呼吸信号检测用PVDF压电薄膜传感器设计

呼吸信号检测用PVDF压电薄膜传感器设计

徐智俊;韩国强

【摘要】This ppaer makes a study of the respiratory sensor with PVDF piezoelectric film, describes its importance for human be-ings and its procedures of design and fabrication. And designs its corresponding conditioning circuits according to the characteristics of the respiratory signals. The respiratory signal is achieved by detecting the bending deformation derived from the airflow between the nose and mouth during expiration and inspiration. Soft threshold algorithm based on wavelet transformation is adopted in cancel-ling the noise. Then the peaks were exactly determined by setting voltage threshold of peaks and the interval

of two adjacent peaks. In this way, the number of breaths is obtained. Experimental results reveal that the detection system with PVDF piezoelectric film sensor can be used to measure stable respiratory signals.%针对呼吸信号对人体的重要性,研究设计了一种基于PVDF压电薄膜的呼吸传感器,阐述了该呼吸传感器的设计与制作过程.根据呼吸信号特点,设计了相应的信号调理电路,通过检测人体呼吸过程中口鼻之间的气流对PVDF压电薄膜的弯曲变形,获得了稳定的呼吸信号.采用小波软阈值对原始信号去噪,通过设置波峰电压阈值与相邻两波峰间的时间间隔来准确确定波峰,统计了受试者的呼吸次数.实验结果表明基于该PVDF压电薄膜传感器组成的检测系统能够测得稳定的呼吸信号.

【期刊名称】《机械制造与自动化》

【年(卷),期】2017(000)005

【总页数】4页(P185-187,218)

【关键词】PVDF压电薄膜传感器;呼吸信号;检测系统

【作者】徐智俊;韩国强

【作者单位】福州大学机械工程及自动化学院,福建福州350108;福州大学机械

工程及自动化学院,福建福州350108

【正文语种】中文

【中图分类】TP212.3

呼吸对人体健康非常重要,呼吸信息包括强度、波形、速率等多方面信息,可以帮助临床医生准确诊断人体心肺功能状态。通过对人体呼吸状态的监测,可以及时发现呼吸道、肺部以及心血管等部位的病变情况[1-3]。在临床上对呼吸情况进行检

测最权威的方法是采用多导睡眠图(poly somno graphy, PSG )[4]。但由于其操作复杂、成本过高,在检测过程中对人体束缚太多。因此有必要开发在日常生活中低成本、便携式的呼吸信号检测系统,对呼吸信号进行实时、精确和动态检测。在此,呼吸信号的检测一般通过气压传感器实现,PVDF压电薄膜传感器是技术先进、效果较好的一种呼吸信号检测传感器。

PVDF压电薄膜传感器中的PVDF压电薄膜材料相对于传统的压电陶瓷、石英等压电材料,具有压电系数高、柔性好、耐腐蚀、频率响应范围宽(室温下10-5~

5×108 Hz)等特点,在医学领域应用广泛,适合作为检测人体生理信号的传感材料。近些年来,关于PVDF压电薄膜呼吸传感器的研究备受关注,Y. Xin等[5]设计了

以“双面拱”结构作为基底的PVDF压电薄膜传感器,将传感器嵌入带条中,准

确测量了人体腹部的呼吸信号。Y. Y. Chiu等[6]设计了拱形的PVDF压电薄膜传

感器,对人体胸膛部分进行信号采集,相对于平面型的PVDF压电薄膜传感器,

该结构能够将呼吸信号强度提高至151%。K. J. Kim等[7]以52 μm的PVDF压电薄膜作为传感材料嵌入到一条弹性纺织带,制成一条生理感知带(physiological sensing belt, PSB),该生理感知带可以作为一些多导睡眠图与远程医疗等呼吸监测的辅助方法。S. Choi和Z. W. Jiang[8]开发了一套用于家庭用的睡眠状态监护系统,其中的PVDF压电薄膜主要是用来检测腹部的呼吸波形。S. Uchida等人[9]将一个2×6大小的PVDF压电薄膜传感器阵列嵌入到一张普通床单中,通过低通滤波电路以及模数转换电路,经由两个带通滤波电路(1~15 Hz和0.1~1 Hz)成功提取了心跳信号与呼吸信号。

在这些研究中,大部分是将PVDF压电薄膜传感器置于床垫、枕头或者制成腰带束在腹部,在人体睡眠过程中,容易不自觉地随身体移动,对呼吸信号精度产生影响。此外,上述研究存在传感器尺寸偏大、抗干扰能力不强、较少提及呼吸波峰检测技术以及携带不便等缺点。本文旨在开发便携、低成本的呼吸信号检测系统。基于呼吸气流会对PVDF压电薄膜产生弯曲变形作用,其两面电极的电荷量变化反应了呼吸的强弱,能够有效避免睡眠过程中人体身体不自觉移动等因素对呼吸信号的干扰。采用小波软阈值去噪后,提出了简单有效的呼吸波峰检测方法。

在人体呼吸过程中,呼吸气流会对PVDF压电薄膜产生压力。利用这个特点,将自制的PVDF压电薄膜传感器固定于人体口鼻之间,采用类似于耳麦结构的固定方法。该呼吸信号检测系统包括PVDF压电薄膜传感器、信号调理电路、呼吸信号显示、呼吸信号去噪以及呼吸波峰检测。系统的示意图如图1所示。

1.1 PVDF压电薄膜传感器制作

该传感器的制作包括5个步骤:形状确定、形状切割、边缘处理、引出导线和加保护层。根据实际需要确定PVDF压电薄膜的尺寸,本文选择边长为1.5 cm正方形的PVDF压电薄膜,其厚度为30 μm,两面已经镀有铝电极。用锋利的刀片进行切割,以酒精与丙酮对薄膜边缘进行非金属化处理,以防止两电极在厚度上发生

