溅射靶材说明

溅射靶材说明
溅射靶材说明

溅射靶材说明

磁控溅射镀膜是一种物理气相镀膜方式,现技术已较为成熟,主要应用于以下领域:装饰薄膜靶材,建筑玻璃、汽车玻璃、低辐射玻璃,平面显示器,光通讯/光学工业,光数据存储工业,光数据存储工业,磁数据存储工业。

一、磁控溅射原理

在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar氩气),永久磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。磁控溅射一般分为二种:支流溅射和射频溅射,其中支流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还司进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,目前常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。

二、磁控溅射镀膜靶材

按照形状分可分为圆片靶,圆柱靶,台阶圆靶,矩形靶,薄片靶,台阶片靶,环状靶,管状靶。

按照材质可分为:金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材等。

材料的纯度按照需求,可从99.9%到99.999%。

详细资料可参考(https://www.360docs.net/doc/d72962531.html,/Cn/Cn_Sputtering_Target.html)

三、晶方使用靶材AlCu4 Target

现使用的是铝铜合金靶材,供应商为瑞士Umicore ,主要成分为纯度为99.9995%的铝(96%)和铜(4%)。应用在半导体硅晶片的真空射频溅镀制程,使用设备为瑞士Oerlicon 公司LLS EVO II Sputtering System 。作用是在硅晶片表面利用铝铜进行镀层,以便制作导电线路,连结和导通CMOS 芯片pad 与表面锡球。

1)

Oerlicon Sputtering System

2) AlCu4靶材使用前:

3)AlCu4靶材使用后:

晶方半导体科技(苏州)有限公司

2008-07-29

调音台操作说明书

术语英汉对照英文缩写中文含义 ACTIVITY动态指示器 AUX.IN辅助输入 BALANCE OUTPUT平衡输出 CUE选听开关 DISPLAY电平指示器 ECHO混响 EFF效果电平控制 EFX.MASTER效果输出电平控制EFX.MON效果送监听系统电平控制EFX.OUT效果输出 EFX.PAN效果相位控制 EFX.RET效果返回电平控制 EFX.RETURN效果返回输入 EFX.SEND分路效果信号控制 EQ IN(OUT)均衡器接入/退出按键EQUALIZER均衡器 FT SW脚踏开关 FUSE保险丝 GAIN输入信号增益控制 HEAD PHONE耳机插孔 HIGH高音电平控制 HIGH CUT高频切除开关 HIGH I IN高阻输入 LAMP专用照明灯电源 LEFT.左路信号电平控制 LEVEL声道平衡控制LIMIT(LED)信号限幅指示灯 LOW低音电平控制 LOW CUT低频切除开关 LOW I IN低阻输入 MAIN主要的 MASTER总路电平控制 MASTER OUT总路输出 MID-HIGH中高音电平控制 MON.OUT监听输出 MON.SEND分路监听信号控制MONITOR监听系统 MONITOR BALANCE监听输出声像控制MONO OUT单声道输出 OUT/IN输出/输入转换插孔 PAD定值衰减,衰减器 PAN相位控制 PEL预监听(试听)按键 PHANTOM POWER幻像电源开关PHONO INPUT唱机输入 POWER总电源开关 PROGRAM BALANCE主输出声像控制REV.CONTOUR混响轮廓调节 RIGHT右路信号电平控制 SIGNAL PROCESSOR信号处理器STEREO OUT立体声输出 SUM总输出编组开关

可调直流稳压电源的设计说明

可调直流稳压电源设计报告 任微明(学号:20101106133) (物理与电子信息学院10级科技班,内蒙古呼和浩特010022) 指导教师:高焕生 摘要:主要采用变压器、整流、滤波、稳压的流程思路将输入220V交流电转换成电压3~12V的直流电源。其中,稳压电路采用三端固定稳压器LM317达到稳压效果,因此系统可根据实际需要对其设计进行适当的修改。本系统设计方便简单、易学易改、成本低廉、功能实用。 关键字:变压器;整流;滤波;稳压 1 设计内容及要求 1.1 设计目的 1、学习小功率直流稳压电源的设计与调试方法。 2、掌握小功率直流稳压电源有关参数的测试方法。 3、通过集成直流稳压电源的设计、安装和调试,要求学会: (1)选择变压器、整流二极管、滤波电容及集成稳压器来设计直流稳压电源; (2)掌握直流稳压电路的调试及主要技术指标的测试方法。 (3)通过电路的设计可以加深对该课程知识的理解以及对知识的综合运用。 1.2 设计内容 设计一波形直流稳压电源,满足:当输入电压在220V±10%时,输出直流电压为3~12V。

1.3 设计要求 (1)电源变压器做理论设计; (2)合理选择集成稳压器; (3)完成全电路理论设计、计算机辅助分析与仿真、安装调试、绘制电路图,PCB板; (4)撰写设计报告、调试总结报告。 2 设计方法与步骤 2.1 设计方法 单元电路设计、PCB板设计、电路的组装与调试。 2.2 设计步骤 (1)功能和性能指标分析:对题目的各项要求进行分析,整理出系统和具体电路设计所需的更具体、更详细的功能要求和技术性指标数据,以求得设计的原始依据。 (2)画出总体电路图,要求按相关规定,布局合理,图面清晰,便于对图的理解和阅读,为组装、调试和维修时做好准备。 (3)按总电路图安装电路,调试并改进。 3 电路的设计

