电子级磷酸研发现状及芯片级磷酸展望

关于编制电子级磷酸生产建设项目可行性研究报告编制说明

关于编制电子级磷酸生产建设项目可行性研究报告编制说明（模版型）【立项批地融资招商】核心提示：电子级磷酸项目投资环境分析，电子级磷酸项目背景和发展概况，电子级磷酸项目建设的必要性，电子级磷酸行业竞争格局分析，电子级磷酸行业财务指标分析参考，电子级磷酸行业市场分析与建设规模，电子级磷酸项目建设条件与选址方案，电子级磷酸项目不确定性及风险分析，电子级磷酸行业发展趋势分析 1、本报告为模板形式，客户可下载后，跟据报告说明，自行修改，完成自己的需求目的。 2、客户可联系我公司，协助编写完成可研报告，可行性研究报告大纲（具体可跟据客户要求进行调整）编制单位：北京中投信德国际信息咨询有限公司专业撰写资金申请报告项目建议书商业计划书节能评估报告可行性研究报告

目录目录 ............................................................................................................................ - 1 - 第1章电子级磷酸项目总论 ..................................................................................... ７§1.1 项目背景 ....................................................................................................... ７§1.1.1 项目名称 ............................................................................................. ７ §1.1.2 项目承办单位 ..................................................................................... ７ §1.1.3 项目主管部门 ..................................................................................... ７ §1.1.4 项目拟建地区、地点 ......................................................................... ７ §1.1.5 承担可行性研究工作的单位和法人代表 ......................................... ７ §1.1.6 研究工作依据 ..................................................................................... ７ §1.1.7 研究工作概况 ..................................................................................... ８§1.2 可行性研究结论 ........................................................................................... ８§1.2.1 市场预测和项目规模 ......................................................................... ８ §1.2.2 原材料、燃料和动力供应 ................................................................. ９ §1.2.3 厂址 ..................................................................................................... ９ §1.2.4 项目工程技术方案 ............................................................................. ９ §1.2.5 环境保护 ............................................................................................. ９ §1.2.6 工厂组织及劳动定员 ......................................................................... ９ §1.2.7 项目建设进度 ..................................................................................... ９ §1.2.8 投资估算和资金筹措 ..................................................................... １０ §1.2.9 项目财务和经济评论 ..................................................................... １０ §1.2.10 项目综合评价结论 ....................................................................... １０§1.3 主要技术经济指标表 ............................................................................... １０§1.4 存在问题及建议 ....................................................................................... １０第2章电子级磷酸项目背景和发展概况 ............................................................. １１§2.1 项目提出的背景 ....................................................................................... １１§2.1.1 国家或行业发展规划 ..................................................................... １１ §2.1.2 项目发起人和发起缘由 ................................................................. １１§2.2 项目发展概况 ........................................................................................... １１§2.2.1 已进行的调查研究项目及其成果 ................................................. １１ §2.2.2 试验试制工作情况 ......................................................................... １２ §2.2.3 厂址初勘和初步测量工作情况 ..................................................... １２ §2.2.4 项目建议书的编制、提出及审批过程 ......................................... １２§2.3 投资的必要性 ........................................................................................... １２第3章市场分析与建设规模 ................................................................................. １４§3.1 市场调查 ................................................................................................... １４§3.1.1 拟建项目产出物用途调查 ............................................................. １４ §3.1.2 产品现有生产能力调查 ................................................................. １４ §3.1.3 产品产量及销售量调查 ................................................................. １４ §3.1.4 替代产品调查 ................................................................................. １５ §3.1.5 产品价格调查 ................................................................................. １５ §3.1.6 国外市场调查 ................................................................................. １５