短路。用导电胶带将细铜丝粘贴在薄膜两面,注意要将细铜丝在导电胶布上分散开以扩大接触面积。最后,以绝缘胶带作为传感器的塑料保护层。其结构示意图和实物图如图2(a)和图2(b)所示,整个传感器长宽尺寸为22 m m×30 mm,其厚度不超过500 μm。

1.2 信号调理电路设计

PVDF压电薄膜传感器的信号调理电路主要包括:电

荷放大电路与低通滤波电路,如图3所示。电荷放大电路是一个电容负反馈电路,主要作用是将高阻抗输入转为低阻抗输出[10],将传感器微弱的电荷信号转变为电压信号。选择了AD820作为电荷放大电路的核心元件,它具有极高的输入阻抗(1013 Ω)以及极低的输入偏置电流(2 pA),静态电流低至800 μA。在电荷放大电路中,反馈电阻Rf与反馈电容Cf的选择至关重要,决定了放大效果、电路稳定

性以及电路的低频响应能力。鉴于呼吸信号频率主要集中在1 Hz以下,为了获得较好的低频响应能力,经过反复测试,最终选择Rf=100 MΩ,Cf=22 nF,其低

频响应截止频率低至0.072 Hz。

在放大过程中,有用信号与噪声信号同时被放大,为了获取较高信噪比的呼吸信号,需要设计相应的低通滤波电路来去除噪声。因此选择四阶有源低通滤波电路进行高频噪声的去除,电路中的核心元件采用高速FET输入运算放大器OPA2132,其输入偏置电流可低至5 pA,带宽可达8 MHz,高达130 dB的开环增益,低至

0.000 08%的扭曲率。呼吸频率一般不大于1 Hz,结合低通滤波电路的幅频特性,将低通滤波电路的截止频率fc设为40 Hz。

对搭建好的测试系统进行呼吸信号检测实验,实验环境温度为25℃,为了获得稳

定的周期性呼吸信号,先让受试者静坐10min。将PVDF压电薄膜传感器置于人

体口鼻之间,传感器电极面正对呼吸鼻孔。经过不断试验,发现传感器与鼻子之间的最佳距离为1.5cm。在呼吸过程中,PVDF压电薄膜将会有规则的变形。图4(a)

是对一位受试者进行呼吸信号检测的结果。从图中可以看出一次完整的呼吸运动包括呼气与吸气,上升波形为呼气阶段,下降波形为吸气阶段,25 s内呼吸了8次,平均一个呼吸周期大概耗时3.1 s,即呼吸速率与呼吸周期分别为19.2次/min与3.1 s/次。表明了该自制的PVDF压电薄膜传感器能够准确感知人体呼吸信号、反映呼吸状态。

图4(b)为所测信号中的某一个单个呼吸波形,从中可以看出里面含噪较多,出现

了许多细小的峰值,形成“伪波峰”,在波峰自动检测时很容易出现误差。为了实现呼吸波形波峰的自动检测,需要对呼吸信号进行去噪处理,基于呼吸信号的非平稳的特性,采用小波变换算法对信号进行阈值去噪处理。由于sym函数具有近似

对称、紧支撑性与正交性的特点,以及其尺寸函数与一个完整的呼吸波形形状相似,此处考虑sym小波函数。为了有效去噪,需要获得较高的消失矩,最终采用

sym6函数进行信号分解。考虑到呼吸信号有用成分与噪声成分的频率分布,呼吸信号频率主要分布在10 Hz以下,绝大部分低于1 Hz。为了将噪声与有用呼吸成分分离开,需要将信号分解成较多层数,最终选择分解层数为8层。小波阈值去

噪主要包括硬、软阈值去噪算法,其表达式分别如式(1)与式(2)所示,其中T表示阈值大小,dj,k与分别表示阈值处理前后的小波系数[11]。相对于硬阈值去噪后会产生不连续点,软阈值去噪后的信号比较光滑,不会出现伪波峰来干扰波峰检测,更有利于呼吸次数的统计以及呼吸频率的计算。

去噪结果如图5(a)所示,该结果表明,采用小波软阈值去噪算法能够有效地去除

原始信号中的干扰成分,保留了呼吸信号中的有效成分。对去噪后呼吸信号进行自动波峰检测,通过设定波峰电压阈值和相邻波峰时间间隔2个条件来确定波峰。

首先,波峰电压幅值应该大于一定的阈值,结合实际的呼吸信号,设定该阈值为0.05V;此外,考虑到正常人或者初期慢性呼吸道疾病的人次数不会超过25次

/min,2次波峰之间时间不低于2.4s,即在确定某一个波峰后,如果在其后面

2.4s内出现第2个波峰,可以将其看成干扰项。自动检测结果如图5(b)所示,其

中波峰位置以“O”标记。可以看出,呼吸波峰能够准确地检测出来,每个波峰认为是一次呼吸,由此可以统计一定时间内呼吸的次数。从图中可以看出,该波峰检测算法能够准确检测出一段时间内(25s)的呼吸次数(8次)。

对3位受试者(A:25岁,男;B:25岁,女;C:24岁,男)进行呼吸频率检测

实验,采用上述方法计算一定时间内(150 s、300 s和600 s)的呼吸次数,其结果如表1。从表中可以看出,在1 050 s的时间内,A、B与C分别呼吸了348次、338次和358次,可以得到呼吸速率分别为19.9次/min、19.3次/min和20.4

次/min,呼吸频率分别为0.33 Hz、0.32 Hz和0.34 Hz。受试者A、B与C的呼吸频率属于正常的呼吸频率范围(0.2 Hz~0.4 Hz之间)。实验结果表明该系统能够准确检测人体呼吸信号,精确定位呼吸波峰以及计算呼吸频率。使长期实时呼吸信号监测成为可能,能够作为家庭用呼吸信号长期监测系统的一种有效补充。