直流电源用户手册-按键版

欢迎使用本公司电源产品 请务必仔细阅读《用户操作手册》 以便于用户更加快捷、安全地操作该设备 直流电源 用户操作手册

本手册提供给使用者产品参数、选型、安装、故障诊断与排除、日常维护的相关注意事项及指导。为了确保正确地安装与操作本电源,请在使用之前,认真阅读本手册,并请妥善保存以备后用。设备配套客户请将此手册随设备交由该电源的最终使用者。 ◆开箱时,请认真核对本机铭牌的型号及额定值是否与您的订货一致。 箱内含您订购的机器、钥匙、产品合格证、用户操作手册、保修卡等。 ◆开箱后,请检查产品在运输过程中是否有破损现象。若发现有某种 遗漏或损坏,请速与本公司或您的供货商联系解决 ◆对于初次使用本产品的用户,应先认真阅读本手册。若对一些功能 及性能方面有所疑惑,请咨询我公司的技术支持人员,以获得帮助,对正确使用本产品有利。 ◆由于致力于直流电源的不断改善,因此本公司所提供的资料如有变 更,恕不另行通知。

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调音台图解和使用说明

调音台图解和使用说明 当最初接触调音台的时候,很容易会被它面板上花花绿绿、数目 众多的旋钮和推杆唬住。首先我们来看一下左边的面板。实际上,左 边每一路的推杆和旋钮的意义都是一样的。 所以你只需要集中精力了 解一个通道的操作方法就可以通盘掌握。 较少路数的调音台有4路和 8路的输入控制,而路数最多的有96路甚至更多的。这个调音台有8 路输入控制,我们只取其中一个来讲解各部分的作用。 1. MIC : xx 输入接口 ns / 1 乍 1 =? . I *■** 1 i '.11 a l :J 存-1 Mil *Ll* IM 1 W i j r |i J J ■< f —— L ■ ■ -Md- || Vinal WTEHUi - bfiMiUR Wi L]

xx 输入经由XLR 母座,可接受平衡式或非平衡式低电平讯号,使用专业动圈式、电容式或丝带式低阻抗XX,如果使用非平衡式XX 需要尽量使用愈短愈好的XX线,以避免电波噪音的干扰。 2. LINE :高电平输入接口 高电平输入通常经由TRS 1/4" 立体Phone Jack 或TRS 1/4" Mono Phone Jack 送入,XX 音源以外的讯号都可经由高电平输入至混音机,立体Phone Jack 的输入是平衡式的,相同于XLR 的方式,但是如果一定要用非平衡式器材时,可用Mono Phone Jack ,其接线不能太长(4.5m 以内)。

三三三二」 =二三二? ;e :

3. LINE -20DB :衰减20 分贝按键 按下此键可以对输入电平衰减20 分贝。一般在环境噪音较大,设备电平噪音较大或电平过高的时候使用该按键。使用该键将对音频输入信号的所有频率进行衰减,以达到将音量较小的杂音或电噪音过滤掉的目的。有时会出现输入电平信号过高的现象,如不进行衰减,则衰减器的控制范围就会大大降低,只能在一个很小的区域内滑动,造成对音量输出控制很难操作。此时应按下此键,以增大衰减器的有效控制范围。 4. PEAK峰值指示灯 Peak 灯亮时,警告使用者输入信道内的讯号过强。发现Peak 灯亮时,并且任由这种情况持续的话,调音台会启动自我保护功能,切断音源输出。所以,此时应调整输入音量大小,否则,调音台的音频输出将被自动切断。可使用的控制包括:Line —20 DB减小Gain、 拉低衰减器,一般以减小Gain 为xx。 5. GAIN:增益旋钮 它是用来调节输入信号电平大小的。输入的信号以多大的电平来输出是由该旋钮和该输入单元的推子共同决定的。显然,旋钮顺时针方向角度越大、推子越高,输入信号的输出电平的提升就越大,或者说该路输入的音频信号在输出中的响度就越大。增益范围为20 分贝到60 分贝。值得注意的是,增益太高会使声道负荷过载,导致声音

直流稳压电源安全操作规程

直流稳压电源操作规程 1.目的 为了保证直流稳压电源的安全性,必须对直流稳压电源进行正确的操作和维护,延长直流稳压电源的使用寿命,确保产品质量,特编制本设备操作规程。 2.范围 本操作规程适用于所有使用的直流稳压电源的安全及正确操作的作业指导。 3.职责 设备操作人员负责设备的维护与维修,车间技术人员负责设备安全使用的正确指导。 4.程序及要求 4.1设备使用人员在使用设备之前,要详细阅读本操作规程。 4.2设备使用之前要对直流稳压电源进行卫生清理,保证无油、无污、无杂质,设备清洁。 4.3设备使用人员在使用设备之前,要确认直流稳压电源安全接地,检查无误后,接通电源使用。 4.4把外电路接到稳压电源接线柱上时,注意“+”、“-”极性不要接错。 4.5接通电源前, ⑴确认稳压电源面板上电源“通”、“断”开关是否在“断”位。如果在

“通”位,则必须扳到“断”位上。 ⑵确认输出调节旋钮是否指向逆时针最小位置。如果不是,必须逆时针旋转到最小输出位置上。 ⑶检查电压指示表表针是否在零位上。如果不是,则用螺丝刀拧到表面下面的调零螺丝,使表针指零(表面刻度最左端)。 ⑷确认输出端子“+”、“-”电源是否有其它线路连接或混线。 以上四项工作做完以后便可将稳压电源的交流输入电源插头插到220V、50Hz交流电源插座上。 4.6将电源“通”、“断”形状扳到“通”位,这时面板指示灯应亮。拧动“输出调节”旋钮(顺时针方向)时,面板指示表针应向右偏转。偏转角度应根据外接电路所需电压而定。例如外接电路电压需要24V,则旋转“输出调节“旋钮,待表盘指针达到24V位置时便立即停止。否则,将会超过24V而损坏外电路。4.7外电路试验时,应在输出电源接线中串接一个电源开关,以便于接通和断开外电路电源。千万不要用稳压电源面板上的电源“通”、“断”开关来回频繁地接通和断开,这样容易造成稳压电源输出电压不稳定。 4.7外电路使用的电源的电流与稳压电源的额定电流必须相符。 4.8稳压电源满负荷使用时,应注意仪器的通风散热。满负荷使用的稳压电源连续工作时间不宜超过8小时。 4.9仪器使用完毕后,应将所有开关扳到“关”的位置。例如电源“通”、“断”开关置“断”位,输出调节旋钮旋到最左端零输出位置。