电子级磷酸建议书

第一章项目建设的目的和意义 1.1企业概况瓮福（集团）有限责任公司［以下简称瓮福集团］于2008年4月26日挂牌成立，原名为“贵州宏福实业开发有限总公司”，是在1994年6月经贵州省人民政府批准，由贵州省瓮福矿肥基地工程建设指挥部改制组建而成。贵州省瓮福矿肥基地包括瓮福磷矿和瓮福磷肥厂两个国家重点建设项目，总投资58.5亿元，是国家在上世纪后十年投资200多亿元建设的全国五大磷肥基地之一，2001年12月30日通过国家验收。经过几年来的技术改造，瓮福集团现已形成450万吨/年原矿、200万吨/年硫酸、90万吨/年磷酸、120万吨/年磷酸二铵、48万吨/年磷酸一铵、1.54万吨/年氟化铝、3万吨/年黄磷的生产能力，以及磷精细化工和环保产业。瓮福集团秉承国家建设的初衷，坚持以生产优质高浓度磷复肥满足农业生产需要为己任。2001年以来，瓮福集团坚持科学发展观，走新型工业化道路，坚持实施提升质量水平，提升科技含量，提升规模效应；降低成本，降低增量投入的“三升两降”工程，并取得良好成效。2001～2004年，瓮福集团年均发展速度超过35%，实现“四年四大步”跨越式发展，一跃成为中国磷肥行业的领头企业。2003年9月，“宏福牌”磷酸二铵荣获“中国名牌产品”称号；2004年9月，“宏福牌”磷酸二铵、磷酸一铵双双荣获国家质量检验检疫总局颁发的《产品质量免检证书》；2005年9月，“宏福牌”磷酸一铵荣获“中国名牌产品”称号。

瓮福集团先后被评为全国百家质量效益型先进企业、贵州省最具影响力企业、中国消费者十大满意品牌企业、中国石油和化工行业百强企业、全国十佳矿山企业等。许多党和国家领导人以及国家有关部委领导同志近几年先后到瓮福集团视察，对瓮福集团的工作给予了充分肯定并寄予厚望。省委、省政府把磷及磷化工作为贵州经济发展的重要支柱产业，并将瓮福集团列为近几年内建成销售收入达100亿元的企业集团之一。瓮福集团拥有丰富的磷矿资源。所属瓮福磷矿位于贵州省中部的瓮安县与福泉市境内，面积58平方公里，规划矿段探明的地质储量超过8.19亿吨，工业储量5.19亿吨，平均P2O5品位25%以上，其中可供露天开采的储量为2.4亿吨。丰富的磷矿资源为瓮福（集团）的发展提供了坚实的保障。瓮福（集团）所属瓮福磷肥厂位于贵州省福泉市马场坪镇北端，厂区距马场坪镇800m左右。相距瓮福磷矿46km，交通便利，临近川黔铁路与贵遵高速路，公司自备站台经1.9km铁路专用线在福泉火车站与湘黔铁路接轨。多年来瓮福集团一直注重资源的高效综合利用，狠抓节能降耗工作，实施了磷酸扩能技改等多项节能降耗措施，大幅降低了单位产品消耗和综合能耗，使产品消耗逐年下降，经济实力逐年增长，逐步实现经济的良性循环，并在同行业中处于先进水平。 1.2项目提出的背景和意义我国是一个磷矿储量丰富的大国，磷酸盐工业地位的崛起，主要体现在基础产品及中间产品的生产量走在了世界的前列，但在多功能、

全面电子级磷酸简介.doc

.精品. 电子级磷酸盐简介电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC级）。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。产业链制作工艺电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到，也可由成品磷酸净化精制而得，制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。目前有如下几种主要制备工艺：1）用高纯磷制备电子级磷酸；2）用高纯三氯化磷制备电子级磷酸；3）用三氯氧磷制备电子级磷酸。提纯工艺主要有：1）磷酸的净化精制法；2）有机溶剂萃取法；3) ①冷冻结晶法；②熔融结晶法；5）其他净化法其他的净化方法有电渗析：①电渗析法；②膜分离。电子级磷酸的国际质量标准国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ级已达到国际SEMI -C7质量标准，适用于018～112μm工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。

