电子显微镜技术

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电子显微镜技术

目前,电子显微镜技术(electron microscopy)已成为研究机体微细结构的重要手段。常用的有透射电镜 (transmission electron microscope,TEM)和扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)。与光镜相比电镜用电子束代替了可见光,用电磁透镜代替了光学透镜并使用荧光屏将肉眼不可见电子束成像。

成像原理

1、透射电镜技术

透射电镜是以电子束透过样品经过聚焦与放大后所产生的物像,投射到荧光屏上或照相底片上进行观察。透射电镜的分辨率为0.1~0.2nm,放大倍数为几万~几十万倍。由于电子易散射或被物体吸收,故穿透力低,必须制备更薄的超薄切片(通常为50~100nm)。其制备过程与石蜡切片相似,但要求极严格。要在机体死亡后的数分钟钓取材,组织块要小(1立方毫米以内),常用戊二醛和饿酸进行双重固定树脂包埋,用特制的超薄切片机(ultramicrotome)切成超薄切片,再经醋酸铀和柠檬酸铅等进行电子染色。

电子束投射到样品时,可随组织构成成分的密度不同而发生相应的电子发射,如电子束投射到质量大的结构时,电子被散射的多,因此投射到荧光屏上的电子少而呈暗像,电子照片上则呈黑色。称电子密度高(electron dense)。反之,则称为电子密度低

(electron lucent)。

2、扫描电镜术

扫描电镜是用极细的电子束在样品表面扫描,将产生的二次电子用特制的探测器收集,形成电信号运送到显像管,在荧光屏上显示物体。(细胞、组织)表面的立体构像,可摄制成照片。

扫描电镜样品用戊二醛和饿酸等固定,经脱水和临界点干燥后,再于样品表面喷镀薄层金膜,以增加二波电子数。扫描电镜能观察较大的组织表面结构,由于它的景深长,1mm 左右的凹凸不平面能清所成像,故放样品图像富有立体感。

扫描电子显微镜

扫描电子显微镜的设计思想和工作原理,早在1935年便已被提出来了。1942年,英国首先制成一台实验室用的扫描电镜,但由于成像的分辨率很差,照相时间太长,所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力,尤其是随着电子工业技术水平的不断发展,到

1956年开始生产商品扫描电镜。近数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。

一.扫描电镜的特点

和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:

(一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

(二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。

(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。

(四) 景深大,图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几十倍。

(五) 图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3nm。

(六) 电子束对样品的损伤与污染程度较小。

(七) 在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。

二.扫描电镜的结构和工作原理

(一) 结构

1.镜筒

镜筒包括电子枪、聚光镜、物镜及扫描系统。其作用是产生很细的电子束(直径约几个nm),并且使该电子束在样品表面扫描,同时激发出各种信号。

2.电子信号的收集与处理系统

在样品室中,扫描电子束与样品发生相互作用后产生多种信号,其中包括二次电子、背散射电子、X射线、吸收电子、俄歇(Auger)电子等。在上述信号中,最主要的是二次电子,它是被入射电子所激发出来的样品原子中的外层电子,产生于样品表面以下几nm至

几十nm的区域,其产生率主要取决于样品的形貌和成分。通常所说的扫描电镜像指的就是二次电子像,它是研究样品表面形貌的最有用的电子信号。检测二次电子的检测器(图15(2)的探头是一个闪烁体,当电子打到闪烁体上时,1就在其中产生光,这种光被光导管传送到光电倍增管,光信号即被转变成电流信号,再经前置放大及视频放大,电流信号转变成电压信号,最后被送到显像管的栅极。

3.电子信号的显示与记录系统

扫描电镜的图象显示在阴极射线管(显像管)上,并由照相机拍照记录。显像管有两个,一个用来观察,分辨率较低,是长余辉的管子;另一个用来照相记录,分辨率较高,是短余辉的管子。

4.真空系统及电源系统

扫描电镜的真空系统由机械泵与油扩散泵组成,其作用是使镜筒内达到 10(4~10(5托的真空度。电源系统供给各部件所需的特定的电源。

(二) 工作原理

从电子枪阴极发出的直径20(m~30(m的电子束,受到阴阳极之间加速电压的作用,射向镜筒,经过聚光镜及物镜的会聚作用,缩小成直径约几毫微米的电子探针。在物镜上部的扫描线圈的作用下,电子探针在样品表面作光栅状扫描并且激发出多种电子信号。这些电子信号被相应的检测器检测,经过放大、转换,变成电压信号,最后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描,并且这种扫描运动与样品表面的电子束的扫描运动严格同步,这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电子像,这种图象反映了样品表面的形貌特征。第二节扫描电镜生物样品制备技术大多数生物样品都含有水分,而且比较柔软,因此,在进行扫描电镜观察前,要对样品作相应的处理。扫描电镜样品制备的主要要求是:尽可能使样品的表面结构保存好,没

有变形和污染,样品干燥并且有良好导电性能。

一.样品的初步处理

(一) 取材

取材的基本要求和透射电镜样品制备相同,可参考第十四章超薄切片技术中所提的要求。但是,对扫描电镜来说,样品可以稍大些,面积可达8mm×8mm,厚度可达5mm。对于易卷曲的样品如血管、胃肠道粘膜等,可固定在滤纸或卡片纸上,以充分暴露待观察的组织表面。

(二) 样品的清洗

用扫描电镜观察的部位常常是样品的表面,即组织的游离面。由于样品取自活体组织,其表面常有血液、组织液或粘液附着,这会遮盖样品的表面结构,影响观察。因此,在样品固定之前,要将这些附着物清洗干净。清洗的方法有以下几种:

1.用等渗的生理盐水或缓冲液清洗;

2.用5%的苏打水清洗;

3.用超声震荡或酶消化的方法进行处理。例如清洗肠粘膜表面的粘液,可用下面的方法:

清洗液配方:透明质酸酶 300 (gα—糜蛋白酶 10 mg生理盐水 100 ml清洗液的pH 为5.5~6。清洗的方法是将样品浸泡在配好的清洗液中,边浸泡边震荡30分钟,最后用双蒸水洗3次。无论用哪种清洗方法,注意在清洗时不要损伤样品。

(三) 固定

固定所用的试剂和透射电镜样品制备相同,常用戊二醛及锇酸双固定。由于样品体积较大,固定时间应适当延长。也可用快速冷冻固定。

(四) 脱水

样品经漂洗后用逐级增高浓度的酒精或丙酮脱水,然后进入中间液,一般用醋酸异戊酯作中间液。

二.样品的干燥

扫描电镜观察样品要求在高真空中进行。无论是水或脱水溶液,在高真空中都会产生剧烈地汽化,不仅影响真空度、污染样品,还会破坏样品的微细结构。因此,样品在用电镜观察之前必须进行干燥。干燥的方法有以下几种:

(一) 空气干燥法

空气干燥法又称自然干燥法,就是将经过脱水的样品,让其暴露在空气中使脱水剂逐渐挥发干燥。这种方法的最大优点是简便易行和节省时间;它的主要缺点是在干燥过程中,组织会由于脱水剂挥发时表面张力的作用而产生收缩变形。因此,该方法一般只适用

于表面较为坚硬的样品。

(二) 临界点干燥法

临界点干燥法是利用物质在临界状态时,其表面张力等于零的特性,使样品的液体完全汽化,并以气体方式排掉,来达到完全干燥的目的。这样就可以避免表面张力的影响,较好地保存样品的微细结构。此法操作较为方便,所用的时间也不算长,一般约2~3小

时即可完成,所以是最为常用的干燥方法。但用此法,需要特殊仪器设备。

临界点干燥是在临界点干燥仪中进行的,操作步骤如下:

1.固定、脱水:按常规方法进行。如样品是用乙醇脱水的,在脱水至100%后,要用纯丙酮置换15~20分钟。

2.转入中间液:由纯丙酮转入中间液醋酸异戊酯中,时间约15~30分钟。

3.移至样品室:将样品从醋酸异戊酯中取出,放入样品盒,然后移至临界点干燥仪的样品室内,盖上盖并拧紧以防漏气。

4.用液体二氧化碳置换醋酸异戊酯:在达到临界状态(31(C , 72.8大气压)后,将温度再

升高10(C,使液体二氧化碳气化,然后打开放气阀门,逐渐排出气体,样品即完全干燥。

(三) 冷冻干燥法

冷冻干燥法是将经过冷冻的样品置于高真空中,通过升华除去样品中的水分或脱水剂的过程。冷冻干燥的基础是冰从样品中升华,即水分从固态直接转化为气态,不经过中间的液态,不存在气相和液相之间的表面张力对样品的作用,从而减轻在干燥过程中对样

品的损伤。冷冻干燥法有两种,即含水样品直接冷冻干燥和样品脱水后冷冻干燥。

1.含水样品直接冷冻干燥法

1.1 取材固定:按常规方法进行。

1.2 置于冷冻保护剂中:将样品置于冷冻保护剂中浸泡数小时。常用的冷冻保护剂为10%~20%二甲基亚砜水溶液,或15%~40%甘油水溶液。

1.3 骤冷:将经过保护剂处理的样品迅速投入用液氮预冷至(150(C的氟利昂冷冻剂中,使样品中的水分很快冻结。

1.4 干燥:将已冻结的样品移到冷冻干燥器内已预冷的样品台上,抽真空,经几小时或数天后,样品即达到干燥。

本方法不需要脱水,避免了有机溶剂对样品成分的抽提作用,不会使样品收缩,也是较早使用的方法。但是,由于花费时间长,消耗液氮多,容易产生冰晶损伤,因此未被广泛应用。

2.样品脱水后冷冻干燥

样品用乙醇或丙酮脱水后过渡到某些易挥发的有机溶剂中,然后连同这些溶剂一起冷冻并在真空中升华而达到干燥。和前一种方法比较,本方法的优点是不会产生冰晶损伤,

且干燥时间短。不足之处是有机溶剂对样品成分有抽提作用,造成部分内含物丢失。乙腈(acetonitrile)真空干燥法:这是一种利用乙腈在急速蒸发时会冷却固化的性质将样品干燥的方法。其操作步骤如下:

(1). 固定、水洗:按常规方法进行。

(2). 乙腈置换:使用50%?70%?80%?90%的乙腈水溶液置换,最后用100%乙腈代替,每步骤15~20分钟。

(3). 干燥:至纯乙腈时,放入真空镀膜台抽真空,乙腈和样品在真空中很快致冷而被冻结(冻结的温度为45℃,变成冰状固体。然后继续抽真空,使冻结的乙腈升华,约需30分钟,样品即达干燥。

(4).样品干燥后要粘在样品台上。对于不镀膜而直接观察的样品,必须用导电胶来粘固;对

于要镀膜的样品,则可以用胶水或万能胶来代替,微细的样品如粉末、纤维等也可用双面胶纸来粘贴。

三.样品的导电处理

生物样品经过脱水、干燥处理后,其表面不带电,导电性能也差。用扫描电镜观察时,当入射电子束打到样品上,会在样品表面产生电荷的积累,形成充电和放电效应,影响对图象的观察和拍照记录。因此在观察之前要进行导电处理,使样品表面导电。常用的导电方法有以下几种:

(一) 金属镀膜法

金属镀膜法是采用特殊装置将电阻率小的金属,如金、铂、钯等蒸发后覆盖在样品表面的方法。样品镀以金属膜后,不仅可以防止充电、放电效应,还可以减少电子束对样品的损伤作用,增加二次电子的产生率,获得良好的图象。

1.真空镀膜法

真空镀膜法是利用真空膜仪进行的。其原理是在高真空状态下把所要喷镀的金属加热,当加热到熔点以上时,会蒸发成极细小的颗粒喷射到样品上,在样品表面形成一层金属膜,使样品导电。喷镀用的金属材料应选择熔点低、化学性能稳定、在高温下和钨不起作用以及有高的二次电子产生率、膜本身没有结构。现在一般选用金或金和碳。为了获得细的颗粒,有用铂或用金—钯、铂—钯合金的。金属膜的厚度一般为10nm~20nm。真空镀膜法所形成的膜,金属颗粒较粗,膜不够均匀,操作较复杂并且费时,目前已经较少使用。

2.离子溅射镀膜法

在低真空(0.1~0.01乇)状态下,在阳极与阴极两个电极之间加上几百至上千伏的直流电压时,电极之间会产生辉光放电。在放电的过程中,气体分子被电离成带正电的阳离子和带负电的电子,并在电场的作用下,阳离子被加速跑向阴极,而电子被加速跑向阳极。如果阴极用金属作为电极(常称靶极),那么在阳离子冲击其表面时,就会将其表面的金属粒子打出,这种现象称为溅射。此时被溅射的金属粒子是中性,即不受电场的作用,而靠重力作用下落。如果将样品置于下面,被溅射的金属粒子就会落到样品表面,形

成一层金属膜,用这种方法给样品表面镀膜,称为离子溅射镀膜法,图15(3显示该法的原理。

图15(3 离子溅射镀膜法原理图。

和真空镀膜法比较,离子溅射镀膜法具有以下优点:

(1)由于从阴极上飞溅出来的金属粒子的方向是不一致的,因而金属粒子能够进入到样品表面的缝隙和凹陷处,使样品表面均匀地镀上一层金属膜,对于表面凹凸不平的样品,也能形成很好的金属膜,且颗粒较细。

(2)受辐射热影响较小,对样品的损伤小。

(3)消耗金属少。

(4)所需真空度低,节省时间。

(二) 组织导电法

用金属镀膜法使样品表面导电,需要特殊的设备,操作比较复杂,同时对样品有一定程度的损伤。为了克服这些不足,有人采用组织导电法(又称导电染色法),即利用某些金属溶液对生物样品中的蛋白质?脂类和醣类等成分的结合作用,使样品表面离子化或产生导电性能好的金属盐类化合物,从而提高样品耐受电子束轰击的能力和导电率。

此法的基本处理过程是将经过固定、清洗的样品,用特殊的试剂处理后即可观察。由于不经过金属镀膜,所以不仅能节省时间,而且可以提高分辨率,还具有坚韧组织,加强固定效果的作用。

组织导电法主要有碘化钾导电染色法、碘化钾--醋酸铅导电法、丹宁酸—锇酸导电法等。比较常用的是丹宁酸—锇酸导电法,其具体操作方法如下:

(1).样品处理:按常规方法取材、清洗及用戊二醛固定。

(2).导电染色:将样品放入2%~4%丹宁酸溶液中浸泡。如果观察表面结构,浸泡时间为30分钟;如果观察内部结构,浸泡时间为8小时,即可过夜。在浸泡过程中,可更换一次溶液。

(3).清洗及再固定:用磷酸缓冲液充分清洗,然后放入1%锇酸中固定2~4小时,再用磷酸缓冲液清洗。

(4).脱水和干燥:按常规方法。

(5).扫描电镜观察。

四.几种特殊的样品制备技术

(一) 细胞内部结构冷冻割断法

1972年,日本学者田中敬一采用冷冻树脂割断法将细胞打开,用扫描电镜观察细胞的内部结构。后来他又以二甲基亚砜代替树脂进行冷冻割断取得成功,该方法简便,结构清晰,已得到广泛应用。其操作方法如下:

1.取材和固定:为了使细胞结构清晰,不被过多的血细胞污染,可在取材前用灌注法冲洗。即先将动物麻醉,经腹主动脉注入生理盐水或低分子量的右,切开下腔静脉放血,至无血色