呼吸信号是人体的一种重要的生理信号,可为相关的疾病预测和诊断提供了重要的依据。本文设计并开发了PVDF压电薄膜呼吸信号检测系统。通过压电效应检测

呼吸信号,设计了PVDF薄膜传感器的结构,制作了PVDF压电薄膜传感器元件。根据呼吸信号特征,设计和开发了相应的信号调理电路。该电路主要包括电荷放大电路与低通滤波电路,选择了相应的核心运算放大器。采用了小波软阈值去噪算法对呼吸信号去噪,提出了自动检测呼吸波峰的方法,即通过设定波峰电压阈值和相邻波峰时间间隔这两个条件来确定波峰,并精确地获取了呼吸频率。该测试系统能够有效避免传统呼吸腰带不能去除身体移动对信号的影响,含噪少。实验结果表明该方法能够直接、便捷地获取稳定的呼吸信号。该呼吸信号检测系统具有灵敏度高、抗干扰能力强、实时性强、良好的便携性、低成本等特点。为人体呼吸等生理信号快速、便携、精确和无线实时检测提供了理论和实践基础。

【相关文献】

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PVDF压电薄膜及其传感器的制备与性能研究共3篇

PVDF压电薄膜及其传感器的制备与性 能研究共3篇 PVDF压电薄膜及其传感器的制备与性能研究1 PVDF压电薄膜及其传感器的制备与性能研究 随着现代科技的不断进步,传感器已经广泛应用于各种电子设备和计量仪表中,传感器作为连接物理世界与数字世界的纽带,其性能不仅关系到设备的稳定性和性能,还关系到生活和工业领域的实际应用。近年来,PVDF压电薄膜作为一种新型的传 感器材料,受到了人们的广泛关注。本论文从制备PVDF压电 薄膜入手,探讨了PVDF压电薄膜的性能,并研究了其在压力 传感器中的应用。 1. PVDF压电薄膜制备 PVDF压电薄膜的制备过程主要分为以下两步,分别为拉伸和 极化。 1.1 拉伸 首先,需要将PVDF粉末通过非溶剂法制造成PVDF膜,然后将PVDF薄膜导入拉伸机中,利用一定的拉伸速度和力度拉伸成 一定厚度的PVDF薄膜。 1.2 极化 拉伸后的PVDF薄膜需要进行极化,将其放置在特殊的高温和 高压环境中,使PVDF薄膜内部产生电极化作用,形成一定的 电极化强度和方向,从而使PVDF薄膜产生压电效应。

2. PVDF压电薄膜性能 PVDF压电薄膜的优点在于其具有极好的压电性能,也就是说,当其受到压力时,会产生一定的电荷输出。此外,PVDF压电 薄膜还具有极高的机械强度和稳定性,能够抵御一定的气氛和温度变化,并适用于多种环境条件。此外,当PVDF压电薄膜 与电荷放电器和电流放大器相连接时,可以将PVDF的输出信 号放大和处理,以输出更具意义的信息。 3. PVDF压力传感器应用 PVDF压电薄膜在压力传感器中的应用越来越广泛。利用PVDF 压电薄膜的压电效应,可以制作出一款高精度的压力传感器,可以独立地感知机械压力、机械挤压等多种变化。此外,PVDF 压电薄膜在测量生物信号、声音、震动等方面也有广泛的应用,是一种具有广泛应用前景的新型传感器材料。 总之,PVDF压电薄膜是一种非常重要的材料,有着极佳的压 电性能和稳定性能,能够被广泛应用于传感器和其他电子元器件中。相关专家和科学家应继续深入研究PVDF压电薄膜的性 质和应用,以便更好地驱动现代科技的发展 PVDF压电薄膜是一种具有优异性能的材料,在传感器和电子 元器件中有广泛应用前景。其具有极佳的压电性能和稳定性能,可被独立地感知机械压力、机械挤压等多种变化,使其成为制作高精度压力传感器的理想材料。此外,PVDF压电薄膜在测 量生物信号、声音、震动等方面也有广泛的应用。由此可见,PVDF压电薄膜在现代科技中的地位十分重要,并应继续深入 研究其性质,以更好地推动科技发展 PVDF压电薄膜及其传感器的制备与性能研究2

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压电薄膜传感器在医疗监护床垫的应用

压电薄膜传感器在医疗监护床垫的应用传感器,非常适合应用于人体皮肤表面或植入人体内部的生命信号监测。一些薄膜元件灵敏到足以隔着外套探测出人体脉搏和呼吸心跳动作等关键生命特征。本文着重介绍了压电薄膜传感器在医疗监护床垫的应用。 随着人口老龄化的加剧,越来越多的老年人和病患需要得到看护。有关报告指出,到2015年,我国60岁以上的人口将达到亿,失能半失能的老年患者将达到2400万,其他各种疾病老年患者达6000万。我国的医疗健康机构和家庭迫切需要有效的工具来满足庞大的护理需求。基于压电薄膜PVDF原理开发的SSD-10非接触式医疗监护床垫用传感器诞生了。 利用SSD-10,看护人员在履行日常工作职责的同时可通过各种移动终端(智能手机,iPads,等)和非移动终端(计算机,工作站)全天候监控一群患者,实时查看病患的健康数据和接受警告信息。通过云服务器,医护人员可通过对长期趋势数据的分析来判断病患的睡眠模式,安静时的心率和呼吸率以及睡眠质量来确认病患的不利变化并及早制定干预措施。 SSD-10非接触式医疗监护床垫用传感器的主要功能。 心率监视:监视安静时的心率,跟踪长期趋势,识别健康状况和新药的影响呼吸率监视:监视安静时呼吸率,与长期的平均值对比,识别健康状况和新药的影响。 压疮管理:根据设定的时间间隔和上次动作发生的时间,自动生成短消息提醒看护人员给患者再次移动。 跌倒照顾:跟踪患者的在床和不在床信息,给护理人员提供即时的报警信息,护理人员能够给患者提供即时的帮助,减少跌倒造成的伤害。