国内外技术差别国内技术水平：目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产，BVII级和BVIII 电子级磷酸仍处于研发状态，所需产品依赖进口。国外技术水平：高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段，生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握，有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道，国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请，技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。技术难点：高纯电子化学品技术的研发必须依靠自主创新，建立完整的研发、生产、检测及包装体系，但在该技术的开发存在着工艺、设备、材料、控制等许多难题，技术开发和生产控制难度很高，研发投入大，即便是建立一个小型实验室，至少需要数百万元的投入，如果建设中等规模的工业化装置，总投资至少在数千万元，甚至过亿。我国电子磷酸市场现状（1）企业规模小，目前国内30多家，只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸，且规模均不大，主要集中在江苏、四川和贵州。（2）国内生产的产品只能达到高纯磷酸低端产品要求，只能应用于电子工业的液晶显示器生产上作清洗剂。（3）高纯磷酸由于其专利技术等原因，致使我国IC、LED、TFT-LCD行业用的高纯磷酸长期依赖进口，而目前我国市场上的高纯磷酸供应商主要集中在日本、美国和德国。（4）我国电子级磷酸出口量远远大于进口量，这些出口的初级产品大多被用于再提纯，生产更高级别的产品，又部分返销回国内。（5）我国总体技术水平落后于发达国家，而且，原材料的消耗以及生产成本普遍高于国外

电子级磷酸简介教学教材

电子级磷酸简介

提纯工艺主要有：1）磷酸的净化精制法；2）有机溶剂萃取法；3) ①冷冻结晶法；②熔融结晶法；5）其他净化法其他的净化方法有电渗析：①电渗析法；②膜分离。电子级磷酸的国际质量标准国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ级已达到国际 SEMI -C7质量标准，适用于018～112μm工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。国内外技术差别

产品使用依赖进口国内技术水平：目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产，BVII级和BVIII电子级磷酸仍处于研发状态，所需产品依赖进口。国外技术水平：高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段，生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握，有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道，国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请，技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。技术难点：高纯电子化学品技术的研发必须依靠自主创新，建立完整的研发、生产、检测及包装体系，但在该技术的开发存在着工艺、设备、材料、控制等许多难题，技术开发和生产控制难度很高，研发投入大，即便是建立一个小型实验室，至少需要数百万元的投入，如果建设中等规模的工业化装置，总投资至少在数千万元，甚至过亿。我国电子磷酸市场现状（1）企业规模小，目前国内30多家，只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸，且规模均不大，主要集中在江苏、四川和贵州。

电子级磷酸

电子级磷酸的相关报告前言电子级磷酸属高纯磷酸，高纯磷酸(H3PO4)是电子行业使用的一种超高纯化学试剂，属于微电子化学产品之一，目前世界上仅有美国、日本、韩国等少数几个国家能够生产。电子级磷酸广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，包括：①基片涂胶前的清洗；②光刻过程中的蚀刻及最终去胶；③硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。近年来，随着我国微电子和面板产业的高速发展，世界上许多著名IC晶圆代工、半导体封装以及LED、TFT—LCD企业巨头在中国大陆投资建厂，电子化学品的需求越来越大。“十五”期问，我国电子专用超净高纯化学试剂需求量超过1万t，而国内生产企业仅能提供10％。其中，国内通用型试剂市场今后的年增长率仍将维持在5％一8％左右，电子化学品市场预计超过80亿美元，年增长率近20％；世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8％以上。电子级磷酸由于具有优良的性能，已成为电子工业不可缺少的电化学品之一，其需求量正逐年增长。一、行业概况：电子级磷酸发展背景高纯电子级磷酸属电子化学品系列产品之一,电子化学品一般指与电子工业配套的专用化学品。伴随着国际半导体芯片(IC)和液晶制造业迅速向中国转移, 我国微电子技术, 特别是半导体器件和集成电路微细加工的蚀刻与清洗工艺和薄膜液晶制造工艺所需的电子级磷酸的需求量也在稳步增长。其质量对IC 产品成品率、电性能、可靠性和液晶显示器( LCD) 质量都有重要影响。预计到2010年国内市场(包括出口)对电子级磷酸需求量将达到150~ 160 kt /a, 以后年均增长率10% 以上, 成为高档磷酸的一个重要市场。微电子技术发展主要特点是依靠不断缩小元器件特征尺寸、增加芯片面积、提高集成度和运行速度而迅猛发展。自上世纪70年代起, 集成电路芯片的发展速度基本上遵循每1.5 年集成度增加1倍, 芯片特征尺寸每3年缩小一半, 芯片面积增加约1.5倍, 芯片中晶体管数增加约4倍的规律, 即基本上每3年就有一代新的IC 产品问世。与此密切相关的电子级磷酸也随着IC 集成度的不断提高、电子技术要求的提升, 对产品要求也会越来越严格。不同级别电子级磷酸其金属杂质和微粒要求不同。而不同线宽IC 制造业须由对应规格的电子级磷酸与其配套。 1发展前景近年来由于工业和液晶显示电视迅速发展用于半导体、液晶显示器及其他电子设备做腐刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。目前我国已成为世界上电子级磷酸需求增长最快的国家。我国生产电子级磷酸具有丰富的原料优势，有条件大力发展电子级磷酸产品，而且随着电子行业的不断发展，国内对电子级磷酸的需求将会大幅度增长。因此电子级磷酸市场无疑将具有广阔的发展前景。 2市场情况电子级磷酸应用于发展前途广阔的IT产业，被称为“磷酸行业皇冠上的明珠”。其关键技术长时间垄断在美国、德国、日本等发达国家跨国集团企业手中。虽然我国黄磷、磷酸的产量已居世界第一位,但是精细磷化工的产品只占其中的4%。电子级磷酸成为我国市场供不应求、国家鼓励出口的高附加值产品。我国高纯磷酸市场具有以下特点：（1）企业规模小，目前国内30多家，只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸，且规模均不大，主要集中在江苏、四川和贵州。

