SIH4钢瓶更换操作规程

1 范围

本文件规定了SIH4钢瓶更换操作规程。

本文件适用于成都天威SiH4 BSGS,且经过培训的有经验的特气管理操作人员。

2 操作规程

2.1 更换前记录：

2.2 准备工具、PPE、手持式侦测器。

2.3 检查新钢瓶是否合格：气体名称、填充量、外观；若钢瓶脏，则需要把钢瓶擦干净。

2.4 打开钢瓶帽检查钢瓶接口型式和泄漏情况，记录新钢瓶号

2.5 确定左右钢瓶已正常切换，更换已在IDLE状态的钢瓶（左/右）。

2.6 确定钢瓶内的气体达到更换条件（SiH4：满瓶压力的 10%），关闭钢瓶。

2.7 点击ACK消除屏幕上报警信息。”

2.8 确定GN2压力在 5～7bar。

2.9 确定气柜抽风静压大于 20mmH2O。

2.10 确定 Vent 口处无人员、施工、动火等安全隐患。

2.11 将 Vent 管的 Bleed 开大，氮气流量调至 10L/min。

2.12 确定高压保压钢瓶压力不低于 900Psig，吹扫钢瓶压力不低 300Psig。否则更换钢瓶。

2.13 拔下吹扫侧 SiH4 钢瓶阀门气动软管。

2.14 旋转钢瓶阀阀锁，将钢瓶阀锁上。

2.15 将吹扫侧的MIV手动阀关闭（如果换左侧气瓶，关闭 MIV(L),更换右侧气瓶，关闭 MIV(R)）。

2.16 选择吹扫需更换一侧。（如更换左侧气瓶，点击[ylinder Select];更换右侧气瓶，点击[Cylinder Select]）

2.17 点击[Purge & Leak Check],输入“2222”。

2.18 进入选择吹扫模式，点击[Cylinder Purge],确定钢瓶阀已经关闭后点击[Start]。

2.19 系统自动开始一次吹扫，负压保压，二次吹扫。

2.20 当屏幕显示“ Purge gas is bleeding now”,再次确认钢瓶以关闭。

2.21 在两小时内更换钢瓶，否则重新吹扫。

2.22 穿戴好合适的 PPE。

2.23 使用合适的扳手缓慢松开 CGA 螺帽，同时用手持式侦测器检查瓶口是否泄漏。若侦测器报警，立即拧紧 CGA 螺帽，并通知现场主管。

2.24 从瓶口上完全卸下 Pigtail，立即拧紧钢瓶阀出口螺帽，然后堵上 Pigtail 接口。移走空钢瓶并安装钢瓶帽，贴上“空瓶”标签。记录空钢瓶号。

2.25 新钢瓶就位，保证钢瓶口的位置与 Pigtail 钢瓶接口的距离在可安装范围内。

2.26 缓慢松开钢瓶阀出口螺帽，并用手持式侦测器检查瓶口是否泄漏。若侦测器报警，立即拧紧螺帽，并通知现场主管。

2.27 检查新钢瓶阀出口是否脏污和损坏，必要时须用洁净布擦拭干净。若擦不干净，报告主管。

2.28 更换新的垫片，先用手拧紧 Pigtail 螺帽后，查看 HPT 能否保持在 60psig 以上。

2.29 确认扭力扳手扭矩，并将 CGA 螺栓和螺帽旋紧。

2.30 插上钢瓶气动软管，点击[Start]，旋转钢瓶阀阀锁。

2.31 状态显puge good”,根据提示“Push the Start after close the Regulator”关闭调压阀点击[Start]

2.32 use the Start after open the Cylinder Valve”打开钢瓶后点击[Start] 2.33 徐徐的顺时针调节调压阀，使 LPT 压力显示在 40Psig 至 50Psig 之间。

2.34 根据提示，use the Start after open MIV”打开手动隔离阀MIV 后点击[Start],完成工艺气体输送。

2.35 记录气体输送压力HPT psi，LPT psi

2.36 将空钢瓶退运至客户仓库。

2.37 再次检查 BSGS 系统运行状态。

2.38 将 Vent 管的 Bleed 调至 4L/min 。

2.39 收拾现场。通知相关人员钢瓶更换完成。

2.40 数据更新，文件存档。

注：需穿戴的ＰＰＥ：安全帽、安全鞋、防火服、防火手套、护目镜、防护面罩。