为止。然后迅速取材,将样品修成1mm×1mm×5mm大小,投入1%锇酸溶液中固定1小时,用1/15M磷酸缓冲液 (pH7.4)清洗两次,每次10分钟。

2.二甲基亚浸泡:将样品依次放入25%、50%二甲基亚砜溶液中,各浸泡30分钟。

3.割断:用TF—1型冷冻割断装置进行割断。然后将割断后的样品放到50%二甲基亚砜中,等融化后再用1/15M磷酸缓冲液浸洗,每次10分钟,换液5次。

4.软化及后固定:将样品放入0.1%锇酸中软化,温度20(C,时间48~72小时。然后用1% 八固定1小时,双蒸水浸洗1小时,换液几次,需彻底清洗干净。

5.导电染色:将样品放入2%丹宁酸中2小时(或过夜),以双蒸水清洗1小时,换液几次。再以1% 八固定30~60分钟,双蒸水清洗1小时。

6.脱水、干燥及镀膜:按常规方法进行。

(二) 铸型技术

为了研究空腔脏器特别是血管系统复杂的立体分布,先向腔内注射某种成形物质,待该物硬化后再把组织腐蚀去掉,剩下的成形物即能显示血管系统的立体分布,这种技术称铸型技术。如果是研究血管系统,称为血管铸型。用铸型技术制作的标本,经过镀膜后,就可进行扫描电镜观察。

常用的铸型剂有甲基丙烯酸酯、聚苯乙烯及其共聚物以及ABS等。ABS是一种树脂,为丙烯晴、丁二烯和苯乙烯的三元共聚物,被认为是比较理想的铸型剂。下面简单介绍用ABS制作血管铸型标本的方法:

1.灌流和注入铸型剂

首先将准备灌注的器官取下或保持自然位置,找到动脉,插入玻璃管或静脉穿刺针,并以粗丝线结扎之,用普通流水或温盐水将血管中的血液冲洗干净。然后灌注铸型剂ABS丁酮溶液,浓度为5%~30%,注入的压力为100mmHg。注入铸型剂的脏器,可以放在50(C~60(C 的温水中浸泡6小时左右,这样既能保持脏器的原形,也有助于铸型剂的硬化。

2.腐蚀和清洗

将标本放入10%~20%氢氧化钠或氢氧化钾溶液中腐蚀,也有放20%~30%盐酸中腐蚀。时间一般为5~7天。若用稀盐酸腐蚀,可加入5%~10%胃蛋白酶,腐蚀的效果更好。然后用流水将血管铸型周围被腐蚀的组织冲洗干净,时间为24~72小时,冲洗的速度要慢。3.显微解剖和剥制铸型

为了暴露和切取要观察的部分,需要在解剖显微镜下进行。如果铸型太硬,可将铸型浸入酒精中,加温至40~60(C,能使铸型变软,便于解剖和切取。

4.干燥和镀膜

将切取的铸型用蒸馏水洗干净,用滤纸吸干后放37(C温箱中30~60分钟,最后放干燥缸中保存。镀膜可用真空喷镀,也可用离子镀膜,方法同前。镀膜后就可用扫描电镜观察。

(三) 盐酸化学消化法

为了研究被观察细胞的基底面及深层细胞表面,可采用盐酸化学消化法制备样品。1.固定和清洗:同常规方法。

2.盐酸消化:用8mol/L盐酸消化和腐蚀,其温度与时间根据不同组织而异。

3.清洁样品:用2%~5%Tween20作用3小时,以清洁样品和稳定其结构。

4.脱水、干燥和镀膜:按常规方法处理。

参考文献

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蔡司EVO18电镜专业技术说明

钨灯丝扫描电镜技术文件 仪器型号:EVO 18 Attachment-1/24

目录附件一、品牌介绍 附件二、设备用途 附件三、技术指标 附件四、供货范围 附件五、计划进度及培训 附件六、环境要求 附件七、质保及其它服务

附件一:聚焦·CARL ZEISS 世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO(里奥),更早叫Cambridge(剑桥)和Zeiss。积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验,ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一: ?第一台静电式透射电镜(1949) ?第一台商业化扫描电镜(1965) ?第一台数字化扫描电镜(1985) ?第一台场发射扫描电镜(1990) ?第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992) ?第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003) ?第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003) CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。自成立至今,一直延续不断创新的传统,公司拥有广泛的专有技术,,随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。。其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。 Carl Zeiss SMT下属的纳米技术系统部在北京,上海,广州,鞍山设有营销公司和维修服务站,致力于蔡司电镜的技术咨询,销售和售后服务工作。

扫描电子显微镜技术应用与研究

扫描电子显微镜技术应用与研究 摘要:本文从金属晶体理论和扫描电子显微镜的原理出发,阐述了的定义和性质。通过对金属模块和焊条的二次电子成像,论证了分辨率高,能反映物体更多的层次结构等优点。最后,讨论了二次电子在电子制造业中的应用。 关键词:扫描电子显微镜金属晶体二次电子成像电子束 Abstract:This article is based on the theory of metal crystal, configuration and working theory of the scanning electron microscope. It is expounded the definition and nature of secondary electron image. Through the secondary electron image of metal and the welding rod, it is proved the secondary electron resolution to be likely high, could reflect merits and so on object more hierarchical. Finally we discussed the secondary electron in the electronic manufacturing applications. Key words: scanning electron microscope, metal crystal, secondary electron image electron beam 前言 随着现代科学技术的飞跃发展,各种新型材料的不断涌现.材料的检测技术也正在朝着科学、先进、简便、精确、自动化的方向发展.材料组织结构和性能的检测已成为一门多学科、跨学科的综合性技术.材料性能的检测既有传统的见手段又有高度现代化的研究手段.面对新技术和新材料的快速发展,过去传统的常规性能检测遇到了极大的挑战.一方面由于采用现代化的电子技术、光学技术、声学技术等新技术以及随之发展的各种高科技的设备,触进了材料检测技术的不断进步.另外一方面,为了适应新材料和新技术的发展不断不断修改检测标准,使常规检验和深入研究紧密的结合起来. 而在材料组织的形貌观察中,主要是依靠显微技术,利用二次电子成像来分析材料的组织结构,已成为当今检测的主要趋势.扫描电子显微镜和透射电子显微镜则把观察的尺度推广到亚微米和微米以下的层次.现代的显微镜的分辨率可达到0.2nm甚至更高.在借助显微技术和其他一些分析系统可以把材料组合子形貌比较准确的分析出来.

电子显微镜的景深和显微镜的分辨率

电子显微镜的景深和显微镜的分辨率 显微镜由于电子的波动性,当它通过小孔光阑时会发生衍射现象。衍射结果表现为每个物点形成的像是一个圆斑(周围的副光环可忽略不计)。定义这个衍射圆斑的半径为衍射像差。在像方或物方可分别表示为: (Ar&ff),=0.611/a(1一22a) (1rdff)o=0.61A/ao(1一22b) 式中各符号的意义同前。可以看出加大光阑孔径角as,可以减小衍射差。但实际工作中还应注意这样会带来的不利影响。 景深和焦探(11) 景深就是在保持像清晰的前提下,可允许物面在轴上的移动距离,或者说可允许物上不同部位处的凹凸差。根据图1-10,理想情况下物点P成像在Q点.如果物面在P点前后P’P"之间移动,则在Q看到的物有一定横向宽度。如果透镜有各种像差。该系统实际存在一个对物的可分辨极限(分辨率8)。显微镜价格只要P’P,,间平面上的物点宽度小于或等于s,则在Q处的成像效果与P点处几何物点造成的像斑是相同的,即其清晰度相同。因此可允许的物在轴上最大距离PP"称景深Do,它由下式定出: D0二 (1一23) 式中d一电子光学系统对物的分辨率; ao一电子束的物方有效孔径角. 对于100kV的电镜,偏光显微镜如果分辨率为lnm,物镜孔径角为5X10-1rad,则景深Do=200nm.这表示样品厚度或表面凹凸起伏不超过200nm时,能得到均匀清晰的图像.由此可见景深也常常成为对样品厚度的限制因素之一。