电子级磷酸简介

电子级磷酸盐简介电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC级）。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。产业链制作工艺电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到，也可由成品磷酸净化精制而得，制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。目前有如下几种主要制备工艺：1）用高纯磷制备电子级磷酸；2）用高纯三氯化磷制备电子级磷酸；3）用三氯氧磷制备电子级磷酸。提纯工艺主要有：1）磷酸的净化精制法；2）有机溶剂萃取法；3) ①冷冻结晶法；②熔融结晶法；5）其他净化法其他的净化方法有电渗析：①电渗析法；②膜分离。电子级磷酸的国际质量标准国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ级已达到国际SEMI -C7质量标准，适用于018～112μm工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。

电子级磷酸质量标准

试剂名称(Product Name) Cas号分子式(Formular) MDL number EINECS Beilstein 磷酸/电子级磷酸 Phosphate standard concentrate 性状无色、无臭、粘稠液体，溶于水及醇。纯品磷酸为无色斜方晶体，富潮解性。溶于水和乙醇。其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱，但较醋酸、硼酸等弱酸为强。能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。磷酸溶于水并放热，经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸，长时间受冷即生成结晶，有腐蚀性，易吸湿。熔点：42.℃ 沸点：213℃ 密度:1.834（18℃）质量标准 GB/T 1282-1996 项目Item 优级纯分析纯 (GR) (AR) 含量(H3PO4)Assay,% ≥85.0 85.0 色度，黑曾单位Color(APHA),% ≤10 25 灼烧残渣Ignition residue,% ≤0.1 0.2 挥发酸Volatile acid，% ≤0.02 0.02 氯化物(Cl)Chloride,% ≤0.0002 0.0003 硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤0.001 0.003 硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤0.0003 0.0005 砷(As)Arsenic,% ≤0.001 0.0001 铁(Fe)Iron,% ≤0.001 0.002 钠(Na)Sodium,% ≤0.05 -- 钾(K)Potassium,% ≤0.005 -- 锰(Mn)Manganese,% ≤0.0002 0.0002 镍(Ni)Nickel,% ≤0.0005 -- 铜(Cu)Copper,% ≤0.0005 -- 锌(Zn)Zinc,% ≤0.001 -- 镉(Cd)Cadmium,% ≤0.0005 -- 铅(Pb)Lead,% ≤0.0005 -- 重金属(以Pb计)Heavy metals,% ≤-- 0.001 还原物质(以H3PO4计)Reducing substances,% ≤0.005 0.01 项目电子级磷酸含量（P2O5）% 63.0-68.0 熔点℃35.0-42.3 外观不规则粉末硝酸盐(NO3) ppm≤5 硫酸盐(SO4) ppm≤5 氯化物(Cl) ppm≤5 铝（Al) ppb≤20 锑(Sb) ppb≤300 砷(As) ppb≤10 钡(Ba) ppb≤20 镉(Cd) ppb≤10