直流稳压电源使用攻略

直流稳压电源使用攻略(一) 常见的直流稳压电源通常是将220V的交流市电转换成用电器所需要的低压直流电。在一些特殊的应用中,也有升压作用的高压输出稳压电源,不过在业余电台相关应用中非常罕见。根据不同的应用需要,按照电源的功能和特性,直流稳压电源通常分为固定输出电压型的系统供电电源、可调稳压电源、可编程电源、恒流源、电压校准参考源等。随着科技的发展,电源的结构形式和控制电路不断更新,高频开关电路和智能化数控成为电源的发展方向。直流稳压电源的应用与意义 直流稳压电源最基本的应用遍布于我们的生活中。笔记本电脑、MP3以及很多数码产品的电源充电器都属于稳压电源,大部分电子产品的外置电源也是稳压电源。业余电台爱好者必备的、为家中固定电台供电的13.8V电源更是典型的稳压电压。直流稳压电源为我们使用电台提供了一个稳定的低压直流源。 直流稳压电源是实验室和维修领域最常用的基础仪器。稳压电源为用电器和电路提供可靠的电源供应。在维修中,常常通过替代电器自身的供电单元(常称替代法)缩小故障范围,同时利用稳压电源监视用电设备的工作电流,与正常值做比较,以及时发现电路短路、断路等异常故障,对电路故障的判断很有帮助。例如,对于一台不能开机的手持对讲机,一般检修的第一步是卸下对讲机电池,通过维修电源为对讲机供电,然后看对讲机的电流变化。如果对讲机可以正常开机工作,则重点怀疑电池组供电和接触点的问题,如果对讲机开机没有反应,回路中没有电流,那么首先怀疑对讲机内部供电电路的问题,诸如内部保险丝是否烧毁等,然后再按顺序检查开关和稳压电路。在没有功率计的情况下,有经验的HAM可以通过发射时对讲机消耗电流的大小来大致判断输出功率的水平,以及射频功放电路是否工作正常。 在电子产品的研发和检测上,可调稳压电源应用广泛,它可以替代电池供电,并模拟各种供电状况,包括过压、欠压、标准电压等。有些高端的稳压电源还能模拟电池的内阻工作,为产品研发提供更接近实战的实验数据。例如,用户需要修改手持对讲机的低电压告警阀值,那就需要通过软件修改对讲机内部设定的工程参数,然后通过可调稳压电源模拟欠压状态,来确认低压告警的确切数值。例如,测量车载对讲机的发射功率,需要使用稳压电源来替代汽车电瓶供电,使供电电压稳定,以避免因为电瓶充电饱和程度及新旧程度不同而出现的电压高低变化,从而避免影响测试数据。 直流稳压电源的意义在于可以替代电池提供稳定、可控的直流电源,其输出的电压稳定程度要优于普通电池。稳压电源输出电压易于控制,可满足各种应用的需要。通常,用于实验和维修的稳压电源都安装有电压和电流表指示装置,以实时监控电源输出状态,使用起来比临时用万用表测量供电电压和电流方便实用得多。不少多功能的稳压电源还具备恒流源功能、电压跟踪功能、可调过流保护功能等,进一步扩展了稳压电源的应用。

集成电路制造用溅射靶材的应用及发展趋势

集成电路制造用溅射靶材的应用及发展趋势 在半导体集成电路制造工艺过程中以具有较低电阻率的铜导体薄膜代替铝膜布线工艺; 在平面显示器产业中, 各种不同的显示器(如LCD、PDP、OL ED 及FED 等) 的同步发展, 以期有朝一日能大量取代体积大而笨重的阴极射线管显示器(CRT ) , 作为电脑及计算机的显示器; 在信息存储产业中, 磁介质记录机的存储容量不断增加, 新的光碟式记录体又不断 推陈出新。这些都对所需溅射靶材的质量提出了越来越高的要求, 在需求数量方面也是逐渐增加。据统计1998 年全球使用了大约2690 t重的各类溅射靶材, 溅射出了317×1000000m2的薄膜; 而到了1999 年全球增加到使用了2880 t 重的各类溅射靶材, 溅射制作出了363×106m 2 的薄膜。 从我国近几年来电子信息产业的迅速发展情况来看, 6~ 12 英寸集成电路的生产线、光盘生产线及LCD、PDP 显示器生产线均有大量合资或独资企业出现。我国已逐渐成为了世界上薄膜溅射靶材的最大需求地区之一, 这一巨大市场也必然受到世界上各大溅射靶材制 造厂家的极大关注。希望我们国内的有关研究机构和靶材制造企业, 对此也给予足够的重视, 积极针对不同产业使用的溅射靶材进行相关的技术开发, 逐步建立自主性的高级金属电子 材料的制造产业。 集成电路产业 集成电路用靶材在全球靶材市场占较大份额,其溅射产品主要包括电极互连线膜、阻挡层薄膜、接触薄膜、光盘掩膜、电容器电极膜、电阻薄膜等。其中薄膜电阻器是薄膜昆合集成电路中用量最多的元件,而电阻薄膜用靶材中Ni—cr合金的用量很大。 一般来说,集成电路用溅射靶材的晶粒尺寸必须控制在100μ m以下,甚至其结晶取向也须控制,而在靶材的化学纯度方面,对于0.35μ m线宽工艺,要求靶材的化学纯度为 4N5(99.995%)以上,0.25μ m线宽工艺,溅射靶材的化学纯度则必须在5N(99.999%),甚至6N(99.9999%)以上。 集成电路产业 在半导体或微电子相关产业中, 经常使用的溅射靶材如表1 所示。与其他产业相比, 集成电路产业对于溅射靶及溅射薄膜的需求是最高乃至最苛刻的。例如, 对于溅射所淀积薄膜的厚度均匀性的要求, 通常为3 倍的厚度分布标准偏差( standard deviat ion ) 应小于5%; 另外, 随着半导体布线宽度的不断减小, 对于镀膜的夹杂物(inclu sion) 及缺陷(defect) 的要求也愈来愈高。这些对镀膜质量的严格要求反映到溅射靶时, 即为溅射靶材料的微观结构及化学纯度应符合相应工艺要求。