把景深这一特性转换到像方便可得到焦深Df。它就是为了得到清晰度相同的像,可允许的图像显示或记录平面的轴向位移量。参照(1一23)可得: Df=B;/a(1一24) 式中S;一像方的分辨率;a;一电子束的像方有效孔径角。 显微镜像方分辨率S;受观察荧光屏的分辨率所限制。通常荧光屏的分辨率为505m。如电镜最高放大倍数M=10`X,电子束孔径角ao=5X10-’rad,则最长焦深(D1),o,==100M。即使在最低放大倍数M=10’X,相应的ao=1X10-’rad时,最低焦深(Df).二50cm。可见电镜的焦深值很大.这就说明了在透射电镜中为什么我们只对荧光屏调焦,而把像记录在其下方的电子感光板或其上方的35mm胶片上时,总能得到清晰的像。 本文由广州深华实验室仪器设备整合发布

冷冻电镜技术

实用标准文案 冷冻电镜技术课程学习报告一、课程所讲基础知识回顾 1、电子显微镜成像技术的发展历史 (1)上世纪50年代的负染技术(分辨率2mm): 该技术的原理为重金属燃料与H结合,特点为对电子散射强,视野暗,衬度大,易观察到生物材料。但不足之处在于染料颗粒较大,不易进入分子内部。此外,因样品需要脱水处理,会造成结构失真。 (2)上世纪60年代的三维重构技术 三维重构的数学原理为傅里叶变换,其关键性质为:三维函数投影的傅里叶变换等于该三维函数傅里叶变换在垂直于投影方向上的中央截面。因此,通过对待测立体物质的多角度投影信息采集,可以借助数学的桥梁,重构出该物质的三维结构。显然,对待测物质投影采集的角度越多,越精确,重构出的三维图像越接近真实。 在60年代,T4噬菌体的结构通过该方法被成功解析。 (3)上世纪70年代的电子晶体学 即根据电子衍射的花样确定物质的晶体结构。被观测的物体通过物镜形成衍射图样,而这些衍射光束的低散射角部分再通过透镜而形成显微像。该方法相当于对原物体进行两次傅里叶变换,一为将物体转换成衍射谱,二为逆傅里叶变换使衍射谱重构成显微图像。 在70年代,电子晶体学的发展使得第1个膜蛋白结构被成功解析。(4)上世纪80年代的快速冷冻技术(分辨率达到0.2nm)

主要原理为将样品快速冷冻在玻璃态的水中,样品不需脱水,结构与在溶液精彩文档. 实用标准文案 中相同,呈天然状态。因此,电镜成像得到的更接近原物质的真实结构,且分辨率高。 2、冷冻电镜技术介绍 (1)关于玻璃态冰: 冰的结构多种多样,包括六角形冰、立方体冰等,其物理状态与冷冻速率有关。若要形成玻璃态(即无定形态)的冰,需要冷冻速率达到每秒钟10摄氏度。4此时,冰的结构呈现各向同性,不会因成像角度不同导致图像产生偏差。(2)操作步骤概要: 冷冻包埋——转移至液氮或液氦中——观测,图像采集——三维重构(3)图像采集的质量要求: 应保证样品在玻璃态冰中的分布均一,厚度一致切适当,避免污染。此外,特别应注意的是,该方法对电子剂量很敏感,最适为10e/A,明显超过最适剂2量即容易因受到过量电子辐射而破坏物理结构,导致冰迅速汽化,出现气泡,造成图像采集不成功。 因此,必须采用低剂量技术(≤20e/A),用1k~3k倍的低倍镜寻找,在目 2标域的临近区聚焦,使记录区域仅在拍摄时(1s左右)受到电子辐射,保证样品不被损坏。 二、课外补充学习:冷冻电镜技术难点的扩展阅读

电子显微镜技术在生物医学领域的应用

2012年1月内蒙古科技与经济Januar y2012 第2期总第252期Inner M o ngo lia Science T echnolo gy&Economy N o.2T o tal N o.252电子显微镜技术在生物医学领域的应用X 孙计桃 (内蒙古医学院基础医学院电镜中心,内蒙古呼和浩特 010059) 摘 要:电子显微镜在临床研究和疾病诊断中作出了巨大的贡献,并不断开辟着生物医学研究的新领域,主要从细胞、亚细胞的形态结构上阐明疾病的发生、发展及转归规律,丰富了传统病理学的知识。 通过对亚细胞结构和病原体的观察,可以诊断一些肿瘤疾病、心血管疾病、肝病、肾病、血液疾病、细菌、病毒、寄生虫疾病等。随着电镜技术的不断改进以及与多种研究手段相结合,电子显微镜将在生物医学领域应用会更加广泛。 关键词:电子显微镜;临床研究;疾病诊断;应用 中图分类号:T N16∶R318 文献标识码:A 文章编号:1007—6921(2012)02—0127—02 电子显微镜包括扫描电子显微镜和透射电子显微镜两种类型,利用透射电子显微镜可以观察样品内部超微结构,利用扫描电子显微镜可以观察样品表面形貌,立体感强,在生物医学领域应用较多的是透射电子显微镜。透射电子显微镜的发明为人类在医学科学研究领域做出了巨大的贡献,早在20世纪40年代电子显微镜就在医学上开始发挥其作用,在病毒学、细胞生物学、组织学、病理学、分子生物学及分子病理学都有应用[1-2]。笔者参考相关文献对电子显微镜技术在肿瘤诊断、病毒和病毒性疾病、系统性疾病等研究领域的应用做一概述,说明其是现代临床研究和疾病诊断中不可缺少的重要工具之一。1 电子显微镜技术在医学领域应用特点 随着科学技术的发展,电子显微镜放大倍数已从第一台电镜的十几倍提高到现在的百万倍,因此在生物医学领域利用高性能的电子显微镜观察细胞中各种细胞器正常的和病理的超微结构,诸如内质网、线粒体、高尔基体、溶酶体、细胞骨架系统等,对探明病因和治疗疾病有很大帮助。通过研究细胞结构和功能的关系,也可以研究细胞的通讯与运输、分裂与分化、增殖与调控等生命活动的规律,电子显微镜也可结合各种制样技术观察病毒、细菌、支原体、生物大分子等的超微结构,是现代生物医学研究不可替代的工具。 2 电子显微镜技术在肿瘤诊断中的应用 电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的,光学显微镜的分辨率为0.2L m,透射电子显微镜的分辨率为0.2nm,也就是说透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。因此,透射电子显微镜突破了光学显微镜分辨率低的限制,成为了诊断疑难肿瘤的一种新的工具。有研究报道,无色素性肿瘤、嗜酸细胞瘤、肌原性肿瘤、软组织腺泡状肉瘤及神经内分泌肿瘤这些在光镜很难明确诊断的肿瘤,利用电镜可以明确诊断[3-5]。 电镜主要是通过对超微结构的精细观察,寻找组织细胞的分化标记,确诊和鉴别相应的肿瘤类型。细胞凋亡与肿瘤有着密切的关系,电镜对细胞凋亡的研究起着重要的作用,因此利用电镜观察细胞的超微结构病理变化和细胞凋亡情况,将为肿瘤的诊断和治疗提供科学依据。 3 电子显微镜技术在肿瘤鉴别诊断中的应用透射电子显微镜观察的是组织细胞、生物大分子、病毒、细菌等结构,能够观察到不同病的病理结构,也可以鉴别一些肿瘤疾病,有研究报道电子显微镜技术通过超微结构观察可以区分癌、黑色素瘤和肉瘤以及腺癌和间皮瘤;可区别胸腺瘤、胸腺类癌、恶性淋巴瘤和生殖细胞瘤;可区别神经母细胞瘤、胚胎性横纹肌瘤、Ew ing氏肉瘤、恶性淋巴瘤和小细胞癌;可区别纤维肉瘤、恶性纤维组织细胞瘤、平滑肌肉瘤和恶性神经鞘瘤以及区别梭形细胞癌和癌肉瘤(杨光华,1992)[6-10] 。 4 电镜在肾活检病理诊断中应用 肾穿活检对了解疾病发生、发展及选择治疗方法是十分重要的,可以提高诊断的准确性。目前采用的方法有免疫组化和电子显微镜检查,电子显微镜检查可以弥补光学显微镜分辨率不高的缺陷,可观察到光镜所看不到的成分的超微结构病理变化,特别是上皮细胞、系膜、肌膜细胞和间质的改变,确定有无电子致密物沉着及其沉着部位。Sieg el等曾报道,经对213例肾病活检资料分析,发现有11%的病例需要用电镜作出正确诊断,有36%病例肾的超微结构改变对光镜诊断提供确诊或亚分类,如遗传性肾炎,此病肾小球的组织学特征无特殊改变,唯电镜检查才能作出准确诊断[11]。 5 电镜在代谢性疾病诊断中的应用 随着科学技术的进步,电镜的应用越来越广泛,已有研究报道,电镜在肝脏代谢性疾病、软组织系统疾病诊断中的作用值得肯定。Mierau等(1997)认为 ? 127 ? X收稿日期:2011-12-25

