在产品背后,看墨水是否自动散开。一般来说,墨水散开速度越慢,则吸水率越小,内在品质越优,产品经久性越好,反之产品经久性越差。

2、防菌墙塑

防菌墙塑在少数洁净房中曾经采用过,主要用于辅助用房和洁净通道等净化等级较低的部位,防菌墙塑主要采用墙面粘贴方式,接缝采用密拼方式,类似于贴墙纸,因其采用粘贴式,寿命不长,受潮易变形起鼓,且其装修档次整体较低,应用范围比较狭窄。

3、装饰面板:装饰面板,俗称面板,是将实木板精密刨切成厚度为0.2mm左右的微薄木皮,以夹板为基材,经过胶粘工艺制做而成的具有单面装饰作用的装饰板材,东莞无尘车间是夹板存在的特殊方式,厚度为3厘。

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最全无尘车间标准要求

无尘车间等级标准 无尘车间洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控 环境中空气无尘车间洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)0.1um ~0.5um 范围内累计分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um ~0.5um )、超微粒子(<0.1um )和宏粒子(>5.0um )。 空气无尘车间洁净度分级标准:ISO14644-1(国际标准) 空气无尘车间洁净度分级标准:GB/T16292-1996(中国标准) 空气洁净 度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1.0um 5.0um ISO Class1 10 2 ISO Class2 100 24 10 4 ISO Class3 1,000 237 102 35 8 ISO Class4 10,000 2,370 1,020 352 83 ISO Class5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29 ISO Class6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 ISO Class7 352,000 83,200 2,930 ISO Class8 3,520,000 832,000 29,300 ISO Class9 35,200,000 8,320,000 293,000 注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平 粒径、数值 无尘车间洁净度级 别 尘埃最大允许数/立方米 微生物做大允许数 ≥0.5um ≥5.0um 游浮菌/立方米 沉降菌/皿 100级 3,500 0 5 1,000级 35,000 200 50 10,000级 350,000 2,000 100 100,000级 3,500,000 20,000 500 300,000级 10,500,000 60,000 5

无尘车间设计规范要求(最全)

无尘车间设计规范要求(最全) 随着全球经济一体化的进程,我国的企业不仅同国内的企业展开激烈的竞争,而已还要跟国外企业展开更为广阔更为激烈的竞争,所以我们现在的企业不得不进行转型、升级、创新,因为只有这样我们才能生存。而在这种商业环境下,洁净技术将被我们越来越重视,因为洁净厂房不仅能保证工作人员身体健康,而且对产品的质量、精度、成品率、稳定性等都有显著作用。 一、无尘车间设计的相关政策方针 无尘车间设计必须贯彻执行国家的有关政策方针,必须做到技术先进、经济合理、安全适用、保证质量、节约环保等要求。洁净厂房设计应为施工安装、测试、维护管理和安全运行创造必要的条件,应符合现行的国家标准、规范的有关要求。 二、空气洁净度等级 无尘车间空气洁净度等级的检验,应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净厂房空气洁净度的测试,应符合如下表规定:

注:对于空气洁净度为100级的洁净厂房内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。以保证测试数值是可靠的。 三、无尘车间总体设计 无尘车间位置的选择,应根据需要、经济等比较后确定: 一、应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域; 二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。 三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。 四、还有洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时,洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍,洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。洁净厂房周围应进行绿化,可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木,并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。 四、无尘车间噪声控制 无尘车间内的噪声等级应符合下列要求: 一、动态测试时,洁净厂房内的噪声级不应超过65分贝A。 二、空态测试时,乱流洁净厂房的噪声等级不宜大于58分贝A,层流洁净厂房的噪声级不应大于60分贝A。 三、无尘车间的平、剖面布置,应考虑噪声控制的要求,其围护结构应有良好的隔声性能,并宜使各部分隔声量相接近。 四、无尘车间内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净厂房允许值的设备,应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。 五、净化空气调节系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。除事故排风外,应对洁净厂房内的排风系统进行减噪设计。 六、无尘车间的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求,不得因控制噪声而影响洁净厂房的净化条件。