调音台使用说明书

调音台说明书 -------------------------------------------------------------------------------- 一个简单而又完整的音响系统,从开始到结束起码包括了话筒、调音台、功放、音箱四个单元。当然,调音师实际使用的音响系统要比此复杂得多,在多路信号输入的时候,除了话筒,还会有DVD 影碟机(或者CD机)、录放音卡座、MD卡座等。此外,还会用到专业声频处理设备如混响器、延时器、激励器、压限器、扩展器、均衡器、分频器等。但是,从整个工作流程来看,调音台无疑位于关键和枢纽的位置,起着承上启下的作用,因而调音师的调节便起着至为重要的作用。 一调音台的功能 在使用调音台之前,对于调音台的功能我们要有充分的了解。调音台是专业音响系统中最重要的设备,一套专业音响系统往往是以调音台为核心的。常用的调音台能同时接受8~24路不同的信号,并分别对这些信号在音色和幅度上进行调整加工处理。一般来说,调音台有四个主要功能。 第一个功能是对节目信号进行放大。当各种不同节目源的信号进入调音台后,其不同的信号所需的放大量也不尽相同,所以调音台必须能分别处理不同的信号。如各种乐器的音乐信号与人声信号在幅度上就不相同,当然就需要分别进行处理。 第二个功能是分别对各种信号进行频率调整(即调音)。我们知道,

不同的信号,由于其频谱分布,谐波成分等面的原因,形成不同的音色,而建筑物对声音的影响使音色产生很大的变化。音响师要根据不同的扩音环境,对进入调音台的不同声音信号分别进行加工,使其声音尽可能接近原声。调音台的每个声道都具有相同的处理手段,如:3段均衡、增益控制器、高通滤波器等。 第三个功能是信号的合并。调音台将各路信号调整后,要将各种信号合并成标准的左右声道(立体声)形式输出,作为下一级设备的输入信号使用,这是最基本的功能。 第四个功能是分配功能。调音台除了立体声的主输出外,还能提供两路以上的辅助输出信号,这类信号有两种用途,一是音响室监听或舞台返听;二是做效果器的激励信号用。 也有人把它的功能简单的归纳为: *拾取信号,进行放大; *按需要进行高、中、低音的音调均衡; *将信号按需要送入左右母线或进行编组控制; *对送入辅助母线的信号进行艺术处理; *按要求进行输出控制。 但是,无论怎么表述,其功能都是一致的。调音师的一切工作都要以调音台的功能为核心来展开。 二调音台的功能分区 当我们刚开始接触调音台的时候,很容易会被它面板上花花绿绿、数目众多的旋钮和推杆弄得眼花缭乱和手足无措。但实际上,

可调直流稳压电源的设计说明

可调直流稳压电源设计报告 任微明(学号:20101106133 ) (物理与电子信息学院10 级科技班,内蒙古呼和浩特010022 ) 指导教师: 高焕生 摘要:主要采用变压器、整流、滤波、稳压的流程思路将输入220V 交流电转换成 电压3~12V 的直流电源。其中,稳压电路采用三端固定稳压器LM317 达到稳压效果,因此系统可根据实际需要对其设计进行适当的修改。本系统设计方便简单、易学易改、成本低廉、功能实用。 关键字:变压器;整流;滤波;稳压 1 设计内容及要求 1.1 设计目的 1、学习小功率直流稳压电源的设计与调试方法。 2、掌握小功率直流稳压电源有关参数的测试方法。 3、通过集成直流稳压电源的设计、安装和调试,要求学会: (1)选择变压器、整流二极管、滤波电容及集成稳压器来设计直流稳压电源; (2)掌握直流稳压电路的调试及主要技术指标的测试方法。 (3)通过电路的设计可以加深对该课程知识的理解以及对知识的综合运用。 1.2 设计内容 设计一波形直流稳压电源,满足:当输入电压在220V ± 10%时,输出直流电压为3~12V

1.3设计要求 (1) 电源变压器做理论设计; (2) 合理选择集成稳压器; (3) 完成全电路理论设计、计算机辅助分析与仿真、安装调试、绘制电路图,PCB 板; (4) 撰写设计报告、调试总结报告。 2设计方法与步骤 2.1设计方法 单元电路设计、PCB板设计、电路的组装与调试。 2.2设计步骤 (1 )功能和性能指标分析:对题目的各项要求进行分析,整理出系统和具体电路设计所需的更具体、更详细的功能要求和技术性指标数据,以求得设计的原始依据。 (2 )画出总体电路图,要求按相关规定,布局合理,图面清晰,便于对图的理解和阅读,为组装、调试和维修时做好准备。 (3)按总电路图安装电路,调试并改进。 3电路的设计 图3整体电路图 3.1电源变压器 过整流电路将交流变为脉动的直流电压。由于此脉动的直流压含有较的纹波,必须通过滤

