带钢抛丸机结构及工作原理
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带
钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
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结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回
室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
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1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸
室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、
横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无
论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、
转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每
台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹
丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工
件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸
经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体
内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室，由两台清理机组成，第一台粗抛、第二台精抛，抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面），将清理工件的弹丸加速，击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉，清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部，经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内，分离器将锈氧化皮等混合物分开，合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用；中间弹丸（未完全分离干净）回室体内再循环；破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱（用户自备）。
3. 各部件主要结构
3.1抛丸器由钢板焊接而成，采用无型钢骨架结构，室体内衬有金属防护板，用耐磨的包铸螺母固定在室体上。
室体上共设八扇维修工作门，门体上侧设有触点开关，无论那扇门开启时，抛丸器都不启动。
结构及工作原理
1. 本机主要由下列部件组成
抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。
2. 机器的工作原理
抛丸机作用
抛丸机的作用 利用抛丸器抛出的高速弹丸清理或强化铸件表面的铸造设备。抛丸机能同时对铸件进行落砂﹑除芯和清理。抛丸机的组成和分类 1.抛丸机的组成： 抛丸机主要由4个部件组成： ①抛丸器一般用高速旋转的叶轮将弹丸在高离心力作用下向一定方向抛射。在工作过程中，有的抛丸器可作一定角度的摆动或上、[1]下移动。 ②弹丸收集、分离和运输系统。 ③使铸件在抛丸清理过程中连续不断运行和翻转的承载体。 ④除尘系统。 2.抛丸机的分类 抛丸机按铸件承载体的结构不同分为滚筒式、链板式、转台式、台车式、鼠笼式和吊挂式抛丸机等； 滚筒式和链板式抛丸机适用于清理不怕碰撞的中小型铸件。滚筒式抛丸机靠筒体内螺旋状的导筋，使铸件翻转并向前运行。链板式抛丸机则通过链板的运动，使铸件翻转和运行。转台式、台车式和吊挂式抛丸机用于清理大中型铸件，通常设有固定的抛丸室，被清理的铸件在抛丸室内回转或移动。抛丸室一般装有几个抛丸器，装在不同的位置上，从不同的方位抛射弹丸，以提高抛丸机的清理效率和清理质量。吊挂式抛丸机可根据被清理铸件的需要，在悬链上配置若干个吊钩，清理时铸件挂在吊钩上，在向前运行的同时自行翻转。铸件在抛丸室外装卸，在室内进行清理。 按工作制度又可分为间歇式和连续式抛丸机。 抛丸机主要由4个部件组成： ①抛丸器一般用高速旋转的叶轮将弹丸在高离心力作用下向一定方向抛射。在工作过程中，有的抛丸器可作一定角度的摆动或上、下移动。 ②弹丸收集、分离和运输系统。 ③使铸件在抛丸清理过程中连续不断运行和翻转的承载体。 ④除尘系统。 喷砂房：无需深地坑（亦可不做地坑）、基建费用低，施工周期短 抛丸与喷丸 用压缩空气将钢丸或玻璃丸喷到零件上，以去除氧化皮及其他污物的工艺过程叫喷丸。也可将钢铁丸送至高速旋转的圆盘上，利用离心力的作用，使高速抛出的钢丸撞击零件表面，达到光饰的目的，这种工艺叫抛丸。这两种工艺都能使零件表面产生压应力，而且没有含硅粉末，对环境污染小。他们的主要用途如下：①使零件表面产生压应力，可提高它们的疲劳强度及抗拉应力腐蚀的能力；②对扭曲的薄壁零件进行校正；③代替一般的冷、热成型工艺，对大型薄壁铝制零件进行成型加工，不仅可避免零件表面有残余拉应力，而且可获得对零件有利的压应力。应注意的是：经喷丸或抛丸处理过的零件的使用温度不能太高，否则压应力在高温下会自动消失，因而失去预期的效果。它们的使用温度由零件的材质决定，对于一般钢铁零件约为260—290℃，铝制零件只有170℃。 应用于抛丸机的磨料 （铸）钢丸 型号: S780/SS2.5 S660/SS2.0 S550/SS1.7 S460/SS1.4 S390/SS1.2 S330/SS1.0