睡眠分析:通过与长期趋势和医护标准在睡眠时间、躁动、夜间心率和呼吸率的对比来监控夜间睡眠质量。 起床活动:护理人员可以通过追踪病患的在床时间来监视需要日常活动的康复疗程。 睡眠呼吸暂停监视:通过监视患者的呼吸率来判断呼吸暂停状况并即时向医护人员报警。 夜间离床监视:通过监视患者夜间离床的时间点和长短来确定患者的异常离床情况并即时向医护人员报警。 痉挛发作监视:通过监视患者阵发性抽搐来监视患者痉挛发作并即时向医护人员报警。 急重病预警:通过监视患者的心率和呼吸率来判断心力衰竭或呼吸衰竭等急重病情况并即时向医护人员报警。 SSD-10非接触式医疗监护床垫用传感器的主要特点。 非接触式关键生命特征信号获取 对患者不可见,无需连接物体到患者身 体积小,携带方便 结构简单,安装方便 专用加密算法,保证数据安全 SSD-10非接触式医疗监护床垫用传感器的主要参数。 指标 描述 物理尺寸 700mmx50mm 重量

PVDF压电薄膜传感器的标定技术

PVDF压电薄膜传感器的标定技术 PVDF压电薄膜传感器只能测量动态压力,因此我们要确定它的动态灵敏度系数。本实验主要测试低应力下自制传感器的动态灵敏度,因此,采用落锤冲击装置对PVDF压电薄膜传感器进行标定实验。 一、落锤装置标定PVDF传感器的实验方案 (一)实验原理 PVDF压电薄膜传感器灵敏度标定装置是由标准压力传感器、PVDF压电薄膜传感器、1个2.2kg重锤(Ф60×100)、1个1mL油缸、1个油缸活塞杆(Ф8×70)、1个活塞杆定位套、两台电荷放大器、一台示波器等组成。该装置是利用重锤、活塞杆和油缸中的硅油相互作用过程中形成毫秒量级的动态压力扰动,压力波形接近半个正弦波,在记录仪器中可以获取标准压力传感器的输出信号和被标压力传感器的输出信号,经数据处理后可以得到被标压力传感器的灵敏度和非线性误差水平,实现PVDF压电薄膜传感器的标定。 PVDF压电薄膜传感器灵敏度标定装置的主要参数如下: 重锤质量约为M2=2200g,此值是设计与调试中主要控制参数之一;重锤最大落高约为hmax≈1300mm;重锤最大打击速度约为umax=(2ghmax)0.5=5m/s,此值是设计与调试中主要控制参数之一;油缸中硅油质量约为M1=1.2g,此值是设计与调试中主要控制参数之一; 因为本实验需要的压力不高,所以直接手动用落锤打击产生超压。 (二)实验装置 实验使用的实验装置主要由标准压力传感器、PVDF压电薄膜传感器、落锤冲击装置、两台电荷放大器、一台示波器。 (1)标准压力传感器。我们采用比较测试法对PVDF压电薄膜传感器进行标定实验,对自制传感器和标准传感器输入相同的激励信号,通过测量它们的输出信息,比较两个传感器输出的电压波形,计

pvdf压电薄膜静态法压电常数d31的测量装置及其测量方法

PVDF压电薄膜静态法压电常数d31的测量装置及其测量方法 一、引言 PVDF(聚偏氟乙烯)是一种重要的压电材料,具有优良的压电性能。其中,压电常数d31是描述PVDF材料在电场作用下沿特定方向产生的应变的物理参数,对于材 料的应用和性能研究具有重要意义。因此,建立准确可靠的PVDF压电薄膜静态法 压电常数d31的测量装置及其测量方法对于深入了解PVDF压电性能具有重要意义。 二、PVDF压电薄膜静态法压电常数d31的测量装置 PVDF压电薄膜静态法压电常数d31的测量装置主要包括实验仪器、测量电极以及 电流和电压源三个部分。 2.1 实验仪器 实验通常需要使用的仪器包括示波器、信号发生器和多用表等。其中,示波器用于显示测试信号和输出结果,信号发生器用于产生测试信号,多用表用于测量电流和电压。 2.2 测量电极 测量电极是将测试信号引入到PVDF薄膜中的关键部件。通常使用的测量电极包括 平行板电极和环形电极等。平行板电极适用于测量薄膜的平面应变,而环形电极适用于测量薄膜的厚度应变。 2.3 电流和电压源 电流和电压源是提供给测量电极的电信号的设备。通常使用的电流和电压源包括函数发生器和电源等。 三、PVDF压电薄膜静态法压电常数d31的测量方法 PVDF压电薄膜静态法压电常数d31的测量方法主要包括材料制备、测量装置组装、应力加载和电场加载等步骤。

3.1 材料制备 首先,需要准备具有一定尺寸和厚度的PVDF压电薄膜样品。可以使用热压法将粉 末状的PVDF材料加热并压制成薄膜形状。制备过程中需要注意控制温度、压力和 时间等参数,以确保薄膜的质量和性能。 3.2 测量装置组装 将测量电极正确安装到PVDF薄膜样品上。对于平行板电极,将两个金属板分别固 定在PVDF薄膜的两侧;对于环形电极,将金属环固定在PVDF薄膜的边缘。确保测量电极与PVDF薄膜之间有良好的接触。 3.3 应力加载 在装置组装完毕后,向PVDF薄膜施加应力。可以通过将PVDF薄膜固定在夹具中,并使用螺旋装置逐渐施加压力。要确保施加的应力均匀且稳定,以保证测量的准确性。 3.4 电场加载 在施加应力的同时,向PVDF薄膜加载电场。通过连接电流和电压源到测量电极上,将恒定电压或者恒定电流施加到PVDF薄膜上。在加载电场的过程中,可以通过示 波器观察薄膜的电压响应和电流响应,以判断测量的结果是否准确。 四、PVDF压电薄膜静态法压电常数d31的测量步骤 基于上述测量方法,可以总结出PVDF压电薄膜静态法压电常数d31的测量步骤如下: 1.制备具有一定尺寸和厚度的PVDF压电薄膜样品; 2.将测量电极正确安装到PVDF薄膜样品上; 3.将PVDF薄膜固定在夹具中,并逐渐施加应力,确保应力均匀且稳定; 4.连接电流和电压源到测量电极上,施加恒定电压或者恒定电流; 5.使用示波器观察薄膜的电压响应和电流响应; 6.根据测量结果计算得出PVDF压电薄膜静态法压电常数d31。