直流稳压电源的项目设计方案

直流稳压电源的项目 设计方案 (一)设计目的 1、学习直流稳压电源的设计方法; 2、研究直流稳压电源的设计方案; 3、掌握直流稳压电源的稳压系数和阻测试方法; (二)设计要求和技术指标 1、技术指标:要求电源输出电压为±12V(或±9V /±5V),输入电压为交 流220V,最大输出电流为I omax =500mA,纹波电压△V OP-P ≤5mV,稳压系数Sr≤5%。 2、设计基本要求 (1)设计一个能输出±12V/±9V/±5V的直流稳压电源; (2)拟定设计步骤和测试方案; (3)根据设计要求和技术指标设计好电路,选好元件及参数; (4)要求绘出原理图,并用Protel画出印制板图; (5)在万能板或面包板或PCB板上制作一台直流稳压电源; (6)测量直流稳压电源的阻; (7)测量直流稳压电源的稳压系数、纹波电压; (8)撰写设计报告。 3、设计扩展要求 (1)能显示电源输出电压值,00.0-12.0V; (2) 要求有短路过载保护。 (三)设计提示 1、设计电路框图如图所示 稳压电路若使用分离元件要有取样、放大、比较和调整四个环节,晶体管选用3DD或3DG等型号;若用集成电路选78XX和79XX稳压器。 测量稳压系数:在负载电流为最大时,分别测得输入交流比220V增大和减小10%的输出Δvo,并将其中最大一个代入公式计算Sr,当负载不变时,Sr=ΔVoV I / ΔV I V O 。 测量阻:在输入交流为220V,分别测得负载电流为0及最大值时的ΔVo,r o = ΔV O /ΔI L 。 纹波电压测量:叠加在输出电压上的交流分量,一般为mV级。可将其放大 后,用示波器观测其峰-峰值△V OP-P ;用可用交流毫伏表测量其有效值△V O ,由

磁控溅射靶材中毒

磁控溅射中靶中毒是怎么回事,一般的影响因素是什么? A:第一:靶面金属化合物的形成。 由金属靶面通过反应溅射工艺形成化合物的过程中,化合物是在哪里形成的呢?由于活性反应气体粒子与靶面原子相碰撞产生化学反应生成化合物原子,通常是放热反应,反应生成热必须有传导出去的途径,否则,该化学反应无法继续进行。在真空条件下气体之间不可能进行热传导,所以,化学反应必须在一个固体表面进行。反应溅射生成物在靶表面、基片表面、和其他结构表面进行。在基片表面生成化合物是我们的目的,在其他结构表面生成化合物是资源的浪费,在靶表面生成化合物一开始是提供化合物原子的源泉,到后来成为不断提供更多化合物原子的障碍。 第二:靶中毒的影响因素 影响靶中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例,反应气体过量就会导致靶中毒。反应溅射工艺进行过程中靶表面溅射沟道区域内出现被反应生成物覆盖或反应生成物被剥离而重新暴露金属表面此消彼长的过程。如果化合物的生成速率大于化合物被剥离的速率,化合物覆盖面积增加。在一定功率的情况下,参与化合物生成的反应气体量增加,化合物生成率增加。如果反应气体量增加过度,化合物覆盖面积增加,如果不能及时调整反应气体流量,化合物覆盖面积增加的速率得不到抑制,溅射沟道将进一步被化合物覆盖,当溅射靶被化合物全部覆盖的时候,靶完全中毒。 第三:靶中毒现象 (1)正离子堆积:靶中毒时,靶面形成一层绝缘膜,正离子到达阴极靶面时由于绝缘层的阻挡,不能直接进入阴极靶面,而是堆积在靶面上,容易产生冷场致弧光放电---打弧,使阴极溅射无法进行下去。(2)阳极消失:靶中毒时,接地的真空室壁上也沉积了绝缘膜,到达阳极的电子无法进入阳极,形成阳极消失现象。 第四:靶中毒的物理解释 (1)一般情况下,金属化合物的二次电子发射系数比金属的高,靶中毒后,靶材表面都是金属化合物,在受到离子轰击之后,释放的二次电子数量增加,提高了空间的导通能力,降低了等离子体阻抗,导致溅射电压降低。从而降低了溅射速率。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400V-600V之间,当发生靶中毒时,溅射电压会显著降低。(2)金属靶材与化合物靶材本来溅射速率就不一样,一般情况下金属的溅射系数要比化合物的溅射系数高,所以靶中毒后溅射速率低。(3)反应溅射气体的溅射效率本来就比惰性气体的溅射效率低,所以反应气体比例增加后,综合溅射速率降低。 第五:靶中毒的解决办法 (1)采用中频电源或射频电源。(2)采用闭环控制反应气体的通入量。(3)采用孪生靶