净化车间如何划分等级

净化车间如何划分等级 净化车间即无尘车间,无尘车间,亦称为无尘室或洁净室。是指把一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 净化车间是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。 洁净室无尘车间可以分为以下几个级别: 100000级十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。 10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。 1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。 100级很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。 1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。 介绍广州无尘车间装修材料的选择是什么? 广州无尘车间装修中,材料的选用非常重要,就如同一套得体的服装一样,合理的选择会起到锦上添花的作用,在此,卓耀机电安装工程告诉您一些有关选择的要求: 一、净化无尘车间在室内装修设计中,装修材料主要有以下两个特殊要求: 二、根据《无尘车间施工及验收规范》规定,在使用木材和石膏板时应加注意: 三、(1)无尘车间使用的木材的含水率不应大于16%,并且不得外露使用。由于无尘车间换气次数大,相对湿度低,如大量使用木材,易干裂、变形、松动、产生灰尘等,即使用也要局部使用,并且一定要做好防腐防潮处理。 (2)一般广州无尘车间需用石膏板时必须用防水石膏板,而对于生物无尘车间由于经常用水擦洗和用消毒液冲洗,即使防水石膏板也要受潮变形,不耐冲洗,所以规定生物无尘车间不应采用石膏板作罩面材料。 四、不同无尘车间在选择室内装修材料时还需考虑不同的个性需求: 五、 1、无尘车间通常都需频繁擦拭,除了用水擦拭还会用消毒水、酒精、其它溶剂等擦拭,这些液体通常都有一定的化学品性,会使一些材料表面变色、脱落,这就要在装修材料上面有一定的耐化学品性。 2、生物东莞无尘车间如手术室为了杀菌的需要,通常会安装三氧O3发生器,O3(即臭氧)是一种强氧化气体,会加速环境中物体特别是金属的氧化锈蚀,也会使一般涂层表面由于氧化而褪色,变色,所以此类无尘车间要求其装修材料有很好的耐氧化性,不会产生锈

最全无尘室等级标准

最全无尘室洁净等级标准 洁净室等级标准(国内和国外标准对比) ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级 ISO分级大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度(颗/m3) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm ISO1级10 2 ISO2级100 24 10 4 ISO3级1000 237 102 35 8 ISO4级10000 2370 1020 352 83 ISO5级100000 23700 10200 3520 832 29 ISO6级1000000 237000 102000 35200 8320 293 ISO7级352000 83200 2930 ISO8级3520000 832000 29300 ISO9级35200000 8320000 293000 《药品生产质量管理规范》(1992年修订) 洁净级别活粒数/立方米活微生物数/立方米 ≥0.5μm ≥5μm 100 级≤3,500 0 ≤5 10,000 级≤350,000 ≤2,000 ≤100 100,000级≤3,500,000 ≤20,000 ≤500 洁净手术部洁净用房等级标准 等级沉降(浮游)细菌最大平均浓度表面最大染菌密度空气洁净度级别 手术区周边区手术区周边区 I 0.2个/30minΦ90皿(5个/ m3)0.4个/30minΦ90皿(10个/ m3)5个/cm2 100级1000级 II 0.75个/30minΦ90皿(25个/ m3)1.5个/30minΦ90皿(50个/ m3)5个/cm2 1000级10000级 III 2个/30minΦ90皿(75个/ m3)4个/30minΦ90皿(150个/ m3)5个/cm2 10000级100000级 IV 5个/30min,Φ90皿(175个/ m3)5个/cm2 300000级

空气洁净度等级标准及规范相关

2,ISO1644的ISO5相当于系列的100级(≥μm粒子,≤颗/升,或100颗/ft3,或3530颗/m3)3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通常用μm粒径考核的居多; 4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如μm)而要用到更多的粒径,如μm μm甚至μm。