pvdf压电薄膜meas 振动传

感器 一、简介 PVDF(聚偏氟乙烯)是一种独特的压电材料,由于其优良的力电耦合特性,被广泛应用于传感器领域。PVDF压电薄膜MEAS振动传感器利用PVDF薄膜的压电效应,实现了对振动的高灵敏度检测,成为工业自动化、机械运行监测等领域不可或缺的重要设备。 二、 PVDF压电薄膜MEAS振动传感器的原理 PVDF压电薄膜MEAS振动传感器主要由PVDF薄膜、电极和支撑结构组成。当受到振动刺激时,PVDF薄膜会产生应力变形,导致其中的正负电荷分布不均,从而在电极上产生电压信号。通过测量电极输出的电压信号,可以准确地监测和分析振动信号的频率、幅值和波形特征。 三、 PVDF压电薄膜MEAS振动传感器的特点 1. 高灵敏度:PVDF材料的优良压电性能使得传感器能够对微小振动进行快速、准确的检测; 2. 宽频响特性:传感器在频率范围内具有良好的线性响应特性,能够适应不同频率范围的振动信号检测; 3. 耐腐蚀性:PVDF材料具有良好的化学稳定性和耐腐蚀性能,能够适应各种恶劣环境的使用要求; 4. 高温性能:PVDF材料具有良好的高温稳定性,能够在高温环境下

稳定工作,适用于多种高温工况下的振动检测需求。 四、 PVDF压电薄膜MEAS振动传感器的应用领域 1. 工业自动化:作为工业生产线上振动监测和故障诊断的重要设备, 在各种机械设备和生产工艺中得到广泛应用; 2. 汽车电子:用于车辆动力系统、底盘系统和乘员舒适性控制等方面 的振动监测和控制; 3. 石油化工:用于石油钻探、管道输送和化工生产过程中的振动监测 和安全保障; 4. 航空航天:用于航空器结构振动监测、发动机振动监测和空间飞行 器振动控制以及航空航天领域的研究和测试等方面。 五、 PVDF压电薄膜MEAS振动传感器的未来发展 随着工业自动化、智能制造和物联网技术的发展,振动传感器在各个 行业的应用需求将更加广泛和深入。PVDF压电薄膜MEAS振动传感 器作为一种新型、高性能的振动传感器,具有良好的发展前景。未来,随着材料工艺和传感器技术的不断进步,PVDF压电薄膜MEAS振动 传感器将在精度、稳定性、可靠性和多功能化方面得到进一步提升, 为各种振动监测和控制领域提供更为优质的解决方案。 六、结论 PVDF压电薄膜MEAS振动传感器作为一种新型的振动传感器,具有 高灵敏度、宽频响特性、耐腐蚀性和高温性能等优异特点,被广泛应

浅析PVDF数组声波传感器

浅析PVDF数组声波传感器 董艳冲 【摘要】在现代先进的工业国家里,已经广泛地使用非破坏性检验方法,并在不断的研发与改进.为了配合日新月异、求新求变的工业产品,以便达到质量的要求.现代的工业产品结构复杂精细,且价格昂贵,若内部产生微小缺陷或质量不良,往往会造成严重的伤害,如轮船、飞机、宇宙飞船、核能反应器、人造卫星等等,所需要的材料及零件都要求非常严格,所以检验的要求更不用说.总之,一个国家的工业水平与非破坏性检验运用多寡息息相关,工业水平越高,其非破坏检验就越广泛应用,这也是国内工业在迈向高科技化、高级化及精密化的目标中,所追求的一个无缺陷产品的境界.【期刊名称】《电声技术》 【年(卷),期】2018(042)012 【总页数】5页(P50-54) 【关键词】非破坏检测;自压电效应;感测区域 【作者】董艳冲 【作者单位】深圳中海油服深水技术有限公司,广东深圳518067 【正文语种】中文 【中图分类】TP212.9 1 引言 非破坏检测[1]是指在不破坏检测工件内部构件安全及不影响使用性能的前提下,

利用声、光、热、电、磁和射线等方法,测定有关检测工件性能方面的物理量,并进而藉由这些关系来推定其内在或潜在的缺陷,以达到更安全或更可靠的程度。 2 实验目的 自压电效应[2]于1880年由P.Curie和J.Curie发现后,各式的压电材料便陆续被发现及研制,其中又以PZT与PVDF最常被人们使用。 PVDF被视为水中声学产生与接收的绝佳材料[3] ,主因有以下几点:(1)相当柔韧,可增加设计上的弹性;(2)有较高的频率响应;(3)具有高机械强度、不易损坏,可 承受量测脉冲信号或冲击波之高压力;(4)声学阻抗接近水的声学阻抗,因此有良 好的阻抗匹配,能减少水与PVDF界面中声波的反射;(5)加工容易,配合微细加 工技术可制作微小化或数组形式感测元。 传统单一感测元的超音波探头,针对某一回波信号只能产生一电压值,即接收到一笔数据,若把接收区域分成微小的数组感测元,针对同一回波可获取多笔数据,可应用于推估缺陷型式及走势等。 3 PVDF数组声波传感 首先定义心电极位置及大小,设计五个ф1 mm的圆型感测区且各相间距1 mm,位于曲面中在线。由于压电薄膜对入射声波的入射角度敏感,不同入射角度将造成压电材料信号输出有变化,称之为方向性问题,感测区域面积越小越能减轻入射声波方向性的影响,故选择ф1 mm的感测区域[4]。在曲面覆盖上CO2雷射雕刻机雕刻出的电子束蒸镀屏蔽后,送入电子束蒸镀机蒸镀上铬20 nm、金50 nm,心电极定义完成。 将PVDF薄膜去除上、下电极后,切割出矩形长10 mm、宽1 mm,以导电银漆将薄膜黏接至中心感测(心电极)区域处,并将导线心线焊接至心电极后,以A/B胶覆盖心电极、导线心线及PVDF薄膜周围,用意为隔绝心、地电极相互导通及保 护焊点,接着全面(无屏蔽)蒸镀地电极,同样为铬20 nm、金50 nm。以金属外