调音台使用说明

调音台使用说明 前面板布局 1、MIC/LINE(麦克风/线性输入)――可连接低噪音麦克风前臵放大器或线路电平输入的组合式输入接口。 2、GAIN(增益控制)――用于控制麦克风或线性输入的电平。 3、CLIP(过载提示)――当输入增益调得过大时并过载时,红色LED将亮起。 4、HIGH FREQUENCY(高频调整)――控制通道均衡器的高频波段。(在12KHz 上的+/-15dB范围内) 5、MID FREQUENCY(中频调整)――控制通道均衡器的中频波段。(在2.5KHz 上的+/-15dB范围内) 6、LOW FREQUENCY(低频调整)――控制通道均衡器的低频波段。(在80Hz上的+/-15dB范围内) 7、LOW CUT(低切)――80Hz低频衰减开关,用于消除低频段的噪声。 8、AUX1/MONITOR(辅助1/监听)――推子前信号辅助发送控制器,可与外臵的效果处理器联合使用或作监听输出。 9、AUX2/DSP(辅助2/DSP)――推子后信号辅助发送控制器,连接到内臵的24bit DSP效果处理器,并可连接外臵的效果处理器。 10、PAN(声象平衡)――控制立体声中的左右通道声象的平衡。 11、RECORD(录音)――在HDM(硬盘录音模式)下,分配该通道信号到录音输出总线。 12、FADER(推子)――60mm长电平控制推子,能在改变电平时提供平滑的控制。 13、STEREO RIGHT LINE(立体声的右声道输入)――立体声的右声道输入接口。 14、STEREO MIC/LINE(MIC/左声道输入)――两用组合式输入接口(可连接低噪音麦克风前臵放大器输入或立体声的左声道的LINE输入)。 15、AUX2(辅助输出2)――辅助线路2的输出接口。 16、AUX1(辅助输出1)――辅助线路1的输出接口。 17、CONTROL ROOM(控制室监听输出接口)――连到监听系统的左右声道输出。 18、MIX(主输出)――左右主混音输出接口。 19、MONO OUT(单声道输出)――在此输出由左右主混音声道输出信号合成的一个单声道信号。 20、MONO OUT LEVEL(单声道输出电平)――用于调节单声道输出电平。 21、2TK LEVEL(2T TO MIX)(2 TK电平控制)――用于调节2 TR IN输入通道的输入信号混合量。 22、2 TRACK INPUTS & OUTPUTS(双轨输入和输出)――可连接到DAT(数字音频磁带录音机)、录音带、MD或者硬盘录音系统。 23、HDM(硬盘录音模式)――设臵混音器用作电脑录音和分配音频信号的开关。 24、PHANTOM(幻象电源指示灯)――显示48V幻象电源开、。 25、POWER(电源指示灯)――显示MDR8电源开启。 26、OUTPUT METER(输出电平表)――5段LED显示主混音电平。

2018年全球溅射靶材市场空间、国内靶材企业机遇及高端ITO靶材、磁记录靶材分析

2018年全球溅射靶材市场空间、国内靶材企业机遇及高端 ITO靶材、磁记录靶材分析

导语:千亿市场比肩锂钴,批量供货启动,看好内生外延机遇 (4) 溅射靶材市场空间真的很小么?——18年全球近千亿市场,比肩锂钴 (5) 溅射靶材应用,不止于半导体 (5) 18年全球近千亿市场,比肩锂钴 (5) 显示、半导体成为拉动靶材需求的主要动力 (5) 溅射靶材随显示、半导体等下游需求逐步提升 (6) 半导体和显示应用的单位靶材用量仍在提升 (8) 溅射靶材的难点,仅看纯度么?——下游各有侧重,重视高附加值的原料制备 (10) 不同应用的靶材品种性能要求各有侧重 (10) 半导体靶材纯度高、平面显示靶材面积大、多元素靶材合成要求高 (10) 靶材原料:微笑曲线上的高附加值环节 (11) 国内外靶材市场怎么看?——日美仍称霸,国产铝、铜、钼、ITO靶星火已燃 (12) 靶材集中度高,日美占据约80%市场份额 (12) 国内靶材星火已燃:半导体以铝靶为主,显示钼靶规模量产、ITO启动供货 (12) 靶材品种眼花缭乱?一张图帮您看懂 (13) 国内靶材企业机遇临近?——内生增长和外延并购 (15) 内生增长:国内靶材企业启动规模快速扩张阶段 (15) 外延并购:显示、半导体等加速向国内转移,存在整合机遇 (15) 你所不知道的高端ITO靶材?——国产粉末制备突破,18年有望批量供货 (17) 高端ITO是显示靶材的主要品种之一 (17) 显示ITO靶材主要被日韩垄断 (18) 国内ITO靶材有望需求随显示产业提升,本地供应商步入发展快轨 (18) 磁记录靶材,市场去哪儿了?——HDD优势犹存,SDD拉动半导体靶材 (20) 大数据发展带动存储器发展,HDD优势犹存,SDD拉动半导体靶材 (20) 磁记录靶材市场以海外供应为主,18-20年国内市场有望保持10%增速 (21) 小结:看好18-20年国产靶材企业全球市场份额提升 (22) 风险提示 (22)

调音台操作说明

RQ2300系列调音台操作说明 成都三○盛安信息系统有限公司 (中国电子科技集团第三十研究所) 二○○四年十二月

目 录 第 1 章 RQ2300系列调音台简介 (3) 第 2 章功能介绍 (5) 第 3 章技术参数 (17)

第 1 章RQ2300系列调音台简介 所有新的RQ2300系列调音台是用来扩音或者处理的压缩单元。几乎对任何应用来说,它的低噪音设计和扩展的特征列表使之成为一个理想的调音控制台。 NOTE:(注意) 手册覆盖了RQ2300系列所有型号调音台,不同之处是不同型号配置了不同的模快。 GENERAL DESCRIPTION:(总述) 所有的RQ2300系列调音台具有同样的主体部分,为了满足用户的需求,不同的模块提供不同通道配置,在这个系列中,可以发现下列特征:FEATURES:(特征) 平衡(XLR)和非平衡(1/4”)左右声道输出(主输出) 平衡(XLR)和非平衡(1/4”)监听输出MON1和MON 2(监听) 平衡(XLR)和非平衡(1/4”)Mono输出(Mono 主要输出) 两个效果发送(1和2)每一个立体声返回(L和R) 所有的输入通道支持MIC(XLR)和线形(1/4”)输入; 除了超级和立体声输入不支持,其余输入通道支持混合输入(1/4”)方式; 在超级Mic输入通道上配置有填充和极性转换开关 在立体声输入通道支持(L and R)左右声道线性输入 所有输入通道以及监听1和监听2支持PFL功能 在所有输入通道上低噪音mic前置放大 在所有输入通道以及监听1、2配置有哑声/峰值、信号/推子前监听指示 在L/R主体上的电平指示 每通道上配置有哑声开关和3段平衡 所以输入通道上配置有Mid-EQ均衡控制(除了立体声通道) 在立体声通道上配置有独立的mic和线性增益控制 立体声 RCA录音输入/输出接口