电子级磷酸项目可行性方案

目录第一章项目概述第二章项目建设单位第三章投资背景及必要性分析第四章项目市场空间分析第五章产品规划方案第六章项目选址规划第七章土建工程方案第八章工艺分析第九章环保和清洁生产说明第十章企业安全保护第十一章风险性分析第十二章项目节能概况第十三章项目实施计划第十四章项目投资分析第十五章项目经济收益分析第十六章项目评价结论第十七章项目招投标方案

第一章项目概述一、项目概况（一）项目名称电子级磷酸项目（二）项目选址 xx工业示范区项目建设方案力求在满足项目产品生产工艺、消防安全、环境保护卫生等要求的前提下尽量合并建筑；充分利用自然空间，坚决贯彻执行“十分珍惜和合理利用土地”的基本国策，因地制宜合理布置。项目建设区域以城市总体规划为依据，布局相对独立，便于集中开展科研、生产经营和管理活动，并且统筹考虑用地与城市发展的关系，与项目建设地的建成区有较方便的联系。对各种设施用地进行统筹安排，提高土地综合利用效率，同时，采用先进的工艺技术和设备，达到“节约能源、节约土地资源”的目的。（三）项目用地规模项目总用地面积41827.57平方米（折合约62.71亩）。（四）项目用地控制指标该工程规划建筑系数50.24%，建筑容积率1.65，建设区域绿化覆盖率7.37%，固定资产投资强度166.85万元/亩。

（五）土建工程指标项目净用地面积41827.57平方米，建筑物基底占地面积21014.17平方米，总建筑面积69015.49平方米，其中：规划建设主体工程53644.91 平方米，项目规划绿化面积5084.32平方米。（六）设备选型方案项目计划购置设备共计128台（套），设备购置费3464.08万元。（七）节能分析 1、项目年用电量1235135.88千瓦时，折合151.80吨标准煤。 2、项目年总用水量10543.61立方米，折合0.90吨标准煤。 3、“电子级磷酸项目投资建设项目”，年用电量1235135.88千瓦时，年总用水量10543.61立方米，项目年综合总耗能量（当量值）152.70吨标准煤/年。达产年综合节能量59.38吨标准煤/年，项目总节能率20.00%，能源利用效果良好。（八）环境保护项目符合xx工业示范区发展规划，符合xx工业示范区产业结构调整规划和国家的产业发展政策；对产生的各类污染物都采取了切实可行的治理措施，严格控制在国家规定的排放标准内，项目建设不会对区域生态环境产生明显的影响。（九）项目总投资及资金构成

磷酸电子级磷酸的所有技术指标及基本介绍样本

磷酸/电子级磷酸上海紫一试剂厂.com 电话: ; 传真: 磷酸/电子级磷酸 Phosphatestandardconcentrate Cas号: 【7664-38-2】 MDL: MFCD00011340 分子式: H3O4P; H3PO4 分子量: 98.00 别名: 正磷酸,一缩原磷酸,缩原磷酸,乙烯利水剂 Phosphoricacidsolution Phosphoricacid Orthophosphoricacid Orthophosphoricacid 订货信息: 性状: 无色、无臭、粘稠液体, 溶于水及醇。纯品磷酸为无色斜