空气洁净度 空气洁净度 1.空气洁净度和级别 空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。通常空气中含尘浓度低则空气洁净度高,含尘浓度高则空气洁净度低。按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级,就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。 洁净度标准的制定 以前有关国家都各自制定自己的标准,但基本上都是参照美国标准FS-209的各版进行,仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类:一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名,这种命名方法以美国FS-209A~E版为代表,其规定粒径为μm,以空气中≥μm 粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名,如标准中的100级,表示空气中≥μm 粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名,即每立方英尺的空气中≥μm粒径的粒子数量为100个,(我们平时使用的是国际单位,即通常所指的是每立方米的空气中所含≥μm粒径的粒子数量,因为1立方米≈35.2立方英尺,所以我们看到标准中100级对应≥μm粒径的粒子数量不是100个,而是3520个,就是这个道理)。 二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示,按指数n 命名空气洁净度的等级,这种命名方法以日本JISB9920为代表,其规定粒径为μm,以空气中≥μm粒径的粒子浓度(采用国标单位制)10n pc/m3命名为n级,如该标准2级,其表示≥μm粒径的粒子浓度为100 pc/m3,即102pc/m3。俄罗斯的标准亦基本上采用此种命名方法。 现在国际标准ISO14644-1已发布实施,美国标准FS-2009E亦于2001年11月宣布停止使用。 按国际标准,空气中悬浮粒子洁净度等级以序数N命名,各种被考虑粒径D 的最大允许浓度Cn可用公式确定:

无尘车间标准等级的划分

无尘车间标准等级的划分 无尘车间的等级说明 首先是无尘车间标准等级定义如下: Class X (at Y μm ) 其中X是无尘车间的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0。5μm 等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。以下是几个例子: Class1 (0。1μm, 0。2μm , 0。5μm) Class 100(0。2μm , 0。5μm ) Class 100(0。1μm,0.2μm , 0.5μm ) 在Classes 100 (M3。5) and Greater (Class 100,1000,10000.。。.),一般看一个粒径即可.在Classes Less than 100 (M3。5)(Class 10,1。.。. ),一般要看多几个粒径. 第二个是规定无尘车间的状态,例如: Class X (at Y μm ),At-rest 第三个是自订微粒浓度上限,一般在As—built时无尘车间都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如: Class 10000 (0。3 μm <= 10000),As-built Class 10000 (0。5 μm 〈= 1000),As-built 这样做的目的是确保无尘车间在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。

以下两个表是Fed—Std—209E的等级定义,和ISO—14644的等级定义。Fed—Std-209E洁净度定义

比较以上两表我们可看出 1。209E的公制和英制两套标准,虽然有公式做互换,但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表,徒然造成混淆 2.在两表中0.5mm几乎出现在每一个等级定义中,表示粒径0。5mm的粒子非常具有代表性 3.在洁净度的分类上,不管是在高洁净度,或是低洁净度,ISO-14644的范围比209E都来的广,因此具有未来性 无尘车间等级标准划分 洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)0。1um~0.5um 范围内累计分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0。1um~0.5um)、超微粒子(<0。1um)和宏粒子(>5。0um)。 空气洁净度分级标准:ISO14644—1(国际标准)

最全无尘车间标准要求

创作编号: GB8878185555334563BT9125XW 创作者:凤呜大王* 无尘车间等级标准 无尘车间洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气无尘车间洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)0.1um~0.5um范围内累计分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。 空气无尘车间洁净度分级标准:ISO14644-1(国际标准) 空气无尘车间洁净度分级标准:GB/T16292-1996(中国标准)

美国联邦标准(USA Federal Standard) 空气中微粒的洁净等级对照 空气微粒洁净等级(每立方米,每立方英尺)微粒的最大浓度限值 中国药品生产洁净室(区)的空气无尘车间洁净度标准

国家药品监督管理局1999年8月1日发布实施 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子无尘车间洁净度等级 国家标准GB50073-2001 无尘室的等级说明 使用者在开无尘室的等级给供货商时,有以下几个小技巧。