抛丸机操作规程
一、操作准备 1. 根据现场实际情况选配并穿戴好劳保用品：护目镜、帆布手套、耳塞、防尘口罩、劳保鞋。 2. 检查抛丸机各耐磨部件（抛丸器叶片、室内挡板，工装）的磨损松动情况，发现异常及时处理。检查各运动部件的配合，螺栓连接是否松动，及时拧紧。 3. 检出抛丸内室是否存在泄露，及时查漏补缺，是否有杂物落入机内，及时清除以防止堵塞各输送环节造成设备故障。 4. 确认粉尘储存器、钢丸储存漏斗、筛网、抛丸机室内等已清理干净，无大块状物体，无工件掉落，待一切检查无问题后，才可开机作业。 二、操作过程 1. 启动机器前要发出信号，使机器附近的人员离开，待确认室内无人时，接通电源，检查抛丸机操作面板各按钮及相应分部件是否运转灵活，且运转到位，如存在异常情况必须及时处理。 2. 将待抛丸工件整齐挂入工装前，必须确保工装焊接处无严重磨损，禁止挂入超过工装和起吊装置载重量进行工作，以免工装在运行中脱落，造成设备损坏或人员受伤，潮湿和有油污的工件严禁进入抛丸室进行抛丸处理。 3. 开机步骤：先开风机→再开正传（或翻转）→开上抛丸器→开下抛丸器→打开抛丸闸门→开始工作。 4. 抛丸机运行时，观察上下抛丸器运行电流是否平衡，注意抛丸器运转过程中的震动和音响是否正常，轴承和电机的升温是否正常，当出现异常时，应停机检查，排除故障或更换叶片，等到故障排除后，再开机运行。 5. 设备正常使用时，不可随意扳动控制面板上的手动、点动、自动旋钮，以免发生危险。 6. 设备运行中，操作员不可到抛丸器后方调整沙量或抛丸机顶进行任何操作。 三、异常处置 1. 当突发停电时要切断总电源，关闭压缩空气开关，悬挂标识牌。
光刻原理
光 刻 工 艺 一、目的： 按照平面晶体管和集成电路的设计要求，在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形，以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理： 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上，在适当波长光的照射下，光致抗证剂发生变化，从而提高了强度，不溶于某些有机溶剂中，未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化，很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用，对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀，从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 （一）光刻原理图 （一）光刻胶的特性： 1．性能，光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量，使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构，从而提高了抗蚀能力，不再溶于有机溶剂，也不再受一般腐蚀剂的腐蚀． 2．组成：以KPR 光刻胶为例： 感光剂－－聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂－－环己酮。 增感剂－－5·硝基苊， 3．配制过程： 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀，然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀，静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内，加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 （二）光刻设备及工具： 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口
1．曝光机－－光刻专用设备。 2．操作箱甩胶盘－－涂复光刻胶。 3．烘箱――烤硅片。 4．超级恒温水浴锅－－腐蚀SiO2片恒温用。 5．检查显为镜――检查SiO2片质量。 6．镊子――夹持SiO2片。 7．定时钟――定时。 8．培养皿及铝盒――装Si片用。 9．温度计――测量温度。 图（二）受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1．涂胶：利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上，涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上，然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上，利用转动时产生的离心力，将片子上多余的胶液甩掉，在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求：厚度适当（观看胶膜条纹估计厚薄），胶膜层均匀，粘附良好，表面无颗粒无划痕。 图（三）光刻工艺流程示意图