透射电子显微镜的结构及成像

透射电子显微镜的结构及成像 913000730018鲁皓辰一、实验目的 1)了解透射电子显微镜的基本结构; 2)熟悉透射电子显微镜的成像原理; 3)了解基本操作步骤。 二、实验内容 1)了解透射电子显微镜的结构; 2)了解电子显微镜面板上各个按钮的位置与作用; 3)无试样时检测像散,如存在则进行消像散处理; 4)加装试样,分别进行衍射操作、成像操作,观察衍射花样和图像; 5)进行明场、暗场和中心暗场操作,分别观察明场像、暗场像和中心暗场像。 三、实验仪器设备与材料 JEM-2100F型TEM透射电子显微镜 四、实验原理 图1JEM-2100F型透射电子显微镜 一)透射电镜的基本结构 透射电镜主要由电子光学系统、电源控制系统和真空系统三大部分组成,其中电子光学系统为电镜的核心部分,它包括照明系统、成像系统和观察记录系统组成。 1)照明系统 照明系统主要由电子枪和聚光镜组成,电子枪发射电子形成照明光源,聚光

镜是将电子枪发射的电子会聚成亮度高、相干性好、束流稳定的电子束照射样品。2)成像系统 成像系统由物镜、中间镜和投影镜组成。 3)观察记录系统 观察记录系统主要由荧光屏和照相机构组成。 二)主要附件 1)样品倾斜装置(样品台) 样品台是位于物镜的上下极靴之间承载样品的重要部件,见图2,并使样品在极靴孔内平移、倾斜、旋转,以便找到合适的区域或位向,进行有效观察和分析。 2)电子束的平移和倾斜装置 电镜中是靠电磁偏转器来实现电子束的平移和倾斜的。图3为电磁偏转器的工作原理图,电磁偏转器由上下两个偏置线圈组成,通过调节线圈电流的大小和 方向可改变电子束偏转的程度和方向。 图3电磁偏转器的工作原理图

扫描电子显微镜在精密及超精密加工中的应用

现代理化分析读书报告 ------扫描电子显微镜在精密及超精密加工中的应用 一、前言 通过现代理化分析这门课,我学到了很多理论知识,受益匪浅。这些理论知识和我所在研究方向—精密及超密超精密加工有着紧密的联系,可以直接指导我今后的学习与研究,也就是能够做到很好的学以致用,以下我就结合现代理化分析中的扫描电镜在精密及超精密加工中的应用来总结一下学习感想。文章分为三个部分,首先是介绍扫描电子显微镜,其次是介绍精密与超精密加工,最后是介绍前者在后者中的具体应用。 二、扫描电子显微镜 1.扫描电子显微镜的工作原理 扫描电子显微镜(scanning electron microscope)又简称SEM, 是依靠电子与物质的相互作用成像,得到物体表面放大后的图像。扫描电镜工作时会用极狭窄的电子束去扫描样品,当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。 2.扫描电子显微镜的组成部分 扫描电子显微镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。每个部分都有其相应的作用。 1) 真空系统 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。其中真空柱是一个密封的柱形容器,而真空泵用来在真空柱内产生真空。真空泵有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的SEM,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为密封室,用于放置样品。之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。 2)电子束系统 电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子枪用于产生电子,主要有两大类,共三种。一类是利用场致发射效应产生电子,称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵,在十万美元以上,且需要极高真空。另一类则是利用热发射效应产生电子,有钨枪和六硼化镧枪两种。

11-2 JY T 010-1996分析型扫描电子显微镜方法通则

MV_RR_CNJ_0010分析型扫描电子显微镜方法通则 1.分析型扫描电子显微镜方法通则的说明 编号JY/T 010—1996 名称(中文)分析型扫描电子显微镜方法通则 (英文)General rules for analytical scanning electron microscopy 归口单位国家教育委员会 起草单位国家教育委员会 主要起草人林承毅 万德锐 批准日期 1997年1月22日 实施日期 1997年4月1日 替代规程号无 适用范围本通则适用于各种类型的扫描电子显微镜和X射线能谱仪。 定义 主要技术要求 1. 2. 方法原理 3. 仪器 4. 样品 5. 分析步骤 6. 分析结果表述 是否分级无 检定周期(年) 附录数目无 出版单位科学技术文献出版社 检定用标准物质 相关技术文件 备注 2.分析型扫描电子显微镜方法通则的摘要 本通则适用于各种类型的扫描电子显微镜和X射线能谱仪。 2 定义 2.1二次电子 secondary electron 在入射电子的作用下,从固体样品中出射的,能量小于50eV的电子,通常以SE表示。 2.2背散射电子 backscattered electron 被固体样品中的原子反射回来的入射电子,包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子,通常以BSE表示。它又称为反射电子(Reflected Electron),以RE表示。其中弹性背散射电子完全改变了入射电子的运动方向,但基本上没有改变入射电子的能量;而非弹性背散射电子不仅改变了入射电子的运动方向,在不同程度上还损失了部分能量。 2.3 放大倍数 magnification 扫描电镜的放大倍数是指其图像的线性放大倍数,以M表示。如果样品上长度为L s直线

电镜技术在临床病理诊断中的应用

万方数据

万方数据

电镜技术在临床病理诊断中的应用 作者:张欠欠, 马莉, 王逢会, 米志宽 作者单位:延安大学医学院,716000 刊名: 中国医疗前沿 英文刊名:NATIONAL MEDICAL FRONTIERS OF CHINA 年,卷(期):2011,06(4) 参考文献(5条) 1.Hass M A re-evaluation of routine electron microscopy in the examination of native renal biop sies 1997 2.Fischer EG;Moore MJ;Lager DJ Fabry disease:a morphologic study of 11 cases 2006(10) 3.Holm R;Farrants GW;Nesland JM Ultrastructural and electron immunohistochemical features of medullary thyroid carcinoma[外文期刊] 1989 4.王玉兰;郑晓刚;周晓军电镜在甲状腺髓样癌诊断中的应用价值 2003(03) 5.虞功清;张泉;邹伟民电镜在白血病诊断上的应用与研究 2004(09) 本文读者也读过(7条) 1.马卫军.刘胜.韩莉.赵淑敏透射电镜的使用与维护[期刊论文]-承德医学院学报2004,21(1) 2.颜永碧.陆月良.王英电镜技术在病理学诊断中的应用[期刊论文]-第二军医大学学报2003,24(6) 3.孟春梅.洪健应用免疫金标记电镜技术定位寄主细胞中的植物病毒[会议论文]-2007 4.崔元日.王玉国免疫组化技术结合透射电镜技术在肺低分化癌鉴别诊断中的应用[期刊论文]-中国伤残医学2008,16(5) 5.钟秀容.周琳瑛.陈文列.吴翊钦.林曦三种电镜技术在细胞紧密连接研究中的应用[期刊论文]-福建医科大学学报2002,36(1) 6.钟秀容.陈莲云.陈文列制备电镜超薄切片的技巧[期刊论文]-福建医科大学学报1999,33(2) 7.陶忠芬.江海东.李飞.路菊.可金星浅谈电镜技术实验教学的体会[期刊论文]-局解手术学杂志2009,18(5) 本文链接:https://www.360docs.net/doc/f49323220.html,/Periodical_zgylqy201104037.aspx