首先是等级定义的模式如下: Class X (at Y μm ) 其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子: Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) Class 100(0.2μm , 0.5μm ) Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。 第二个技巧是规定无尘室的状态,例如: Class X (at Y μm ),At-rest 供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。 第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如: Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built 这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。

无尘车间参数标准

无尘车间参数标准 无尘车间(Clean Room)是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除室外,并将室内的无尘度、温度、湿度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电控制在某一需求范围内。 无尘车间最主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小得微乎其微,但是对于一些精密产品生产,比如光学行业而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学行业产品的生产上,无尘是必然的要求。 无尘车间的等级 1、等级世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D 及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。 2、209E与209D等最大的不同在于209E表示单位增加了公制单位,无尘室等级以“M”字头表示,如M1、 M1.5、M2.5、M3,??,依此类推,配合国际公制单位的标准化,M字母后的阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为的,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方的间,则以 1.5、2.5、3.5表示。 3、美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准的表示法以Class 1,Class 2,Class 3??Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公

无尘车间的等级是如何划分的

无尘车间的等级是如何划分的 发布者:admin 发布时间:2011-7-27 阅读:147次【字体:大中小】 无尘车间即净化车间,净化车间,亦称为无尘室或洁净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间可以分为以下几个级别: 1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。 10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。 100级很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。 1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。 10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。 100000级十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。 介绍东莞无尘车间装修材料的选择是什么?

无尘车间概念解说 无尘车间等级划分及应用

无尘车间概念解说无尘车间等级划分及应用安徽人和介绍无尘车间和洁净室的概念,无尘车间等级划分如下:一:净化车间(无尘车间)的定义: 净化车间,亦称为无尘室或洁净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间可以分为以下几个级别: 二:无尘车间等级划分: 1级:这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。 10级:这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。 100级:很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌

制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。 1000级:这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。 10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。 100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。

洁净厂房设计规范(GB50073-2013)

洁净厂房设计规范(GB50073-2013) 4. 1 洁净厂房位置选择和总平面布置 4.1. 1 洁净厂房位置选择应符合下列规定,并经技术经济方案比较后确定:1)应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的 区域。 2)应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。当不能远离严重空气污染源时,应位于最大频率风向上风侧,或全年最小频率风向下风侧。 3)应布置在厂区内环境清洁,人流、物流不穿越或少穿越的 地段。 4.1.2对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择,应实际测定周围现有振源的振动影响,并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。 4.1.3洁净厂房新风口与交通干道边沿的最近距离宜大于 50m。 4.1.4洁净厂房周围宜设置环形消防车道,也可沿厂房的两个长边设置消防车道。 4.1.5洁净厂房周围的道路面层应选用整体性能好、发尘少的材 料。 4.1.6洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪,不应种植对生产有害的植物,并不得妨碍消防作业。 4.2 工艺平面布置和设计综合协调 4.2.1工艺平面布置应符合下列规定: 1)工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内应只布置必要的工艺设备,以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。 2) 在满足生产工艺和噪声要求的前提下,对空气洁净度要求 严格的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房,空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。 3) 洁净室内对空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧, 易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。 4) 应考虑大型设备安装和维修的运输路线,并预留设备安装口和检修口。 5) 不同空气洁净度等级房间之间联系频繁时,宜设有防止污 染的措施,如气闸室、传递窗等。 6) 应设置单独的物料入口,物料传递路线应最短,物料进入洁净室(区)之前应进行清洁处理。 4.2.2洁净厂房的平面和空间设计应满足生产工艺和空气洁净度等级要求。洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房应分区布置,并应与生产操作、工艺设备安装和维修、管线布置、气流流型以及净化空调系统等各种技术设施进行综合协调。 4.2.3洁净厂房内应少设隔间,但在下列情况下应进行分隔: 1)按生产的火灾危险性分类,甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间,或有防火分隔要求者。 2) 按产品生产工艺需要有分憬要求时。