抛丸机操作规范
抛丸机操作规范 一:开机前准备工作:检查设备各舱门是否开启,在进料仓前地面摆放承装产品的尼龙袋或装料车。 二:操作抛丸机工作 1)打开电源—启动空压机 2)启动除尘器—启动提升机 3)打开清理室舱门放入工件(工件装料量见附表) 关闭清理室舱门,并将把手扣紧。 4)设置抛丸时间(常用工件抛丸时间见附表)。 5)启动履带正转—启动抛丸(启动抛丸后不得马上 启动闸门,必须等待六秒左右再启动闸门防止电 流过载)。 6)启动闸门。 7)闸门和抛丸开关在时间继电器控制断电后严禁直 接打开清理室舱门防止飞砂伤人,应在断电两分 钟之后,按停履带正转按钮再打开清理室舱门, 注意在开舱门过程中回扣两下舱门让附着在舱门
上的不锈钢砂丸跌回清理室。 8)启动履带反转,清理室内工件将由履带传送出清理室跌落在事先放置的尼龙袋或装料车中,卸料 完成后关闭履带反转。 9)抛丸机连续工作时,重复步骤3到步骤8的操作。 10)一天工作完成后关闭清理室舱门并扣好,按次序关闭提升机—除尘器,开启振打模式四分钟—关 闭电源。 11)清理场地。 三:注意事项及日常维护管理。 1)除尘器和提升机在工作过程中必须一直开启,抛丸机工作一段较长时间后观察电流表,在闸门开 启的状态下电流表指数持续低于或等于13且工件抛丸质量不理想情况下应从进料仓加不锈钢砂丸 30~50公斤。 2)操作抛丸机前操作人员应戴好防护眼镜,每班操作前操作人员应确定行程开关的拨动摇杆(清理
室舱门处)能否自由转动。 3)开启抛丸机前应检查空压机是否开启,并检查气 压保持在0.4-0.6Mpa。 4)每半个月或连续累积工作四十八小时应检查项目: ⑴提升机皮带轮是否对准,皮带是否涨紧以及皮带 接头及连接螺栓。 ⑵抛丸器分丸轮工作面磨损超过3毫米即更换,定 向套开口磨大前即更换(磨损10毫米),必须成套 (八片)更换叶片。 5)抛丸机在工作过程中发出持续异响,应立刻停止工作并等待一分钟左右打开清理室舱门,检查分丸轮等的磨损情况,以及各传动部件是否有干涉和是否润滑不良,遇到紧急情况时应该及时按下急停开关。
抛丸机的作用和工作原理
抛丸机的作用和工作原理 一抛丸机作用 1、除掉工件表面的锈层、焊渣及氧化皮，使之获得均匀一致的金属光泽。 2、表面产生一定程度的凹凸不平的效果，增加表面密度，增大构件摩擦系数及涂料的附着力，以提高钢材的涂饰质量与防腐效果。 二抛丸机工作原理 1 抛丸器工作原理 抛丸器是抛丸机配件的主要部件。抛丸器由叶轮、分丸轮、定向套、主轴等零配件组成。 钢丸靠自重由漏斗流入分丸轮内，与主轴同速旋转的分丸轮，便卷着钢丸旋转。在离心力的作用下，铁丸被压向定向套的内侧，当铁丸至定向套开口时，便从开口抛出，为高速旋转的叶片所承接并沿叶片自内向外作加速运动，较后以60~80m/s的速度呈扇形抛向被清理工件件，从而使被清理工件的表面得以清理。调整定向套开口位置，可以改变钢丸抛射的方向，以使抛出的铁丸尽量抛射到被清理工件上。定向套位置不正确，不仅降低了抛丸清理效率，还会增大弧形护板的磨损。定向套出口的大小，将影响钢丸的扩散角（扇形的夹角），出口越大，扩散角越大，清理效果也越差。因此定向套的开口磨损后，需及时进行调整，当磨损量超过15毫米时，便需要换。 影响抛丸器清理效率的主要参数是钢丸的抛射速度和抛丸量。抛射速度越高，打击力越大；单位时间抛丸量增加，抛向被清理工具单位面积上的铁丸密集程度也随之提高。提高抛射速度距离的影响。钢丸从抛丸器抛出后，在运动过程中，由于空气的阻力，速度将会逐渐降低。一般情况下，抛射距离每增加一米，铁丸动能的损失约增加10%。通常，被清理工件的表面与抛丸器中心线的距离以0.7~1.5m为宜，过近则钢丸弹痕过深且抛射区过小，过远则清理效果降低。 2 分离器的工作原理。 从斗式提升机流入的丸砂混合物，由底部螺旋送至分选区上部,由底部螺旋使其沿分离器在分选区全长范围内均匀输送，形成如同瀑布一样的丸砂流幕。同时，除尘风机通过分离器的风口抽风，利用重力风选，将流幕中的弹丸和型砂、金属氧化皮碎片、破碎弹丸、粉尘有效分离，然后经底部筛网的二次过滤后流入料仓，储存并进入下一步的循环使用。 丸砂混合物在下降过程中，受到水平气流对颗粒的推力，从而形成偏斜的曲线运动轨迹，因颗粒的比重和粒径的差异，其偏斜程度不尽相同，从而使丸渣得以分离，粉尘被吸入除尘器进行净化处理，碎丸、砂子、氧化皮等进入废料储斗，合格抛丸和部分小块杂物经再次筛分进入储丸斗以供循环使用。 分离器的较佳分离效果是靠调节闸板上的重锤位置、一级和二级撇滤板上的调节板位置以及管道上的蝶阀来实现，调整合理可以获得良好的分离效果，使分离效率可高达99%以上。
吊钩式抛丸机安全操作规程标准范本
操作规程编号：LX-FS-A25763 吊钩式抛丸机安全操作规程标准范 本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
吊钩式抛丸机安全操作规程标准范 本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1、本机为定机定人负责制，非本机操作者未经车间领导同意时，不得动用。 2、上班生产前，操作者应认真点检设备各系统，电动葫芦、钢丝绳、吊钩、挂具应正常，抛丸机构、吸尘机构、电器装置等均应正常、可靠、安全。 3、装载的抛丸产品总量应在额定范围，不准超载运转。 4、抛用的铁丸规格数量及抛丸的时间，应按产品生产工艺执行，以保证抛丸后的产品表面质量。 5、在向吊具中装卸产品时，吊具底下严禁有
人工控制型抛丸机安全操作方法
工作行为规范系列 人工控制型抛丸机安全操 作方法 （标准、完整、实用、可修改）