可调直流稳压电源课程设计

电子技术课程设计) —可调直流稳压电源 专业班级: $ 姓名: 学号:

? 目录 一、设计目的 (3) 二、设计任务及要求 (3) 三、实验设备及元器件 (3) ~ 四、设计步骤 (4) 1、电路图设计方法 (4) 2、设计的电路图 (5) 五、总体设计思路 (5) 1、直流稳压电源设计思路 (5) 2、直流稳压电源原理 (6) (1)直流稳压电源 (6) (2)整流电路 (6) · (3)滤波电路——电容滤波电路 (7) (4)稳压电路 (9) 3、设计的电路原理图 (10) 4、设计方法简介 (10) 六、课程设计报告总结 (12) 七、参考文献 (12) (

。 引言 直流稳压电源一般由电源变压器,整流电路,滤波电路及稳压电路所组成。变压器把交流电压变为所需要的低压交流电,整流器把交流电变为直流电,经滤波后,稳压器再把不稳定的直流电压变为稳定的直流电压输出。本设计主要采用直流稳压构成集成稳压电路,通过变压,整流,滤波,稳压过程将220V交流电,变为稳定的直流电,并实现电压可在1-25V可调。 关键词:直流,稳压,变压。 一、设计目的 1、学习基本理论在实践中综合运用的初步经验,掌握模拟电路设计的基本方法、设计步骤,培养综合设计与调试能力。 2、学会直流稳压电源的设计方法和性能指标测试方法。 3、培养实践技能,提高分析和解决实际问题的能力。 : 二、设计任务及要求 1、设计一个连续可调的直流稳压电源,主要技术指标要求: ①输入(AC):U=220V,f=50HZ; U:1v--25v; ②输出直流电压 2 I≤1A; ③输出电流: 2、设计电路结构,选择电路元件,计算确定元件参数,画出实用原理电路图。 3、自拟实验方法、步骤及数据表格,提出测试所需仪器及元器件的规格、数量。 4、在仿真软件multisim上画出电路图,仿真和调试,并测试其主要性能参数。

如何使用直流稳压电源

一、分类和基本原理 1.分类 常见的直流稳压电源分为线性直流稳压电源和开关直流稳压电源两类。线性稳压电源结构简单,纹波小。开关稳压电源效率高,成本低。各有不同的应用场合。 2.串联稳压电源基本原理 串联型线性直流稳压电源,由变压器,整流滤波电路,调整电路,比较放大器,基准电路,取样电路,保护电路和辅助电源等组成。 当交流输入电压变化或负载变化引起输出电压相应变化时,其变化量由取样电路输入到比较放大器反向输入端,与输入到比较放大器同相输入端的基准电压进行比较放大,控制调整电路,使输出电压趋于原来数值,达到稳压目的。 保护电路采用双稳态电路,工作可靠。当外接电路过载或短路,保护电路输出低电平,使调整管截止,停止输出。对负载和稳压电源起到保护作用。图1.5.1为这种电源的结构。 图1.5.1 串连型直流稳压电源结构示意图 二、实验室提供的直流稳压电源指标 实验室使用的是JWY—30F型直流稳压电源,属于串联式直流稳压电源。具有单路,双路输出,各路输出独立,极性可变,互不影响,每路具有电压、电流指示,每路输出电压0—30V连续可调,输出电流最小0.5A,最大2A,输出阻抗≤60mΩ,保护电流3.5±0.3A,指示误差≤2.5%。过载或短路时自动保护,停止输出等性能特性。

三、使用注意事项 1.根据所需要的电压,先调整“粗调”旋纽,再逐渐调整“细调”旋纽,要做到正确配合。例如需要输出12V电压时,需将“粗调”旋纽置在15V档,再调整“细调”旋纽调置12V,而“粗调”旋纽不应置在10V档。否则,最大输出电压达不到12V。 2.调整到所需要的电压后,再接入负载。 3.在使用过程中,如果需要变换“粗调”档时,应先断开负载,待输出电压调到所需要的值后,在将负载接入。 4.在使用过程中,因负载短路或过载引起保护时,应首先断开负载,然后按动“复原”按钮,也可重新开启电源,电压即可恢复正常工作,待排除故障后再接入负载。 5.将额定电流不等的各路电源串联使用时,输出电流为其中额定值最小一路的额定值。 6.每一路电源有一个表头,在A/V不同状态时,分别指示本路的输出电流或者输出电压。 通常放在电压指示状态。 7.每一路都有红、黑两个输出端子,红端子表示“+”,黑端子表示“-”,面板中间带有接“大地”符号的黑端子,表示该端子接机壳,与每一路输出没有电气联系,仅作为安全线使用。 8.两路电压可以串联使用。绝对不允许并联使用。电源是一种供给量仪器,因此不允许将输出端长期短路。 四、面板结构 图1.5.2 JWY-30F型直流稳压电源面板示意图

溅射靶材和蒸镀膜料

一、溅射靶材 工具镀膜工业非凡物质奇妙世界 工具镀膜常应用于车削刀具、机械手、模具等各种机械及冶金用途。刀具、模具的超硬保护层,膜系包括TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、DLC等,镀层产品包括钻头、铣刀、齿轮刀具、丝锥、剪刀、切刀、顶头、冲模等。膜层厚度一般为2~10μm,膜层要求高硬度,低磨损,耐冲击,高附着型等,其技术层次高于装饰镀膜。 常用靶材与装饰镀膜基本相同,为Ti、Al、Cr、C、Ti/Al等,常通入N2, O2, C2H2 等反应气体,除了以氮化物为主要膜层,还多了类金刚钻膜(Diamond Like Coating, DLC)。 产品应用 为了追求更佳的膜层机械性质,合金靶材也已经被大量采用在刀具上,如Ti/Si、Cr/Si、Cr/Al、Ti/Cr、Al/Ti/Si、Al/Cr/Si等。而且持续有新的多元合金正被开发测试中,制造工艺分为真空熔炼工艺、挤压熔炼工艺、热等静压工艺、热压烧结工艺等,不同的方法制出的靶材特性各有不同。