无尘车间洁净度标准

无尘车间洁净度如何确定详细分析 一、净化车间的规格 净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规格进行了改版,其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E,名称也进行了变更。No.209E 的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3,把X表示成级别,同时加上米制M的意思,表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B,表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本,相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个,用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。 表8, 美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类 级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度(单位堆积粒子数)表示。*

* 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的,并不表示实际的粒径分布值。** 针对中间级别的浓度上限值,用如下的公式进行计算。 粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2,其中,M : SI单位里的级别名称,D : 粒径(um) ***国际单位(Systeme International d’Unites的缩写) 图1 ,209E的洁净度级别(图略)图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。 ()内数值是用English unit 表示级别。 图2 ,JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度 表9, 三、不同用途所要求的洁净度

如前所述,净化间的级别一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造工厂等里边,根据作业内容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的净化间。而且,在制药工厂里,根据产品的纯度、作业工序,需有从M3.5到M6.5(100,000)范围广泛的级别不等净化间。因此说,各种产业所需要的净化间,其要求的洁净度是不同的。就一般级别而言,表11可以作为参考。

2021年无尘车间标准等级的划分

无尘车间标准等级的划分 欧阳光明(2021.03.07) 无尘车间的等级说明 首先是无尘车间标准等级定义如下: Class X (at Y μm ) 其中X是无尘车间的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。以下是几个例子:Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) Class 100(0.2μm , 0.5μm ) Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。 第二个是规定无尘车间的状态,例如: Class X (at Y μm ),At-rest

第三个是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘车间都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如: Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built 这样做的目的是确保无尘车间在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。 以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义,和ISO-14644的等级定义。 Fed-Std-209E洁净度定义

ISO-14644洁净度定义 比较以上两表我们可看出 1.209E的公制和英制两套标准,虽然有公式做互换,但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表,徒然造成混淆 2.在两表中0.5mm几乎出现在每一个等级定义中,表示粒径0.5mm 的粒子非常具有代表性 3.在洁净度的分类上,不管是在高洁净度,或是低洁净度,ISO-14644的范围比209E都来的广,因此具有未来性

无尘室等级区分

无尘布的适用范围很广,只有洁净要求比较高的,都会用到,比如,LCD组装,或是一些表面清洁等 无尘室根据洁净程度不同分很多等级 目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多 数字越小,洁净等级越高 1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗 100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗 注意了,每个等级所管控的颗粒大小也不一样 依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。 无尘室等级,无尘室标准,无尘室标准定义 一、无尘室定义 将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及 粒子,且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。 无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo (BCR)。 二、联邦规格无尘室等级 现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b),BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空 署5340.2规格)。 其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5 以下时,表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。 三、在JIS标准下,无尘室清洁度,共分为8个等级 一般清洁度是指空气的洁净等级,分为等级1、2???8,8阶段。在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为 1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。 21世界,最尖端产业的发展,加速了产业结构的变革,无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化,尘埃和温湿 的变化对商品的完成度亦造成极大的危害,导致品质低下。伴随商品的高品质要求,环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中 用防尘材料及商品都显得格外重要。

无尘车间循环系统划分需要遵守的原则

无尘车间循环系统划分需要遵守的原则 为了便于管理,保证洁净空调系统正常运行,除特殊情况外,一般宜先考虑采用集中式空气净化系统。在一些特殊场合,通过分析、比较,可考虑其他系统形式,如分散式系统。 在划分洁净空调系统时,可以根据室内参数、使用时间、直流式与非直流式等因素来划分,同时,应充分考虑根据洁净度等级与容量大小来划分。集中式净化空调系统与普通空调系统具有共性。 循环系统划分中效空气净化系统与高效空气净化系统、单向流洁净室系统与非单向流洁净室系统应分开设置。考虑到系统平衡,一个系统内的末级过滤器的效率应相近。如果高效与中效空气净化系统两者阻力相差太大,合为一个系统时阻力难以平衡。 如果各过滤器实际风量相差很大,随着系统运行,则各过滤器阻力增加速度也不同,有可能导致系统失调。单向流洁净室中的工艺要求精密,室内人员少,工艺本身往往没有多大的发热量,为了达到很高的洁净度,换气次数很大,这样单向流洁净室送风温差就很小。非单向流洁净室中的工艺一般不太精密,人员