编号: FS-QG-87305人工控制型抛丸机安全操作方法 Manual con trol type shot blasti ng mach ine safe operati on method 说明：为规范化、制度化和统一化作业行为，使人员管理工作有章可循，提高工作效率和责任感、归属感，特此编写。 最初的压送式抛丸机都是由人工控制的，这就是说，抛 丸机的工作状态必须由抛丸工人以外的人员控制。 控制要点如下： 1）通气源前，进气阀必须关闭，否则容易发生意外。 2）丸工人做好准备后向辅助工人发出可以开机的信号。 辅助工人先关闭排气阀，然后打开进气阀。一部分压缩空气进入磨料阀，封闭阀在压缩空气的推动下关闭添料扣。抛丸机升压。大部分压缩空气流向磨料阀，磨料在磨料阀内与压缩空气混合后经喷砂软管送到喷嘴喷出。 3）抛丸机一开机，抛丸工人就处在非常被动的状态，即 使磨料已经用完，他也不能将喷嘴和喷砂软管随意放下，因 为高速气流的反作用力会使喷砂软竹和喷嘴毫无控制地摆 动，伤害喷丸工人或其他人员，损坏设备和工件。
4）抛丸工人需要停止工作的唯一办法就是向辅助工人发出停机信号，辅助工人先关闭进气阀然后打开排气阀，磨料桶卸压，封闭阀下落，添料口打开，喷丸作业停止或结束由于喷丸工人不能直接控制喷丸机的工作状态，人工控制型抛丸机存在的缺点是很明显的。 5）一台喷丸机必须要两个人一起工作，即除了喷丸工人以外还必须配备一名辅助工人，人工费用增加了一倍。 6）在辅助工人没有及时到位的情况下，喷丸工人除了等待以外没有其他任何办法，工作效率降低。 7）喷丸工人需要停机时，只能先向辅助工人发出可见的非语言信号，然后由辅助工人切断气源才能停机。其间造成的压缩空气和磨料的浪费不可低估，在使用消耗性磨料的施工工程中，磨料浪费带来的经济损失是很严重的。 8）当喷丸工人无法用可见的非语言信号与辅助工联络，他们最多采用的办法就是用喷嘴击打信号。喷嘴受到打击会使内衬开裂，要不了多久，喷嘴就报废了，要知道，喷嘴是价格很高的消耗件。
投影光刻机对准系统功能原理
投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm（正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，
抛丸机安全操作规程
抛丸机安全操作规程 一，操作者必须经过培训，熟练掌握抛丸机的设备性能和工作原理，非专业人员严禁擅自动用设备。 二，开机前必须认真检查设备的各部位是否处在安全位置，并做好各润滑点的加油润滑。 三，操作步骤：1，开机步骤，先把工件送进抛丸清理室内微调1.5至2档范围内，然后启动风机1→风机2→分离开→提升开→绞龙开→抛丸1开→抛丸2开→按顺序依次开到抛丸12开→供完总开，清理工作开始。2，关机步骤，供丸总关→提升关→绞龙关→分离关→抛丸12关→抛丸11关→按顺序依次关到抛丸1关→风机2关→风机1关→，清理工作结束。 四，工作时操作员工必须穿戴好劳动防护用品，在机械正常运转后应及时离开抛丸机进出口的正面和两侧，防止钢丸穿出伤人。 五，在启动各工作按钮时，要认真观察各项工作是否正常运行。如有发现故障和失灵时应立即停止，在检查维修中必须关闭电源，以免造成触电或其它事故发生。 六，抛丸机设备操作人员必须认真负责，经常检查观察供丸系统，保持良好的流通，以防堵塞造成产品质量的影响。 七，对散落在抛丸机设备周围的钢丸，必须经常清扫，并加入到抛丸室回用，但在加入前要过筛。 八，操作人员不论是在上班前，工作中还是下班后，发现设备部件顺坏，失灵等不安全之处，应尽力解决消除隐患。碰到问题严重，不能自行解决的，应立即向车间领导反映，不得带病使用，严防事故发生。 九，每天下班后应将抛丸机设备周围场地清扫干净，关闭电源，锁好电控柜。每周末应对除尘器内积尘清除干净。 十，以上安全操作规程必须严格执行，如有违反导致事故发生造成损失的，操作人员要承担主要责任。 三利郎肯节能装备制造有限公司 喷漆车间 二零一五年四月二十日
光刻机和光掩膜版
十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里，我们介绍如何将图形转移到硅片表面上，包括以下内容：a)将图形投影到硅片表面的装置（即光刻对准仪或光刻翻版机），由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具（即光掩模版和中间掩模版）。在介绍光刻机或掩模版之前，把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前，有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征：a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常，分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的，我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而，和光刻机的分辨率一样，最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解，但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小，且各层都需正确匹配，所以需要配合紧密。