PVDF超声检测传感器的原理与应用

PVDF超声检测传感器的原理与应用 目前,国内在激光超声波检测方面大多局限于声场理论的探讨,需要新的检测技术来测量高频超声波,如阵列传感接收装置。阵列检测不仅能同时检测多个不同位置点,而且能够产生检测对象的图像。阵列检测技术既能提高检测质量又能减少检测时间。PVDF是一种半结晶性聚合物,由CF2CH2长链分子构成,广泛应用于航空航天、铁路、石油化工等现代工业领域。新型PVDF材料具有良好的力学与压电性能,适用于制作声波的接收器件,开发新型PVDF阵列的超声波接收传感器件具有下列优势:①成本比相控阵检测技术要低;②可用于测量薄膜材料的力学参数;③通过成像技术能够得到薄膜材料亚表面特征和多个力学参数。本文对PVDF压电薄膜材料的优缺点及传感机理等进行概述,研究PVDF圆膜及其影响因素,并设计梳状传感器,探讨其超声检测性能。 二、PVDF压电薄膜 (--)PVDF压电薄膜的优缺点 PVDF材料压电应变常数低,机电耦合系数较小,压电电压常数高,具有极高灵敏度;PVDF薄膜厚度极薄,可紧贴于物体表面,几乎不影响被粘物体结构;介电强度高,电场耐受力强,在强电场下仍可保持原有性能;声阻抗低,可有效防止声波信号失真;材质软,易加工,可制成大面积阵列传感器和各种不规则形状传感器;热电性强,可制成火灾报警器、防盗报警器、非接触温度计等。此外,PVDF薄膜还具有频响宽、热稳定性好等优点。 (二)PVDF压电薄膜的传感机理 PVDF压电薄膜受力形变产生极化电荷,极化电荷的大小与分布与物体形变密切相关。在零外电场情况下,PVDF压电薄膜的输出信号是它在各方向的应变总响应,强度较弱,须经运算放大器放大后,才可进行后续处理。

面向呼吸监测的柔性压电薄膜传感器设计及实现

面向呼吸监测的柔性压电薄膜传感器设计及实现 面向呼吸监测的柔性压电薄膜传感器设计及实现 近年来,随着健康意识的提高,人们对于呼吸监测的需求越来越迫切。呼吸是人体的一种重要生理行为,能够反映出身体的健康状态。因此,设计一种可靠、灵敏的呼吸监测传感器对于人们的健康管理具有重要意义。本文将介绍面向呼吸监测的柔性压电薄膜传感器的设计及实现。 首先,我们需要了解压电效应。压电效应是指在某些晶体材料中,施加压力会使其产生电荷或电势差的现象。这种效应可以被利用在传感器设计中,将外界施加的压力转化为电信号。而针对呼吸监测,我们选择了柔性压电薄膜作为传感材料,其具有可弯曲、可拉伸、可压缩的特性,适合贴合在人体皮肤上进行呼吸监测。 传感器的设计是关键的一步。首先,我们选择了柔性基底作为传感器的基本结构。柔性基底可以使传感器具有柔软性和可调性,能够与皮肤充分接触,提高传感器的灵敏度。其次,我们在柔性基底上涂覆了一层压电材料。这种材料可以产生压电效应,将外界施加的压力转化为电信号。我们选择了具有高压电性能的聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜作为压电材料,其具有较高的压电系数和较低的机械刚度,适合应用于柔性传感器。 在传感器实现的过程中,我们面临了一些挑战。首先是传感器的灵敏度问题。呼吸运动产生的压力较小,传感器需要具有足够的灵敏度才能检测到微弱的压力变化。为了解决这个问题,我们将多层聚偏氟乙烯薄膜堆叠在一起,增加了传感器的灵敏度。其次是传感器与皮肤的适配性问题。为了保证传感器与皮肤的贴合度,我们采用了可拉伸的胶水材料将传感器固定

在皮肤上,同时也考虑到了传感器与皮肤的透气性,避免了由于长时间佩戴产生的不适感。 经过实验验证,我们成功地实现了面向呼吸监测的柔性压电薄膜传感器。该传感器对呼吸运动产生的压力变化非常灵敏,能够准确地检测到呼吸行为。同时,由于其柔软性和可调性,传感器与皮肤的贴合度较高,佩戴时不会产生不适感。我们还验证了传感器的可重复性和稳定性,在多次实验中得到一致的结果。 总的来说,面向呼吸监测的柔性压电薄膜传感器具有广阔的应用前景。它可以应用于医疗领域,用于监测患者的呼吸情况,及时发现异常。同时,它也可以应用于健康管理领域,帮助个人了解自己的呼吸状态,并根据监测结果进行调整和改善。未来,我们将继续优化传感器的设计,提高其灵敏度和稳定性,进一步推动其在实际应用中的推广和普及 综上所述,我们成功开发了面向呼吸监测的柔性压电薄膜传感器,并解决了传感器灵敏度和与皮肤适配性的挑战。该传感器在呼吸运动检测方面表现出优越的性能,能够准确地监测呼吸行为,并具有良好的可重复性和稳定性。该传感器具有广泛的应用前景,可用于医疗领域的呼吸监测和健康管理,为患者提供及时的异常监测和个人呼吸状态的了解。未来,我们将继续改进传感器的设计,并推动其在实际应用中的推广和普及