方晶体, 富潮解性。溶于水和乙醇。其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱, 但较醋酸、硼酸等弱酸为强。能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。磷酸溶于水并放热, 经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸, 长时间受冷即生成结晶, 有腐蚀性, 易吸湿。熔点: 42.℃ 沸点: 213℃ 密度:1.834( 18℃) 质量标准: GB/T 1282-1996 项目Item 优级纯分析纯 (GR) (AR) 含量(H3PO4)Assay,% ≥ 85.0 85.0 色度, 黑曾单位Color(APHA),% ≤ 10 25 灼烧残渣Ignition residue,% ≤ 0.1 0.2 挥发酸Volatile acid, % ≤ 0.02 0.02 氯化物(Cl)Chloride,% ≤ 0.0002 0.0003 硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤ 0.001 0.003 硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤ 0.0003 0.0005 砷(As)Arsenic,% ≤ 0.001 0.0001 铁(Fe)Iron,% ≤ 0.001 0.002 钠(Na)Sodium,% ≤ 0.05 -- 钾(K)Potassium,% ≤ 0.005 -- 锰(Mn)Manganese,% ≤ 0.0002 0.0002 镍(Ni)Nickel,% ≤ 0.0005 -- 铜(Cu)Copper,% ≤ 0.0005 -- 锌(Zn)Zinc,% ≤ 0.001 --

电子级磷酸的纯化技术及其发展现状

电子级磷酸的纯化技术及其发展现状刘飞1，2，李天祥1，2 ［1．瓮福（集团）有限责任公司，贵州福泉550501；2．贵州大学化工学院］摘要：随着半导体芯片制造业和液晶显示器（LCD）制造业向中国转移，中国将逐步成为全球较大的LCD产业基地，中国电子级磷酸的需求量将日益增长，发展电子级磷酸已成为当前精细磷化工行业发展的必然趋势。电子级磷酸广泛应用于大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT－LCD）、半导体等微电子工业等方面，用作清洗和蚀刻剂。详细介绍了电子级磷酸的应用领域、质量标准、纯化技术和国内外研究发展现状。关键词：磷酸；电子级磷酸；纯化技术；发展现状中图分类号：TQ126．35文献标识码：A文章编号：1006－4990（2011）03－0011－03 Purification technology of electronic－grade phosphoric acid and present development status thereof Liu Fei1，2，Li Tianxiang1，2 ［1．Technical Center，Wengfu（Group）Co．，Ltd．，Fuquan550501，China；2．School of Chemical Engineering，Guizhou University］ Abstract：As the semiconductor chip and LCD manufacturing industries have transfered to China，China will gradually become a world's large LCD industrial base．Demand for electronic－grade phosphoric acid in China is growing，and the ex-pansion of electronic－grade phosphoric acid production has become the inevitable trend of the development of fine phosphate chemical industry at present．Electronic－grade phosphoric acid is widely used in large scale integrated circuit（IC），thin film liquid crystal display（TFT－LCD），semiconductor，and other microelectronics industries．Usually it is used as cleaning and etching agents．Application fields，quality standard，purification technology，and present R＆D status of electronic－grade phos-phoric acid at home and abroad were introduced in detail． Key words：phosphoric acid；electronic－grade phosphoric acid；purification technology；present development status 电子级磷酸属高纯磷酸，它是超净高纯试剂中的一种，广泛应用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器、半导体等微电子工业方面，用作清洗和蚀刻剂，其纯度和洁净度对电子元器件的产品率、电性能、可靠性等都有重要影响。近年来，随着中国微电子工业的高速发展，中国大陆逐步成为全球较大的液晶显示器产业基地，用于集成电路、薄膜液晶显示器和半导体等清洗和蚀刻剂的电子化学品的需求越来越大，预计2010年中国市场电子专用超净高纯化学试剂需求量将达15万 16万t。随着半导体芯片制造业和液晶显示器制造业向中国转移，特别是中国台湾、日本和韩国等企业将在中国大陆投巨资建设液晶显示器生产厂和晶圆代工厂，以满足电视、电脑和移动通讯领域对液晶显示器的需求，中国电子级磷酸的用量将会有大幅增长，这为中国电子级磷酸提供了极大的发展空间［1－4］。 1电子级磷酸质量标准目前，国内外对电子级磷酸质量指标的划分没有统一的标准，其质量指标不同，用途有所不同。目前，中国还没有电子级磷酸国家标准，一般将电子级磷酸划分为低尘高纯级、MOS级、BV－Ⅰ级、BV－Ⅱ级、BV－Ⅲ级（相当于SEMI－C7质量标准）、BV－Ⅳ级（相当于SEMI－C8质量标准）和BV－Ⅴ级（相当于SEMI－C12质量标准）等，其中BV－Ⅲ级主要用于超大规模集成电路，适用电路宽度为0．8 1．2μm工艺技术的生产。由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大，从事超净高纯试剂研究与生产的厂家也在增多，生产规模在不断扩大。但各生产厂家所生产的超净高纯试剂的标准各不相同，为了能够规范世界超净高纯试剂的标准，国际半导体设备与材料协会（Semiconductor Industry Asso-ciation）推出SEMI质量标准，将电子级磷酸划分为SEMI Grade1、SEMI Grade2和SEMI Grade3，其中SEMI Grade3电子级磷酸其单项金属杂质最高质量分数不超过1?10－7，单项非金属杂质最高质量分数不大于1?10－5，能满足微电子行业0．18μm以上工艺技术的加工制作，质量符合超大规模集成电路和薄膜液晶显示器等制造过程的品质要求。 11 第43卷第3期2011年3月无机盐工业INORGANIC CHEMICALS INDUSTRY