电子显微镜技术

显微分析技术 摘要:透射电子显微镜、扫描电子显微镜以及扫描探针显微镜已经成为了分析纳米材料的重要手段之一。本文简要的介绍了透射电子显微镜、扫描电子显微镜以及扫描探针显微镜的发展以及应用。 引言 纳米科技是在20世纪80年代后才逐渐发展起来的前沿性、交叉性的新型科学领域,纳米材料的性能与其微观结构有着重要的关系,因此,纳米材料微观结构的表征对于认识纳米材料,推动纳米材料的应用有着深远的意义。 自16世纪出现了光学显微镜以后,把正常人眼睛仅能分辨约0.2mm 细节的能力,延伸到可以看细菌和微生物。20世纪30年代,科学家利用电子源制造出了扫描电子显微镜,其分辨率远远超出了光学显微镜。1932年M.Knoll和E.Ruska 研制出了第一台透射电子显微镜实验装置(TEM),1938年,V on.Ardence将扫描线圈加到透射电子显微镜上(TEM),制成了第一台扫描透射电子显微镜(STEM),放大倍数8000X,分辨率在500~1000 ?之间直到1952年,C.W.Qatley 和McMullan 在剑桥(Cambridge )制成了第一台现代的SEM,分辨率达到500?,很大程度的提高了人类认识微观世界的能力。但是,后来人们发现,当显微镜的放大率提高到1000-1500倍时,受光的衍射效应影响,图像将变得不再清晰。1982年国际商业机器公司苏黎世实验室的葛·宾尼(Gerd Binnig)博士和海·洛雷尔(Heimich Rohrer)博士及其同事们共同研制成功了世界第一台新型的表面分析仪器——扫描隧道显微镜(简称STM)。它的出现使人类第一次能够实时的观察单个原子在物质表面的排列状态和表面电子行为有关的物理、化学性质,为科学家提供了一种前所未有的直接观察单原子、单分子的手段,从而从根本上改变了人类对微观(纳米)世界的认识水平。STM的探针是由针尖与样品之间的隧道电流的变化决定的,因此要求样品表面能够导电,从而使得STM只能直接观察导体和半导体的表面结构对于非导电的物质则要求样品覆盖一层导电薄膜,但导电薄膜的粒度和均匀性难以保证,且导电薄膜掩盖了物质表面的细节为了克服

新一代电子显微镜的发展趋势及应用

新一代电子显微镜的发展趋势及应用 特点 微观结构专业组 新一代电子显微镜的发展趋势及应用特点 一、高性能场发射枪电子显微镜日趋普及和应用。 场发射枪透射电镜能够提供高亮度、高相干性的电子光源。因而能在原子--纳米尺度上对材料的原子排列和种类进行综合分析。九十年代中期,全世界只有几十台;现在已猛增至上千台。我国目前也有上百台以上场发射枪透射电子显微镜。 常规的热钨灯丝(电子)枪扫描电子显微镜,分辨率最高只能达到 3.0nm;新一代的场发射枪扫描电子显微镜,分辨率可以优于 1.0nm;超高分辨率的扫描电镜,其分辨率高达0.5nm-0.4nm。其中环境描电子显微镜可以做到:真正的“环境”条件,样品可在100%的湿度条件下观察;生物样品和非导电样品不要镀膜,可以直接上机进行动态的观察和分析;可以“一机三用”。高真空、低真空和“环境”三种工作模式。 二、努力发展新一代单色器、球差校正器,以进一步提高电子显微镜的分辨率。 球差系数:常规的透射电镜的球差系数Cs约为mm级;现在的透射电镜的球差系数已降低到Cs<0.05mm.色差系数:常规的透射电镜的色差系数约为0.7;现在的透射电镜的色差系数已减小到0.1。 场发射透射电镜、STEM技术、能量过滤电镜已经成为材料科学研究,甚至生物医学必不可少的分析手段和工具. 物镜球差校正器把场发射透射电镜分辨率提高到信息分辨率.即从0.19nm 提高到0.12nm甚至于小于0.1nm.

利用单色器,能量分辨率将小于0.1eV.但单色器的束流只有不加单色器时的十分之一左右.因此利用单色器的同时,也要同时考虑单色器的束流的减少问题。 聚光镜球差校正器把STEM的分辨率提高到小于0.1nm的同时,聚光镜球差校正器把束流提高了至少10倍,非常有利于提高空间分辨率。 在球差校正的同时,色差大约增大了30%左右.因此,校正球差的同时,也要同时考虑校正色差. 三、电子显微镜分析工作迈向计算机化和网络化。 在仪器设备方面,目前扫描电镜的操作系统已经使用了全新的操作界面。用户只须按动鼠标,就可以实现电镜镜筒和电气部分的控制以及各类参数的自动记忆和调节。 不同地区之间,可以通过网络系统,演示如样品的移动,成像模式的改变,电镜参数的调整等。以实现对电镜的遥控作用. 四、电子显微镜在纳米材料研究中的重要应用。由于电子显微镜的分析精度逼近原子尺度,所以利用场发射枪透射电镜,用直径为0.13nm的电子束,不仅可以采集到单个原子的Z-衬度像,而且还可采集到单个原子的电子能量损失谱。即电子显微镜可以在原子尺度上可同时获得材料的原子和电子结构信息。观察样品中的单个原子像,始终是科学界长期追求的目标。一个原子的直径约为1千万分之 2-3mm。所以,要分辩出每个原子的位置,需要0.1nm左右的分辨率的电镜,并把它放大约1千万倍才行。人们预测,当材料的尺度减少到纳米尺度时,其材料的光、电等物理性质和力学性质可能具有独特性。因此,纳米颗粒、纳米管、纳米丝等纳米材料的制备,以 及其结构与性能之间关系的研究成为人们十分关注的研究热点。 利用电子显微镜,一般要在200KV

透射电子显微镜的原理

透射电子显微镜的原理 XXX (大庆师范学院物理与电气信息工程学院 2008级物理学 200801071293 黑龙江大庆163712) 摘要:透射电子显微镜在成像原理上与光学显微镜类似。它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束,透射电子显微镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的玻璃透镜,在电子显微镜中相应的为磁透镜。由于电子波长极短,同时与物质作用遵从布拉格(Bragg)方程,产生衍射现象,使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时兼有结构分析的功能。 关键词:第一聚光镜;第二聚光镜;聚光镜阑;物镜光阑;选择区光阑;中间镜 作者简介:XXX(1988-),黑龙江省绥化市绥棱县,物理与电气信息工程学院学生。 0引言: 工业多相催化剂是极其复杂的物理化学体系。长期以来,工业催化剂的制备很大程度上依赖于经验和技艺,而难以从原子分子水平的科学原理方面给出令人信服的形成机制。为开发更高活性、选择性和稳定性的新型工业催化剂,通过各种表征技术对催化剂制备中的过程产物及最终产品进行表征是一个关键性的基础工作。在当前各种现代表征手段中,透射电子显微镜尤其是高分辨透射电子显微镜,可以在材料的纳米、微米区域进行物相的形貌观察、成分测定和结构分析,可以提供与多相催化的本质有关的大量信息,指导新型工业催化剂的开发。 为什么透射电子显微镜有如此高的分辨率那?本文阐述了透射电子显微镜的工作原理。 1透射电子显微镜的定义/组成 1.1定义 在一个高真空系统中,由电子枪发射电子束, 穿过被研究的样品,经电子透镜聚焦放大,在荧光 屏上显示出高度放大的物像,还可作摄片记录的一 类最常见的电子显微镜称为透射电子显微镜。[1] 1.2组成 透射电子显微镜由照明系统、成像系统、记录 系统、真空系统和电器系统组成。(如图1) 2透射电子显微镜的照明系统 照明系统的作用是提供亮度高、相干性好、束 流稳定的照明电子束。它主要由发射并使电子加速 的电子枪和会聚电子束的聚光镜组成。

2020年智慧树知道网课《生物电镜原理与技术》课后章节测试满分答案

第一章测试1 【单选题】(10分)人眼的平均分辨率为 A. 0.2μm B. 0.4mm C. 0.3mm D. 0.4μm E. 0.2mm 2 【单选题】(10分)电子枪产生的电子是 A. 弹性散射电子 B. 透射电子 C. 二次电子 D. 入射电子 E.