PVDF型脉搏传感器信号处理电路的设计

PVDF型脉搏传感器信号处理电路的设计 刊名: 英文刊名: 年,卷(期): 被引用次数:卢超,LUChao陕西理工学院,物理系,陕西,汉 中,723000齐齐哈尔大学学报(自然科学版)JOURNALOFQIQIHARUNIVERSITY(NATURALSCIENCEEDITION)2022,25(6)2次参考文献(8条) 1.沙占友.葛家怡.孟志永集成化智能传感器原理与应用2004 2.JayNCohn.StanleyFinkeltein.GaryMcVeighNoninvaivePuleWavean alyifortheEarlyDetectionofVacularDieae1995(26) 3.卢超基于HK2000-A脉搏传感器的睡眠定时器2007(12) 4.卢超基于单片机的睡眠定时实验装置2007(08) 5.吴水才.刁越基于脉搏波的新型血流参数检测仪的研制2005(02) 6.罗志昌.张松脉搏波的工程分析与应用2006 7.颜良.陈儒军基于UAF42通用滤波芯片的50Hz陷波器设计2006(08) 8.蔡轶晰.沈兰荪.黄祥林脉象分析仪的研究进展2002(04) 相似文献(10条) 1.学位论文王国力智能化脉搏信号测试系统研究2005

本论文研究了基于微机的脉搏信号实时采集、处理、分析与识别系统,研究工作的主要结果和创新点可归纳如下: (1)研究了PVDF压电脉搏传感器的设计。分析研究了PVDF压电薄膜 的压电方程,推导出了压力与输出电荷的关系,在此基础上设计了电荷放 大电路,并对电荷放大电路进行了线性化修正。经过与电压放大电路比较 发现,修正后的电荷放大电路性能稳定,灵敏度高。分析了脉搏测试中的 各种噪声,并采取相应的措施加以滤除。 (2)对脉搏信号小波变换滤波进行了较深入的研究。一是用阈值法对 脉搏信号进行滤波处理。二是用信号小波变换的奇异值检测法,对有效信 号和噪声的李氏指数和模极大值进行了研究。 (3)利用小波变换提取了脉搏信号的特征值。分析了正常的人脉搏信 号的小波域特征,发现脉搏信号的时域特点严格对应于其小波变换的过零点。提出的过零点检测算法,较好解决了脉搏信号时域特征点参数多,分 析复杂,误差较大的问题。提取了正常人脉搏信号的特征,以期为临床应 用提供更易判断的依据。 (4)利用VB与MATLAB混合编程技术,开发了智能化的脉搏信号测试 系统。该系统界面友好,操作简单,数据处理能力强,能实现对脉搏信号 的实时采集的控制,对脉搏信号的波形显示、打印、回放,能完成小波变 换滤波、能量分析、小波变换分析,实现脉搏信号特征值的提取。 2.期刊论文陈晓.Chen某iao基于通用串行总线的高速脉搏信号检测 系统-中国组织工程研究与临床康复2022,12(39) 研制一种基于通用串行总线的高速脉搏信号实时检测系统并进行了硬 件系统和应用软件的设计,描述了装置设计中各个细节的总体思路.选用基

压电式传感器

压电式传感器是基于压电效应的传感器,是一种自发电式和机电转换式传感器。它的敏感元件由压电材料制成。压电材料受到力后表面产生电荷。此电荷经电荷放大器和测量电路放大和变换阻抗后就成为正比于所受外力的电量输出。压电式传感器用于测量力和能变换为力的非电物理量。它的优点是频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠和重量轻等。缺点是某些压电材料需要防潮措施,而且输出的直流响应差,需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器来克服这一缺陷。 2压电式传感器的基本原理 2.1 压电效应 压电效应可分为正压电效应和逆压电效应。正压电效应是指:当晶体受到某固定方向外力的作用时,内部就产生电极化现象,同时在某两个表面上产生符号相反的电荷;当外力撤去后,晶体又恢复到不带电的状态;当外力作用方向改变时,电荷的极性也随之改变;晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。压电式传感器大多是利用正压电效应制成的。逆压电效应是指对晶体施加交变电场引起晶体机械变形的现象,又称电致伸缩效应。用逆压电效应制造的变送器可用于电声和超声工程。压电敏感元件的受力变形有厚度变形型、长度变形型、体积变形型、厚度切变型、平面切变型 5种基本形式,如下图所示。压电晶体是各向异性的,并非所有晶体都能在这 5种状态下产生压电效应。例如石英晶体就没有体积变形压电效应,但具有良好的厚度变形和长度变形压电效应。 2.2 压电材料 压电式传感器可分为压电单晶、压电多晶和有机压电材料。压电式传感器中用得最多的是属于压电多晶的各类压电陶瓷和压电单晶中的石英晶体。其他压电单晶还有适用于高温辐射环境的铌酸锂以及钽酸锂、镓酸锂、锗酸铋等。压电陶瓷有属于二元系的钛

PVDF压电薄膜传感器的制作

PVDF压电薄膜传感器的制作 爆炸冲击下测试曲面或脆性材料表面的压力比较困难,设计一种能够直接粘贴在材料表面的传感器十分必要。PVDF作为新型有机聚合物材料,其压电性能好,压电常数d33比较高,是石英材料的十几倍,且PVDF柔和加工性能好,机械强度高,化学稳定性较好,此外对加载信号的响应时间可达到纳秒级,压力的测量范围至Gpa级。基于上述优点,PVDF在动态压力测量领域有应用前景广阔。 一、实验材料的准备 通过对PVDF材料的压电特性、等效模型的分析,对其特征有所掌握,因此针对其特征,课题中通过选用锦州科信电子材料有限公司生产的PVDF压电薄膜来制作用于爆炸冲击力测试的薄膜传感器。 由于PVDF薄膜表面电极很薄,所以不能用常规的焊接方式将电极引出,本课题将通过使用导电银胶的方法把电极用导线引出。除了上述材料外,制作传感器前还应准备好薄铜片、铜导线、剪刀、丙酮、和封装材料等。 二、传感器的结构 所研制传感器需要粘贴在曲面材料或脆性材料的表面,用来测定表面材料受到的冲击力,所以首先要把PVDF薄膜做成传感器的感芯。 使用的PVDF压电薄膜是由上下铝电极和中间PVDF敏感材料组成的三明治结构。试验中剪裁下一定面积的薄膜材料作为感芯,由于表面铝电极很薄且PVDF薄膜承受的温度不能超过80℃,所以用导电银胶把电极和铜线粘贴在一起引出电极。电极和引出导线的接头还裸露在外面,比较容易遭到破坏并且影响传感器的性能,因此在不影响传感器性能的情况下需要在感芯的上下两层