微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此，首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形，然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如，如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版，这样也许仍 然是经济的。不过，在大 部分生产应用中，加工和 机器的产率是很重要的， 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的，因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的，所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制，而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的，那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念，包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图（1）：一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射
吊钩式抛丸机操作规程
吊钩式抛丸机安全操作规程 1.操作者必须熟练掌握设备的性能，由分厂指定专人进行操作，非专业人员严禁擅自动用设备。 2.开机前必须认真检查设备的各部位是否处在正确位置，并做好各润滑点的加油润滑。 3.操作步骤：启动除尘系统→吊钩在室外装工件→吊钩开入室内→大门关闭→吊钩自转开→启动提升机→启动抛丸器→供丸系统闸门开→清理工作开始。 4.特别注意： a. 吊钩的进出一定要在吊轨接通时进行。 b.时间继电器的调整一定要在关闭电源开关后进行。 c.抛丸机未启动前，禁止打开供钢丸系统。 d.在机械正常运转后，人应及时远离机械的正面及两侧面，防止钢丸穿出伤人。 5.每天下班前应打开除尘振打电机运转5分钟。 6.每周末应对除尘器内积灰彻底清扫干净。 7.每天下班前应将抛丸机外表及周围场地清扫干净，关闭电源，锁好电控柜。 8.设备的吊钩载重量与电动葫芦要匹配，严禁超载作业。 9.设备在运转过程中一旦发现异常情况应立即停机报修，严禁带病作业。 HX泊头市鸿鑫机械制造厂
吊钩式抛丸机的维护与保养 一、日常维护及保养 （１）抛丸器及抛丸器电机上的固定螺栓有无松动。 （２）抛丸器内耐磨件的磨损情况：检查抛丸器叶片、分丸轮、定向套的磨损情况，当叶片的厚度均匀磨损2/3，分丸轮窗口宽度平均磨损1/2，定向套窗口磨损宽度超过10mm时，均应更换。 （３）各检修门是否关闭。 （４）除尘管道有无漏气现象，除尘器中滤袋有无灰尘或破碎。（５）分离器中过滤筛上有无积物、杂物，若有应及时清除，当发现筛网磨损时应及时更换。 （６）抛丸室内护板的磨损情况：检查清理室内护板磨损情况，如发现耐磨橡胶板被磨损或破裂，应及时更换。 （７）各限位开关状态是否正常。 （８）控制台上信号灯工作是否正常。 （９）清扫电气控制箱上的灰尘。 二、吊钩式抛丸机的维护及保养月维护及保养 ⑴检查各部件连接处的螺栓的固定情况； ⑵检查传动部位运转是否正常，并润滑链条； ⑶检查风机、风管的磨损和固定情况。 三、吊钩式抛丸清理机的维护及保养季维护及保养 ⑴检查轴承、电控箱的完好情况，并加注润滑脂或润滑油； ⑵检查抛丸器耐磨护板的磨损情况； ⑶检查电机、链轮、风机、螺旋输送器的固定螺栓及法兰连接的紧密性； ⑷给抛丸器主轴承座上轴承更换新的高速润滑脂。 四、吊钩式抛丸清理机的维护及保养年维护及保养 ⑴检查所有轴承的润滑情况，并补充新脂； ⑵检修布袋除尘器，若布袋破损则更换，若布袋粘灰过多则清洗； ⑶检修全部电动机轴承，视情况作相应的处理； ⑷更换或焊补抛射区内护板。
Nikon光刻机对准系统功能原理
Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm （正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，将产生一个对准电信号，该信号以中断信号的形式输入计算机，X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时，计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候，一个标记中两个象限的光栅同时参与，在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数，但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同，如图2所示。在对准扫描的过程中，每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号，由于两个象限的光栅条纹间距不同，所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号，而这个点就是在X
抛丸机安全操作及保养规程通用版
操作规程编号：YTO-FS-PD499 抛丸机安全操作及保养规程通用版 In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers. 标准/ 权威/ 规范/ 实用 Authoritative And Practical Standards