年产26万吨磷酸装置工艺设计

前言 (1)磷在生命起源中的作用在生命中的物质转移、能量交换、信息传递等诸多重要过程中，磷起着十分重要的又是不可代替的作用，研究生命起源，决不可忽视磷元素的特殊地位。在核酸化学界，１９５７年诺贝尔诡获得者托德认为：“哪里有生命，哪里就有磷”，并且指出：“只有在有磷的星上，才能存在生命。”韦斯特海默则提出了一个世纪性课题——“为什么大自然选择了磷”。磷在生命物质成分比重是中虽属微量元素，但是，它却是生命现象的重要调控物质，在组成ＲＮＡ和ＤＮＡ的结构中磷酸根是关键。现在地球上的许多磷矿几乎是在生物参与下形成的，有不少是生物骨骼的堆积。因此，人们不禁会提出，原始地球时期磷是怎么来的？它以何种形式存在？对这个问题的回答，是解决生命起源化学进化的关键问题之一。１９９６年，荷兰的胥华滋在第１１届国际生命起源会议上说，由于地球表面上磷的唯一来源是磷灰石，溶解度太底，不足以构成生命所需的磷。他们在默奇逊陨石中鉴定出烷基膦酸的存在，提出外源空间磷的来源，并且碳磷键比碳氧磷酯键稳定，能经受宇宙空间原始的严酷条件，提供了早期基因物质来源的可能。根据近代行星化学的研究，王文清早在１９８２年就考虑到三氢化磷可能是原始大气组成部分之一，用火花放电使它们反应，结果发现；在不含三氢化磷时，只产生六种氨基酸，含三氢化磷时，可产生至少１９种氨基酸，只产生六种氨基酸，含三氢化磷时，可产生至少１９种氨基酸，发现了磷的催化作用。近年来赵玉芬提出了“磷是生命化学过程的调控中心”假说，磷是生命物质核酸、蛋白的主控因子。磷的化学规律控制着糖（核糖、核酸）以及氨基酸（蛋白）的化学规律，从而控制着生命的化学进化。王文清等还发现，在原始地球条件下，磷酸根的存在对生命起源有重要影响。磷酸根吸收太阳紫外光子产生磷酸氢根自由基，能损伤碱基、核苷造成光解损失，但氨基酸对其有抑制作用。这一发现解决了“ＲＮＡ世界”学说的困难，提出进化早期氨基酸与核苷酸以及磷酰基与宇宙场共存的观点。