加保护层。 三、传感器的制作工艺 PVDF压电薄膜很薄,在μm量级,质地脆弱,抗剪能力差,并且电极涂在外表面上,如果直接粘贴在被测结构表面会使得薄膜材料在使用过程中极易遭到破坏,另外,PVDF薄膜还容易受到外界电子干扰,对实验结果有较大的影响。因此,必须采取有效的封装措施对敏感材料加以保护,提高它的耐久性和稳定性。由于实验需要和薄膜本身的性质,要求封装材料及工艺必须能保证PVDF压电薄膜的柔韧性和灵敏性,同时还要确保压电薄膜和结构有良好的兼容性,即能保证冲击力能够有效的传递到PVDF 压电薄膜上。 实验室中制作PVDF薄膜传感器的工艺流程主要包括薄膜形状的确定、薄膜切割、边缘化处理、电极的引出、加保护层等步骤。 (一)薄膜形状确定 在本文将PVDF薄膜形状剪切为Φ10mm2圆形和5×10mm2的方形,使用的PVDF压电薄膜的厚度分别为30um、50um、100um。 (二)薄膜切割 在剪裁PVDF压电薄膜时要注意其极化方向与所设计传感器方向一致。由于圆形PVDF薄膜比较难切割,所以我们是委托北京工业大学激光研究实验室用激光切割技术加工的圆形膜片。方形PVDF膜片是在实验室剪裁,剪裁过程如下:在PVDF压电薄膜上用铅笔轻轻地标记出所设计的薄膜形状,此时标记出的形状要比需要的形状稍大一点,留出非金属化边缘和引出电极的部分。根据标出的尺寸用锋利的剪刀剪裁,剪裁时无法避免的会造成人为误差,因此用游标卡尺对裁剪下的薄膜进行二次测量,以确保薄膜尺寸的精确。 切割后,薄膜表面的铝电极在剪裁过程中很容易出现毛刺,

基于压电薄膜传感器的穿戴式健康监测体域网系统

基于压电薄膜传感器的穿戴式健康监测体域网系统 辛毅;郭超;凌振宝;田红英;李想;戴强 【摘要】为实现脉搏、呼吸、血压等重要生理信号的连续运动监测,研制了一种 基于压电薄膜传感器的穿戴式健康监测体域网系统。体域网系统利用放置于弹性织物(腰带、腕带)内部的压电薄膜传感器获取人体脉搏波、呼吸波等生理信号。根据压电薄膜传感器监测到的呼吸信号的几何特征提出一种状态识别算法,可区分站立、走、跑、坐、躺、睡眠等状态。利用脉搏波传导时间与血压的关系计算佩戴者的收缩压和舒张压,实现无压迫血压监测。系统通过蓝牙实现体域网节点的互通信,利用穿戴显示设备和移动终端实现数据显示,实现了脉搏、呼吸、血压的连续运动监测。%In order to achieve the continuous and dynamic monitoring of physiological signals,such as the pulse wave,the respiratory wave and the blood pressure,a wearable health monitoring body area network system based on piezoelectric film sensors was https://www.360docs.net/doc/9d19169285.html,ing the sensors attached into the stretchy fabric (For example,belt and wristband),the system can receive physiological signals such as pulse wave and respiratory wave.A condition recognition algorithm was proposed to distinguish conditions such as lying,standing,sitting,walking,running and sleeping by analyzing the geometric features of the respiratory signals received from piezoelectric film sensors.Taking advantage of the relationships between pulse wave translation time and blood pressure to calculate diastolic blood pressure and systolic blood pressure of user,the pressure-free blood pressure measurement was achieved.The nodes communicated with each other through Bluetooth.The data were displayed on the wearable display

基于PVDF压电薄膜传感器的超声检测试验

基于PVDF压电薄膜传感器的超声检测试验 樊程广;潘孟春;罗飞路;罗诗途;谭项林 【摘要】The ultrasonic non-destructive testing method based on the PVDF piezoelectric film sensor was introduced. Firstly, the mechanism and element of the PVDF piezoelectric film sensor were illuminated in detail, and the signal processing circuit was designed according to the signal feature. Secondly, the ultrasonic non- destructive testing system based on the ultrasonoscope and PVDF piezoelectric film sensor was built. At last, the method was verified through the detection of aluminum specimen. The results show that the detection signal through the method has a high SNR, and it can locate the internal flaw of specimen exactly, and is suitable for flaw detection.%基于PVDF聚偏氟乙烯压电薄膜传感器进行了超声检测方法研究。首先详细介绍了PVDF压电薄膜传感器的传感机理和组成,并根据检测信号的特点设计了信号调理电路;其次利用超声波探伤仪和PVDF压电薄膜传感器搭建了超声无损检测系统;最后,利用检测系统对铝试件进行了检测,验证了该检测方法的可行性。试验结果表明,该检测方法得到的检测信号信噪比高,能够准确定位试件内部的缺陷,适用于缺陷检测。 【期刊名称】《无损检测》 【年(卷),期】2012(034)001 【总页数】4页(P27-30) 【关键词】超声检测;PVDF压电薄膜;内部缺陷

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