抛丸机安全操作及保养规程通用版 使用提示：本操作规程文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理，通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态，从而达到安全生产和减少隐患的效果。文件下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用。 1. 操作者必须严格执行专机专人培训上岗，了解抛丸机结构、性能、熟悉操作方法。上岗前严格穿戴好工作服、工作帽、护目镜。 2. 开机前，非操作人员远离设备工作区，以免发生意外伤人事故。 3. 开机应注意面板上仪表的参数指示，检查电流表是否正常（正常值在15A以上），检查输链运转方向，开机时遵循以下开机顺序： 风机-分离-提升-横螺-纵螺-收丸-抛丸-吹丸-辊道-供丸启动；关机：与上述程序相反。 4. 将工件整齐放在辊道上，根据工件的高度来调整进出口防护罩板的高度，并注意调高清理室出风口的高度，以免和工件相撞。 5. 除尘器振打，每月振打一次，一次工作5分钟。 6. 严禁在设备运行时人员爬到设备上。出现故障时应紧急停车，并向设备管理部门汇报。 7. 定期向各润滑部位加油，并检测其温度、声音异常
光刻机的技术原理和发展趋势
光刻机的技术原理和发展趋势 王平0930******* 摘要： 本文首先简要介绍了光刻技术的基本原理。现代科技瞬息万变，传统的光刻技术已经无法满足集成电路生产的要求。本文又介绍了提高光刻机性能的关键技术和下一代光刻技术的研究进展情况。 关键字：光刻；原理；提高性能；浸没式光刻；下一代光刻 引言： 光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸，是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一，光刻机一次次革命性的突破，使大模集成电路制造技术飞速向前发展。因此，了解光刻技术的基本原理，了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。本文就以上几点进行了简要的介绍。 光刻技术的基本原理： 光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上，然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。 1、涂胶 要制备光刻图形，首先就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶。截止至2000年5月23日，已经申请的涂胶方面的美国专利就达118项。在涂胶之前，对芯片表面进行清洗和干燥是必不可少的。目前涂胶的主要方法有：甩胶、喷胶和气相沉积，但应用最广泛的还是甩胶。甩胶是利用芯片的高速旋转，将多余的胶甩出去，而在芯片上留下一层均匀的胶层，通常这种方法可以获得优于+2%的均匀性（边缘除外）。胶层的厚度由下式决定： 式中：F T为胶层厚度，ω为角速度，η为平衡时的粘度，ρ为胶的密度，t为时间。由该式可见，胶层厚度和转速、时间、胶的特性都有关系，此外旋转时产生的气流也会有一定的影响。甩胶的主要缺陷有：气泡、彗星（胶层上存在的一些颗粒）、条纹、边缘效应等，其中边缘效应对于小片和不规则片尤为明显。
抛丸机操作规程
抛丸机安全操作规程 1. 目的： 为保证设备操作人员正确的操作设备，防止因误操作造成生产及安全事故，特制定本规程。 2. 范围: 本规程适用于抛丸机设备的操作与使用。 3. 职责: 生产部负责编制抛丸机设备的操作规程，并下发至操作者使用；操作人员负责按设备操作规程实施设备操作。 4. 工作内容：抛丸机工作前：操作者必须熟悉机床使用说明书和机床的一般性能、结构，严禁超 性能使用。运转前要检查护板、橡胶帘、辊子等易损件磨损情况，及时更换。检查各运动部件的配合，螺栓连接是否松动，及时拧紧。 检查是否有杂物落入机内，及时清除以防堵塞各输送环节造成设备故障。 检查各部位润滑是否符合规定。开机前当确认室体内无人，并且检修门已关闭可靠时，才能准备启动。启动机器前要发出信号，使机器附近的人员离开。 要正确的按照操作规程操作。 抛丸机工作中： 首先启动通风吸尘电机，检查运行情况，确认正常后再启动抛丸机， 抛丸机未开动前，不得打开供铁丸的控制阀门开机操作步骤：吊钩在室外装工件T吊钩开入室内T吊钩自转 开T大门关闭T启动风机T启动抛丸器T启动提升机
要经常检查钢材清理质量，必要时可调整弹丸抛射角度和辊道输送速度，随时观察钢材是否有跑偏，打滑要及时排除。 注意抛丸器运转中的振动和音响是否正常，轴承和电机温升情况，当出现异常要停车检查，排除故障或更换叶片。 抛丸室工作结束时，关机操作步骤与开机相反。 出现异常现象，立即停机，检查其原因并及时排除。 潮湿钢板严禁进入抛丸室进行抛丸处理。 抛丸机工作后： 切断电源，清除分离器下部筛网上的杂物。 进行日常维护保养。 注意事项 吊钩的进出一定要在吊轨接通时进行。 时间继电器的调整一定要在关闭电源开关后进行。 在机械正常运转后，人应及时远离机械的正面及两侧面，防止铁丸穿出伤人。
抛丸机的工作原理
吊钩式抛丸机：JCK-Q378双吊钩式抛丸机 适用围：用于铝合金压铸件、锌合金压铸件、铜铸件、不锈钢精密铸件、铸铁件、摩托车车架及钢制品件的表面清理、光饰和强化。特点：JCK-Q378吊钩式抛丸机是目前最受欢迎的抛丸设备之一,无地坑结构,室体采用高耐磨铸铁防护,配备高效抛丸器,吊钩实现了升降、自转、进出自动化、结构合理、生产效率高,减轻了劳动强度；适应于多品种、中心批量的不锈钢件、铸铁/钢件、压铸件、锻件、焊接件及热处理件的表面清理或强化.