电子级磷酸的等级

表 3 不同等级磷酸杂质要求工业级食品级色度≤40≤20 砷（以As计）质量分数/%≤0.01≤0.0001 氯化物（以Cl计）质量分数/%≤0.001≤0.0005 氟（以F计）质量分数/%≤0.001 重金属（以Pb计）质量分数/%≤0.05≤0.001 注参考GB3149-92和GB/T1282-1996高纯磷酸产品属于微电子化学品垄断产品之一，目前，国外如美国、日本、德国的电子级磷酸均已有工业化生产，但由于技术保密，其产品质量指标及生产技术未见报道。国内有北京试剂研究所、北京化工厂、上海试剂一厂等单位生产MOS级和BV-I级的电子级磷酸，其质量指标如表4。表4 MOS级和BV-I级的电子级磷酸产品质量主要指标（mg/kg）项目MOS BV-I ｗ（磷酸）＞85% 85% ｗ（Cl） 1 1 ｗ（As） 5 0.05 ｗ（Cu） 5 0.02 ｗ（Fe）10 0.05 ｗ（Na）10 0.1 ｗ（Pb） 5 0.02 还原性物质合格合格另外有如江阴澄星实业集团、贵州宏福公司等都在进行电子级磷酸的研发与生产。目前中国的市场上电子级磷酸的主要供应商为日本、美国和德国的企业。随着半导体芯片制造业向中国转移，我国电子级磷酸的用量将会有大幅增长。现国内外市场销售价用于薄膜液晶显示器TFT-LCD用：20000～25000元/t；集成电路IC 晶圆用：25000～35000元/t。2006年外商向中国购买的高纯磷酸超过8万t，市

场前景看好。国内对电子级磷酸的研究显的十分重要和迫切。

附录一：食品级磷酸标准项目指标色度≤20 磷酸(H3PO4) ＞85% 胶(以As计) ≤1ppm 氟(以F计) ≤l0ppm 重金属(以Pb计) ≤l0ppm

电子级磷酸工业化战略及其配套技术探究

电子级磷酸工业化战略及其配套技术探究摘要近年来我国的工业技术得到了迅速的发展，为了充分满足半导体线片以及液晶制造业的制造需求，也就要求我国进一步加强对电子级磷酸工业的重视程度，然后在结合了市场实际需求以及工业发展需求的基础上，进行电子级磷酸工业化战略的制定以及发展。本文主要就电子级磷酸工业化战略以及配套技术进行了探究分析。关键词电子级磷酸；工业化；战略；配套技术高纯电子级磷酸作为电力化学系列的一种产品，近年来随着我国半导体芯片以及液晶制造业的不断发展，对于电子级磷酸的需求量也得到了一定程度的提升。为了充分满足电力化学市场的需求，也就需要积极进行电子级磷酸工业化战略的制定工作，借此来促进我国的国民经济得到更进一步的发展。 1 工业化发展战略 1.1 需要充分遵循电子化学品的发展规律电子级磷酸并非是普通的化工原料，其是集成电路以及液晶等配套的电子化学品，并且具备质量要求高、有效期长以及升级换代速度快的特点。因此说在进行电子级磷酸行业的发展过程中，也就需要朝着精细化以及产品化的方向不断进行发展，并需要进一步加强对其质量跟技术的投资力度。就我国现阶段的电子级磷酸装置进行分析，其多是MOS级以及BV级，多是适用于一些中小规模的集成电路，也无法充分满足现阶段高端电子级磷酸市场的实际需求。针对这一问题，也就要求相关企业能够不断加强对于BVⅢ以及BVⅣ电子级磷酸生产工艺与关键技术的研发力度，对于在工业化放大过程中的参数和适应性等问题也需要进行充分的解决。此外相关的制作企业还需要就自动化控制以及在线分析问题进行不断的研究，借此来保障产品的生产质量与生产稳定性。此外相关的制造企业还需要充分考虑好副产酸的再加工问题，只有这样才能够使得食品级磷酸的生产成本得到有效降低，从而使得该企业的经济效益以及市场竞争能力均得到有效的提升。 1.2 加强技术合作以及信息交流力度为了取得一个良好的产品研发效果，企业还可以积极与相关的高校或者科研机构进行研发中心的共同建立，借此来让电子级磷酸产品的质量以及生产工艺水平得以提升，从而提升企业的市场竞争能力。近年来我国对于高新技术还有着非常高的扶持政策，因此企业还需要在结合国家的相关扶持和优惠政策基础上，来使得自身的电子级磷酸产业装备水平得到有效的提升。在对电子级磷酸产品进行开发的过程中，还会涉及物理、化学等多个学科与