特征x射线 3 【单选题】(10分) 下面哪种电镜可以在观察结构的同时,对组织细胞内的元素成分进行分析 A. 扫描电镜 B. 扫描隧道显微镜 C. 透射电镜 D. 分析电镜 E. 冷冻电镜 4 【单选题】(10分) 世界上第一台电子显微镜是哪年出现的 A. 1924年 B. 1930年 C. 1935年

D. 1945年 E. 1932年 5 【单选题】(10分) 在样品的表面产生,产额与样品表面的凹凸程度有关的是 A. 入射电子 B. 特征x射线 C. 透射电子 D. 二次电子 E. 弹性散射电子 6 【单选题】(10分) 科学家们利用哪种电镜在金属镍表面上用35个惰性气体原子组成了IBM三个字母 A. 透射电镜 B.

扫描隧道显微镜 C. 分析电镜 D. 扫描电镜 E. 原子力显微镜 7 【单选题】(10分) 哪种电镜能够将活的生物分子进行冷冻,使分子机制可以图像化描述 A. 分析电镜 B. 透射电镜 C. 扫描电镜 D. 扫描隧道显微镜 E. 冷冻电镜 8 【多选题】(10分) 透射电镜可用于

A. 观察各种细胞器的超微结构 B. 用于观察细菌、病毒的超微结构 C. 观察组织细胞的超微结构病变 D. 用于核酸和蛋白质超微结构的研究 E. 观察组织细胞的正常超微结构 9 【判断题】(10分) 电磁透镜包括静电透镜和磁透镜 A. 对 B. 错 10 【判断题】(10分) 分辨率是指人眼或光学仪器观察和分辨物体最小细节的能力 A. 对 B.

扫描电子显微镜技术原理及应用

扫描电子显微镜技术原理及应用 学院:材料学院 班级:111111 学号:111111 姓名:1111

扫描电子显微镜技术原理及应用 摘要:本文阐述了扫描电子显微镜的成像原理,介绍了其功能和特点,以及在材料分析之中的应用。 关键词:扫描电子显微镜;应用;材料分析 引言:扫描电子显微镜是很先进的一种电子光学仪器,它采用细聚焦高压电子束在材料样品表面扫描时激发产生的某些物理信号来调制成像,类似于电视摄影的显像方式,放大倍数远远超过普通光学显微镜,可达到几十万倍甚至更高。 一.扫描电子显微镜的成像原理 扫描电镜成像过程与电视成像过程有很多相似之处,扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的,只是在结构和部件上稍有差异而已。在电子扫描中,把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描,把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。 SEM的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子,标本在固定、脱水后,要喷涂上一层重金属微粒,重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。 由电子枪发射的高能电子束,经会聚透镜、物镜缩小和聚焦,在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束。在扫描线圈的磁场作用下,入射电子束在样品表面上按照一定的空间和时间顺序做光栅式逐点扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用,将从样品中激发出二次电子。由于二次电子收集极的作用,可将各个方向发射的二级电子汇集起来,再将加速极加速射到闪烁体上,转变成光信号,经过光导管到达光电倍增管,使光信号再转变成电信号。这个电信号又经视频放大器放大并将其输送至显像管的栅极,调制显像管的亮度。因而,在荧光屏上呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面形貌的二次电子象。 二.扫描电子显微镜的应用 扫描电子显微镜的样品制备简单, 可以实现试样从低倍到高倍的定位分析,还能够根据观察需要进行空间转动,,以利于使用者对感兴趣的断裂部位进行连续、系统的观察分析,扫描电子显微断口图像因真实、清晰,,并富有立体感, 在金属断口和显微组织三维形态的观察研究方面获得了广泛地应用。 由于扫描电镜可用多种物理信号对材料样品进行综合分析, 并具有可以直接观察较大试样、放大倍数范围宽和景深大等特点, 因此, 在科研、工业产品开发、质量管理及生产在

电子显微分析技术及应用

电子显微分析技术及应用 材料测试技术是材料科学与工程研究以及应用的重要手段和方法,目的就是要了解、获知材料的成分、组织结构、性能以及它们之间的关系,即材料的基本性质和基本规律。同时为发展新型材料提供新途径、新方法或新流程。在现代制造业中,测试技术具有非常重要的地位和作用。材料的组织形貌观察,主要是依靠显微镜技术,光学显微镜是在微米尺度上观察材料的组织及方法,电子显微分析技术则可以实现纳米级的观察。透射电子显微镜、扫描电子显微镜和电子探针仪等已成为从生物材料、高分子材料到金属材料的广阔范围内进行表面分析的不可缺少的工具。下面将主要介绍其原理及应用。 1.透射电子显微镜(TEM) a)透射电子显微镜 b)透射光学显微镜 图1:透射显微镜构造原理和光路 透射电子显微镜(TEM)是一种现代综合性大型分析仪器,在现代科学、技术的研究、开发工作中被广泛地使用。 所谓电子显微镜是以电子束为照明光源的显微镜。由于电子束在外部磁场或电场的作用下可以发生弯曲,形成类似于可见光通过玻璃时的折射现象,所以我们就可以利用这一物理效应制造出电子束的“透镜”,从而开发出电子显微镜。而作为透射电子显微镜(TEM)其特点在于我们是利用透过样品的电子束来成像,这一点有别于扫描电子显微镜。由于电子波的波长大大小于可见光的波长(100kV的电子波的波长为0.0037nm,而紫光的波长为400nm),根据

光学理论,我们可以预期电子显微镜的分辨本领应大大优于光学显微镜。 图l是现代TEM构造原理和光路。可以看出TEM的镜筒(Column)主要有三部分所构成:(1)照明系统,即电子枪;(2)成像系统,主要包括聚光镜、物镜、中间镜和投影镜;(3)观察系统。 通过TEM中的荧光屏,我们可以直接几乎瞬时观察到样品的图像或衍射花样。我们可以一边观察,一边改变样品的位置及方向,从而找到我们感兴趣的区域和方向。在得到所需图像后,可以利用相机照相的方法把图像记录下来。现在新一代TEM也有的装备了数字记录系统,可以将图像直接记录到计算机中去,这样可以大大提高工作效率。 2.扫描电子显微镜(SEM) 下图为扫描电子显微镜的原理结构示意图。由三极电子枪发出的电子束经栅极静电聚焦后成为直径为50mm的电光源。在2-30KV的加速电压下,经过2-3个电磁透镜所组成的电子光学系统,电子束会聚成孔径角较小,束斑为5-10m m的电子束,并在试样表面聚焦。末级透镜上边装有扫描线圈,在它的作用下,电子束在试样表面扫描。高能电子束与样品物质相互作用产生二次电子,背反射电子,X射线等信号。这些信号分别被不同的接收器接收,经放大后用来调制荧光屏的亮度。由于经过扫描线圈上的电流与显象管相应偏转线圈上的电流同步,因此,试样表面任意点发射的信号与显象管荧光屏上相应的亮点一一对应。也就是说,电子束打到试样上一点时,在荧光屏上就有一亮点与之对应,其亮度与激发后的电子能量成正比。换言之,扫描电镜是采用逐点成像的图像分解法进行的。光点成像的顺序是从左上方开始到右下方,直到最後一行右下方的像元扫描完毕就算完成一帧图像。这种扫描方式叫做光栅扫描。 图2:扫描电子显微镜的原理和结构示意图