相对多,工艺发热量和散湿量也大,其换气次数因为洁净度不高而变小,故送风温差大。若把两者划分为一个系统,夏季空气处理箱若按送风温差大的要求(即送风温度低)处理空气,送风温差小的(送风温度高)就须二次加热(即用加热量去抵消冷量),因单向流洁净室送风量大,其热量消耗也大,不经济。若按温 差小的要求处理空气,则不能满足送风温差大的要求,在运行上不经济,在管理上也十分麻烦。除此之外,单向流洁净室系统中,送风墙或送风顶棚上满布高效空气过滤器,洁净室断面风速为0.3~0.5m/s,每台高效空气过滤器至多只用到额定风量的一半,其阻力低于额定阻力。而非单向流洁净室的送风口中高效过滤器却往往达到额定风量的80%以上,阻力大于前者。这样两者阻力相差100Pa以上,系统也难以平衡。对高效空气过滤器来说,同样也存在着阻力增长速率的不一致。若想始终维持系统初状态的阻力平衡(即维持设计要求风量分配比),势必增设许多调节阀,并在运行过程中不断调节,既麻烦也不经济。若两者阻 力相差太大,单靠调节阀不一定能平衡,因此一般在集中式净化空调系统中,不允许两者划为一个系统。若生产工艺要求或经分析比较后宜划为一个系统(例如,只有一间单向流洁净室,其他均为非单向流洁净