步进悬挂式抛丸机（图在下）
吊钩式抛丸机
抛丸器工作示意图
吊钩式抛丸机、悬挂式抛丸机抛丸工作示意图
吊钩式抛丸机：金属表面清理、金属表面前处理、金属表面强化、金 属表面光饰、金属表面处理设备 抛丸机的工作原理 抛丸机，不以压缩空气为动力，而是以电动机械抛丸器为动力，利用抛丸器抛出的高速弹丸清理或强化金属工件表面的设备。抛丸机可清理金属工件表面的各种残留物，可对铸件进行落砂﹑除芯和清理等。抛丸是靠叶轮高速旋转，将在叶轮中心的磨料，经过调流块(Regulator)及叶轮推动器(Impeller)预加速，送入叶片区再将磨料高速抛出，速度可超过100m/s，由于抛丸覆盖围较大，所以不需利用气压，能源效益远高于喷砂。叶轮是抛丸机的心脏，由电动马达直接或间接驱动，每家叶轮生产商均有独特的设计，主要分为单碟和双碟叶轮。抛丸机，利用抛丸器抛出的高速弹丸清理或强化铸件表面的铸造设备。抛丸机能同时对铸件进行落砂﹑除芯和清理。主要是利用高速旋转的叶轮把丸砂抛掷出去,高速撞击零件表面，达到表面处理的要求的。 抛丸机应用围 1、金属表面的清理 抛丸设备首先应用于铸造业铸钢、铸铁件的表面粘砂及氧化皮的清除。几乎所有的铸钢件、灰铸件、玛钢件、球铁件等都要进行抛丸处理。这不仅是为了清除铸件表面氧化皮和粘砂，同时也是铸件质量检查前不可缺少的准备工序，比如大型气轮机机壳在进行无损探伤以前必须进行严格的抛喷丸清理，以保证探伤结果的可靠性。在一
抛丸机操作规程
抛丸机安全操作规程 一、操作准备 1. 根据现场实际情况选配并穿戴好劳保用品：护目镜、帆布手套、耳塞、防尘口罩、劳保鞋。 2. 检查抛丸机各耐磨部件（抛丸器叶片、室内挡板，工装）的磨损松动情况，发现异常及时处理。检查各运动部件的配合，螺栓连接是否松动，及时拧紧。 3. 检出抛丸内室是否存在泄露，及时查漏补缺，是否有杂物落入机内，及时清除以防止堵塞各输送环节造成设备故障。 4. 确认粉尘储存器、钢丸储存漏斗、筛网、抛丸机室内等已清理干净，无大块状物体，无工件掉落，待一切检查无问题后，才可开机作业。 二、操作过程 1. 启动机器前要发出信号，使机器附近的人员离开，待确认室内无人时，接通电源，检查抛丸机操作面板各按钮及相应分部件是否运转灵活，且运转到位，如存在异常情况必须及时处理。 2. 将待抛丸工件整齐挂入工装前，必须确保工装焊接处无严重磨损，禁止挂入超过工装和起吊装置载重量进行工作，以免工装在运行中脱落，造成设备损坏或人员受伤，潮湿和有油污的工件严禁进入抛丸室进行抛丸处理。 3. 开机步骤：先开风机→再开正传（或翻转）→开上抛丸器→开下抛丸器→打开抛丸闸门→开始工作。 4. 抛丸机运行时，观察上下抛丸器运行电流是否平衡，注意抛丸器运转过程中的震动和音响是否正常，轴承和电机的升温是否正常，当出现异常时，应停机检查，排除故障或更换叶片，等到故障排除后，再开机运行。 5. 设备正常使用时，不可随意扳动控制面板上的手动、点动、自动旋钮，以免发生危险。 6. 设备运行中，操作员不可到抛丸器后方调整沙量或抛丸机顶进行任何操作。 三、异常处置 1. 当突发停电时要切断总电源，关闭压缩空气开关，悬挂标识牌。 2. 当提升轴停止运转时，可能是筛网堵塞或硬物卡死轴承，必须立即关闭电源，停止设备工作，必须在控制柜上悬挂“禁止任何操作标识”后，才能清理筛网或硬物，以免有人在不清楚的情况下操作设备，造成人员受伤。清理抛丸室内过多钢丸时，禁止直接用手清理，必
nikon光刻机
光刻机就是一台大照相机，带光刻胶的wafer就是底片，reticle上的图形就是风景，光源（汞灯或者激光）就是太阳光，当快门打开，光投射到reticle上，经过镜头的投射，就在wafer上成像了。和照相机不一样，每个风景只要拍一次就好了，reticle上的图形要拍很多次，要把整个wafer布满才算曝光结束。 从我熟悉的nikon光刻机说起：NIKON曾经是半导体行业的光刻之王，全世界80%的stepper都是nikon的，但是光刻机并不是日本人最先发明的，最早的大概是美国的GCA了，NIKON顶多算是GCA儿子。日本人是比较精明，他们买了一台GCA，把它拆开来仔细研究，在GCA的基础上进行了改进，再加上自己的优势->镜头（NIKON本来是军工企业，给小日本做潜艇望远镜的），推出了G4 （G4是我所知道的最老的型号的NIKON stepper了，不知道有没有G1-G3，如果有，我相信保有量也不是特别大，应该不是特别成熟）。紧接着G6, G7和G8的推出，把NIKON推入到巅峰时刻。那个时候全世界只知道NIKON，ASML和Canon 那时候根本不是对手。可以说在stepper上，NIKON是最大的赢家。随着技术的推进，stepper 已经跟不上时代的发展，大家开始往scanner上发展了，随着ASML推出创新的TWINSCAN，靠着产能的优势，一举打败了nikon，夺走了光刻机老大的地位，而且从那以后，NIKON一直没能翻身，市场被一点点蚕食，再也没有往日的辉煌了。 聊了一点历史，有些也是道听途说，不过大部分应该是真的，如果哪位兄弟了解得更详细，可以分享出来，让大家长长见识。