电镜技术-第5次课

第三章超薄切片术 (the Techniques of Ultrathin Section) 超薄切片术是最基本的透射电镜样品制备技术,需要借助超薄切片机制备样品,切片的厚度小100nm(一般30~70nm),被广泛用于揭示样品的超微结构。超薄切片术也是电镜细胞化学、免疫电镜、电镜放射自显影、X-射线微区元素分析等技术的基础,是研究生物医学样品的超微结构及其功能的有力工具。它分为普通超薄切片术和冷冻超薄切片术两大类。 取材固定脱水浸透包埋聚合切片染色 电镜样品必须满足一些基本的条件才能用于观察 第一为保持电镜工作真空和样品在真空下不损伤,样品必须彻底干燥。 第二电镜所成的图像是黑白图像,要求图像有一定的反差,而生物样品提供的反差低,样品要进行提高反差的处理,如电子染色和金属喷镀等方法。 第三电子的穿透能力是较低的,再加上电镜的高分辨本领,切片太厚,各层清晰结构重叠,都会使图像模糊。所以要求透射电镜样品一定要薄。同时考虑到反差,一般认为在 50~1OOkV加速电压范围内,5OO左右的厚度是切片实际可用的厚度。 第四样品应该能耐受电子束的强烈照射,在电镜观察程中不发生变形和升华等损伤。 制备好的超薄切片,应该满足如下要求 细胞的精细结构保存良好,没有产生明显的物质的凝集、丢失或添加等人工效应 切片厚度应为500?左右,最多不超过1000? 切片能耐受电子束的强烈照射 电镜观察过程中,包埋介质不发生变形或升华 切片应具有良好的反差 切片均匀,并且没有皱摺、刀痕及染色剂沉淀等缺陷 超薄切片主要步骤 杀死组织,同时把从细胞间的联系直至细胞器的分子结构的全部组织的精细结构真实地保存下来2.脱水从组织中除去游离水分,并用一种既能和水又能和渗透液相混的惰性液体取代组织中的水。3.块染使组织某些成分结合重金属离子,引起电子散射能力差异,提高超微结构电镜图像的反差。4.渗透和包埋用另一种溶液或混合液取代脱水液。它们很容易硬化成固体,并且有足够的弹性,以切出5OOA的平薄切片。5.聚合渗入组织里的包埋液变硬,以便形成一个能牢固地支持组织的固态基质,而不混乱其空间联系。6.切片将带有组织的固态基质(称为“包埋块”)切成500 ?左右的超薄切片。7.安放把单张或切片带移到样品支持载网上,以便放入电子显微镜中观察8.切片染色使载网上切片和重金属溶液反应,以增加组织成分的电子散射能力9.镜检把有样品切片的载网放人电子显微镜中观察,可得到样品的电子显微镜图像和照片。 锇酸固定醛类固定缓冲液清洗取材缓冲液清洗80%70样品 化学固定脱水90%100% 修块 超薄切片 染色 超薄切片的样品制备流程 一、取材 准备工作取材原则 准备工作取材时需准备各种溶液、玻璃器皿及器件所需溶液主要有缓冲液,戊二醛、锇酸固定液,梯度浓度脱水剂,如30%丙酮,50%丙酮,70%丙酮,80%丙酮,95%丙酮及100%丙酮

扫描电镜技术及其在材料科学中的应用

扫描电镜在材料分析中的应用 摘要:随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界。细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题。目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜。电子显微镜可分为扫描电了显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类。本文主要介绍扫描电子显微镜工作原理、结构特点及其发展,阐述了扫描电子显微镜在材料科学领域中的应用。 关键词:电子显微镜;扫描电镜;材料;应用 引言: 自从1965年第一台商品扫描电镜问世以来,经过40多年的不断改进,扫描电镜的分辨率从第一台的25nm提高到现在的0.01nm,而且大多数扫描电镜都能通X射线波谱仪、X射线能谱仪等组合,成为一种对表面微观世界能过经行全面分析的多功能电子显微仪器。扫描电镜已成为各种科学领域和工业部门广泛应用的有力工具。从地学、生物学、医学、冶金、机械加工、材料、半导体制造、陶瓷品的检验等均大量应用扫描电镜作为研究手段。 在材料领域中,扫描电镜技术发挥着极其重要的作用,被广泛应用于各种材料的形态结构、界面状况、损伤机制及材料性能预测等方面的研究。利用扫描电镜可以直接研究晶体缺陷及其生产过程,可以观察金属材料内部原子的集结方式和它们的真实边界,也可以观察在不同条件下边界移动的方式,还可以检查晶体在表面机械加工中引起的损伤和辐射损伤等。 1.扫描电镜的原理 扫描电镜(Scanning Electron Microscope),简写为SEM,是一个复杂的系统,浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。 扫描电镜的基本工作过程如图1,用电子束在样品表面扫描,同时,阴极射线管内的电子束与样品表面的电子束同步扫描,将电子束在样品上激发的各种信号用探测器接收,并用它来调制显像管中扫描电子束的强度,在阴极射线管的屏幕上就得到了相应衬度的扫描电子显微像。电子束在样品表面扫描,与样品发生各种不同的相互作用,产生不同信号,获得的相应的显微像的意义也不一样。入射电子与试样相互作用产生图2所示的信息种类[1-4]。 这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而变(这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等),是将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号,再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度,就可以得到一个反应试样表面状况的扫描图如果将探测器接收到的信号进行数字化处理即转变成数字

电子显微镜在纳米材料中的应用

透射电子显微镜与选区电子衍射对纳米材料的联合分析 摘要 透射电子显微镜( TEM) 能在纳米尺度上实现对待测样品形貌、尺寸的分析; 结合选区电子衍射( SAED) ,可以更进一步实现对待测样品的晶体结构、晶相组成的鉴定,从而提高样品分析的准确度和可靠性。本文综述了TEM 与SAED 联合分析的优点及其在微电子器件、高温结构材料、生物矿物等领域的研究进展,并对其未来的发展方向进行了展望。 关键词:透射电子显微镜(TEM),选区电子衍射(SAED),纳米材料 1 前言 纳米材料是指由尺寸小于100 nm 的超细颗粒构成的具有小尺寸效应的零维、一维、二维和三维材料的总称。由于纳米材料的超微尺寸,使得其包含的原子数大大下降,晶体周期性的边界条件被破坏,宏观固定的准连续能带转变为离散的能级,纳米材料表面层附近的原子密度减小,电子的平均自由程很短,而局域性和相干性增强,从而使其声、光、电、磁,热力学等性能呈现出“新奇”现象。 在结构表征方面,电子显微学包括透射电子显微学和扫描电子显微学,是纳米材料最重要的、有时甚至是唯一的结构表征手段。在性能测量方面,很多传统方法可用于测量材料的性能,但通常需要一定量的样品,很少能测量单个纳米结构( 如单根纳米管或纳米线) 的性能[1]。 1931 年6 月4 日Knoll 和Ruska 首次报道研制成功第一台透射电子显微镜( TEM) , 几年后德国、英国和加拿大等国开始研制透射电镜。20 世纪70 年代具有高分辨率的透射电镜和分析电镜出现后, 它的分辨水平日臻细微, 功能更趋多样, 已成为现代实验室中一种不可或缺的研究晶体结构和化学组成的综合仪器[2]。TEM 是波长极短的电子束经过电磁透镜进行聚焦后穿透样品成像。当

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