装饰镀膜工业非凡物质奇妙世界 应用真空阴极电弧源沉积技术 (Cathodic Arc Coating) 可在大量民生用五金件上镀上不同的颜色,做为装饰用途,与一般表明处理用的电镀,烤漆相比,有高硬度,高亮度,抗蚀氧化,不易脱落,不掉色等优异特色。 目前市场上最常见的卫浴五金(莲蓬头、水龙头等),建筑五金(门锁、门把、电梯板),汽车五金(后视镜),机壳(手机、电脑等),装饰配件(发簪、纽扣)等都已大量采用此种镀膜技术。 镀膜产品包括表件、日用五金件、卫浴洁具、建筑五金件、表壳、表带、小饰品、不锈钢板等等,彩色膜除仿金色外,还有枪黑、乌黑、玫瑰金、棕色、蓝色、绿色、灰色、银色以及幻彩等等。 常用的靶材有Ti、Zr、Cr、C、TiAl等几种,通入N2,O2,C2H2等气体后,可形成金黄,古铜,灰黑等多种不同色调。膜层一般在1um 以下。具备开发新色彩能力已经成为装饰镀膜业者极力争取的技术优势。

调音台SOUNDCRAFT-GB4-使用手册

SOUNDCRAFT 使用手册 -------- GB4四编组现场演出调音台--------- ------此版本目前只供内部参考用(最终细节均已Soundcraft 英文版参考手册为准)------ 编标:杨海涛

介绍: GB4是SOUNDCRAFT推出的专门为多功能会议室,剧场,体育场馆等中型扩声系统而设计的现场调音台。GB4的技术和设计为同厂高档次级别系列,GB4设有内置电源,并有插孔连接外接电源(选购)2组电源可同时工作,对于重要场所而又不需要大型调音台的用户,GB4是一个很好的工作保障。 GB4提供七组主输出,八组辅助输出,7x4矩阵输出,每个通道的直接输出,四组哑音编组可灵活对不同通道进行编组控制能够满足非常复杂的工作需求。坚固的机架,合理的面板布局,背板接线,新颖造型,除了用于固定安装。同样适合流动演出明智选择。 GB4 使用手册 目录: 供电设备安装-———————————————————————————3 音频系统接地——————————————————————————— 3 系统电平调整-———————————————————————————3 特性————-———————————————————————————4 使用————-———————————————————————————4 输入通道(单声道、立体声)————————————————————5 辅助输出————————————————————————————— 6 功能使用—————————————————————————————7 输出部分—————————————————————————————8 输出功能使用——————————————————————————9 2—TRACK ———————————————————————————9 静音编组操作———————————————————————————10 矩阵操作—————————————————————————————10 耳机监听—————————————————————————————10 技术指标—————————————————————————————11 系统线路—————————————————————————————13 主输出线路图———————————————————————————15

可调直流稳压电源的设计说明

. .页脚. 可调直流稳压电源设计报告 任微明(学号:) (物理与电子信息学院 10级科技班, 呼和浩特 010022) 指导教师:高焕生 摘要:主要采用变压器、整流、滤波、稳压的流程思路将输入220V交流电转换成电压3~12V的直流电源。其中,稳压电路采用三端固定稳压器LM317达到稳压效果,因此系统可根据实际需要对其设计进行适当的修改。本系统设计方便简单、易学易改、成本低廉、功能实用。 关键字:变压器;整流;滤波;稳压 1 设计容及要求 1.1 设计目的 1、学习小功率直流稳压电源的设计与调试方法。 2、掌握小功率直流稳压电源有关参数的测试方法。 3、通过集成直流稳压电源的设计、安装和调试,要求学会: (1)选择变压器、整流二极管、滤波电容及集成稳压器来设计直流稳压电源; (2)掌握直流稳压电路的调试及主要技术指标的测试方法。 (3)通过电路的设计可以加深对该课程知识的理解以及对知识的综合运用。 1.2 设计容 设计一波形直流稳压电源,满足:当输入电压在220V±10%时,输出直流电压为3~12V。 1.3 设计要求 (1)电源变压器做理论设计; (2)合理选择集成稳压器; (3)完成全电路理论设计、计算机辅助分析与仿真、安装调试、绘制电路图,PCB板;

(4)撰写设计报告、调试总结报告。 2 设计方法与步骤 2.1 设计方法 单元电路设计、PCB板设计、电路的组装与调试。 2.2 设计步骤 (1)功能和性能指标分析:对题目的各项要求进行分析,整理出系统和具体电路设计所需的更具体、更详细的功能要求和技术性指标数据,以求得设计的原始依据。 (2)画出总体电路图,要求按相关规定,布局合理,图面清晰,便于对图的理解和阅读,为组装、调试和维修时做好准备。 (3)按总电路图安装电路,调试并改进。 3 电路的设计 图3 整体电路图 3.1 电源变压器 过整流电路将交流变为脉动的直流电压。由于此脉动的直流压含有较的纹波,必须通过滤波电路加以滤波,从而得到平滑的直流电压。电源变压器的作用是将交流220V的电压变为所需的电压值,然后通过的电压还随电网电压波动、负载何温度的变化而变化。因而在整流、滤波电路之后,还需接稳压电路。稳压电路的作用是当电网电压波动、负载何温度变化时,维持输出直流电压稳定。 3.2 整流电路 利用二极管的单向导电性,将交流电压变成单向脉动电压的电路,称为整流

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