关于无尘车间的日常管理规范流程

541目的加强无尘车间管理规范,以提高产品合格率,为产品质量所需生产环境提供保障。2适用范围公司无尘车间及所有进出无尘车间人员。3职责3.1生产部对环境、湿度及压差进行日常定时监控并记录。3.2品质部3.2.1负责对无尘车间的温度、湿度及气压差进行判断及不定期监控;3.2.2对环境出现异常状态时,对是否继续生产做出相关决定,并对环境改善效果进行确认。3.3设备部生产出现异常时,负责对其发生异常原因进行分析,并制定相应之应急措施以及长期改善措施。3.4各部门3.4.1凡进入无尘车间的员工必须遵守并执行本规定;3.4.2必要时,协助设备部分析并改善环境的异常。4作业程序4.1人员管理4.1.1体质的要求:选取的作业者应该排除以下不适当的体质者从事无尘车间的作业;各种严重皮肤病,如湿疹、皮肤受重伤等;对于化学物有过敏的体质者;对于无尘车间里使用的材料有过敏体质者;与普通人相比有异常,如皮肤很多脱皮、头屑和头发容易掉者;化装(特别是擦粉)和擦指甲油者(基础性化装除外);4.1.2精神上的要求:应该选取以下特性的人从事无尘车间的作业;注意力集中,忍耐性强的人;对周边能经常整理整顿和打扫者;对健康状况有经常注意者;4.1.3外来人员及我司接线盒组装部以外人员,需进入无尘车间者需先申请,待批准后由我方人员陪同在场并按要求穿戴好无尘服,在风淋室门外册子上做好记录并戴好出入证后,才能进入;4.1.4接线盒组装部除工作环境(例如生产人员、工程技术人员等)在无尘车间的人员外,其他需进入无尘车间者也需要在风淋室门外册子上做好记录并戴出入证4.1.5无尘车间风淋室同时进入的人数(流动人数)不得超过3人。4.2物品与资材管理4.2.1无尘车间内禁止迁入的物品;4.2.1.1未经过批准的清洁的用具、办公用具、测试夹具等一切物品;4.2.1.2以下是作业者个人严禁携带的物品;香烟、火柴、打火机等饮料、口香糖、食品类个人装饰品、化装品(金属性、特别是戒指禁止戴)手机通信物品手册或其他个人物品4.2.2无尘车间材料运输方法4.2.2.1无尘车间迁入的一切材料,包括物品工具、设备材料等,禁止没有清洁而直接进入;4.2.2.2清洁方法、污染物的种类、需清洁物品的状态、构造、材料特性、清洁度的要求等问题由无尘车间的管理者决定;4.2.2.3对于无尘车间迁入的设备等大型物品应从开始的污染区中用吸尘器或通过吹气达到必要的清洁;4.2.2.4无尘车间里使用的一切小型物品要用风淋吹干净;4.2.2.5无尘车间里面的设备或物品要尽量少搬迁;4.2.3无尘车间所使用的化学物品必须加贴标示。4.3无尘服着装及着装后洁净规范;4.3.1所有进入无尘车间人员必须穿着无尘服,且无尘服需每周至少清洗一次,无尘车间专用的衣、帽、鞋,不得穿出无尘车间(更衣室除外):4.3.2所有人员不得穿着工鞋(无尘鞋除外)进入无尘车间更衣室;4.3.3.服装着装标准作业者工衣里面禁穿像羊毛类似的毛料易飞的衣服;作业者禁止涂香粉或是化色彩装;入室前,必须换无尘服;穿无尘服时,注意不要让无尘服触到地板;戴帽子时,头发要全部放入帽子里,禁止头发外露;穿无尘鞋时,无尘服的裤角要让鞋子包住,禁止露出,鞋子需拧紧;无尘服穿好后,不能让里面衣服露出无尘服外;4.3.4换装完毕,必须对照更衣镜检查是否符合上述要求,同时参看无尘车间内无尘服穿着的标准图片,检查是否OK,否则需重新穿着。4.3.5当无尘服出现破损、起毛等不良现象时应及时予以更换。4.4进出无尘车间要求4.4.1人员进出:4.4.1.1人员进入:穿无尘服后,经风淋室进入无尘车间,禁止从出口和传递窗进入;进入风淋室后,在空气吹淋时,转动身体360度并轻拍打衣服,以便清除身上携带的尘埃,待风淋停止后,方可进入无尘车间;当风淋室有人正在进行风淋时严禁打开进入风淋室的门,待里面的人从后门进入无尘车间并且后门关好后才能进入风淋室,严禁同时打开风淋室两侧的门。4.4.1.2人员离开:离开无尘车间不需经过风淋室;打开第一道门,一次进入4个或以下人员后,即扣好门,再打开靠更衣室处的门,等所有人出门后,立即扣上门,此动作完成后,下一批人员才可重复上述方式走出无尘车间,严禁同时打开两侧的通道门:进入更衣室换下无尘服,折叠整齐后放入衣柜,同时将无尘鞋放入衣柜下面对应的鞋柜,然后在更衣室门口穿上非无尘车间工鞋;非紧急情况下出无尘车间后必须在更衣室换下无尘服后才能进行其他活动;戴出入证进入无尘车间者离开时

洁净无尘室之定义 标准和设备要求

洁净无尘室之定义 (一)洁净室之定义(供大家参考)洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。 (二)洁净室之等级世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、、、M3…..依此行推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=(m之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以、、….表示。美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以(m微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数

中化为10的幂次方,取其指数而得。 (三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。2. 能防止微尘粒子之产生。3. 温度和湿度之控制。4. 压力之调节。5. 有害气体之排除。6. 结构物与隔间之气密性。7. 静电之防制。8. 电磁干扰预防。9. 安全因素之考虑。10. 节能之考量。 (四)洁净室之分类1.乱流式(Turbulent Flow):空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。 2.层流式(Laminar):层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。(2)垂直层

洁净室(无尘室)标准

洁净室(无尘室)标准 2006-1-23 (一)洁净室之定义 洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。 「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。 (二)洁净室之等级 世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。 209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。 美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。 (三)洁净室控管之项目 1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考量。 (四)洁净室之分类 1.乱流式(Turbulent Flow): 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

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