CANON没接触过，据说12寸的STEPPER比较有市场，HYNIX用的就是CANON+ASML。 NIKON光刻机的主要组成部分:其实大部分光刻机组成都是一样的，一般分为：照明系（光源+产生均匀光的光路），STAGE（包括RETICLE STAGE和WAFER STAGE)，镜头（这个是光刻机的核心），搬送系（wafer handler+ reticle handler)，alignment （WGA, LSA, FIA)。另外半导体的工作温度是23度，要保证wafer在恒温和无particle的环境，一个chamber是必须的。 下面就是说一说各个组成部分怎么来进行工作的，可能有些地方说的不对，毕竟有一段时间没有去搞过它了，希望各位谅解。 照明系：顾名思义，用来照明的系统，光刻机的原理就是用光来投射到reticle上产生衍射，然后镜头收集到光汇聚到wafer上，形成图形，所以光是产生图形的必要条件。具体请翻阅一些工艺的相关资料，在这就不多说了。要有光首先要有光源，一般stepper都是用汞灯做光源，最早有1kw，2kw到最后发展到了5kw，越来越恐怖。后来为了提高分辨率，采用了新的光源：laser，分为Krf(248nm)和Arf（193nm)，laser也是不断在增加功率，现在最高的可以达到60kw级别了（相当恐怖的激光能量）。为什么要发展大功率的汞灯和激光呢？这是产能的需求，在相同的曝光量下，光源的功率越高，曝光需要的时间越少，这样单位时间里面产能越高。 汞灯发出的光向各个方向扩散，我们需要把光汇聚起来，打到大光强的目的，这时候一个椭圆镜是必须的了。我们知道椭圆有两个焦点，我们把光源放到一个焦点上，那么光就会聚到另外一个焦点上，那就是快门的位置。同时这个椭圆镜还有另外一个功能，吸收不需要的光线。这种镜子上有一层涂层，一般500nm以上的红外光不被反射，而是被吸收。这些光会被产生热量，所以装汞灯的地方一定需要一个散热的东西，功率小一点的就用风扇吹，功率大的话就水冷了。 反射出来的光也不是全部需要的，我们只需要365nm（I-line）或者436nm（G-line）的波长，别的波长的光也是要淘汰的，这时候filter就上场了，它的作用就是过滤掉不要的东西，只让需要的波长的光通过。 激光作为光源就不需要上面的这些东西了，因为从激光器里面出来的光已经是很纯的
各类抛丸机
履带式抛丸机 履带式抛丸机是利用高速旋转的叶轮，将弹丸抛入滚筒内连续翻转的工作，达到清理的目的。适用于各种中、小型铸件、锻件及机加工件的表面清理、除锈以及抛丸强化工艺。它适用于不同的生产规模，既可单机使用，也可多台联用，与连续输送器等配套组成生产清理流水线。是大、中、小型清理工件的理想清理设备。，特别适用于不怕碰撞的零件的表面清理及强化。铸件经过抛丸清理，加工面便于下道机械加工工序，不但可节省加工时间，而且可保护机床和刀具不受损坏；非加工面涂漆后，经久不脱，提高产品使用寿命和外观质量。 应用范围:主要有铸造厂、热处理厂、电机厂、机床厂、自行车零件厂、动力机厂、汽车配 件厂、摩托车配件厂、有色金属压铸厂等 履带式抛丸机的结构及工作原理 结构：主要有清理器，抛丸机总成，提升机，分离器，电气系统等组成。 工作原理：在清理室中加入规定数量的工件，机器启动后，抛丸机高速抛出的弹丸形成流丸苏，均匀的打在工件表面上，从而达到清理，强化的目的。抛出的弹丸及砂砾，流入提升机内。由提升机提升到分离器中进行分离，粉尘由风机吸到除尘器中进行过滤，清洁空气排入大气中，布袋上的灰尘经机械振打落入除尘器底部的集尘箱里，用户可定期清除，费沙由废料管排出可回用。丸沙混合物由回用管回收进入室体，待分离器分离后再回用，干净的弹丸由电磁供丸闸门进入抛丸器抛打工件。 Q32系列履带式抛丸机
产品规格： Q326 Q3210 QR3210 产品的主要参数 参数Parameter单位Q326 Q3210 QR3210 生产率Productivity T/h0.6-1.2 1.5-2.5 1.5-2.5 加料量Loading weight kg300 600600 kg10 30 30 单件最大重量 The maximum weight of one piece 端盘直径Diameter of roller mmФ650Ф1000Ф1000 有效容积Available capacity m30.15 0.3 0.3 抛丸量Pill impelling volume kg/min100 250 250 除尘风量Dedusting air volume m3/h2200 50005000 Q32系列履带式抛丸清理机具有设计先进、结构合理、耗能小、效率高等优点。 1．Q32履带式抛丸清理机采用了悬臂离心式抛丸器，具有使用寿命长和结构简单等特点。 2．Q32履带式抛丸清理机采用BE型分离器，具有良好的分离效果和较高的生产率，对提高叶片有积极的作用。 3．Q32履带式抛丸清理机采用袋式除尘器，粉尘排放浓度低于国家规定的标准，大大地改善了操作者的劳动环境。